DE4217292C2 - Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks - Google Patents

Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks

Info

Publication number
DE4217292C2
DE4217292C2 DE4217292A DE4217292A DE4217292C2 DE 4217292 C2 DE4217292 C2 DE 4217292C2 DE 4217292 A DE4217292 A DE 4217292A DE 4217292 A DE4217292 A DE 4217292A DE 4217292 C2 DE4217292 C2 DE 4217292C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
nozzle
nozzle body
ring electrode
workpiece
potential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE4217292A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4217292A1 (de
Inventor
Manfred Dipl Ing Jagiella
Ahmed Dr Ing Topkaya
Georg Dipl Ing Spoerl
Wolf Dr Wiesemann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Precitec KG
Original Assignee
Precitec GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Precitec GmbH and Co KG filed Critical Precitec GmbH and Co KG
Priority to DE4244834A priority Critical patent/DE4244834C2/de
Priority to DE4217292A priority patent/DE4217292C2/de
Publication of DE4217292A1 publication Critical patent/DE4217292A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4217292C2 publication Critical patent/DE4217292C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • B23Q17/2233Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work for adjusting the tool relative to the workpiece
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D1/00Measuring arrangements giving results other than momentary value of variable, of general application
    • G01D1/02Measuring arrangements giving results other than momentary value of variable, of general application giving mean values, e.g. root means square values
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2417Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine derartige Düse ist bereits aus JP 3-165989A in "Patents Abstracts of Japan", 1991, Vol. 15/No. 404, Sec. M-1168 bekannt. Die bekannte Düse enthält einen Düsenkörper aus elektrisch leitendem Material, der einen Hohlkanal zum Durchtritt eines Laserstrahls aufweist, und eine den Hohlkanal im Abstand umgebende Ringelektrode im Spitzenbereich des Düsenkörpers, die ein Sensorsignal empfängt, während der Düsenkörper ein aktives Schirmpotential emp­ fängt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Düse der eingangs genann­ ten Art so weiterzubilden, daß eine mit ihr durchgeführte Abstandsmes­ sung weniger von äußeren Werkstückstrukturen beeinflußt wird, die Ringelektrode besser gekühlt werden kann und die Düse selbst einen ein­ facheren Aufbau aufweist.
Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patent­ anspruchs 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Die Düse nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß der Düsen­ körper an seiner dem Werkstück zugewandten Stirnseite eine ringförmige, den Hohlkanal umgebende Ausnehmung aufweist, die Ringelektrode fest in die Ausnehmung eingesetzt ist, und das aktive Schirmpotential durch Führung des Sensorpotentials über einen Verstärker erzeugbar ist.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung kann die Ringelektrode eine Oberflächenbeschichtung aus elektrisch isolierendem Material tragen. Dabei kann die Oberflächenbeschichtung eine Teflon- oder Keramikbe­ schichtung sein.
Nach einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung befindet sich im Düsenkörper ein Kanal zur Aufnahme einer elektrischen Leitung, über die das Sensorpotential der Ringelektrode zugeführt wird.
Die einzige Figur zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Düse mit ringförmiger Sensorelektrode.
Die Laserbearbeitungsdüse 1 weist einen Düsenkörper 6 mit Hohlkanal 7 auf, durch den entlang der Zentralachse 8 ein Laserstrahl 9 hindurchläuft. Der Düsenkörper 6 besteht aus elektrisch leitendem Mate­ rial, beispielsweise aus Stahl oder Aluminium. Er kann aber auch aus Kupfer hergestellt sein.
An seiner dem Werkstück zugewandten Seite ist der Düsenkörper 6 flä­ chenhaft ausgebildet. Er weist dort eine ringförmige Ausnehmung zur Auf­ nahme einer Ringelektrode 13 auf. Die Ringelektrode 13 kann ebenfalls aus Kupfer bestehen und ist gegenüber dem Düsenkörper 6 elektrisch iso­ liert, beispielsweise durch eine geeignete Oberflächenbeschichtung aus elektrisch isolierendem Material, wie etwa Teflon, Keramikmaterial, und dergleichen. Diese Ringelektrode 13 ist fest in die Stirnseite des Düsenkör­ pers 6 eingesetzt und dient zur Messung des Abstands zwischen der Spitze des Düsenkörpers 6 und dem Werkstück auf kapazitivem Wege. Hierzu wird an die Ringelektrode 13 ein Sensorpotential angelegt, und zwar über eine elektrische Leitung 14, die mit der Ringelektrode 13 verbunden ist und durch einen Kanal 15 im Düsenkörper 6 hindurchläuft. An den Dü­ senkörper 6 wird aktives Schirmpotential angelegt. Das dadurch erhalten wird, daß das Sensorpotential über einen Verstärker mit geeignetem Ver­ stärkungsgrad geführt wird, wobei dieser Verstärkungsgrad z. B. 1 sein kann.
Beim Laserschweißen mit Hilfe der Laserbearbeitungsdüse 1 entsteht zwischen der Stirnfläche des Düsenkörpers 6 und der Schweiß­ naht 4 ein Plasma P, das eine unmittelbare Messung des Abstands auf kapazitivem Wege im Schweißbereich nicht zuläßt. Ein derartiges Plasma kann ggf. auch beim Laserschneiden entstehen. Infolge der Ringelektrode 13 wird die Meßkapazität jedoch um das Plasma P bzw. den Schweiß- oder Schneidbereich herumgelegt, so daß elektrische Feldlinien 16 zwischen der Ringelektrode 13 und dem Werkstück bzw. den Werkstückteilen 2 und 3 das Plasma P zylinderwandartig umgeben. Die elektrischen Feldlinien 16 verlaufen hier praktisch zwischen zwei parallel zueinander liegenden Flä­ chen. Die Werkstückteile 2 und 3 sind über einen Anschluß 5 geerdet.
Beim Ausführungsbeispiel befindet sich der unmittelbar oberhalb des Plasmas P liegende Bereich des Düsenkörpers 6 auf aktivem Schirmpotential, so daß auf diese Weise der Bereich des Plasmas P bei der Abstandsmessung ausgeblendet bzw. ausgespart wird. Da außerdem noch ein aktiver Schirmbereich 6a die Ringelektrode 13 außen umgibt, kann die kapazitive Abstandsmessung auch relativ unbeeinflußt von Halteelemen­ ten 17 durchgeführt werden, die zum Fixieren der Werkstückteile 2 und 3 dienen und z. B. ebenfalls aus elektrisch leitendem Material bestehen kön­ nen. Bei Draufsicht auf die Stirnseite des Düsenkörpers 6 liegt also zen­ trisch der Kanal 7 für den Laserstrahl 9, wobei der Kanal 7 von innen nach außen von einer Schirmelektrode, der Ringelektrode 13 und der weiteren Schirmelektrode 6a umgeben ist. Die zuerst genannte Schirmelektrode und die Schirmelektrode 6a werden durch den Düsenkörper 6 gebildet und liegen auf aktivem Schirmpotential.

