JPS5834600A - 高周波四重極線形加速器 - Google Patents
高周波四重極線形加速器Info
- Publication number
- JPS5834600A JPS5834600A JP13213081A JP13213081A JPS5834600A JP S5834600 A JPS5834600 A JP S5834600A JP 13213081 A JP13213081 A JP 13213081A JP 13213081 A JP13213081 A JP 13213081A JP S5834600 A JPS5834600 A JP S5834600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cavity
- electrode
- flange
- attached
- linear accelerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発明は例えば材料照射研究や医療研究に用いられる高
周波四重極線形加速器に関する。
周波四重極線形加速器に関する。
爾周波四重極線形加速器（以下、ＲＦＱと呼ぶ）の主要
構造を第１図に示す。これは円筒形状の空洞（１）と、
この内面に９０°Ｉ１１きに配置され、空洞中心方向先
端が軸方向に波形曲面をした４枚の電極（２）とからな
る。加速されるべき粒子（ｅ）（以下、加速粒子と呼ぶ
）は空洞（２）の中心部の軸方向に入射される。
構造を第１図に示す。これは円筒形状の空洞（１）と、
この内面に９０°Ｉ１１きに配置され、空洞中心方向先
端が軸方向に波形曲面をした４枚の電極（２）とからな
る。加速されるべき粒子（ｅ）（以下、加速粒子と呼ぶ
）は空洞（２）の中心部の軸方向に入射される。
第１図の軸方向に垂直な断面を第２図に示す。
４枚の電極（２）が、空洞（１）の中心部に四重極電場
田）を発生させ、しかも電極（２）の形状が軸方向に波
形になっているため軸方向の電場も同時に発生する。
田）を発生させ、しかも電極（２）の形状が軸方向に波
形になっているため軸方向の電場も同時に発生する。
加速粒子＋６）は、四重極電場（４）によって収束し、
軸方向の電場によって加速される。これらの電場は製作
幅差に非常（二敏感に乱れる。その上、電極（２）Ｏ関
に真空中でｌＳ−３ｏＫｖ／ｓＩといった高電圧をかけ
るため、製作精度によっては放電限界を越えてしまう危
険性がある。従って、電極（２）の曲面形状を精度良く
加工することばかりでなく、電極（２）相互の位置関係
を精度良く組立てることが重要である。
軸方向の電場によって加速される。これらの電場は製作
幅差に非常（二敏感に乱れる。その上、電極（２）Ｏ関
に真空中でｌＳ−３ｏＫｖ／ｓＩといった高電圧をかけ
るため、製作精度によっては放電限界を越えてしまう危
険性がある。従って、電極（２）の曲面形状を精度良く
加工することばかりでなく、電極（２）相互の位置関係
を精度良く組立てることが重要である。
さらに、第２図に示すように、高周波電ｆｉ（ｉ）が電
１ｍ （２）の表面から空洞（１）の内面（表皮深さ１
〜１０μ程度）に流れるため、電極（２）と空洞（１）
の電気的接触を確保しなければならない。
１ｍ （２）の表面から空洞（１）の内面（表皮深さ１
〜１０μ程度）に流れるため、電極（２）と空洞（１）
の電気的接触を確保しなければならない。
従来ＯＲＦＱにおいて、高周波接触を確保しながら、電
極（２）を空洞（１）に取付ける構造は、第３図に示す
如くである。これは、空洞（１）０内面に電極ベース（
３）をろう何面（４）において銀ろう付する。その後、
加工面（５）において、電極ベースを中ぐ９加工する。
極（２）を空洞（１）に取付ける構造は、第３図に示す
如くである。これは、空洞（１）０内面に電極ベース（
３）をろう何面（４）において銀ろう付する。その後、
加工面（５）において、電極ベースを中ぐ９加工する。
電４１ｉ （２）はボルト（６）によって電極ベース（
３）に取付けられる。
３）に取付けられる。
第３図の構造では、空洞（１）と電極ベース（３）との
間は銀ろう付１ｉ１（４）で、電極ベース（３）と電極
（２）の間はエツジコンタクト部（７）で電気的接触を
確保している。しかし、エラジーンタクト部（７）のつ
ぶれ方が不均一にな９やすいため、電極（２）相互の位
置関係を精度良く組立てる仁とが困難であった。しかも
、電極（２）相互の位置関係（測定できる基準点がない
ため、空洞（１）の中心部０電場な′測定しなければ、
組立の成否が判定できなかった。さらに、空洞（１）、
電極ベース（３）は、電気抵抗を減するために銅および
銅コーテイングした材料が用いられるが、銅の酸化防止
のため、真空中にて銀ろう付を行なわなくてはならない
。真空銀ろう付装置は一般に小形のもＯでも珍らしく、
１ｍを超える大形の製品に銀ろう付を行なうことは極め
て困難である。
間は銀ろう付１ｉ１（４）で、電極ベース（３）と電極
（２）の間はエツジコンタクト部（７）で電気的接触を
確保している。しかし、エラジーンタクト部（７）のつ
ぶれ方が不均一にな９やすいため、電極（２）相互の位
置関係を精度良く組立てる仁とが困難であった。しかも
、電極（２）相互の位置関係（測定できる基準点がない
ため、空洞（１）の中心部０電場な′測定しなければ、
組立の成否が判定できなかった。さらに、空洞（１）、
電極ベース（３）は、電気抵抗を減するために銅および
銅コーテイングした材料が用いられるが、銅の酸化防止
のため、真空中にて銀ろう付を行なわなくてはならない
。真空銀ろう付装置は一般に小形のもＯでも珍らしく、
１ｍを超える大形の製品に銀ろう付を行なうことは極め
て困難である。
本発明は、真空銀ろう付のような特殊な作業を行なわず
、しかも空洞（１）と電極（２）の高周波接触を確保し
ながら、電極（２）相互の位置関係を精度良く組立て、
さらしその位置関係を測定し得る、ＲＦＱを提供するこ
とを目的とする。
、しかも空洞（１）と電極（２）の高周波接触を確保し
ながら、電極（２）相互の位置関係を精度良く組立て、
さらしその位置関係を測定し得る、ＲＦＱを提供するこ
とを目的とする。
以下、本発明の一実施例について、第４図ないし第７図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
これらの図において、（ｌ）は空洞、（Ｉｍ）は７ラン
ジ取付座、（１ｂ）は穴、（２）は電極、（８）は電極
（２）を空洞（１）に取付けるための突部（８ａ）と７
リング部（８ｂ）から成る断面凸字状で突部（８１）端
部、７リング部（８ｂ）歯接面に調整削ｐ代を有する固
定フランジである。突部（８１）は穴（ｌｂ）に遊挿す
る。（９）は電極（２）と同定７ランジ（８）の取付は
ボルト、顛は固定７２ンジ（８）と空洞（１）の取付は
ボルトであ夕、収りは電極（２）と固定７ランジ（８）
の位置を決める第１の位置決めビン、ａ湯は固定７ラン
ジ（８）と空洞（１）の関係位置を決めるｊ１２の位置
決めピンである。ａｓは端部の電場調整に用い、各電極
（２）の端部にボルト （図示せず）で取付ける台形状
の端部調整電極であり、Ｉも同じく端部電場調整に用い
、マイクロメータ４二よって位置調整ができるエンドチ
ューナで１）、（ハ）はエンド７ランジである。
ジ取付座、（１ｂ）は穴、（２）は電極、（８）は電極
（２）を空洞（１）に取付けるための突部（８ａ）と７
リング部（８ｂ）から成る断面凸字状で突部（８１）端
部、７リング部（８ｂ）歯接面に調整削ｐ代を有する固
定フランジである。突部（８１）は穴（ｌｂ）に遊挿す
る。（９）は電極（２）と同定７ランジ（８）の取付は
ボルト、顛は固定７２ンジ（８）と空洞（１）の取付は
ボルトであ夕、収りは電極（２）と固定７ランジ（８）
の位置を決める第１の位置決めビン、ａ湯は固定７ラン
ジ（８）と空洞（１）の関係位置を決めるｊ１２の位置
決めピンである。ａｓは端部の電場調整に用い、各電極
（２）の端部にボルト （図示せず）で取付ける台形状
の端部調整電極であり、Ｉも同じく端部電場調整に用い
、マイクロメータ４二よって位置調整ができるエンドチ
ューナで１）、（ハ）はエンド７ランジである。
ｓ５図は第４図の半部断面下面図、ｓ６図は第５図の要
部拡大図である。（ＩＱは電極（２）と空洞（１）との
電気的接触な確保する電気コンダクタであり、例えば真
空シール用の金属ガスケット、あるいはゴムの０リング
のような材質の弾性基材（１６ｍ ） ４：銅の網線中
鋼板のような導電部材（１６ｂ）をかぶせたものが用い
られ、電極（２）に長手方向の溝（２ａ）を設けてこれ
に入れ、電極（２）と空洞（１）で押しつぶすようにす
る。
部拡大図である。（ＩＱは電極（２）と空洞（１）との
電気的接触な確保する電気コンダクタであり、例えば真
空シール用の金属ガスケット、あるいはゴムの０リング
のような材質の弾性基材（１６ｍ ） ４：銅の網線中
鋼板のような導電部材（１６ｂ）をかぶせたものが用い
