JPH0518381A - スクリユー形真空ポンプ - Google Patents
スクリユー形真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0518381A JPH0518381A JP19594491A JP19594491A JPH0518381A JP H0518381 A JPH0518381 A JP H0518381A JP 19594491 A JP19594491 A JP 19594491A JP 19594491 A JP19594491 A JP 19594491A JP H0518381 A JPH0518381 A JP H0518381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tooth space
- casing
- gas
- vacuum pump
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 到達真空度が高く、且つポンプ内で生成され
る反応生成物を抑えることができるスクリュー形真空ポ
ンプを提供すること。 【構成】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ７及び雌ロータ７Ａと、それら両ロー
タを収納するケーシング１とを具備し、該ケーシング１
は、吸込ポート８ｂ及び吐出ポート９ｂを備えているス
クリュー形真空ポンプにおいて、吸込ポート８ｂが、ケ
ーシング１及び雌雄ロータで形成される歯溝容積を閉じ
込めるロータ回転角を、該歯溝容積が最大となる以前の
ロータ回転角に形成すると共に、ケーシング１に歯溝内
に不活性ガスを導入するガス導入孔１１を設けた。
る反応生成物を抑えることができるスクリュー形真空ポ
ンプを提供すること。 【構成】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ７及び雌ロータ７Ａと、それら両ロー
タを収納するケーシング１とを具備し、該ケーシング１
は、吸込ポート８ｂ及び吐出ポート９ｂを備えているス
クリュー形真空ポンプにおいて、吸込ポート８ｂが、ケ
ーシング１及び雌雄ロータで形成される歯溝容積を閉じ
込めるロータ回転角を、該歯溝容積が最大となる以前の
ロータ回転角に形成すると共に、ケーシング１に歯溝内
に不活性ガスを導入するガス導入孔１１を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置等に使用
されるスクリュー形真空ポンプに関し、特に到達真空度
が高く、且つ昇華性ガスの吸い込みがあっても該ガスが
固体化してポンプ内で生成される反応生成物を抑えるこ
とができるスクリュー形真空ポンプに関するものであ
る。
されるスクリュー形真空ポンプに関し、特に到達真空度
が高く、且つ昇華性ガスの吸い込みがあっても該ガスが
固体化してポンプ内で生成される反応生成物を抑えるこ
とができるスクリュー形真空ポンプに関するものであ
る。
【０００２】
【従来技術】従来、平行な２軸の回りを互いに噛み合っ
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロ
ータを収納するケーシングとを具備し、該ケーシング
は、吸込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー
形真空ポンプがある。該スクリュー形真空ポンプの作用
は、吸込ポートからロータ内へ気体を吸入する吸込過程
と、ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程と、吐出ポー
トから気体を吐出する吐出過程とからなっている。
て回転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロ
ータを収納するケーシングとを具備し、該ケーシング
は、吸込ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー
形真空ポンプがある。該スクリュー形真空ポンプの作用
は、吸込ポートからロータ内へ気体を吸入する吸込過程
と、ロータ内部で気体を圧縮する圧縮過程と、吐出ポー
トから気体を吐出する吐出過程とからなっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成のスクリュー
形真空ポンプにおいて、従来、吸込過程においては、で
きるだけ多くの気体を排気するため、ケーシングと雌雄
ロータとで形成される歯溝空間に気体を最大に吸込んだ
とき、即ち、歯溝容積が最大になったときは、吸い込み
ポートを閉じるようにしいてる。そのため、その後に続
く圧縮過程により吸込ポート閉じ込み直後から歯溝内の
圧力が吸込圧力より上昇する。従って、雌雄ロータの間
やケーシングとロータとの間の微小な隙間から気体が吸
込側に漏洩して到達真空度に悪影響を与えていた。
形真空ポンプにおいて、従来、吸込過程においては、で
きるだけ多くの気体を排気するため、ケーシングと雌雄
ロータとで形成される歯溝空間に気体を最大に吸込んだ
とき、即ち、歯溝容積が最大になったときは、吸い込み
ポートを閉じるようにしいてる。そのため、その後に続
く圧縮過程により吸込ポート閉じ込み直後から歯溝内の
圧力が吸込圧力より上昇する。従って、雌雄ロータの間
やケーシングとロータとの間の微小な隙間から気体が吸
込側に漏洩して到達真空度に悪影響を与えていた。
【０００４】また、上記構成のスクリュー形真空ポンプ
において、所定の真空度をえるため雄ロータと雌ロータ
がケーシング内で微小な隙間を保って回転している。そ
のためスクリュー形真空ポンプを半導体製造装置に使用
した場合、半導体製造装置より排出される昇華性ガス
が、真空ポンプ内で固体化しケーシングやロータに付着
し、前記隙間に詰まり、ロータが摩耗したり、ポンプが
過負荷になったり、停止したりするという問題を起こ
す。
において、所定の真空度をえるため雄ロータと雌ロータ
がケーシング内で微小な隙間を保って回転している。そ
のためスクリュー形真空ポンプを半導体製造装置に使用
した場合、半導体製造装置より排出される昇華性ガス
が、真空ポンプ内で固体化しケーシングやロータに付着
し、前記隙間に詰まり、ロータが摩耗したり、ポンプが
過負荷になったり、停止したりするという問題を起こ
す。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、到達真空度が高く、且つポンプ内で生成される反応
生成物を抑えることができるスクリュー形真空ポンプを
提供することを目的とする。
で、到達真空度が高く、且つポンプ内で生成される反応
生成物を抑えることができるスクリュー形真空ポンプを
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを具備し、該ケーシングは、吸込ポ
ート及び吐出ポートを備えているスクリュー形真空ポン
プにおいて、吸込ポートが、ケーシング及び雌雄ロータ
で形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を、該
歯溝容積が最大となる以前のロータ回転角に形成すると
共に、歯溝内に不活性ガスを導入するガス導入孔を設け
たことを特徴とする。
本発明は、平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転す
る一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを収
納するケーシングとを具備し、該ケーシングは、吸込ポ
ート及び吐出ポートを備えているスクリュー形真空ポン
プにおいて、吸込ポートが、ケーシング及び雌雄ロータ
で形成される歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を、該
歯溝容積が最大となる以前のロータ回転角に形成すると
共に、歯溝内に不活性ガスを導入するガス導入孔を設け
たことを特徴とする。
【０００７】
【作用】スクリュー形真空ポンプを上記のように構成す
ることにより、歯溝容積が最大となる前に、吸込ポート
が閉じられ、以後は歯溝容積が大きくなるので、歯溝内
の圧力が吸込圧力より低くなる。その後、圧縮過程に入
り歯溝内の圧力が上昇して吸込圧力以上になり、吐出ポ
ートから吐出される。従って、吸込圧力より高い圧力の
歯溝と吸込側との間に、吸込圧力より低い圧力の歯溝が
存在することになり、吸込側への気体の漏洩が防止され
るから、到達真空度が向上する。
ることにより、歯溝容積が最大となる前に、吸込ポート
が閉じられ、以後は歯溝容積が大きくなるので、歯溝内
の圧力が吸込圧力より低くなる。その後、圧縮過程に入
り歯溝内の圧力が上昇して吸込圧力以上になり、吐出ポ
ートから吐出される。従って、吸込圧力より高い圧力の
歯溝と吸込側との間に、吸込圧力より低い圧力の歯溝が
存在することになり、吸込側への気体の漏洩が防止され
るから、到達真空度が向上する。
【０００８】また、昇華性ガスが固体化する条件は温度
とガスの分圧（濃度）により一般的に図５に示すような
特性である。従って、歯溝内で気体が昇圧されると圧縮
熱により温度も上昇するが圧力も上昇するので固体化し
やすくなる。そのため歯溝内に不活性ガスを導入するこ
とにより、ガスの分圧（濃度）を下げて固体化が防止さ
れる。
とガスの分圧（濃度）により一般的に図５に示すような
特性である。従って、歯溝内で気体が昇圧されると圧縮
熱により温度も上昇するが圧力も上昇するので固体化し
やすくなる。そのため歯溝内に不活性ガスを導入するこ
とにより、ガスの分圧（濃度）を下げて固体化が防止さ
れる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１及び図２は本発明のスクリュー形真空ポンプ
の構造を示す図で、図１は側断面図、図２は雄ロータと
雌ロータの軸に直交する断面図である。本スクリュー形
真空ポンプは主ケーシング１と吐出ケーシング２とで形
成される空間には、雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが、そ
れぞれ軸受け５ａ，５ｂにより回転自在に支持され、軸
シール６ａ，６ｂにより軸受５ａ，５ｂの潤滑油からシ
ールされている。
する。図１及び図２は本発明のスクリュー形真空ポンプ
の構造を示す図で、図１は側断面図、図２は雄ロータと
雌ロータの軸に直交する断面図である。本スクリュー形
真空ポンプは主ケーシング１と吐出ケーシング２とで形
成される空間には、雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが、そ
れぞれ軸受け５ａ，５ｂにより回転自在に支持され、軸
シール６ａ，６ｂにより軸受５ａ，５ｂの潤滑油からシ
ールされている。
【００１０】一方、例えば雄ロータ７は、図示しない変
速装置を介して図示しない電動機により回転され、雌ロ
ータ７Ａはタイミングギヤ１０により雄ロータ７と微小
間隔を保って回転されるようになっている。
速装置を介して図示しない電動機により回転され、雌ロ
ータ７Ａはタイミングギヤ１０により雄ロータ７と微小
間隔を保って回転されるようになっている。
【００１１】吸込口８ａから吸込まれた気体は、吸込ポ
ート８ｂを通り主ケーシング１と両ロータ７、７Ａとで
形成された歯溝空間に吸入され、圧縮過程を経て吐出ポ
ート９ｂを介して吐出口９ａから吐出されるようになっ
ている。また、主ケーシング１には、歯溝内に不活性ガ
スを導入するガス導入孔１１が設けられている。なお図
中の符号３はギヤカバー、４はカバーである。
ート８ｂを通り主ケーシング１と両ロータ７、７Ａとで
形成された歯溝空間に吸入され、圧縮過程を経て吐出ポ
ート９ｂを介して吐出口９ａから吐出されるようになっ
ている。また、主ケーシング１には、歯溝内に不活性ガ
スを導入するガス導入孔１１が設けられている。なお図
中の符号３はギヤカバー、４はカバーである。
【００１２】図３は雄ロータ７と雌ロータ７Ａとが噛み
合っている状態をロータの周方向に展開した図である。
図３において、Ａ１〜Ｇ１とＡ２〜Ｇ２とは、それぞれ
ロータ７，７Ａの対向する歯溝であり、歯溝Ｄ１、Ｄ２
は歯溝容積Ｖψが最大Ｖｍａｘとなる歯溝である。従来
ポンプでは、吸込ポート８ｂを形成する主ケーシング１
の壁部３０により閉じられている。
合っている状態をロータの周方向に展開した図である。
図３において、Ａ１〜Ｇ１とＡ２〜Ｇ２とは、それぞれ
ロータ７，７Ａの対向する歯溝であり、歯溝Ｄ１、Ｄ２
は歯溝容積Ｖψが最大Ｖｍａｘとなる歯溝である。従来
ポンプでは、吸込ポート８ｂを形成する主ケーシング１
の壁部３０により閉じられている。
【００１３】これに対し本発明では、歯溝容積Ｖψが最
大容積Ｖｍａｘになる前の例えば歯溝Ｃ１，Ｃ２で吸込
ポート８ｂが閉じられるように壁部３１が大きく、即ち
吸込ポート８ｂが小さくなるように形成されている。
大容積Ｖｍａｘになる前の例えば歯溝Ｃ１，Ｃ２で吸込
ポート８ｂが閉じられるように壁部３１が大きく、即ち
吸込ポート８ｂが小さくなるように形成されている。
【００１４】その壁部３１の大きさの範囲は図２に示す
ように、歯溝容積Ｖψが、 ０.２Ｖｍａｘ≦Ｖψ≦０.９５ｍａｘ の範囲が好ましい。即ち、従来の壁部３０の両端縁３０
ａ，３０ｂが、Ｖψ≒０.９５ｍａｘの位置Ｘ１，Ｘ２
と、Ｖψ≒０.２ｍａｘの位置Ｙ１，Ｙ２との範囲まで
大きく、図３の例では、位置３１ａ，３１ｂまで大きく
形成されている。なお、図２の符号ａ，ｂはそれぞれロ
ータ７，７Ａの軸貫通部である。
ように、歯溝容積Ｖψが、 ０.２Ｖｍａｘ≦Ｖψ≦０.９５ｍａｘ の範囲が好ましい。即ち、従来の壁部３０の両端縁３０
ａ，３０ｂが、Ｖψ≒０.９５ｍａｘの位置Ｘ１，Ｘ２
と、Ｖψ≒０.２ｍａｘの位置Ｙ１，Ｙ２との範囲まで
大きく、図３の例では、位置３１ａ，３１ｂまで大きく
形成されている。なお、図２の符号ａ，ｂはそれぞれロ
ータ７，７Ａの軸貫通部である。
【００１５】次に、主として図４を参照して本発明の動
作作用を説明する。図４には、雄ロータ７の回転角ψに
対する歯溝内圧力Ｐ及び歯溝容積Ｖψの変化が示してい
る。従来の場合は、歯溝容積Ｖψが増加する間、即ち回
転角ψ0〜ψ2の間は、歯溝が吸込ポート８ｂに連通し、
気体が吸入される。次に、歯溝容積Ｖψが最大値Ｖｍａ
ｘとなる付近の回転角ψ2では、それらの歯溝に対する
吸込ポート８ｂが閉じられ、所定の歯溝内圧力Ｐになる
回転角ψ4までの間は、歯溝容積Ｖψが減少し、歯溝内
の気体が圧縮される。そして、回転角ψ4で歯溝が吐出
ポート９ｂに連通し、歯溝内の気体が吐出圧力（大気
圧）Ｐａで吐出される。
作作用を説明する。図４には、雄ロータ７の回転角ψに
対する歯溝内圧力Ｐ及び歯溝容積Ｖψの変化が示してい
る。従来の場合は、歯溝容積Ｖψが増加する間、即ち回
転角ψ0〜ψ2の間は、歯溝が吸込ポート８ｂに連通し、
気体が吸入される。次に、歯溝容積Ｖψが最大値Ｖｍａ
ｘとなる付近の回転角ψ2では、それらの歯溝に対する
吸込ポート８ｂが閉じられ、所定の歯溝内圧力Ｐになる
回転角ψ4までの間は、歯溝容積Ｖψが減少し、歯溝内
の気体が圧縮される。そして、回転角ψ4で歯溝が吐出
ポート９ｂに連通し、歯溝内の気体が吐出圧力（大気
圧）Ｐａで吐出される。
【００１６】この回転角ψ0〜ψ4間の従来の歯溝内圧力
Ｐの変化が、実線で示されている。即ち、ある歯溝に対
して吸込ポート８ｂが閉じた回転角ψ2直後から該歯溝
内圧Ｐは、吸込圧力Ｐ０より増加しているので、吸込側
への気体の漏洩が生じることになる。
Ｐの変化が、実線で示されている。即ち、ある歯溝に対
して吸込ポート８ｂが閉じた回転角ψ2直後から該歯溝
内圧Ｐは、吸込圧力Ｐ０より増加しているので、吸込側
への気体の漏洩が生じることになる。
【００１７】これに対して本発明においては、歯溝容積
Ｖψが最大値Ｖｍａｘになる以前の回転角ψ1で、歯溝
Ｃ１，Ｃ２に対して吸込ポート８ｂが閉じ、該歯溝Ｃ
１，Ｃ２と吸込側とを遮断するので、回転角ψ1〜ψ2の
間は、歯溝容積Ｖψの増大に伴い歯溝内圧力Ｐ１は、一
点鎖線で示す圧力Ｐ１ａのように減少する。そして、圧
縮過程が始まっても歯溝容積Ｖψが回転角ψ1での歯溝
容積Ｖψ1と略等しくなる回転角ψ3までの間は、歯溝内
圧力Ｐ1は、吸込圧力Ｐ０より低い圧力Ｐ１ｂに保た
れ、回転角ψ3以後に吸込圧力Ｐ０より高い圧力Ｐ１ｃ
となって吐出される。
Ｖψが最大値Ｖｍａｘになる以前の回転角ψ1で、歯溝
Ｃ１，Ｃ２に対して吸込ポート８ｂが閉じ、該歯溝Ｃ
１，Ｃ２と吸込側とを遮断するので、回転角ψ1〜ψ2の
間は、歯溝容積Ｖψの増大に伴い歯溝内圧力Ｐ１は、一
点鎖線で示す圧力Ｐ１ａのように減少する。そして、圧
縮過程が始まっても歯溝容積Ｖψが回転角ψ1での歯溝
容積Ｖψ1と略等しくなる回転角ψ3までの間は、歯溝内
圧力Ｐ1は、吸込圧力Ｐ０より低い圧力Ｐ１ｂに保た
れ、回転角ψ3以後に吸込圧力Ｐ０より高い圧力Ｐ１ｃ
となって吐出される。
【００１８】上記のように、歯溝内圧力Ｐ１ｃが、吸込
圧力Ｐ０より高い歯溝と吸込側との間に、歯溝内圧力Ｐ
１ａ，Ｐ１ｂが吸込圧力Ｐ０より低い歯溝が存在するの
で、歯溝内の気体が吸込側へ漏洩するのが防止される。
その結果、到達真空度が従来より向上する。
圧力Ｐ０より高い歯溝と吸込側との間に、歯溝内圧力Ｐ
１ａ，Ｐ１ｂが吸込圧力Ｐ０より低い歯溝が存在するの
で、歯溝内の気体が吸込側へ漏洩するのが防止される。
その結果、到達真空度が従来より向上する。
【００１９】また、上記実施例では主ケーシング１に、
ガス導入孔１１を設け、歯溝内圧力がＰ１ａ，Ｐ１ｂの
間に該歯溝内に不活性ガスを導入している。昇華性ガス
が固体化する条件は温度とガスの分圧（濃度）により一
般的に図５に示すような特性である。従って、歯溝内で
気体が昇圧されると圧縮熱により温度も上昇するが圧力
も上昇するので昇華性ガスは固体化しやすくなる。上記
のようにガス導入孔１１から歯溝内に不活性ガスを導入
し、ガスの分圧（濃度）を下げることにより、昇華性ガ
スの固体化が防止できる。
ガス導入孔１１を設け、歯溝内圧力がＰ１ａ，Ｐ１ｂの
間に該歯溝内に不活性ガスを導入している。昇華性ガス
が固体化する条件は温度とガスの分圧（濃度）により一
般的に図５に示すような特性である。従って、歯溝内で
気体が昇圧されると圧縮熱により温度も上昇するが圧力
も上昇するので昇華性ガスは固体化しやすくなる。上記
のようにガス導入孔１１から歯溝内に不活性ガスを導入
し、ガスの分圧（濃度）を下げることにより、昇華性ガ
スの固体化が防止できる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれぱ下記