Claims (4)

1. Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks, mit
  • - einem Düsenkörper (6) aus elektrisch leitendem Material, der einen Hohlkanal (7) zum Durchtritt eines Laserstrahls (9) aufweist, und
  • - einer den Hohlkanal (7) im Abstand umgebenden Ringelektrode (13) im Spitzenbereich des Düsenkörpers (6), die ein Sensorpotential empfängt, während der Düsenkörper (6) ein aktives Schirmpotential emp­ fängt, dadurch gekennzeichnet, daß
  • - der Düsenkörper (6) an seiner dem Werkstück zugewandten Stirnsei­ te eine ringförmige, den Hohlkanal (7) umgebende Ausnehmung aufweist,
  • - die Ringelektrode (13) fest in die Ausnehmung eingesetzt ist, und
  • - das aktive Schirmpotential durch Führung des Sensorpotentials über einen Verstärker erzeugbar ist.
2. Düse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ringelek­ trode (13) eine Oberflächenbeschichtung aus elektrisch isolierendem Ma­ terial trägt.
3. Düse nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflä­ chenbeschichtung eine Teflon- oder Keramikbeschichtung ist.
4. Düse nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Düsenkörper (6) ein Kanal (15) zur Aufname einer elektrischen Leitung (14) befindet, über die das Sensorpotential der Ringelektrode (13) zuge­ führt wird.
DE4217292A 1992-05-25 1992-05-25 Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks Expired - Fee Related DE4217292C2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4244834A DE4244834C2 (de) 1992-05-25 1992-05-25 Einrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls
DE4217292A DE4217292C2 (de) 1992-05-25 1992-05-25 Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4217292A DE4217292C2 (de) 1992-05-25 1992-05-25 Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4217292A1 DE4217292A1 (de) 1993-12-02
DE4217292C2 true DE4217292C2 (de) 1996-07-04

Family

ID=6459696

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4244834A Expired - Fee Related DE4244834C2 (de) 1992-05-25 1992-05-25 Einrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls
DE4217292A Expired - Fee Related DE4217292C2 (de) 1992-05-25 1992-05-25 Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4244834A Expired - Fee Related DE4244834C2 (de) 1992-05-25 1992-05-25 Einrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE4244834C2 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4423409C2 (de) * 1994-07-04 1998-03-12 Precitec Gmbh Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls
DE4442238C1 (de) * 1994-11-28 1996-04-04 Precitec Gmbh Verfahren zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks, insbesondere mittels Laserstrahlung
SE9900742L (sv) * 1999-03-02 2000-09-03 Inst Verkstadstek Forsk Ivf Anordning för inmätning av en laserstråle
US6879404B2 (en) 2001-01-22 2005-04-12 Balluff Gmbh Device and method for checking bores in or edges on an object of measurement
DE10103177A1 (de) 2001-01-22 2002-08-01 Balluff Gmbh Gratprüfungs-Sensorvorrichtung
DE10202867A1 (de) * 2002-01-24 2003-08-07 Messer Cutting & Welding Gmbh Schweiß- oder Schneidbrenner mit Brennerkopf
DE102004006680B3 (de) 2004-02-09 2006-01-12 Balluff Gmbh Sensorvorrichtung zur Prüfung von Oberflächen
DE102004042135A1 (de) 2004-08-30 2006-03-02 Iht Automation Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Einstellung mindestens eines vorgegebenen Abstands zwischen einem Bearbeitungswerkzeug und einem metallischen Werkstück
DE102005039094B4 (de) * 2005-08-08 2009-03-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Führen eines Maschinenteils entlang einer definierten Bewegungsbahn über einer Werkstücksoberfläche
DE102008038119A1 (de) * 2008-08-17 2010-02-18 Du, Keming, Dr. Kompakte und intelligente Laserbearbeitungsköpfe
DE102016115415B4 (de) * 2016-08-19 2018-04-12 Precitec Gmbh & Co. Kg Isolationsteil zur isolierten Halterung einer elektrisch leitenden Düse und Laserbearbeitungskopf mit einem Sensor zur Erkennung eines derartigen Isolationsteils
CN117102701B (zh) * 2023-10-24 2024-03-26 上海方菱计算机软件有限公司 一种坡口切割高度的补偿控制方法、装置、电子设备、存储介质

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2928767C2 (de) * 1979-07-17 1984-03-01 Bayerische Motoren Werke AG, 8000 München Verfahren zur Bestimmung der Vorratsmenge von Betriebsflüssigkeiten von Kraftfahrzeugen und Schaltung zur Ausführung des Verfahrens
DD239857A1 (de) * 1985-07-29 1986-10-08 Schiffbau Stammbetrieb K Sensor fuer schweissroboter
DE4005453A1 (de) * 1990-02-21 1991-08-22 Hannover Laser Zentrum Einrichtung zur abstandsmessung bei der laser-materialbearbeitung
DE4119244A1 (de) * 1991-06-11 1992-12-17 Weidmueller Interface Kapazitive sensoreinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE4244834C2 (de) 1996-07-11
DE4217292A1 (de) 1993-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4217292C2 (de) Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks
DE10137523B4 (de) Zündkerze
EP0191000B1 (de) Messanordnung mit einer kapazitiven Messelektrode und Bearbeitungs-Werkzeug mit integrierter Elektrode
EP0815573B1 (de) Vakuumschaltröhre
DE4028338C2 (de)
DE4119244A1 (de) Kapazitive sensoreinrichtung
WO2002049056A1 (de) Verbindungsbereich zwischen gehäuseteilen einer vakuumschaltröhre und vakuumschaltröhre mit einem solchen verbindungsbereich
DE1264819B (de) Piezoelektrischer Druckwandler
EP3500393A1 (de) Isolationsteil zur isolierten halterung einer elektrisch leitenden düse und laserbearbeitungskopf mit einer sensoranordnung zur erkennung eines derartigen isolationsteils
DE3804880C2 (de)
AT405884B (de) Detektor zur messung der elektrolytischen leitfähigkeit
DE1932674C3 (de) Verfahren zum Herstellen von Tastköpfen für Vergleichs-Innenmessungen
DE1541005C3 (de) Elektronenentladungsvorrichtung
DE2822691A1 (de) Vorrichtung zum elektrochemischen messen der sauerstoffkonzentration in verbrennungsgasen
DE2747539C2 (de)
DE4133198C2 (de)
DE10202867A1 (de) Schweiß- oder Schneidbrenner mit Brennerkopf
DE4205759C2 (de) Düse zur Bearbeitung von Nichtmetallen
DE4035404C2 (de)
DE1514474C3 (de) Halbleiterbauelement
DE9311281U1 (de) Duese zur bearbeitung eines werkstuecks
DE3025670A1 (de) Sauerstoffsensor und verfahren zu seiner herstellung
DE1564437C3 (de) Elektrische Entladungsröhre mit einer Gasfüllung und mit einer Metallwand, in der mindestens eine Elektrode durch keramische Körper isoliert und vakuumdicht befestigt ist
DE2519601C2 (de) Vorrichtung zum Messen des Gehaltes metallischer Schmelzbäder an aktivem Sauerstoff
DE4313619A1 (de) Entladungsröhre

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8172 Supplementary division/partition in:

Ref country code: DE

Ref document number: 4244834

Format of ref document f/p: P

Q171 Divided out to:

Ref country code: DE

Ref document number: 4244834

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PRECITEC GMBH, 76571 GAGGENAU, DE

AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 4244834

Format of ref document f/p: P

D2 Grant after examination
AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 4244834

Format of ref document f/p: P

8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: PRECITEC KG, 76571 GAGGENAU, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee