DE9311281U1 - Duese zur bearbeitung eines werkstuecks - Google Patents

Duese zur bearbeitung eines werkstuecks

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Description

TER MEER - MÜLLER - STE!NME!S":'ER & PARTNER "2"
Weidmüller Interface GmbH & Co. Case: PA 674 28.7.1993
Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks gemäß dem Oberbegriff des Schutzanspruchs 1.
Eine derartige Düse ist bereits aus der DE-PS 42 01 640bekannt. Diese bekannte Düse weist einen Düsenkörper auf, der wenigstens ein ihm gegenüber elektrisch isoliertes Kontaktelement besitzt. An der Spitze des Düsenkörpers ist ein Trägerelement gehalten, das aus keramischem Material hergestellt ist. Das Trägerelement seinerseits trägt ein Sensorelement, das elektrisch mit dem Kontaktelement in Verbindung steht, und zwar über eine elektrische Leitung, die durch einen im Trägerelement verlaufenden Kanal hindurchgeführt ist.
Wird die Düse fest mit einem Werkzeug verbunden, so ist es möglich, das Werkzeug relativ zum Werkstück zu positionieren, um das Werkstück in geeigneterweise bearbeiten zu können. Die Positionierung erfolgt über eine Regeleinrichtung, die den gemessenen Abstand zwischen Sensorelement und Werkstück als Istwert empfängt und die Lage der Düse in Abhängigkeit eines Vergleichs des Istwerts mit einem vorgegebenen Sollwert steuert.
Das Werkzeug kann z. B. eine Laserschneideinheit zur Erzeugung eines Laserstrahls sein, mit dem sich das Werkstück zerschneiden oder in sonstiger Weise bearbeiten läßt.
Der Abstand zwischen dem Sensorelement und dem Werkstück wird auf kapazitivem Wege gemessen, wozu an das Sensorelement eine Meßspannung angelegt wird. An den Düsenkörper kann dabei Schirmpotential angelegt werden, um die Meßspannung gegenüber äußeren Einflüssen zu schützen. Dabei kann das Schirmpotential auch aktives Schirmpotential sein, das dadurch erhalten wird, daß die wechseiförmige Meßspannung z. B. über einen Kondensator und einen Verstärker mit dem Verstärkungsgrad V > 1 geführt wird. Das Sensorelement ist gegenüber dem Düsenkörper elektrisch isoliert.
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Weidmüller Interface GmbH & Co. Case: PA 674 28.7.1993
Bei der obigen Düse besteht das Trägerelement aus keramischem Material und ist daher relativ teuer in der Herstellung. Da das keramische Material auch relativ spröde ist, kann das Trägerelement leicht zerstört werden, wenn die Düse mit ihrer Spitze unbeabsichtigt gegen eine Werkstückstruktur gefahren wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Düse der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß das Trägerelement billiger herstellbar ist und nicht mehr so leicht zerstört werden kann.
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Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Schutzanspruchs 1 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Eine Düse nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß das Trägerelement aus elektrisch leitendem Material besteht und wenigstens im Verbindungsbereich mit dem Düsenkörper eine elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung trägt.
Das Trägerelement, das beispielsweise aus Aluminium bestehen kann, läßt sich somit gegenüber einem aus einer Keramik bestehenden Trägerelement sehr viel einfacher und kostengünstiger herstellen und ist darüber hinaus auch stabiler als ein Keramikteil, so daß die Gefahr einer Beschädigung der Düse beim versehentlichen Anfahren einer Werkstückstruktur erheblich verringert wird. Das Aufbringen der Oberflächenbeschichtung auf das Trägerelement bereitet keine großen Schwierigkeiten und verteuert die Herstellung des erfindungsgemäßen Trägerelements nur unwesentlich. Die Oberflächenbeschichtung kann beispielsweise eine Oxidschicht sein, z. B. eine Eloxalschicht bei einem aus Aluminium hergestellten Trägerelement, eine dünne Teflonschicht, oder dergleichen.
Das Sensorpotential wird dann zum Sensorelement über das Kontaktelement und das aus elektrisch leitendem Material bestehende Trägerelement geführt, wobei das Trägerelement selbst gegenüber dem Düsenkör-
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per aufgrund der Oberflächenbeschichtung elektrisch isoliert ist.
Vorzugsweise kann das Trägerelement die elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung auf seiner gesamten Oberfläche tragen, wobei Bereiehe, die mit dem Kontaktelement und dem Sensorelement in Berührung stehen, von der Oberflächenbeschichtung ausgenommen sind.
Nach einer sehr vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist im Bereich des Kontaktelements wenigstens ein Kontaktstift in das Trägerelement eingebracht, und zwar durch die elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung hindurch, derart, daß sich Kontaktelement und Kontaktstift berühren, wenn das Trägerelement fest am Düsenkörper angebracht ist. Durch den Kontaktstift läßt sich eine bessere elektrische Verbindung zwischen Kontaktelement und Trägerelement herstellen, insbesondere dann, wenn der Kontaktstift im Berührungsbereich mit dem Kontaktelement noch vergoldet ist. Der Kontaktstift braucht dabei nach Fertigstellung des Trägerelements einfach nur durch die Oberflächenbeschichtung hindurchgetrieben zu werden.
Das Sensorelement und das Trägerelement sind vorzugsweise ineinander geschraubt und stehen im Schraubbereich in elektrischer Verbindung miteinander. Dabei kann das Sensorelement in eine Gewindebohrung des Trägerelements hineingeschraubt oder auf ein Außengewinde des Trägerelements aufgeschraubt sein. Es sind aber auch andere Verbindungsmöglichkeiten zwischen Trägerelement und Sensorelement denkbar, z. B. Klemm-/Rastverbindungen. Wesentlich ist, daß Trägerelement und Sensorelement unmittelbar in elektrisch leitendem Kontakt miteinander stehen.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:
Figur 1 eine erfindungsgemäße Düse mit einem Widerstand zur Trägerelementerkennung,
Figur 2 eine erfindungsgemäße Düse mit einem Widerstand zur Trägerele-
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menterkennung und einem Widerstand zur Düsenkennung,
Figur 3 einen Düsenkörper mit 2 ihm gegenüber elektrisch isolierten Kontaktelementen, und
Figur 4 den Düsenkörper nach Figur 3, an den Trägerelement und Sensorelement angesetzt sind.
Die Figur 1 zeigt den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Düse. Die Düse 1 enthält einen Düsenkörper 2, der aus Metall besteht. An der Spitze des Düsenkörpers 2 befindet sich ein Trägerelement 3, das ebenfalls aus einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise aus Aluminium, hergestellt ist und gegenüber dem Düsenkörper 2 elektrisch isoliert ist. Das Trägerelement 3 trägt wiederum an seiner Spitze ein Sensorelement 4, das beispielsweise aus Kupfer hergestellt ist. Dabei sind das Trägerelement 3 und das Sensorelement 4 unmittelbar in elektrisch leitendem Kontakt miteinander.
Die gesamte Düse 1 weist einen in Figur 1 nicht dargestellten Innenkanal auf, durch den ein Laserstrahl und ggf. Bearbeitungsgase zur Bearbeitung eines Werkstücks hindurchgeführt werden.
Eine Koaxialsteckerbuchse 5 befindet sich an einer Seitenwand des Sensorkörpers 2. Die Koaxialsteckerbuchse 5 weist einen Signalleitungsanschluß 6 und einen weiteren Leitungsanschluß 7 auf. Mit der Koaxialsteckerbuchse 5 ist von außen ein nicht dargestellter Koaxialstecker verbindbar, der an einem Ende eines Koaxialkabels angeschlossen ist, dessen anderes Ende mit einer Sensorelektrode verbunden ist. Der Mittelleiter des Koaxialkabels kommt dabei mit dem Signalleitungsanschluß 6 in Kontakt, während die Schirmung des Koaxialkabels mit dem weiteren Leitungsanschluß 7 in Verbindung steht. Die Schirmung kann beispielsweise auf Massepotential oder auf aktivem Schirmpotential liegen, wie bereits erwähnt.
Zur kapazitiven Messung des Abstands zwischen dem Sensorelement 4 und dem Werkstück wird von der Sensorelektronik über den Mittelleiter
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des Koaxialkabels sowie über den Signalleitungsanschluß 6 ein wechseiförmiges Meßsignal (Meßspannung) zum Sensorelement 4 übertragen, das in herkömmlicher Weise ausgewertet wird. Beispielsweise läßt sich seine Amplitude zur Abstandsbestimmung erfassen, wenn es eine feste Frequenz aufweist.
Die Übertragung des wechseiförmigen Meßsignals vom Signalleitungsanschluß 6 zum Sensorelement 4 erfolgt über eine erste Leitung 8, die sich vom Signalleitungsanschluß 6 zu einem Kontaktelement 9 erstreckt, das seinerseits gegenüber dem Düsenkörper 2 elektrisch isoliert ist. Das Kontaktelement 9 steht mit dem Trägerelement 3 in elektrisch leitender Verbindung, berührt dieses also, so daß das Meßsignal auch zum Sensorelement 4 gelangt.
Das Trägerelement 3 ist an einer im Abstand von der ersten Leitung 8 liegenden Stelle mit einer zweiten Leitung 11 in Kontakt, und zwar über ein zweites Kontaktelement 13, das ebenfalls gegenüber dem Düsenkörper 2 elektrisch isoliert ist. Das andere Ende der zweiten Leitung 11 ist mit einem Widerstand 14 verbunden, dessen anderes Ende über einen weiteren Abschnitt der zweiten Leitung 11 z. B. mit dem weiteren Leitungsanschluß 7 der Koaxialsteckerbuchse 5 verbunden ist. Statt mit dem zweiten Leitungsanschluß 7 kann dieses Ende der Leitung 11 auch direkt mit dem Düsenkörper 2 verbunden sein, da dieser aus Metall besteht.
Um zu erkennen, ob das Trägerelement 3 in vorschriftsmäßiger Weise mit dem Sensorkörper 2 verbunden ist, wird von der Sensorelektronik über den Signalleitungsanschluß 6 ein Abfragestrom (Abfragespannung) geliefert. Liegt eine ordnungsgemäße Verbindung des Trägerelements 3 mit dem Düsenkörper 2 vor, so fließt dieser Abfragestrom vom Signalleitungsanschluß 6 über die erste Leitung 8, das Trägerelement 3, die zweite Leitung 11 und den Widerstand 14 zurückzu dem weiteren Leitungsanschluß 7 der Koaxialsteckerbuchse 5. Da die Größe des Widerstands 14 und die der Abfragespannung bekannt sind, läßt sich auf diese Weise überprüfen, ob eine ordnungsgemäße Verbindung zwischen dem Trägerelement 3 und
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dem Düsenkörper 2 vorhanden ist. Ein derartiger Kontakt ist erforderlich, um eine einwandfreie Abstandsregelung vornehmen zu können, oder allgemeiner eine einwandfreie Abstandsmessung oder Prozeßkontrolle durchführen zu können.
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Hat sich dagegen infolge von Vibrationen oder anderer Erscheinungen das Trägerelement 3 gelockert, oder ist es nicht am Düsenkörper 2 montiert, so werden die erste Leitung 8 und die zweite Leitung 11 nicht mehr durch das Trägerelement 3 überbrückt, so daß der Abfragestrom nicht mehr fließen kann. Dieser Zustand wird durch die Sensorelektronik detektiert. die daraufhin ein Fehler- bzw. Alarmsignal erzeugt. Dieses Alarmsignal kann dazu benutzt werden, die gesamte Anlage auszuschalten.
Es sei daraufhingewiesen, daß sich der Abfragestrom und das wechselförmige Meßsignal gegenseitig nicht beeinflussen, da der Abfragestrom ein Gleichstrom ist und da ferner die Meßkapazität zwischen dem Signalleitungsanschluß 6 bzw. Mittelleiter des Koaxialkabels und dem zu bearbeitenden Werkstück liegt, während der Widerstand letztlich zwischen dem Mittelleiter des Koaxialkabels bzw. dem Signalleitungsanschluß 6 und dem weiteren Leitungsanschluß 7 bzw. Schirmleiter zu liegen kommt. Da der Abstandsmeßwert nur aus dem wechseiförmigen Meßsignal generiert wird, das entsprechend gefiltert werden kann, wird er durch die am Signalleitungsanschluß liegende Gleichspannung bzw. Abfrage-Gleichspannung nicht beeinflußt.
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In der Figur 2 ist eine Düse nach einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Gleiche Teile wie in Figur 1 sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht nochmals beschrieben.
Bei der Düse nach Figur 2 befindet sich zwischen dem Signalleitungsanschluß 6 und dem weiteren Leitungsanschluß 7 der Koaxialsteckerbuchse 5 ein Kennungswiderstand 15, der praktisch parallel zu der Reihenschaltung liegt, die aus dem Widerstand 14 und den Elementen 11. 13, 3 und 9 besteht.
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Durch die Kombination der Widerstände 14und 15 lassen sich verschiedene Zustände der Düse ermitteln, und zwar durch Überprüfung des Abfrage-Gleichstroms durch die Sensorelektronik.
Ist keine Düse 1 mit dem Koaxialkabel über die Koaxialsteckerbuchse 5 verbunden, so fließt kein Abfragestrom, was die Sensorelektronik veranlaßt, ein Alarmsignal zu erzeugen und die gesamte Anlage stillzusetzen. Ist dagegen die Düse 1 mit dem Koaxialkabel bzw. der Sensorelektronik verbunden, befindet sich jedoch kein Trägerelement 3 am Düsenkörper 2, so ist eine ordnungsgemäße Abstandmessung bzw. Abstandsregelung nicht möglich. In diesem Fall wird die Größe des Sensorstroms nur durch den Kennungswiderstand 15 bestimmt, so daß sich ein zweites Fehlersignal ergibt, das den fehlerhaften Betriebszustand der Düse 1 angibt. Bei ordnungsgemäßer Verbindung von Trägerelement 3 und Düsenkörper 2 wird dagegen der Abfragestrom durch die Kombination der Widerstände 14 und 15 festgelegt, so daß in diesem Fall kein Fehlersignal generiert wird.
Wie bereits erwähnt, läßt sich der Trägerkörper 3 vom Düsenkörper 2 abnehmen, so daß Kontakte zur Verbindung der jeweiligen Leitungsabschnitte von erster und zweiter Leitung 8 bzw. 11 vorhanden sein müssen. Diese Kontaktabschnitte werden durch die Kontaktelemente 9 und 13 gebildet, die z. B. federnde Elemente aufweisen können. Es lassen sich somit verschiedene Trägerelemente 3 mit unterschiedlichen Sensorelementen 4 an den Düsenkörper 2 ansetzen, wobei die Trägerelemente 3 an der dem Düsenkörper 2 gegenüberliegenden Fläche alle gleich ausgebildet sind.
Die Figur 3 zeigt den genaueren Aufbau des Düsenkörpers 2. Gleiche Teile wie in den Figuren 1 und 2 sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Der Düsenkörper 2 besteht im wesentlichen aus einem konisch verlaufenden Düsenteil 16, das aus elektrisch leitendem Material, beispielsweise aus Stahl, hergestellt ist. Am äußeren Umfang des dickeren Endes des Düsenteils 16 befindet sich eine Befestigungshülse 17, die außen zylindrisch ausgebildet ist und ein Außengewinde 18 trägt. Düsenteil 16 und Befesti-
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gungshülse 17 sind fest miteinander verbunden, so daß die gesamte Düse über das Außengewinde 18 in eine Halterung eingeschraubt werden kann.
Am spitzen Ende des Düsenteils 16 befindet sich umfangsseitig ein ringförmiger Kanal 19, der zur Aufnahme elektrischer Leitungen dient. In die Außenwandung 20 des ringförmigen Kanals 19 ist die Koaxialsteckerbuchse 5 (siehe Figuren 1 und 2) eingesetzt, die außen mit einem Koaxialkabel verbindbar ist. Der ringförmige Kanal 19 besteht ebenfalls aus elektrisch leitendem Material, wobei der weitere Leitungsanschluß 7 der Koaxialsteckerbuchse 5 direkt mit der Außenwandung 20 in elektrischem Kontakt steht. Auf diese Weise wird das Schirmpotential an den ringförmigen Kanal 19 und über diesen an das Düsenteil 16 gelegt. Düsenteil 16 und ringförmiger Kanal 19 stehen beispielsweise über ein Außengewinde 21 des Düsenteils 16 in elektrisch leitender Verbindung, auf das der ringförmige Kanal 19 aufgeschraubt ist.
In die Bodenfläche 22 des ringförmigen Kanals 19 sind die Kontaktelemente 9 und 13 schräg nach unten weisend eingelassen. Die Kontaktelemente 9 und 13 sind gegenüber dem ringförmigen Kanal 19 bzw. der Bodenfläche 22 elektrisch isoliert, und zwar über Isolierhülsen 23, in denen die Kontaktelement 9 und 13 zu liegen kommen. Diese Kontaktelemente 9 und 13 weisen an ihrer der Düsenspitze zugewandten Stirnfläche jeweils ein federndes Kontaktstück 24 auf, das in Axialrichtung der Kontaktelemente 9 und 13 verschiebbar ist.
