JPH07311385A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置およびその製造方法

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JPH07311385A
JPH07311385A JP6101390A JP10139094A JPH07311385A JP H07311385 A JPH07311385 A JP H07311385A JP 6101390 A JP6101390 A JP 6101390A JP 10139094 A JP10139094 A JP 10139094A JP H07311385 A JPH07311385 A JP H07311385A
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electrode
signal
scanning
liquid crystal
substrate
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JP6101390A
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Kenji Imazu
健二 今津
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Citizen Watch Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 走査側駆動ICと信号側駆動ICを同一基板
上に設ける液晶表示装置において、液晶を封入するため
のシール領域44に導電性粒子を分散する導電性シール
材を用い、このシール領域の走査側電極基板46上に絶
縁膜51を形成し対向する信号側電極基板48上に絶縁
膜52それぞれ形成し、信号側駆動IC接続配線43と
信号電極47を電気的に接続する領域のみにコンタクト
ホールを備える液晶表示装置およびその製造方法。 【効果】 電気的に接続を行う領域のみにコンタクトホ
ールが形成されており、導電性粒子を介して選択的に導
通状態を可能にできる。このような構造を取ることによ
り配線密度が高い液晶表示装置においても、同一基板上
での駆動IC実装が可能であり、電極間ショートによる
表示品質の低下を防止するとともに、実装歩留を向上す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置の構造と、
この構造を形成するための製造方法とに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、オフィスオートメイション(O
A)用や映像用の液晶表示装置においては、液晶表示パ
ネルの高精細化に伴い、表示面積に対するする画素密度
が高くなり、より微細な電極パターンの形成が必要とな
っている。
【0003】これらの微細電極パターンを外部回路に接
続する手段として、高分子媒体中に導電性粒子を分散す
るシール材(以下導電性シール材と記載する)によって
回路基板と液晶表示パネルとの間を電気的に接続する実
装手段を採用している。
【0004】このような実装手段としては、液晶表示パ
ネルを駆動する半導体集積回路装置(以下駆動ICと記
載する)をTAB(Tape Auto Bondin
g)実装した後に、液晶表示パネルに接続する手段や、
液晶パネルの電極基板面に直接駆動ICを実装するCO
G( Chip On Glass)手段がある。
【0005】このような実装手段のうち、COG実装を
用いた従来の液晶表示装置について図4と図5と図6と
を用いて説明する。
【0006】図4は走査側駆動IC11を信号側駆動I
C12と同一基板上に実装する液晶表示装置の従来例を
示す平面図である。さらに、図4は図3の破線領域10
を拡大して示す平面図であり、走査側駆動IC11の接
続配線13と、液晶パネルの走査電極を導電性シール材
によって電気的に接続するシール領域14を示してい
る。図6は図2のA−A線における断面を示す断面図で
ある。以下図4と図5と図6とを交互に参照して説明す
る。
【0007】図4に示すように、シール領域14は走査
電極15を設ける走査電極基板16と、信号電極17を
設ける信号電極基板18を電極面を向かい合わせて導電
性シール材によって封止する。さらに、走査電極基板1
6と信号電極基板18との基板の間には液晶を封入す
る。
【0008】図5と図6に示すように、導電性シール材
は導電性粒子19を内部に分散しており、走査電極15
はこの導電性粒子19を介して信号電極基板18に設け
る走査側駆動IC11と接続する走査側駆動IC11の
接続配線13と導通する。
【0009】ここで、スペーサー20は、液晶を封入す
るために走査電極基板16と信号電極基板18との基板
間隔を一定の隙間で保持するためのものである。
【0010】このような図4から図6に示すような構成
によれば、シール領域14に用いる導電性シール材内に
導電性粒子20を分散することのみで、従来の製造工程
を変更することなく、走査側駆動IC11と信号側駆動
IC12との駆動ICの実装を、同一基板上で行うこと
ができる。
【0011】このように実装工程の簡略化によって、実
装歩留まりを向上することが可能となっている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】近年、液晶表示装置に
おいては、画像の鮮明化およびカラー化の要求が盛んに
なり、走査電極や信号電極の配線ピッチ寸法の微細化
と、高密度化とが必要となっている。
【0013】しかしながら、従来技術では走査電極や信
号電極の配線間隔寸法が狭くなるにつれて、導電性シー
ル材内に分散する導電性粒子19が領域的に凝集する現
象が発生する。
【0014】この導電性粒子19の凝集よって、走査電
極15や信号電極17、あるいは走査側駆動IC11を
信号側駆動IC12との駆動ICの接続配線の隣合った
電極間でショートが発生する。
【0015】このようなショート発生は、液晶表示装置
の表示品質を損ねるとともに製造工程における不良率を
非常に高くする。
【0016】本発明の目的は、上記課題を解決して、液
晶カラービュファンダーや液晶プロジェクターといった
走査電極や信号電極の配線が高密度な液晶表示装置にお
いても、電極間ショートを発生することなく走査電極や
信号電極と対向する基板側に設けるする駆動IC接続配
線とを導電性粒子を介して導通を可能にし、同一基板上
へのIC実装を効率よく行うことが可能な液晶表示装置
およびその製造方法を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の液晶表示装置およびその製造方法は下記記載
の手段を採用する。
【0018】本発明の液晶表示装置は、透明電極を設け
る走査電極基板と信号電極基板との周辺部に設け透明電
極面を向かい合わせて封止する導電性粒子を分散するシ
ール材と、このシール材の内側領域に封入する液晶材料
と、シール材によって封止する領域に設ける絶縁膜と、
走査電極基板と信号電極基板とのいずれか一方に設ける
駆動ICの接続配線と、この駆動ICの接続配線と電気
的な接続を行う電極領域上に設けるコンタクトホールと
を有することを特徴とする。
【0019】本発明の液晶表示装置の製造方法は、透明
電極を形成するガラス基板に信号電極と走査電極とを形
成し、走査電極を形成する走査電極基板側に信号側駆動
ICの接続配線と走査側駆動ICの接続配線とを形成す
る工程と、走査電極を有する走査電極基板と信号電極を
有する信号電極基板のそれぞれの透明電極上に絶縁膜を
形成する工程と、信号電極上の絶縁膜と信号側駆動IC
の接続配線上の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工
程と、走査電極を有する走査電極基板と信号電極を有す
る信号電極基板の透明電極に液晶配向処理を行い、透明
電極間隔を保持するためのスペーサーを散布し、この透
明電極面を向かい合わせて導電性粒子を含むシール材に
よって封止し、封止領域の基板間の隙間に液晶材料を封
入する工程と、走査側駆動ICと信号側駆動ICとをそ
れぞれ対応する走査側駆動ICと駆動ICとの接続配線
上に実装する工程を有することを特徴とする。
【0020】
【作用】本発明によれば、同一基板内で隣あった透明電
極間では信号電極や走査電極の電極上に絶縁膜を形成し
ている。
【0021】このため、シール領域内に分散する導電正
粒子が凝集し、隣合った電極間にまたがって凝集する導
電性粒子が存在することによって発生するショートを防
止することができる。
【0022】またさらに、向かい合った走査電極基板と
信号電極基板との基板間での透明電極どうしにおいて
は、電気的接続を行う領域のみにコンタクトホールを形
成している。
【0023】このため、導電性粒子を介して選択的に導
通状態を得ることを可能にすることができる。
【0024】
【実施例】以下本発明の実施例における液晶表示装置に
ついてに図面を用いて説明する。
【0025】図1は走査側駆動IC41と信号側駆動I
C42を同一基板上に実装する本発明の実施例における
液晶表示装置を示す平面図である。また、図2は図1の
破線領域40を拡大して示す平面図であり、信号側駆動
IC42の接続配線43と液晶パネルの信号電極を導電
性シール材によって電気的に接続するシール領域44を
示する。図3は図2のB−B線における断面を示す断面
図である。以下図1と図2と図3とを交互に参照して説
明する。
【0026】図1に示すように、シール領域44は走査
電極45を設ける走査電極基板46と、信号電極47を
設ける信号電極基板48とを走査電極45と信号電極4
7との透明電極面を向かい合わせて導電性シール材によ
って封止する。
【0027】またさらに、走査電極基板46と信号電極
基板48の基板間には液晶を封入する。
【0028】図2と図3に示すように、スペーサー55
は走査電極基板46と信号電極基板48の基板間に液晶
を注入するための隙間寸法を一定に保持するためのもの
である。
【0029】さらに、シール領域44の走査電極基板4
6上には絶縁膜51を設け、信号電極基板48上には絶
縁膜52を設ける。
【0030】また、シール領域44に用いている導電性
シール材には、導電性粒子50をその内部に分散する。
【0031】ここで、信号電極基板48に形成する信号
電極47上の絶縁膜52と、走査電極基板46に形成す
る信号側駆動IC42の接続配線43上の絶縁膜51に
は、コンタクトホール53を形成する。
【0032】このコンタクトホール53によって、互い
に異なる走査電極基板46と信号電極基板48の基板上
に形成する信号側駆動IC42の接続配線43と、信号
電極47と導電性粒子50とを介して電気的に接続す
る。
【0033】ここで、絶縁膜51と絶縁膜52とは、シ
ール領域44の全域にわたって設けており、コンタクト
ホール53の形成領域以外は電気的に絶縁状態をとるよ
うに構成する。
【0034】このため、導電性粒子50の凝集領域54
によって発生する電極間のショート発生を防止すること
ができる。
【0035】つぎに以上説明した構造を形成するための
本発明の実施例における液晶表示装置の製造方法につい
て、図1から図3を用いて説明する。
【0036】インジュウム・スズ酸化物(以下ITOと
記載する)の透明電極を形成するガラス基板に、東京応
化製のポジ型フォトレジストTSMR−8900を回転
塗布法を用いて厚さ1.0μmに形成する。
【0037】その後、走査側駆動IC41の接続配線4
3のパターンと、走査電極45のパターンと、信号側駆
動IC42の接続配線43のパターンとを形成したフォ
トマスクを用いて、一般的な密着露光装置や、プロキシ
ミティー露光装置や、あるいは投影露光装置で露光処理
を行い、さらに現像処理を行う。この結果、所定のパタ
ーンを形成したフォトレジストを形成することができ
る。
【0038】そののちに、このパターニングしたフォト
レジストをエッチングマスクに用いて、ITOのエッチ
ング液、たとえば塩酸と塩化第二鉄の混合溶液にてエッ
チング処理し、ITOを所定の配線パターンに形成す
る。
【0039】その後、長瀬産業製のレジスト剥離液N−
303を温度50℃に加熱し、時間20分間浸漬してI
TOパターン上のレジストを剥離除去する。この結果、
ガラス基板上に走査電極45を形成する走査電極基板4
6を得る。
【0040】上記説明と同様な手段で信号電極47のパ
ターンを形成するフォトマスクを用いてガラス基板上に
信号電極47を形成し、信号電極基板48を得る。
【0041】つぎに走査電極基板46の走査電極45上
に東京応化製のポジ型フォトレジストOFPR−800
を2.0μmの膜厚になるようにロールコーター、ある
いは回転塗布法により形成する。
【0042】その後、コンタクトホール53のパターン
を形成したフォトマスクを用いて、一般的な密着露光装
置や、プロキシミティー露光装置や、あるいは投影露光
装置でパターン形成する走査電極基板46にアライメン
トして露光処理し、東京応化製の現像液NMD−Wにて
現像処理をしてコンタクトホール53に対応するパター
ン残存部を有するフォトレジストパターンを形成する。
【0043】その後、この走査電極基板46のコンタク
トホール53に対応するパターン残存部を有するフォト
レジスト上に、アルバック社製のスパッタリング装置を
もちいて基板温度を160℃に設定し、スパッタチャン
バー内の圧力が全圧1〜3×10-3Torrになるよう
に調節し、100nmの膜厚になるように五酸化タンタ
ル膜を形成する。
【0044】この後に、コンタクトホール53を形成す
るために、東京応化製のフォトレジスト剥離液S−10
を温度80℃に加熱し、走査電極基板46をこの剥離液
に、時間30分間浸漬する。
【0045】このことによりコンタクトホール53のパ
ターンを形成するフォトレジストを剥離し、フォトレジ
スト上に形成する五酸化タンタル膜もフォトレジストと
共に剥離除去する、リフトオフ処理を行う。
【0046】さらに、信号電極基板45においても、走
査電極基板46に形成するコンタクトホール53の形成
と同様な手法を用い、電気的に接続を必要とする電極領
域上の絶縁膜51にコンタクトホール53を形成する。
【0047】このようにして形成する走査電極基板46
に、通常の液晶表示パネルを製造する工程、すなわち液
晶の配向を制御するための配向膜塗布工程と、ラビング
による配向処理とを行い、同様に配向膜塗布工程と配向
処理とを行った信号電極基板48との張り合わせる。
【0048】その後、液晶注入工程と、注入孔の封孔工
程を経て、液晶表示パネルを完成することができる。
【0049】ここで、信号電極基板45と走査電極基板
46とのそれぞれの基板の張り合わせ工程において、液
晶層の厚さを基板内で均一に保持するためのスペーサー
55としてシリカビーズをそれぞれの基板上に散布す
る。
【0050】さらにまた、基板を接着するシール材とし
ては、導電性粒子50を混合した導電性シール材を用い
る。
【0051】ここで、基板間のギャップを制御するスペ
ーサー55であるシリカビーズの粒径としては3μmの
ものを用いた。さらに、シール材に混入する導電性粒子
50としてはそれぞれの配線電極との導通を可能とする
ため、シリカビーズの粒径よりも大きいものが望まし
く、3.2〜3.5μmのものを用いた。
【0052】その後、このようにして得られた液晶表示
パネルの信号電極基板48上に走査側駆動IC41と信
号側駆動IC42をそれぞれ対応する接続配線上にCO
G方式を用いて実装し、本発明の液晶表示装置を得るこ
とができる。
【0053】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明は
このような液晶表示装置の構造および製造方法をとるこ
とによって、電極配線が高密度な液晶表示装置において
も電極間ショートによる表示品質の低下を防止しすると
ともに、駆動ICの実装を同一基板上で効率良く行うこ
とが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における液晶表示装置の構造と
その製造方法とを示す平面図である。
【図2】本発明の実施例における液晶表示装置の構造と
その製造方法とを示す平面図である。
【図3】本発明の実施例における液晶表示装置の構造と
その製造方法とを示す断面図である。
【図4】従来例における液晶表示装置の構造とその製造
方法とを示す平面図である。
【図5】従来例における液晶表示装置の構造とその製造
方法とを示す平面図である。
【図6】従来例における液晶表示装置の構造とその製造
方法とを示す断面図である。
【符号の説明】 41 走査側駆動IC 42 信号側駆動IC 45 走査電極 46 走査電極基板 47 信号電極 48 信号電極基板 50 導電性粒子 53 コンタクトホール

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明電極を設ける走査電極基板と信号電
    極基板との周辺部に設け透明電極面を向かい合わせて封
    止する導電性粒子を分散するシール材と、このシール材
    の内側領域に封入する液晶材料と、シール材によって封
    止する領域に設ける絶縁膜と、走査電極基板と信号電極
    基板とのいずれか一方に設ける駆動半導体集積回路装置
    の接続配線と、この駆動半導体集積回路装置の接続配線
    と電気的な接続を行う電極領域上に設けるコンタクトホ
    ールとを有することを特徴とする液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 透明電極を形成するガラス基板に信号電
    極と走査電極とを形成し、走査電極を形成する走査電極
    基板側に信号側駆動半導体集積回路装置の接続配線と走
    査側駆動半導体集積回路装置の接続配線とを形成する工
    程と、走査電極を有する走査電極基板と信号電極を有す
    る信号電極基板のそれぞれの透明電極上に絶縁膜を形成
    する工程と、信号電極上の絶縁膜と信号側駆動半導体集
    積回路装置の接続配線上の絶縁膜にコンタクトホールを
    形成する工程と、走査電極を有する走査電極基板と信号
    電極を有する信号電極基板の透明電極に液晶配向処理を
    行い、透明電極間隔を保持するためのスペーサーを散布
    し、この透明電極面を向かい合わせて導電性粒子を含む
    シール材によって封止し、この封止領域の走査電極基板
    と信号電極基板間の隙間に液晶材料を封入する工程と、
    走査側駆動半導体集積回路装置と信号側駆動半導体集積
    回路装置とをそれぞれ対応する走査側駆動半導体集積回
    路装置と駆動半導体集積回路装置との接続配線上に実装
    する工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造
    方法。
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