JPH0730745B2 - スクリュー真空ポンプ - Google Patents
スクリュー真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0730745B2 JPH0730745B2 JP2279121A JP27912190A JPH0730745B2 JP H0730745 B2 JPH0730745 B2 JP H0730745B2 JP 2279121 A JP2279121 A JP 2279121A JP 27912190 A JP27912190 A JP 27912190A JP H0730745 B2 JPH0730745 B2 JP H0730745B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tooth space
- tooth
- suction
- pressure
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを含み、該ケーシングは、吸込ポー
ト及び吐出ポートを備えているスクリュー真空ポンプに
関し、特に到達真空度を改善するスクリュー真空ポンプ
に関する。
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを含み、該ケーシングは、吸込ポー
ト及び吐出ポートを備えているスクリュー真空ポンプに
関し、特に到達真空度を改善するスクリュー真空ポンプ
に関する。
［従来の技術］ スクリュー真空ポンプの作用は、吸込ポートからロータ
内へ気体を吸入する吸込過程と、ロータ内部で気体を圧
縮する圧縮過程と、吐出ポートから気体を吐出する吐出
過程とからなっている。
内へ気体を吸入する吸込過程と、ロータ内部で気体を圧
縮する圧縮過程と、吐出ポートから気体を吐出する吐出
過程とからなっている。
［発明が解決しようとする課題］ 従来、吸込過程においては、できるだけ多くの気体を排
気するため、ケーシングと雌雄ロータとで形成される歯
溝空間に気体を最大に吸込んだとき、すなわち歯溝容積
が最大になったときに、吸込ポートを閉じるようにして
いる。そのため、その後に続く圧縮過程により吸込ポー
ト閉じ込み直後から歯溝内の圧力が吸込圧力より上昇す
る。したがって、雌雄ロータの間やケーシングとロータ
との間の微小な隙間から気体が吸込側に漏洩して到達真
空度に悪影響を与えていた。
気するため、ケーシングと雌雄ロータとで形成される歯
溝空間に気体を最大に吸込んだとき、すなわち歯溝容積
が最大になったときに、吸込ポートを閉じるようにして
いる。そのため、その後に続く圧縮過程により吸込ポー
ト閉じ込み直後から歯溝内の圧力が吸込圧力より上昇す
る。したがって、雌雄ロータの間やケーシングとロータ
との間の微小な隙間から気体が吸込側に漏洩して到達真
空度に悪影響を与えていた。
本発明は、前述した気体の吸込側への漏洩を防止するス
クリュー真空ポンプを提供することを目的としている。
クリュー真空ポンプを提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本発明のスクリュー真空ポンプは、平行な２軸の回りを
互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータ
と、それら両ロータを収納するケーシングとを含み、該
ケーシングは、吸込ポート及び吐出ポートを備えている
スクリュー真空ポンプにおいて、前記吸込ポートが、前
記ケーシング及び雌雄ロータで形成される歯溝容積を閉
じ込めるロータ回転角を、該歯溝容積が最大となる以前
のロータ回転角に形成している。
互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータ
と、それら両ロータを収納するケーシングとを含み、該
ケーシングは、吸込ポート及び吐出ポートを備えている
スクリュー真空ポンプにおいて、前記吸込ポートが、前
記ケーシング及び雌雄ロータで形成される歯溝容積を閉
じ込めるロータ回転角を、該歯溝容積が最大となる以前
のロータ回転角に形成している。
上記閉じ込め時のロータ回転角は、閉じ込め時の歯溝容