An den den Kontaktstücken 24 gegenüberliegenden Stirnflächen der Kontaktelemente 9 und 13 sind mit diesen die Abschnitte von erster und zweiter Leitung 8 und 11 verbunden. Der Abschnitt der Leitung 8 in Figur 3 ist unmittelbar mit dem Signalleitungsanschluß 6 der Koaxialsteckerbuchse 5 verbunden, während der Abschnitt der Leitung 11 in Figur 3 mit einem Ende des in Figur 3 nicht dargestellten Widerstands 14 verbunden ist. Der Rest der elektrischen Schaltung ist entweder entsprechend Figur 1 oder Figur 2 aufgebaut.
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An der Spitze des Düsenkörpers 2 ist ein Ansatz 25 vorhanden, auf den das Trägerelement 3 aufsetzbar ist. Ferner befindet sich ein zylindrischer Ansatz 26 an der unteren Seite der Bodenfläche 22. Dieser Ansatz 26 weist ein Außengewinde 27 auf, auf das eine in Figur 4 dargestellte Überwurf mutter aufschraubbar ist, um das Trägerelement 3 am Düsenkörper 2 zu befestigen, wie noch ausgeführt wird.
Die Figur 4 zeigt den Düsenkörper 2 nach Figur 3 mit daran angesetztem Trägerelement 3 und Sensorelement 4.
Der Düsenkörper 2 wird beim Ausführungsbeispiel nach Figur 4 beispielsweise mit Hilfe eines Flansches 28 gehalten, der auf das Außengewinde 18 aufgeschraubt wird, nachdem der Düsenkörper mit seiner Befestigungshülse 17 durch eine geeignete Öffnung eines nicht dargestellten An- schlußkopfs geschoben worden ist.
Wie die Figur 4 erkennen läßt, ist auf den Ansatz 25 des Düsenkörpers 2 das Trägerelement 3 aufgesetz, das z. B. aus Aluminium besteht. Dieses Trägerelement 3 weist auf seiner gesamten Oberfläche eine elektrisch isolierende Beschichtung auf, so daß zwischen Trägerelement 3 und Düsenkörper 2 kein elektrischer Kurzschluß auftreten kann. Lediglich kleinere Bereiche des Trägerelements 3 bleiben von der Isolationsschicht frei, und zwar im Bereich der Kontaktstücke 24 und des Sensorelements 4. Mit Hilfe einer Überwurfmutter 29 wird dieses Trägerelement 3 gegen den Düsenkörper 2 bzw. Ansatz 25 gezogen, wozu die Überwurfmutter 29 über einen Flansch 30 des Trägerelements 3 greift und andererseits auf das Außengewinde 27 des zylindrischen Ansatzes 26 aufgeschraubt ist. Infolge der elektrisch isolierenden Oberflächenbeschichtung des Trägerelements 3 ist dieses auch gegenüber der Überwurfmutter 29 elektrisch isoliert. Das Trägerelement 3 weist eine axiale Durchgangsöffnung auf, die an ihrer Spitze mit einem Innengewinde 31 versehen ist. In dieses Innengewinde 31 ist mit einem entsprechenden Außengewinde das Sensorelement 4 hineingeschraubt, das z. B. aus Kupfer besteht. Das Sensorelement 4 weist eine axiale Durchgangsöffnung 32 auf, durch die der Laserstrahl und ggf. das
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Bearbeitungsgas hindurchtreten. Mit anderen Worten sind das Sensorelement 4 und das Trägerelement 3 im Bereich der Gewinde 31 elektrisch leitend miteinander verbunden.
Um einen noch besseren elektrischen Kontakt zwischen den Kontaktelementen 9 und 13 einerseits und dem Trägerelement 3 andererseits zu erzielen, kann das Trägerelement 3 Kontaktstifte (nicht dargestellt) aufweisen, gegen die die Kontaktstücke 24 drücken. Hierzu können die Kontaktstifte direkt in das Trägerelement 3 hineingeschlagen werden, und zwar durch dessen elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung hindurch. Vorzugsweise können die Kontaktstifte an ihrer freiliegenden Stirnseite vergoldet sein, so daß ein noch besserer Kontakt mit den Kontaktstücken 24 erfolgt.
Es sei darauf hingewiesen, daß im einfachsten Fall statt der beiden Kontaktelemente 9 und 13 auch nur ein einziges Kontaktelement vorhanden zu sein braucht, z. B. das Kontaktelement 9, um hierüber das Meßpotential zum Trägerelement 3 und weiter zum Sensorelement 4 zu leiten. In diesem Fall können der Widerstand 14 in den Figuren 1 und 2 und der Widerstand 15 in Figur 2 entfallen.
Natürlich sind auch andere geometrische Formen des Trägerelements 3 möglich. So kann die Überwurfmutter 29 z. B. konisch ausgebildet sein und über eine Kegelfläche des Trägerelements 3 greifen. Die Überwurfmutter 29 kann auch aus Metall bestehen und in elektrisch leitender Verbindung mit dem Düsenkörper 2 über das Gewinde 27 sein, so daß das Schirmpotential dann auch an der Übewurfmutter 29 anliegt. Dabei kann die Überwurfmutter 29 auch bis nahe zum Sensorelement 4 heruntergezogen sein, wobei sie immer infolge der elektrisch isolierenden Oberflächenbeschichtung des Trägerelements 3 gegenüber diesem elektrisch isoliert ist. Vorzugsweise wird an Düsenkörper 2 und Übewurfmutter 29 aktives Schirmpotential angelegt, um die parasitären Kapazitäten infolge der Verwendung des aus Metall bestehenden Trägerelements 3 so gering wie möglich zu halten.
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Nicht zuletzt kann das Trägerelement 3 an seiner zum Düsenkörper 2 zuweisenden Seite zum Zwecke der Drehsicherung mit einem Vorsprung versehen sein, der in eine entsprechende Nut des Düsenkörpers 2 eingreift, oder umgekehrt mit einer Öffnung, in die ein entsprechender Vorsprung des Düsenkörpers 2 hineinragt. Ist der Vorsprung am Trägerelement 3 vorhanden, so kann dieser auch den Kontaktstift aufnehmen, der z. B. in einer Nut des Vorsprungs zu liegen kommt.

Claims (5)

TER MEER - MÜLLER - STEINMEiSl ER & PARTNER -13- Weidmüller Interface GmbH & Co. Case: PA 674 28.7.1993 Schutzansprüche
1. Düse zur Bearbeitung eines Werkstücks, mit
einem Düsenkörper (2), der wenigstens ein ihm gegenüber elektrisch isoliertes Kontaktelement (9, 13) aufweist,
einem an der Spitze des Düsenkörpers (2) gehaltenen Trägerelement (3), das das Kontaktelement (9, 13) berührt, und
einem vom Trägerelement (3) getragenen Sensorelement (4), das elektrisch mit dem Kontaktelement (9, 13) in Verbindung steht, dadurch ge kennzeichnet, daß
das Trägerelement (3) aus elektrisch leitendem Material besteht und - wenigstens im Verbindungsbereich mit dem Düsenkörper (2) eine elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung trägt.
2. Düse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (3) die elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung auf seiner gesamten Oberfläche trägt, wobei Bereiche, die mit dem Kontaktelement (9, 13) und dem Sensorelement (4) in Berührung stehen, von der Oberflächenbeschichtung ausgenommen sind.
3. Düse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung eine Oxidschicht, eine Keramikschicht oder eine Teflonschicht ist.
4. Düse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägerelement (3) aus Aluminium hergestellt ist.
5. Düse nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in das Trägerelement (3) durch die elektrisch isolierende Oberflächenbeschichtung hindurch wenigstens ein Kontaktstift eingebracht ist, der das Kontaktelement (9, 13) berührt.
7. Düse nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktstift im Berührungsbereich mit dem Kontaktelement (9, 13) vergoldet ist.
8. Düse nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
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Weidmüller Interface GmbH & Co. Case: PA 674 28.7.1993
1 daß das Sensorelement (4) und das Trägerelement (3) ineinander geschraubt sind und im Schraubbereich in elektrischer Verbindung miteinander stehen.
5 9. Düse nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (2) mit aktivem Schirmpotential versorgbar ist.
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