られ、電極（２）に長手方向の溝（２ａ）を設けてこれ
に入れ、電極（２）と空洞（１）で押しつぶすようにす
る。
第７図は、第４図の■−■線に沿う端面図であるが、端
部調整電極ａ濁、エンドチューナａ◆、およびエンド７
ランジα騰をはずした状態を示す。（Ｉ７）は寸法測定
用の基準ビンであり、空洞（１）に電極（２）を取付け
た状態で、基準ビン１９間の寸法ａｓ、ａｓ、ｗを測定
することによって電極（２）の組立精度を測定すること
ができる。この基準ビンａηは電極（２）端面に突出し
ているので、端部調整電極０には第４図に示すように穴
Ｑυを明けて逃がしてやる。尚第７図のねじ穴（２）は
端部調整電極０を取付ける図示しない取付ボルト保合用
のものである。
部調整電極ａ濁、エンドチューナａ◆、およびエンド７
ランジα騰をはずした状態を示す。（Ｉ７）は寸法測定
用の基準ビンであり、空洞（１）に電極（２）を取付け
た状態で、基準ビン１９間の寸法ａｓ、ａｓ、ｗを測定
することによって電極（２）の組立精度を測定すること
ができる。この基準ビンａηは電極（２）端面に突出し
ているので、端部調整電極０には第４図に示すように穴
Ｑυを明けて逃がしてやる。尚第７図のねじ穴（２）は
端部調整電極０を取付ける図示しない取付ボルト保合用
のものである。
次に作用について説明する。
このような構成のＲＦＱにおいて、電極（２）相互の位
置関係を精度良く組立てるには、まず電極（２）の材料
の両端に２ケ所ずつリーマ穴を加工し基準ビンａ７）を
挿入する。次に基準ビン（１７）を基準にして電＠ （
２）先端の曲面を加工する。さらに、三次元座標測定機
等により、基準ビン住ηと電極（２）先端の曲面との位
置関係を測定しておき、空洞（１）に電極（２）を取付
１だ場合に電極（２）先端０曲面が理想的な位置にセッ
トされるよう、基準ビ″ンａη間の寸法の目標値を定め
ておく。空洞（１）に電極（２）を取付けるとき、基準
ビン（９間の距離Ｑｌを測定しながら電極（２）と固定
７ランジ（８）の突部（８ａ）との間、あるいは固定フ
ランジ（８）の７２ンジ（８ｂ）と空洞（１）との間に
ライナー（図示せず）を挿入したシ、電極（２）を空洞
（１）の周方向にずらして、目標値に近づける。調整の
終った時点で、第１．第２の位置決めビン住υ、←４を
挿入するためＯリーマ穴を加工する。この後、分解して
挿入したライナー分だけ同定７ランジの央ＩＩ （８ｍ
）の先端又は７ランジ（８ｂ） Ｏ空濶幽接面の厚みを
削りとり再度組立を行なうことにより、電極（２）相互
の位置関係を極めて精度よく組立てることができる。ｔ
た、基準ピン間の距離α樟、α場、翰を測定することに
より、組立精度を明確に把握することができる。
置関係を精度良く組立てるには、まず電極（２）の材料
の両端に２ケ所ずつリーマ穴を加工し基準ビンａ７）を
挿入する。次に基準ビン（１７）を基準にして電＠ （
２）先端の曲面を加工する。さらに、三次元座標測定機
等により、基準ビン住ηと電極（２）先端の曲面との位
置関係を測定しておき、空洞（１）に電極（２）を取付
１だ場合に電極（２）先端０曲面が理想的な位置にセッ
トされるよう、基準ビ″ンａη間の寸法の目標値を定め
ておく。空洞（１）に電極（２）を取付けるとき、基準
ビン（９間の距離Ｑｌを測定しながら電極（２）と固定
７ランジ（８）の突部（８ａ）との間、あるいは固定フ
ランジ（８）の７２ンジ（８ｂ）と空洞（１）との間に
ライナー（図示せず）を挿入したシ、電極（２）を空洞
（１）の周方向にずらして、目標値に近づける。調整の
終った時点で、第１．第２の位置決めビン住υ、←４を
挿入するためＯリーマ穴を加工する。この後、分解して
挿入したライナー分だけ同定７ランジの央ＩＩ （８ｍ
）の先端又は７ランジ（８ｂ） Ｏ空濶幽接面の厚みを
削りとり再度組立を行なうことにより、電極（２）相互
の位置関係を極めて精度よく組立てることができる。ｔ
た、基準ピン間の距離α樟、α場、翰を測定することに
より、組立精度を明確に把握することができる。
また、電極（２）の表面から空洞（１）の内面に流れる
高周波電流（ｉ）（８２図参照）に対しても、電気コン
ダクタ顧によって電気伝導が確保される。この電気コン
ダクタ（ＩＱが所定量つぶされれば電極（２）と固定フ
ランジ（８）が密着するため、従来のエツジコンタクト
の場合のよう（一つぶし代の不安定さによって組立精度
に悪影響を及ぼすことはない。
高周波電流（ｉ）（８２図参照）に対しても、電気コン
ダクタ顧によって電気伝導が確保される。この電気コン
ダクタ（ＩＱが所定量つぶされれば電極（２）と固定フ
ランジ（８）が密着するため、従来のエツジコンタクト
の場合のよう（一つぶし代の不安定さによって組立精度
に悪影響を及ぼすことはない。
尚、本発明は上記し、かつ図面に示した実施例のみに限
定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で、
種々変形して実施できることは勿論である。
定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で、
種々変形して実施できることは勿論である。
上記説明したように本発明によれば、１１ｉＥ極の両端
に組立寸法測定用の基準ピンを設け、調整削り代を持っ
た固定７ランジ（二よって空洞に電極を取付けているた
め、組立寸法を測定しながら調整することができ、高度
な組立精度を得ることができる。また、電気コンダクタ
を所定量つぶせば十分な電気的接触を確保することがで
き、しかも電極と固定７ランジが密着するため、組立精
度に影響しない。
に組立寸法測定用の基準ピンを設け、調整削り代を持っ
た固定７ランジ（二よって空洞に電極を取付けているた
め、組立寸法を測定しながら調整することができ、高度
な組立精度を得ることができる。また、電気コンダクタ
を所定量つぶせば十分な電気的接触を確保することがで
き、しかも電極と固定７ランジが密着するため、組立精
度に影響しない。
第１図は一般的な高周波四重極線形加速器（以下ＲＦＱ
と呼ぶ）の主要構造を示す一部破断斜視図、第２図はそ
の拡大横断面図、ｗＩｓ図は従来のＲＦ’Ｑの要部断面
図、第４図は本発明のＲＦＱの一実施例を示す一部断両
立面図、ｗＩｓ図は第４図の右半部断面下面図、１１Ｉ
４６図は第５図の要部拡大図、第７図は第４図Ｏ■−Ｗ
Ｍｉ二沿う空洞および電極の矢視端面図である。 ｌ・・・空＠ １ｍ・・・フランジ城付
座２・−・電極 ８・−固定７ランジ８ａ
・・・突ｓ ８ｂ・−・フランジ部９．１
０−−ポルト １１．１２・・・位置決めピン１
３・・・端部調Ｊ！電極 １４−・エンドチューナ
１５・・・エンド７ランジ 拓・−・電気コンダクタ
１６ａ・・・弾性基材 １６ｂ・−導電部材１７
−・・基準ビン ｉ８．１９．２０・−・基準ビ
ン間寸法代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第３図 第５図 第 ４ 図 第６図 り 第７図
と呼ぶ）の主要構造を示す一部破断斜視図、第２図はそ
の拡大横断面図、ｗＩｓ図は従来のＲＦ’Ｑの要部断面
図、第４図は本発明のＲＦＱの一実施例を示す一部断両
立面図、ｗＩｓ図は第４図の右半部断面下面図、１１Ｉ
４６図は第５図の要部拡大図、第７図は第４図Ｏ■−Ｗ
Ｍｉ二沿う空洞および電極の矢視端面図である。 ｌ・・・空＠ １ｍ・・・フランジ城付
座２・−・電極 ８・−固定７ランジ８ａ
・・・突ｓ ８ｂ・−・フランジ部９．１
０−−ポルト １１．１２・・・位置決めピン１
３・・・端部調Ｊ！電極 １４−・エンドチューナ
１５・・・エンド７ランジ 拓・−・電気コンダクタ
１６ａ・・・弾性基材 １６ｂ・−導電部材１７
−・・基準ビン ｉ８．１９．２０・−・基準ビ
ン間寸法代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第３図 第５図 第 ４ 図 第６図 り 第７図
Claims (2)
- （１） 円筒状の空洞内面に９０’置きに配置され空
洞内中心方向先端が軸方向に波形曲面をした４枚の電極
を有する高周波四重極線形加速器において、空洞外周面
に平らな７ランジ取付座を形成し、電極の軸方向両端面
に基準ピンを取付け、ボルトで前記空洞の７ランジ取付
座に取付けられる断面凸字状の調整剤９代をもった固定
７ランジとこの固定フランジを挿通する取付ボルトを介
して前記電極を空洞内面に取付け、その際、固定７ラン
ジの突部は空洞に設けた穴に遊挿し、７ランジ部は第１
の位置決めピンで電極の位置を決め、第２の位置決めピ
ンで空洞に対する位置決めをし、空洞と電極との間には
電気コンダクタを介在させたことを特徴とする高周波四
重極線形加速器。 - （２）電気コンダクタは金属ガスケット又はゴムの０リ
ングのような材質の弾性基材に銅の網又は板のような導
電部材をかぶせたものとしたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の高脚波四重極線形加速器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13213081A JPS5834600A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 高周波四重極線形加速器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13213081A JPS5834600A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 高周波四重極線形加速器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834600A true JPS5834600A (ja) | 1983-03-01 |
| JPH0123920B2 JPH0123920B2 (ja) | 1989-05-09 |
Family
ID=15074086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13213081A Granted JPS5834600A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 高周波四重極線形加速器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834600A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1985002489A1 (en) * | 1983-11-28 | 1985-06-06 | Hitachi, Ltd. | Quadrupole particle accelerator |
| JPS60121656A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-29 | Hitachi Ltd | イオン打込み装置 |
| JPS60121655A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-29 | Hitachi Ltd | 高電圧イオン打込み装置 |
| JPS6353897A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-08 | 株式会社島津製作所 | 多重極加速器の電極 |
| JPS6420700U (ja) * | 1987-07-29 | 1989-02-01 | ||
| JPH06163195A (ja) * | 1992-11-19 | 1994-06-10 | Nissin Electric Co Ltd | 高周波四重極電極 |
| JPH09129171A (ja) * | 1996-08-08 | 1997-05-16 | Hitachi Ltd | 高電圧イオン打込み装置 |
| JPH09134703A (ja) * | 1996-08-08 | 1997-05-20 | Hitachi Ltd | 高電圧イオン打込み装置 |
-
1981
- 1981-08-25 JP JP13213081A patent/JPS5834600A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1985002489A1 (en) * | 1983-11-28 | 1985-06-06 | Hitachi, Ltd. | Quadrupole particle accelerator |
| JPS60121656A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-29 | Hitachi Ltd | イオン打込み装置 |
| JPS60121655A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-29 | Hitachi Ltd | 高電圧イオン打込み装置 |
| JPH0612660B2 (ja) * | 1983-12-02 | 1994-02-16 | 株式会社日立製作所 | 高電圧イオン打込み装置 |
| JPH0612661B2 (ja) * | 1983-12-02 | 1994-02-16 | 株式会社日立製作所 | イオン打込み装置 |
| JPS6353897A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-08 | 株式会社島津製作所 | 多重極加速器の電極 |
| JPS6420700U (ja) * | 1987-07-29 | 1989-02-01 | ||
| JPH06163195A (ja) * | 1992-11-19 | 1994-06-10 | Nissin Electric Co Ltd | 高周波四重極電極 |
| JPH09129171A (ja) * | 1996-08-08 | 1997-05-16 | Hitachi Ltd | 高電圧イオン打込み装置 |
| JPH09134703A (ja) * | 1996-08-08 | 1997-05-20 | Hitachi Ltd | 高電圧イオン打込み装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0123920B2 (ja) | 1989-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6300755B1 (en) | Enhanced modified faraday cup for determination of power density distribution of electron beams | |
| JPS5834600A (ja) | 高周波四重極線形加速器 | |
| US20130299700A1 (en) | Beam imaging sensor | |
| CN110684952A (zh) | 靶材结构 | |
| Graber et al. | Microscopic investigation of high gradient superconducting cavities after reduction of field emission | |
| US7573357B2 (en) | Coupling lines for a YIG filter or YIG oscillator and method for producing the coupling lines | |
| Borchard et al. | Fabrication of split-section X-band structure using elastic averaging | |
| DE3414071C1 (de) | Elektrodynamischer Wandler | |
| US6426681B1 (en) | High power adjustable RF coupling loop | |
| JPH03125413A (ja) | 小型チョークコイル及びその製造方法 | |
| US20060049055A1 (en) | Device and method for electrochemical reduction | |
| JPH0715205Y2 (ja) | 非可逆回路素子 | |
| JPH0735360Y2 (ja) | 高周波多重極線型加速器 | |
| GB2374824A (en) | Substrate facing of drill string components | |
| KR20230004243A (ko) | 전류의 세기를 측정하기 위한 장치의 제조 방법 및 전류의 세기를 측정하기 위한 장치 | |
| JPH01315153A (ja) | プローバのウェハ搭載部材 | |
| JP2769562B2 (ja) | 電子部品の摺動子取付方法 | |
| JP3006079U (ja) | 金属部材の溶接装置における１次電極 | |
| JPS61127207A (ja) | コルゲ−ト・ホ−ン | |
| JP3238591B2 (ja) | インダクタンス測定用プローブ | |
| JPS60180205A (ja) | 導波管スロツトアレ−アンテナ | |
| JPS63207077A (ja) | アレスタの製造方法 | |
| CN117095886A (zh) | 一种分流器的加工方法及分流器 | |
| CN115955756A (zh) | 四极型加速器和四极型加速器的制造方法 | |
| RU2249274C2 (ru) | Способ изготовления многолучевого свч прибора о-типа |