JPH02293805A - 光半導体モジュール - Google Patents
光半導体モジュールInfo
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- JPH02293805A JPH02293805A JP11632789A JP11632789A JPH02293805A JP H02293805 A JPH02293805 A JP H02293805A JP 11632789 A JP11632789 A JP 11632789A JP 11632789 A JP11632789 A JP 11632789A JP H02293805 A JPH02293805 A JP H02293805A
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- optical semiconductor
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
Landscapes
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- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光半導体モジュールに関し、特にリセブタクル
型光半導体モジュールに関する。
型光半導体モジュールに関する。
リセブタクル型光半導体モジュールは、光コネクタフェ
ルール端面のファイバ端面と光半導体素子面とをレンズ
を用い結像位置関係で結合するものである.したがって
、組立時において最適結合調整ができる構造のものが要
求される。従来の一般的リセプタクル型光半導体モジュ
ールは、X.Y,Z方向に調整できる光半導体素子を挿
入するホルダを使用し調整するが、あるいは光半導体素
子を搭載したステムをX,Y方向に調整し、Z方向の調
整はレンズを移動させてそれぞれを固定する方法がとら
れていた。また、この時の固定には、光半導体素子のマ
ウントが移動しないように光半導体素子マウント時の半
田よりも低い温度の半田が使用されていた。
ルール端面のファイバ端面と光半導体素子面とをレンズ
を用い結像位置関係で結合するものである.したがって
、組立時において最適結合調整ができる構造のものが要
求される。従来の一般的リセプタクル型光半導体モジュ
ールは、X.Y,Z方向に調整できる光半導体素子を挿
入するホルダを使用し調整するが、あるいは光半導体素
子を搭載したステムをX,Y方向に調整し、Z方向の調
整はレンズを移動させてそれぞれを固定する方法がとら
れていた。また、この時の固定には、光半導体素子のマ
ウントが移動しないように光半導体素子マウント時の半
田よりも低い温度の半田が使用されていた。
上述した従来のりセプタクル型光半導体モジュールの組
立においては、光半導体素子とレンズとの間でx,y,
z方向に移動させ調整し固定する構造のため、固定時で
の位置精度および位置ズレはファイバ結像面の位置ズレ
として結像倍率Mで拡大されることになり、高精度が要
求されるという欠点がある。例えば、シングルモードフ
ァイバ用半導体レーザモジュールの場合では、最大結合
効率を得る結像倍率は約4倍である。したがって、従来
方法でのトレランスは、レンズとファイバ間調整でのト
レランスのXY方向でl/M,Z方向で1/M2となる
.最適結合時の10%低下での半導体レーザ固定精度は
XY方向で約0.6μm.Z方向で10〜20μmであ
り、非常にきびしい精度が必要とされるという間超があ
る.〔課題を解決するための手段〕 本発明の光半導体モジュールは、一端に光半導体素子を
固着したステムが固定され他端に光を収束するレンズが
固定されたレンズホルダと、光コネクタが嵌合挿入され
るフエルールホルダが内部に固定されたリセプタクルホ
ルダとを、前記レンズホルダの外径が嵌合し光軸方向に
摺動可能な接合面と前記リセプタクルホルダの端面で光
軸に垂直方向に摺動可能な接合面とを有するスライドリ
ングを介して固定したことを特徴とする。
立においては、光半導体素子とレンズとの間でx,y,
z方向に移動させ調整し固定する構造のため、固定時で
の位置精度および位置ズレはファイバ結像面の位置ズレ
として結像倍率Mで拡大されることになり、高精度が要
求されるという欠点がある。例えば、シングルモードフ
ァイバ用半導体レーザモジュールの場合では、最大結合
効率を得る結像倍率は約4倍である。したがって、従来
方法でのトレランスは、レンズとファイバ間調整でのト
レランスのXY方向でl/M,Z方向で1/M2となる
.最適結合時の10%低下での半導体レーザ固定精度は
XY方向で約0.6μm.Z方向で10〜20μmであ
り、非常にきびしい精度が必要とされるという間超があ
る.〔課題を解決するための手段〕 本発明の光半導体モジュールは、一端に光半導体素子を
固着したステムが固定され他端に光を収束するレンズが
固定されたレンズホルダと、光コネクタが嵌合挿入され
るフエルールホルダが内部に固定されたリセプタクルホ
ルダとを、前記レンズホルダの外径が嵌合し光軸方向に
摺動可能な接合面と前記リセプタクルホルダの端面で光
軸に垂直方向に摺動可能な接合面とを有するスライドリ
ングを介して固定したことを特徴とする。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。第1図
は本発明の第1の実施例を示すリセプタクル型光半導体
素子モジュールの断面図である。同図において、1は光
半導体素子、2は光半導体素子搭載ステム、3はロッド
レンズ、4はレンズホルダ、5はスライドリング、6は
リセプタクルホルダ、7はリセプタクルホルダのフェル
ールホルダ、8はリセプタクルホルダ固定のリングネジ
、9はステム嵌合面、10はレンズホルダの嵌合摺動面
、11はリセプタクル端面の摺動面、12は光ファイバ
フエルールの挿入穴、13は光コネクタ接続ネジである
。レンズホルダ4は前以ってロッドレンズ3が例えばA
u−Sn半田でロー付けされている。このレンズホルダ
4のステム嵌合部に光半導体素子1を搭載しキャップ封
止されたステム2を嵌合挿入させて、レンズホルダ4の
端面からステムとの境界部を円周上に例えば半田リング
等で加熱し溶かして固定する。次に光半導体素子1が例
えば半導体レーザの場合は、素子を発光させながらフェ
ルールホ゛ルダ7を嵌合挿入しリングネジ8で固定した
りセブタクルホルダ6に光コネクタを接続してファイバ
からの出力が最大になるようにスライドリング5を介し
、レンズホルダ端面に押し付けた状態でリセプタクルホ
ルダ6を光軸に対し垂直方向にX−Y移動させ調整を行
う。このようにして最適結合位置の状態で初めにレンズ
ホルダ4とスライドリング5の接合円周上に例えば半田
あるいは樹脂等で固定した後、さらに、リセプタクルホ
ルダ6を再度X−Y方向に調整し、ピークの位置でスラ
イドリングとリセプタクルホルダ6とを例えば半田ある
いは樹脂等で固定することでリセブタクル型半導体レー
ザモジュールが完成する。
は本発明の第1の実施例を示すリセプタクル型光半導体
素子モジュールの断面図である。同図において、1は光
半導体素子、2は光半導体素子搭載ステム、3はロッド
レンズ、4はレンズホルダ、5はスライドリング、6は
リセプタクルホルダ、7はリセプタクルホルダのフェル
ールホルダ、8はリセプタクルホルダ固定のリングネジ
、9はステム嵌合面、10はレンズホルダの嵌合摺動面
、11はリセプタクル端面の摺動面、12は光ファイバ
フエルールの挿入穴、13は光コネクタ接続ネジである
。レンズホルダ4は前以ってロッドレンズ3が例えばA
u−Sn半田でロー付けされている。このレンズホルダ
4のステム嵌合部に光半導体素子1を搭載しキャップ封
止されたステム2を嵌合挿入させて、レンズホルダ4の
端面からステムとの境界部を円周上に例えば半田リング
等で加熱し溶かして固定する。次に光半導体素子1が例
えば半導体レーザの場合は、素子を発光させながらフェ
ルールホ゛ルダ7を嵌合挿入しリングネジ8で固定した
りセブタクルホルダ6に光コネクタを接続してファイバ
からの出力が最大になるようにスライドリング5を介し
、レンズホルダ端面に押し付けた状態でリセプタクルホ
ルダ6を光軸に対し垂直方向にX−Y移動させ調整を行
う。このようにして最適結合位置の状態で初めにレンズ
ホルダ4とスライドリング5の接合円周上に例えば半田
あるいは樹脂等で固定した後、さらに、リセプタクルホ
ルダ6を再度X−Y方向に調整し、ピークの位置でスラ
イドリングとリセプタクルホルダ6とを例えば半田ある
いは樹脂等で固定することでリセブタクル型半導体レー
ザモジュールが完成する。
受光素子モジュールの場合は、フエルールホルダ7を嵌
合挿入してリングネジ8で固定したリセプタクルホルダ
4に光源を接続した光コネクタを接続し、受光素子の端
子出力を見ながら、発光素子の場合と同様にx−y−z
方向を調整し同じ原序で固定する。
合挿入してリングネジ8で固定したリセプタクルホルダ
4に光源を接続した光コネクタを接続し、受光素子の端
子出力を見ながら、発光素子の場合と同様にx−y−z
方向を調整し同じ原序で固定する。
なお、リセプタクルホルダ4にフェルールホルダ7を嵌
合挿入しリングネジ8で締付け固定した後リングネジ部
をYAGレーザでねじ部を解がし固定すればより強固と
なる。
合挿入しリングネジ8で締付け固定した後リングネジ部
をYAGレーザでねじ部を解がし固定すればより強固と
なる。
第2図は本発明の第2の実施例の断面図で、第1の本実
施例での固定方法にYAGレーザ溶接を施したものであ
る.15はステム固定のYAGレーザ溶接ポイント、1
6はレンズホルダのYAGレーザ溶接ポイント、17は
リセプタクルホルダのYAG溶接ポイントで、それぞれ
のYAG溶接固定では、境界部の円周上を少なくとも3
ポイント以上を溶接固定する. この実施例では固定をYAGレーザ溶接で行うため、位
置調整後短時間で固定することができ、また、接合部の
材質を直接溶かし、がつスポット的に固定することがで
きることにより接合部のクリープが小さく、強度の強い
固定が得られる。したがって、x−y−z調整機構が簡
単になり、取扱いも容易であるという利点がある。
施例での固定方法にYAGレーザ溶接を施したものであ
る.15はステム固定のYAGレーザ溶接ポイント、1
6はレンズホルダのYAGレーザ溶接ポイント、17は
リセプタクルホルダのYAG溶接ポイントで、それぞれ
のYAG溶接固定では、境界部の円周上を少なくとも3
ポイント以上を溶接固定する. この実施例では固定をYAGレーザ溶接で行うため、位
置調整後短時間で固定することができ、また、接合部の
材質を直接溶かし、がつスポット的に固定することがで
きることにより接合部のクリープが小さく、強度の強い
固定が得られる。したがって、x−y−z調整機構が簡
単になり、取扱いも容易であるという利点がある。
なお、本発明により、高精度の位置精度が要求されるシ
ングルモードファイバ対応の半導体レーザモジュールを
製作した結果、X−Y方向のトレランスハ約±2.5μ
m.Z方向のトレランスは約±50μmであり、従来方
法と比較し、XY方向で4倍、Z方向で16倍の固定精
度が緩和され、ピーク時の10%程度の変動で容易にモ
ジュールを製作することができた。
ングルモードファイバ対応の半導体レーザモジュールを
製作した結果、X−Y方向のトレランスハ約±2.5μ
m.Z方向のトレランスは約±50μmであり、従来方
法と比較し、XY方向で4倍、Z方向で16倍の固定精
度が緩和され、ピーク時の10%程度の変動で容易にモ
ジュールを製作することができた。
以上説明したように本発明は、光ず導体素子とレンズと
を一体化し、レンズホルダの外形に摺動可能な穴を有す
るスライドリングを介してリセプタクルホルダに固定す
る構造のため、組立時における結合調整のX−Y−Z調
整がレンズとファイバ間との比較的トレランスの広いと
ころで行うことができる。また固定方法に固定時での変
動及び経時変化の小さいYAGレーザ溶接を用いること
により、接合損失が小さく、信頼性の高いリセプタクル
型光半導体モジュールを製作することができる。
を一体化し、レンズホルダの外形に摺動可能な穴を有す
るスライドリングを介してリセプタクルホルダに固定す
る構造のため、組立時における結合調整のX−Y−Z調
整がレンズとファイバ間との比較的トレランスの広いと
ころで行うことができる。また固定方法に固定時での変
動及び経時変化の小さいYAGレーザ溶接を用いること
により、接合損失が小さく、信頼性の高いリセプタクル
型光半導体モジュールを製作することができる。
第1図は本発明の第1の実施例のりセブタクル型光半導
体素子モジュールの断面図、第2図は本発明の第2の実
施例であり、第1の実施例での固定方法にYAGレーザ
溶接を施した場合のりセブタクル型光半導体素子モジュ
ールの断面図である。 1・・・光半導体素子、2・・・光半導体素子搭載ステ
ム、3・・・ロッドレンズ、4・・・レンズホルダ、5
・・・スライドリング、6・・・光コネクタ接続のりセ
ブタクルホルダ、7・・・光コネクタ接続のフエルール
ホルダ、8・・・リングネジ、9・・・ステムの嵌合面
、10・・・レンズホルダの嵌合摺動面、11・・リセ
プタクルホルダの摺動面、12・・・穴、13・・・ネ
ジ、15,16.17・・・溶接ポイント。
体素子モジュールの断面図、第2図は本発明の第2の実
施例であり、第1の実施例での固定方法にYAGレーザ
溶接を施した場合のりセブタクル型光半導体素子モジュ
ールの断面図である。 1・・・光半導体素子、2・・・光半導体素子搭載ステ
ム、3・・・ロッドレンズ、4・・・レンズホルダ、5
・・・スライドリング、6・・・光コネクタ接続のりセ
ブタクルホルダ、7・・・光コネクタ接続のフエルール
ホルダ、8・・・リングネジ、9・・・ステムの嵌合面
、10・・・レンズホルダの嵌合摺動面、11・・リセ
プタクルホルダの摺動面、12・・・穴、13・・・ネ
ジ、15,16.17・・・溶接ポイント。
Claims (1)
- 一端に光半導体素子を固着したステムが固定され他端に
光を収束するレンズが固定されたレンズホルダと、光コ
ネクタが嵌合挿入されるフェルールホルダが内部に固定
されたリセプタクルホルダとを、前記レンズホルダの外
径が嵌合し光軸方向に摺動可能な接合面と前記リセプタ
クルホルダの端面で光軸に垂直方向に摺動可能な接合面
とを有するスライドリングを介して固定したことを特徴
とする光半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11632789A JPH02293805A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 光半導体モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11632789A JPH02293805A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 光半導体モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02293805A true JPH02293805A (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=14684230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11632789A Pending JPH02293805A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 光半導体モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02293805A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03100607A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-25 | Hommelwerke Gmbh | レーザ、ダイオード等と導光性フアイバ又はこの種のフアイバ相互を結合させる装置 |
JP2019046882A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | シャープ株式会社 | 光源装置およびその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6120911A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子と光フアイバの結合装置 |
JPS6120912A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子と光フアイバの結合装置 |
JPS63223609A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | レ−ザダイオ−ド光源装置 |
-
1989
- 1989-05-09 JP JP11632789A patent/JPH02293805A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6120911A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子と光フアイバの結合装置 |
JPS6120912A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子と光フアイバの結合装置 |
JPS63223609A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | レ−ザダイオ−ド光源装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03100607A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-25 | Hommelwerke Gmbh | レーザ、ダイオード等と導光性フアイバ又はこの種のフアイバ相互を結合させる装置 |
JP2019046882A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | シャープ株式会社 | 光源装置およびその製造方法 |
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