積Ｖψが最大時の歯溝容積Vmaxに対し 0.2VmaxＶψ0.95Vmax となるように決めるのが好ましい。0.95Vmaxより大きい
と、従来のものと変りがなく前述した問題が解決され
ず、一方、0.2Vmaxより小さいと、吸込量が過小で効率
が悪いからである。
積Ｖψが最大時の歯溝容積Vmaxに対し 0.2VmaxＶψ0.95Vmax となるように決めるのが好ましい。0.95Vmaxより大きい
と、従来のものと変りがなく前述した問題が解決され
ず、一方、0.2Vmaxより小さいと、吸込量が過小で効率
が悪いからである。
［作用］ 上記のように構成された本発明のスクリュー真空ポンプ
においては、歯溝容積が最大となる前に、吸込ポートが
閉じられ、以後は歯溝容積が大きくなるので、歯溝内の
圧力が吸込圧力よりも低くなる。その後、圧縮過程にな
り歯溝内の圧力が上昇して吸込圧力以上になり、吐出ポ
ートから吐出される。したがって、吸込圧力より高い圧
力の歯溝と吸込側との間に、吸込圧力より低い圧力の歯
溝が存在することになる。従って、吸込側への気体の漏
洩が防止され、到達真空度が向上する。
においては、歯溝容積が最大となる前に、吸込ポートが
閉じられ、以後は歯溝容積が大きくなるので、歯溝内の
圧力が吸込圧力よりも低くなる。その後、圧縮過程にな
り歯溝内の圧力が上昇して吸込圧力以上になり、吐出ポ
ートから吐出される。したがって、吸込圧力より高い圧
力の歯溝と吸込側との間に、吸込圧力より低い圧力の歯
溝が存在することになる。従って、吸込側への気体の漏
洩が防止され、到達真空度が向上する。
［実施例］ 以下図面を参照して本発明の実施例を説明する。
第１図において、スクリュー真空ポンプの主ケーシング
１と吐出ケーシング２とで形成される空間内には、雄ロ
ータ７と雌ロータ7A（第３図）とが、それぞれ軸受5a、
5bにより回転自在に支持され、軸シール6a、6bにより軸
受5a、5bの潤滑油からシールされている。
１と吐出ケーシング２とで形成される空間内には、雄ロ
ータ７と雌ロータ7A（第３図）とが、それぞれ軸受5a、
5bにより回転自在に支持され、軸シール6a、6bにより軸
受5a、5bの潤滑油からシールされている。
その一方の例えば雄ロータ７は、図示しない変速装置を
介して図示しない電動機により回転され、雌ロータ7A
は、タイミングギヤ10により雄ロータ７と微小隙間を保
って回転されるようになっている。
介して図示しない電動機により回転され、雌ロータ7A
は、タイミングギヤ10により雄ロータ７と微小隙間を保
って回転されるようになっている。
そして、吸込口8aから吸込まれた気体は、吸込ポート8b
を通り主ケーシング１と両ロータ７、7Aとで形成される
歯溝空間に吸入され、圧縮過程を経て吐出ポート9bを介
し吐出口9aから吐出されるようになっている。なお、図
中の符号３はギヤカバー、４はカバーである。
を通り主ケーシング１と両ロータ７、7Aとで形成される
歯溝空間に吸入され、圧縮過程を経て吐出ポート9bを介
し吐出口9aから吐出されるようになっている。なお、図
中の符号３はギヤカバー、４はカバーである。
第２図には、雄ロータ７と雌ロータ7Aとが噛み合ってい
る状態をロータの周方向に展開した図が示され、第３図
には、両ロータ７、7Aの軸に直交する断面が示されてい
る。
る状態をロータの周方向に展開した図が示され、第３図
には、両ロータ７、7Aの軸に直交する断面が示されてい
る。
第２図において、A1〜G1とA2〜G2とは、それぞれロータ
７、7Aの対向する歯溝であり、歯溝D1、D2は、歯溝容積
Ｖψが最大容積Vmaxになる歯溝である。従来のポンプで
は、吸込ポート8bを形成する主ケーシング１の壁部30に
より閉じられている。
７、7Aの対向する歯溝であり、歯溝D1、D2は、歯溝容積
Ｖψが最大容積Vmaxになる歯溝である。従来のポンプで
は、吸込ポート8bを形成する主ケーシング１の壁部30に
より閉じられている。
これに対し本発明では、歯溝容積Ｖψが最大容積Vmaxに
なる前の例えば溝C1、C2で吸込ポート8bで閉じられるよ
うに壁部31が大きく、すなわち吸込ポート8bが小さくな
るように形成されている。
なる前の例えば溝C1、C2で吸込ポート8bで閉じられるよ
うに壁部31が大きく、すなわち吸込ポート8bが小さくな
るように形成されている。
その壁部31の大きさの範囲は第３図に示すように、歯溝
Ｖψが、 0.2VmaxＶψ0.95Vmax の範囲が好ましい。すなわち、従来の壁部30の両端縁30
a、30bが、Ｖψ≒0.95Vmaxの位置X1、X2と、Ｖψ≒0.2V
maxの位置Y1、Y2との範囲まで大きく、第２図の例で
は、位置31a、31bまで大きく形成されている。なお、第
３図の符号ａ、ｂは、それぞれロータ７、7Aの軸貫通部
である。
Ｖψが、 0.2VmaxＶψ0.95Vmax の範囲が好ましい。すなわち、従来の壁部30の両端縁30
a、30bが、Ｖψ≒0.95Vmaxの位置X1、X2と、Ｖψ≒0.2V
maxの位置Y1、Y2との範囲まで大きく、第２図の例で
は、位置31a、31bまで大きく形成されている。なお、第
３図の符号ａ、ｂは、それぞれロータ７、7Aの軸貫通部
である。
次に、主として第４図を参照して作用を説明する。この
図には、雄ロータ回転角ψに対する歯溝内圧力Ｐ及び歯
溝容積Ｖψの変化が示されている。
図には、雄ロータ回転角ψに対する歯溝内圧力Ｐ及び歯
溝容積Ｖψの変化が示されている。
従来の場合は、歯溝容積Ｖψが増加する間すなわち回転
角ψ０〜ψ２の間は、歯溝が吸込ポート8bに連通し、気
体が吸入される。次に、歯溝容積Ｖψが最大値Vmaxとな
る付近の回転角ψ２では、それらの歯溝に対する吸込ポ
ート8bが閉じられ、所定の歯溝内圧力Ｐになる回転角ψ
４までの間は、歯溝容積ψ４が減少し、歯溝内の気体が
圧縮される。そして、回転角ψ４で歯溝が吐出ポート9b
に連通し、歯溝内の気体が吐出圧力Paで吐出される。
角ψ０〜ψ２の間は、歯溝が吸込ポート8bに連通し、気
体が吸入される。次に、歯溝容積Ｖψが最大値Vmaxとな
る付近の回転角ψ２では、それらの歯溝に対する吸込ポ
ート8bが閉じられ、所定の歯溝内圧力Ｐになる回転角ψ
４までの間は、歯溝容積ψ４が減少し、歯溝内の気体が
圧縮される。そして、回転角ψ４で歯溝が吐出ポート9b
に連通し、歯溝内の気体が吐出圧力Paで吐出される。
この回転角ψ０〜ψ４間の従来の歯溝内圧力Ｐの変化
が、実線で示されている。すなわち、ある歯溝に対して
吸込ポート8bが閉じた回転角ψ２直後から該歯溝内圧力
Ｐは、吸込圧力P0より増加しているので、吸込側への気
体の漏洩が生じることになる。
が、実線で示されている。すなわち、ある歯溝に対して
吸込ポート8bが閉じた回転角ψ２直後から該歯溝内圧力
Ｐは、吸込圧力P0より増加しているので、吸込側への気
体の漏洩が生じることになる。
これに対し本発明においては、歯溝容積Ｖψが最大値Vm
axになる以前の回転角ψ１で、歯溝C1、C2に対して吸込
ポート8bが閉じ、該歯溝C1、C2と吸込側とを遮断するの
で、回転角ψ０〜ψ２の間は、歯溝容積の増大に伴い、
歯溝内圧力P1は、鎖線で示す圧力P1aのように減少す
る。そして、圧縮過程が始まっても歯溝容積Ｖψが回転
角ψ１での歯溝容積Ｖψ１と略等しくなる回転角ψ３ま
での間は、歯溝内圧力P1は、吸込圧力P0より低い圧力P1
bに保たれ、回転角ψ３以後に吸込圧力P0より高い圧力P
1cとなって吐出される。
axになる以前の回転角ψ１で、歯溝C1、C2に対して吸込
ポート8bが閉じ、該歯溝C1、C2と吸込側とを遮断するの
で、回転角ψ０〜ψ２の間は、歯溝容積の増大に伴い、
歯溝内圧力P1は、鎖線で示す圧力P1aのように減少す
る。そして、圧縮過程が始まっても歯溝容積Ｖψが回転
角ψ１での歯溝容積Ｖψ１と略等しくなる回転角ψ３ま
での間は、歯溝内圧力P1は、吸込圧力P0より低い圧力P1
bに保たれ、回転角ψ３以後に吸込圧力P0より高い圧力P
1cとなって吐出される。
このように、歯溝内圧力P1cが、吸込圧力P0より高い歯
溝と吸込側との間に、歯溝内圧力P1a、P1bが吸込圧力P0
より低い歯溝が存在するので、歯溝内の気体が吸込側へ
漏洩するのが防止され、その結果、到達真空度が従来よ
り向上される。
溝と吸込側との間に、歯溝内圧力P1a、P1bが吸込圧力P0
より低い歯溝が存在するので、歯溝内の気体が吸込側へ
漏洩するのが防止され、その結果、到達真空度が従来よ
り向上される。
［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、吸
込ポート閉じ込み後の歯溝空間内の気体が吸込側へ漏洩
することを防止し、到達真空度を改善することができ
る。
込ポート閉じ込み後の歯溝空間内の気体が吸込側へ漏洩
することを防止し、到達真空度を改善することができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す側断面図、第２図は雄
ロータと雌ロータとが噛み合っている状態のロータ周方
向の展開図、第３図は両ロータの軸に直交する断面図、
第４図は雄ロータ回転角に対する歯溝内圧力及び歯溝容
積の変化を示す特性図である。 A1〜G1、A2〜G2……歯溝、Ｖψ……歯溝容積、ψ……ロ
ータ回転角、１……主ケーシング、７……雄ロータ、7A
……雌ロータ、8b……吸込ポート、9b……吐出ポート
ロータと雌ロータとが噛み合っている状態のロータ周方
向の展開図、第３図は両ロータの軸に直交する断面図、
第４図は雄ロータ回転角に対する歯溝内圧力及び歯溝容
積の変化を示す特性図である。 A1〜G1、A2〜G2……歯溝、Ｖψ……歯溝容積、ψ……ロ
ータ回転角、１……主ケーシング、７……雄ロータ、7A
……雌ロータ、8b……吸込ポート、9b……吐出ポート
Claims (1)
- 【請求項１】平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転
する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを
収納するケーシングとを含み、該ケーシングは、吸込ポ
ート及び吐出ポートを備えているスクリュー真空ポンプ
において、前記吸込ポートが、前記ケーシング及び雌雄
ロータで形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角
を、該歯溝容積が最大となる以前のロータ回転角に形成
したことを特徴とするスクリュー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279121A JPH0730745B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | スクリュー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279121A JPH0730745B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | スクリュー真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04159488A JPH04159488A (ja) | 1992-06-02 |
| JPH0730745B2 true JPH0730745B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=17606724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2279121A Expired - Fee Related JPH0730745B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | スクリュー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730745B2 (ja) |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2279121A patent/JPH0730745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04159488A (ja) | 1992-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090410 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100410 Year of fee payment: 15 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |