JPH07318767A

JPH07318767A - 光半導体素子モジュールの組立方法

Info

Publication number: JPH07318767A
Application number: JP7062360A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Nakamura; 猛中村; Kazuma Kusakawa; 一馬草川
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-03-22
Filing date: 1995-03-22
Publication date: 1995-12-08
Anticipated expiration: 2014-01-27
Also published as: JP2851810B2

Abstract

(57)【要約】【目的】光ファイバスリーブの固定の際や外部の温度
変化等により、光ファイバと光半導体素子との光学的な
結合が劣化しない光半導体素子モジュールを得ることを
目的とする。【構成】光ファイバスリーブ１２をスリーブホルダ１
５に挿入した状態で光ファイバスリーブ１２とスリーブ
ホルダ１５を光ファイバ１と光半導体素子７が光学的に
結合するように移動調整した後、光ファイバスリーブ１
２とスリーブホルダ１５をスリーブホルダ１５の表面か
ら光ファイバスリーブ１２までをＹＡＧレーザ等の赤外
線レーザにより溶接する。そしてスリーブホルダ１５と
光ファイバスリーブ１２との溶接固定時に生ずる若干の
スリーブホルダ１２と光ファイバスリーブ１２の固定ず
れによる光ファイバと光半導体素子の光結合損失をスリ
ーブホルダ１５を微調することにより補正した後、スリ
ーブホルダ１５とレンズホルダ３２とを溶接する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体レーザ、発光
ダイオード、フォトダイオード、アバランシエフオトダ
イオード等の光半導体素子と光ファイバを光学的に結合
させた光半導体素子モジュールの組立方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図２は例えば特公昭６１−１４６７８号
公報に示された従来の光半導体素子モジュールを示す断
面図であり、図において、１は光ファイバ、２は金属の
光ファイバスリーブ、３はキャップ、７は光半導体素
子、８は光半導体素子７の発光または受光面がほぼその
中心に来るように光半導体素子７を固定したステム、１
１ａ，１１ｂはステムリード、１３はステムリード１１
ａを気密封止するための低融点ガラス、１４は光半導体
素子１７とステムリード１１ａに接続された電極リード
線、５１，５２はハンダである。

【０００３】ステムリード１１ｂはステム８と電気的導
通を有するように接続されている。ステムリード１１ａ
は低融点ガラス１３によりステム８とは絶縁されてい
る。光ファイバ１の先端部端面は鏡面切断あるいは球状
レンズ加工されている。また、先端近傍の外周表面はメ
タライズされており、光ファイバスリーブ２とハンダ５
１により固定されている。キャップ３の上部の円筒状部
分の内径は光ファイバスリーブ２の外径よりも２００〜
３００μｍ大きく、光ファイバスリーブ２とキャップ３
の上部の円筒状部分とのすき間にハンダ５２を充填しつ
つ、光ファイバスリーブ２とキャップ３をハンダ付固定
する。

【０００４】次に組立手順を示す。ステム８とキャップ
３のつばの部分に加圧しながら大電流を流して、つばの
接触抵抗による加熱により溶接するプロジェクション溶
接により、ステム８とキャップ３を固定する。次に、光
ファイバ１をハンダ５１で固定した光ファイバスリーブ
２をキャップ３の上部の円筒状部分に挿入し、光ファイ
バ１と光半導体素子とが光学的に結合するように、すな
わち、光ファイバ１の出射光が光半導体素子７の受光面
に入射する。もしくは、光半導体素子７の出射光が光フ
ァイバ１に入射するように、光ファイバスリーブ２を上
下、左右、前後方向に移動させて調整する。その後、ハ
ンダ５２により、光ファイバスリーブ２とキャップ３を
固定する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の光半導体素子モ
ジュールは以上のように構成されているので、光ファイ
バスリーブ２とキャップ３のすき間が２００〜３００μ
ｍと大きく、また、光ファイバ１と光半導体素子７とを
光学的に結合するように光ファイバスリーブ２を移動さ
せて調整するために光ファイバスリーブ２がキャップ３
の上部の円筒状部分の中央に位置することがなく、光フ
ァイバスリーブ２とキャップ３の間のすき間のハンダ層
の厚さが均一とならない。このため、ハンダ５１，５２
が硬化する際に、ハンダの収縮により光ファイバスリー
ブ２が動いて光ファイバ１と光半導体素子７との光学的
な結合が劣化する。また、キャップ３や光ファイバスリ
ーブ２の熱膨張係数がハンダの熱膨張係数と整合してい
ないことによるハンダ層内の歪により、外部の温度変化
等により光ファイバと光半導体素子との光学的な結合が
劣化する等の課題があった。

【０００６】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、光ファイバスリーブの固定の際や
外部の温度変化等により、光ファイバと光半導体素子と
の光学的な結合が劣化しない光半導体素子モジュールを
得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は光ファイバを
固定した少なくとも外周が金属の光ファイバスリーブ
と、前記光ファイバスリーブの外径よりも大きい内径を
有する金属のスリーブホルダと、光半導体素子を固定し
たステムと、前記光ファイバと前記光半導体素子との間
に窓を有し、前記ステムに固定された金属のキャップと
を備え、（ａ）前記スリーブホルダに前記光ファイバス
リーブを挿入した状態で前記スリーブホルダおよび光フ
ァイバスリーブを前記光ファイバと前記光半導体素子が
光学的に結合するように移動調整する工程、（ｂ）前記
スリーブホルダの表面から前記光ファイバスリーブまで
を赤外線レーザにより溶接する工程、（ｃ）前記スリー
ブホルダを微調移動した後、前記スリーブホルダと前記
金属キャップとの接合部を赤外線レーザ溶接する工程の
順序で組立てる。

【０００８】また、この発明は光ファイバを固定した少
なくとも外周が金属の光ファイバスリーブと、前記光フ
ァイバスリーブの外径より大きい内径を有する金属のス
リーブホルダと、光半導体素子を固定したステムと、前
記光ファイバと前記光半導体素子との間に窓を有し、前
記ステムに固定された金属のキャップと、前記スリーブ
ホルダと前記キャップとの間に設けられ、レンズを保持
する金属のレンズホルダとを備え、（ａ）前記レンズホ
ルダとキャップとを溶接固定する工程、（ｂ）前記スリ
ーブホルダに前記光ファイバスリーブを挿入した状態で
前記スリーブホルダおよび光ファイバスリーブを前記光
ファイバと前記光半導体素子が前記レンズを介して光学
的に結合するように移動調整する工程、（ｃ）前記スリ
ーブホルダの表面から前記光ファイバスリーブまでを赤
外線レーザにより溶接する工程、（ｄ）前記スリーブホ
ルダを微調移動した後、前記スリーブホルダとレンズホ
ルダとの接合部を赤外線レーザにより溶接する工程の順
序で組立てる。

【０００９】この発明は、金属のスリーブホルダとし
て、内径が光ファイバスリーブの外径よりも２〜２０μ
ｍ大きいスリーブホルダを用いる。

【００１０】また、この発明は、金属のスリーブホルダ
として、溶接部の肉厚が０．３〜０．７ｍｍを有するス
リーブホルダを用いる。

【００１１】この発明は、光ファイバを固定した少なく
とも外周が金属の光ファイバスリーブと、前記光ファイ
バスリーブの外径よりも２〜２０μｍ大きい内径を有す
る金属のスリーブホルダと、光半導体素子を固定したス
テムと、前記光ファイバと前記光半導体素子との間に窓
を有し、前記ステムに固定された金属のキャップと、前
記スリーブホルダと前記キャップとの間に設けられ、レ
ンズを保持する金属のレンズホルダとを備え、（ａ）前
記スリーブホルダに前記光ファイバスリーブを挿入した
状態で前記スリーブホルダおよび光ファイバスリーブを
前記光ファイバと前記光半導体素子が光学的に結合する
ように移動調整する工程、（ｂ）前記スリーブホルダの
表面から前記光ファイバスリーブまでを赤外線レーザに
より溶接する工程、（ｃ）前記スリーブホルダを微調移
動した後、前記スリーブホルダと前記レンズホルダとの
接合部を赤外線レーザにより溶接する工程の順序で組立
てる。

【００１２】この発明は、光ファイバを固定した少なく
とも外周が金属の光ファイバスリーブと、前記光ファイ
バスリーブの外径よりも大きい内径を有し、上記光ファ
イバスリーブとの溶接部の肉厚が０．３〜０．７ｍｍの
金属のスリーブホルダと、光半導体素子を固定したステ
ムと、前記光ファイバと前記光半導体素子との間に窓を
有し、前記ステムに固定された金属のキャップと、前記
スリーブホルダと前記キャップとの間に設けられ、レン
ズを保持する金属のレンズホルダとを備え、（ａ）前記
スリーブホルダに前記光ファイバスリーブを挿入した状
態で前記スリーブホルダおよび光ファイバスリーブを前
記光ファイバと前記光半導体素子が光学的に結合するよ
うに移動調整する工程、（ｂ）前記スリーブホルダの表
面から前記光ファイバスリーブまでを赤外線レーザによ
り溶接する工程、（ｃ）前記スリーブホルダを微調移動
した後、前記スリーブホルダと前記レンズホルダとの接
合部を赤外線レーザにより溶接する工程の順序で組立て
る。

【００１３】

【作用】この発明は、光ファイバスリーブをスリーブホ
ルダに挿入した状態で光ファイバスリーブとスリーブホ
ルダを光ファイバと光半導体素子が光学的に結合するよ
うに移動調整した後、光ファイバスリーブとスリーブホ
ルダをスリーブホルダの表面から光ファイバスリーブま
でをＹＡＧレーザ等の赤外線レーザにより溶接する。そ
して、スリーブホルダと光ファイバスリーブとの溶接固
定時に生ずる若干のスリーブホルダと光ファイバスリー
ブの固定ずれによる光ファイバと光半導体素子の光結合
損失をスリーブホルダを微調することにより補正する。

【００１４】また、この発明は、レンズホルダと金属の
キャップとを溶接固定した後、光ファイバスリーブとス
リーブホルダを移動調整してスリーブホルダの表面から
光ファイバスリーブまでを赤外線レーザ溶接する。そし
てスリーブホルダを微調後、スリーブホルダとレンズホ
ルダとを赤外線レーザで溶接固定する。

【００１５】この発明は、スリーブホルダの内径が光フ
ァイバスリーブの外径よりも２〜２０μｍ大きいスリー
ブホルダを用いることによりスリーブホルダの表面から
光ファイバスリーブに到る赤外線レーザ溶接時において
生ずるスリーブホルダの変形による歪を小さくできると
ともに、スリーブホルダと光ファイバスリーブとの溶接
強度のばらつきを小さくすることができる。

【００１６】また、この発明は、スリーブホルダの溶接
部の肉厚を０．３〜０．７ｍｍに設定することによりス
リーブホルダの溶接部の機械的強度を維持でき、かつス
リーブホルダの表面から光ファイバスリーブまでの赤外
線レーザ溶接を容易に行うことができる。

【００１７】この発明は、光ファイバスリーブの外径よ
りも２〜２０μｍ大きい内径を有するスリーブホルダを
用いることにより溶接時におけるスリーブホルダの変形
による歪を小さくし、かつスリーブホルダと光ファイバ
スリーブとの溶接強度のばらつきを小さくする。

【００１８】また、この発明は、溶接部の肉厚が０．３
〜０．７ｍｍのスリーブホルダを用いることにより、ス
リーブホルダの溶接部の機械的強度を維持でき、また赤
外線レーザ溶接を容易に行うことができる。

【００１９】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１（ａ）はこの発明の光半導体素子モジュール
の断面図であり、図において、１２は光ファイバスリー
ブ、１３はセラミック製のチップ、１４はステンレス製
のパイプである。光ファイバスリーブ１２はチップ１３
のパイプ１４により構成されており、中心孔に光ファイ
バ１が接着剤により固定されている。光ファイバ１の先
端の端面は、鏡面となるように、光ファイバスリーブ１
２とともに研磨されている。１５はステンレス製のスリ
ーブホルダ、３１はロッドレンズ、３２はレンズホル
ダ、３３はネジ、４１はキャップ、４２はキャップの窓
ガラス、４３は窓ガラス４２をキャップ４１に気密封着
するための低融着ガラス、６１はＹＡＧレーザによる溶
接部である。なお、図において、前出のものと同一符号
のものは同一または相当部分を示すものとする。

【００２０】キャップ４１とステム８はプロジェクショ
ン溶接により固定されており、光半導体素子７はステム
８とキャップ４１、および、キャップの窓ガラス４２に
より気密封止されている。ロッドレンズ３１はレンズホ
ルダ３２にネジ３３を用いて固定されている。

【００２１】スリーブホルダ１５はレンズホルダ３２と
ほぼ同径の下部の円筒状部分とＹＡＧレーザ等の赤外線
レーザで光ファイバスリーブ１２と溶接する上部の円筒
状部分からなっている。スリーブホルダ１５の内径はス
リーブホルダ１５の中で光ファイバスリーブ１２が容易
に上下できること、および、すき間が大きい場合、溶接
時にスリーブホルダ１５が変形して歪が残りやすいこと
と溶接強度がばらつくために、光ファイバスリーブ１２
の外径よりも２〜２０μｍ大きい。スリーブホルダ１５
の上部の円筒状部分の肉厚は、上部の円筒状部分の機械
強度と溶接の容易性から０．３〜０．７ｍｍとなってい
る。

【００２２】ＹＡＧレーザによる溶接部６１は、スリー
ブホルダ１５の長さ方向（図においては上下方向）の途
中部分の２ヶ所に、左右２ケずつあり、この合計４点の
溶接部により光ファイバスリーブ１２とスリーブホルダ
１５は固定されている。ＹＡＧレーザによる溶接部６１
は、図に示すように、スリーブホルダ１５の外周表面か
ら光ファイバスリーブ１２に達するように形成されてい
る。

【００２３】次に組立手順を示す。光半導体素子７を固
定したステム８に窓ガラス４２が付いたキャップ４１を
プロジェクション溶接で固定する。ロッドレンズ３１を
ネジ３３で固定したレンズホルダ３２とキャップ４１と
の接合部をＹＡＧレーザによる溶接で固定する。次に、
スリーブホルダ１５に光ファイバスリーブ１２を挿入
し、スリーブホルダ１５および光ファイバスリーブ１２
を移動させて、光ファイバ１と光半導体素子７がロッド
レンズ３１を介して光学的に結合するように調整する。

【００２４】調整後、スリーブホルダ１５と光ファイバ
スリーブ１２を左右同時に、スリーブホルダ１５の長さ
方向の途中部分の２ヶ所を順次、ＹＡＧレーザによる溶
接で固定する。その後、再度、スリーブホルダ１５を数
μｍ移動させて微調した後、スリーブホルダ１５とレン
ズホルダ３２との接合部をＹＡＧレーザによる溶接で固
定する。

【００２５】スリーブホルダ１５と光ファイバスリーブ
１２のすき間は２〜２０μｍと小さいので、溶接時に光
ファイバスリーブ１２が動くことは極めて小さく、この
ため、光学的な結合の劣化は小さい。また、スリーブホ
ルダ１５と光ファイバスリーブ１２を固定した後、再
度、微調することができるので、ＹＡＧレーザによる固
定前の調整時の光ファイバ１の位置がＹＡＧレーザによ
る固定時に数μｍ変位することによる最適な光学的な結
合からのズレを補正でき、固定前の最適な光学的な結合
を再び得ることができる。例えば、図１（ｂ）は、レン
ズの光軸と直交する方向の光ファイバ１の位置と光ファ
イバ１の光出力の関係を示す一例であり、図中より、例
えばＹＡＧレーザによる固定時に光ファイバ１の位置が
レンズ光軸と直交方向に３μｍズレた場合、光ファイバ
１の光出は１．３ｄＢ劣化する。このため、スリーブホ
ルダ１５と光ファイバスリーブ１２を固定した後、再
度、微調整し、固定前の最適な光学的な結合を再び得る
ことが重要である。なお、レンズの光軸方向での光ファ
イバ１の位置と光ファイバ１の光出力の関係は、レンズ
光軸と直交方向に比べ、１０倍以上緩く、数μｍの変位
では問題となることはない。スリーブホルダ１５と光フ
ァイバスリーブ１２の溶接部は、スリーブホルダ１５の
長さ方向の途中部分の２ヶ所に設けられており、また、
スリーブホルダ１５と光ファイバスリーブ１２が強固に
溶接されている。

【００２６】さらに、スリーブホルダ１５と光ファイバ
スリーブ１２のすき間が小さいので、スリーブホルダ１
５および溶接部６１に歪が残り難い。これらのため、外
部の温度変化等に対しても光ファイバスリーブ１２を安
定して固定でき、光ファイバ１と光半導体素子７の光学
的な結合が劣化することがない。

【００２７】なお、スリーブホルダ１５と光ファイバス
リーブ１２のＹＡＧレーザによる溶接部６１の上下方向
の位置の許容誤差は大きく、作業性は良い。また、上記
実施例では、スリーブホルダと光ファイバスリーブの溶
接部はスリーブホルダの長さ方向の途中部分の２ヶ所に
各々２ケであったが、途中部分の１ヶ所につき各々３ヶ
以上でも良く、また、途中部分の３ヶ所に設けられても
良い。

【００２８】さらに、上記実施例ではレンズおよびその
レンズホルダを有するものを例に上げて説明したが、レ
ンズおよびそのレンズホルダを有しないものでもこの発
明は適用できるものである。

【００２９】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、スリ
ーブホルダと光ファイバスリーブをスリーブホルダの表
面から光ファイバスリーブまでを赤外線レーザによる溶
接で固定したので、光ファイバスリーブの固定の際や外
部の温度変化等により、光ファイバと光半導体素子との
光学的な結合が劣化しにくいものが得られる効果があ
る。

【００３０】また、この発明は、スリーブホルダの内径
が光ファイバスリーブの外径よりも２〜２０μｍ大きい
スリーブホルダを用いるので、スリーブホルダの表面か
ら光ファイバスリーブに到る赤外線レーザ溶接時におい
て生ずるスリーブホルダの変形による歪を小さくできる
とともに、スリーブホルダと光ファイバスリーブとの溶
接強度のばらつきを小さくすることができる。

【００３１】この発明は、スリーブホルダの溶接部の肉
厚を０．３〜０．７ｍｍに設定したスリーブホルダを用
いるので、スリーブホルダの溶接部の機械的強度を維持
でき、かつスリーブホルダの表面から光ファイバスリー
ブまでの赤外線レーザ溶接を容易に行うことができる。

【００３２】また、この発明は、スリーブホルダと光フ
ァイバスリーブをスリーブホルダの表面から光ファイバ
スリーブまでを赤外線レーザにより溶接固定した後、再
度スリーブホルダを微調するので、スリーブホルダと光
ファイバスリーブとの溶接固定時に生ずる若干のスリー
ブホルダと光ファイバスリーブの固定ずれによる光ファ
イバと光半導体素子の光結合損失を、上記スリーブホル
ダを微調することにより補正し、最適な光結合を再度得
ることができる。

【００３３】この発明は、スリーブホルダおよび光ファ
イバスリーブをステンレスで構成したので、加工性、溶
接性が良く、さびにくいという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例による光半導体素子モジュ
ールを示す断面図である。

【図２】従来の光半導体素子モジュールを示す断面図
である。

【符号の説明】

１光ファイバ、７光半導体素子、１２光ファイバ
スリーブ、１５スリーブホルダ、６１溶接部。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ファイバを固定した少なくとも外周が
金属の光ファイバスリーブと、前記光ファイバスリーブ
の外径よりも大きい内径を有する金属のスリーブホルダ
と、光半導体素子を固定したステムと、前記光ファイバ
と前記光半導体素子との間に窓を有し、前記ステムに固
定された金属のキャップとを備え、（ａ）前記スリーブ
ホルダに前記光ファイバスリーブを挿入した状態で前記
スリーブホルダおよび光ファイバスリーブを前記光ファ
イバと前記光半導体素子が光学的に結合するように移動
調整する工程、（ｂ）前記スリーブホルダの表面から前
記光ファイバスリーブまでを赤外線レーザにより溶接す
る工程、（ｃ）前記スリーブホルダを微調移動した後、
前記スリーブホルダと前記金属キャップとの接合部を赤
外線レーザ溶接する工程の順序で組立てることを特徴と
する光半導体素子モジュールの組立方法。
【請求項２】光ファイバを固定した少なくとも外周が
金属の光ファイバスリーブと、前記光ファイバスリーブ
の外径より大きい内径を有する金属のスリーブホルダ
と、光半導体素子を固定したステムと、前記光ファイバ
と前記光半導体素子との間に窓を有し、前記ステムに固
定された金属のキャップと、前記スリーブホルダと前記
キャップとの間に設けられ、レンズを保持する金属のレ
ンズホルダとを備え、（ａ）前記レンズホルダとキャッ
プとを溶接固定する工程、（ｂ）前記スリーブホルダに
前記光ファイバスリーブを挿入した状態で前記スリーブ
ホルダおよび光ファイバスリーブを前記光ファイバと前
記光半導体素子が前記レンズを介して光学的に結合する
ように移動調整する工程、（ｃ）前記スリーブホルダの
表面から前記光ファイバスリーブまでを赤外線レーザに
より溶接する工程、（ｄ）前記スリーブホルダを微調移
動した後、前記スリーブホルダとレンズホルダとの接合
部を赤外線レーザにより溶接する工程、の順序で組立て
ることを特徴とする光半導体素子モジュールの組立方
法。
【請求項３】金属のスリーブホルダの内径は光ファイ
バスリーブの外径よりも２〜２０μｍ大きいことを特徴
とする請求項１または２記載の光半導体素子モジュール
の組立方法。
【請求項４】金属のスリーブホルダの光ファイバスリ
ーブとの溶接部の肉厚が０．３〜０．７ｍｍであること
を特徴とする請求項１または２記載の光半導体素子モジ
ュールの組立方法。
【請求項５】光ファイバを固定した少なくとも外周が
金属の光ファイバスリーブと、前記光ファイバスリーブ
の外径よりも２〜２０μｍ大きい内径を有する金属のス
リーブホルダと、光半導体素子を固定したステムと、前
記光ファイバと前記光半導体素子との間に窓を有し、前
記ステムに固定された金属のキャップと、前記スリーブ
ホルダと前記キャップとの間に設けられ、レンズを保持
する金属のレンズホルダとを備え、（ａ）前記スリーブ
ホルダに前記光ファイバスリーブを挿入した状態で前記
スリーブホルダおよび光ファイバスリーブを前記光ファ
イバと前記光半導体素子が前記レンズを介して光学的に
結合するように移動調整する工程、（ｂ）前記スリーブ
ホルダの表面から前記光ファイバスリーブまでを赤外線
レーザにより溶接する工程、（ｃ）前記スリーブホルダ
を微調移動した後、前記スリーブホルダと前記レンズホ
ルダとの接合部を赤外線レーザにより溶接する工程の順
序で組立てることを特徴とする光半導体素子モジュール
の組立方法。
【請求項６】光ファイバを固定した少なくとも外周が
金属の光ファイバスリーブと、前記光ファイバスリーブ
の外径よりも大きい内径を有し、上記光ファイバスリー
ブとの溶接部の肉厚が０．３〜０．７ｍｍの金属のスリ
ーブホルダと、光半導体素子を固定したステムと、前記
光ファイバと前記光半導体素子との間に窓を有し、前記
ステムに固定された金属のキャップと、前記スリーブホ
ルダと前記キャップとの間に設けられ、レンズを保持す
る金属のレンズホルダとを備え、（ａ）前記スリーブホ
ルダに前記光ファイバスリーブを挿入した状態で前記ス
リーブホルダおよび光ファイバスリーブを前記光ファイ
バと前記光半導体素子が前記レンズを介して光学的に結
合するように移動調整する工程、（ｂ）前記スリーブホ
ルダの表面から前記光ファイバスリーブまでを赤外線レ
ーザにより溶接する工程、（ｃ）前記スリーブホルダを
微調移動した後、前記スリーブホルダと前記レンズホル
ダとの接合部を赤外線レーザにより溶接する工程の順序
で組立てることを特徴とする光半導体素子モジュールの
組立方法。
【請求項７】スリーブホルダおよび光ファイバスリー
ブはステンレスで構成されていることを特徴とする請求
項１〜６いずれか記載の光半導体素子モジュールの組立
方法。