JPH0731520Y2 - 高周波多重極線形加速器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本考案は高周波多重極線形加速器（以下RFQという）に
関する。RFQは材料研究，医療研究あるいは半導体製造
（イオン注入）等に利用される。

（ロ） 従来の技術 例えば特開昭61-107700号公報に示されているが，従来
のRFQは第３図にその断面を示すように，円筒状の加速
空洞管100の内部に粒子加速用電極101を複数（通常２
組）設け，空洞管100の中心軸102に沿って，加速される
べき粒子が進むようになっている。中心軸102に対向す
る電極101の先端部103は精密に位置決めされる必要があ
るため，電極101の空洞管内壁104に沿った部分105,106
と内壁104の間に弾性管107,108を入れ，電極101を空洞
管100に締付け結合するボルト109,110の締付け具合を変
えて，電極101を微動できるようになっている。

一方，空洞管100の外側は多数のジャケット111が空洞管
100に溶接して設けられており，ジャケット111の内部に
は冷却水が通っている。これはRFQが作動中発熱し，こ
れを冷却する必要があるからである。ジャケット111は
空洞管100の外壁に沿って，ボルト109,110の周囲を除く
全域を被うように多数設けられ，各ジャケットには給排
水用配管（図示せず）がされている。

（ハ） 解決しようとする問題点 上述のような従来の構造では，冷却能力が低く，配管や
ジャケット付設の構造が複雑であるうえ，電極101の位
置の調整作業が難しいという問題点があった。

（ニ） 問題点を解決するための手段 本考案では，空洞管を二重管として，この二重管の内側
管と外側管の間隙に冷却水を通すとともに，空洞管の内
部に連がる筒状のフランジを設けてこのフランジの外側
端縁に位置調整用シムを介して加速用電極をボルト等で
締付け結合した。

（ホ） 作用 冷却水が空洞管壁やフランジの壁に接する面積が大きく
冷却能力が優れており，配管が簡単である。また，電極
の位置調整が外側でできるので，作業が楽になる。

（ヘ） 実施例 第１図は本考案の一実施例の断面図である。円筒状の加
速空洞管１は二重管になっており,2はその内側管,3は外
側管である。４は円筒状のフランジで,5はその中心軸を
示す。６は加速用電極で，固定ブロック７とネジ20,21
で結合され，固定ブロック７はフランジ４を通って空洞
管１の外側に達し，フランジ４の外側端縁８に位置調整
用のシム９を介してネジ10,11にて締付け結合されてい
る。電極６の内側管２に沿った部分には弾性管12,13が
入れられており，ネジ10,11の締付とこの弾性管の歪み
によって電極６と内側管２の内面との電気的接触を保っ
ている。

二重管の間隙14には図示しない給排水管により冷却水が
通されている。

第２図は内側管２と二重管間隙の外観図（説明図）で，
フランジ４に接する穴は省略されているが，二重管の間
隙にはしきり板16がらせん状に設けてあり，冷却水はこ
のしきり板16に沿って間隙内をらせん状に流れ，冷却効
率を高めている。

（ト） 効果 本考案のRFQは冷却部の構造が簡単でかつ冷却能力が良
いため，製造が容易になる。また電極の位置の調整が楽
になり，運転の効率が向上するという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図，第２図は冷却
水の流れを示す説明図，第３図は従来のRFQの構造を示
す断面図である。 １……加速空洞管、４……フランジ ６……加速用電極、10,11……ネジ 12,13……弾性管

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】内筒状の加速空洞管と、この加速空洞管内
   に設けられ、電極端とは反対側に伸長したブロック部を
   有する複数の粒子加速用電極を備えた高周波多重曲線加
   速器において、 前記加速空洞管を二重管として、この二重管の間隙に冷
   却水を通すとともに、前記加速空洞管の内部に連がる筒
   状のフランジを設け、このフランジの外側端縁に位置調
   整用シムを介して前記粒子加速用電極のブロック部の端
   部を締め付け結合することにより、前記粒子加速用電極
   を前記加速空洞管に結合したことを特徴とする高周波多
   重極線形加速器。