のように優れた効果が得られる。 （１）吸込圧力より高い圧力の歯溝と吸込側との間に、
吸込圧力より低い圧力の歯溝が存在するから、吸込側へ
の気体の漏洩が防止され、到達真空度が向上する。
のように優れた効果が得られる。 （１）吸込圧力より高い圧力の歯溝と吸込側との間に、
吸込圧力より低い圧力の歯溝が存在するから、吸込側へ
の気体の漏洩が防止され、到達真空度が向上する。
【００２１】（２）歯溝内に不活性ガスを導入し、ガス
の分圧を下げるから、昇華性のガスの排出に利用しても
該昇華性ガスの固体化が防止できる。
の分圧を下げるから、昇華性のガスの排出に利用しても
該昇華性ガスの固体化が防止できる。
【図１】本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を示す
側断面図である。
側断面図である。
【図２】本発明のスクリュー形真空ポンプの構造を示す
雄ロータと雌ロータの軸に直交する断面図である。
雄ロータと雌ロータの軸に直交する断面図である。
【図３】雄ロータと雌ロータとが噛み合っている状態を
ロータの周方向に展開した図である。
ロータの周方向に展開した図である。
【図４】本発明のスクリュー形真空ポンプの雄ロータの
回転角に対する歯溝容積の変化状態を示す図である。
回転角に対する歯溝容積の変化状態を示す図である。
【図５】昇華性ガスが固体化する条件である温度とガス
の分圧（濃度）の関係を示す図である。
の分圧（濃度）の関係を示す図である。
Ａ１〜Ｇ１ 歯溝 Ａ２〜Ｇ２ 歯溝 Ｖψ 歯溝容積 ψ ロータ回転角 １ 主ケーシング ２ 吐出ケーシング ３ ギヤカバー ４ カバー ５ａ，５ｂ 軸受 ６ａ，６ｂ 軸シール ７ 雄ロータ ７Ａ 雌ロータ ８ａ 吸込口 ８ｂ 吸込ポート ９ａ 吐出口 ９ｂ 吐出ポート １０ タイミングギヤ １１ ガス導入孔
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】平行な２軸の回りを互いに噛み合って回転
する一対の雄ロータ及び雌ロータと、それら両ロータを
収納するケーシングとを具備し、該ケーシングは、吸込
ポート及び吐出ポートを備えているスクリュー形真空ポ
ンプにおいて、 吸込ポートが、ケーシング及び雌雄ロータで形成される
歯溝容積を閉じ込めるロータ回転角を、該歯溝容積が最
大となる以前のロータ回転角に形成しすると共に、歯溝
内に不活性ガスを導入するガス導入孔を設けたことを特
徴とするスクリュー形真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19594491A JPH0518381A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スクリユー形真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19594491A JPH0518381A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スクリユー形真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518381A true JPH0518381A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16349571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19594491A Pending JPH0518381A (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | スクリユー形真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518381A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998057067A1 (de) * | 1997-06-11 | 1998-12-17 | Sterling Fluid Systems (Germany) Gmbh | Schraubenspindelvakuumpumpe und verfahren zum betrieb derselben |
| JP2008038861A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Toyota Industries Corp | スクリューポンプ |
| US8898006B2 (en) | 2009-03-27 | 2014-11-25 | Sony Corporation | Navigation apparatus and navigation method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52112809A (en) * | 1976-03-19 | 1977-09-21 | Tokico Ltd | Volume type rotary compressor |
| JPH01163492A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-27 | Hitachi Ltd | スクリユー真空ポンプ |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP19594491A patent/JPH0518381A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52112809A (en) * | 1976-03-19 | 1977-09-21 | Tokico Ltd | Volume type rotary compressor |
| JPH01163492A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-27 | Hitachi Ltd | スクリユー真空ポンプ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998057067A1 (de) * | 1997-06-11 | 1998-12-17 | Sterling Fluid Systems (Germany) Gmbh | Schraubenspindelvakuumpumpe und verfahren zum betrieb derselben |
| JP2008038861A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-21 | Toyota Industries Corp | スクリューポンプ |
| US8898006B2 (en) | 2009-03-27 | 2014-11-25 | Sony Corporation | Navigation apparatus and navigation method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4797068A (en) | Vacuum evacuation system | |
| US4781553A (en) | Screw vacuum pump with lubricated bearings and a plurality of shaft sealing means | |
| US5549463A (en) | Composite dry vacuum pump having roots and screw rotors | |
| EP0166851A2 (en) | Screw type vacuum pump | |
| US4995797A (en) | Rotary screw vacuum pump with pressure controlled valve for lubrication/sealing fluid | |
| JP4301713B2 (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JP3085561B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| EP1609995A1 (en) | Screw vacuum pump | |
| JPH079239B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| JPH0518381A (ja) | スクリユー形真空ポンプ | |
| US5314320A (en) | Screw vacuum pump with a reduced starting load | |
| JPS61152990A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| JP3661885B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ及びねじ歯車 | |
| US7637726B2 (en) | Screw vacuum pump | |
| JP2002174174A (ja) | 真空排気装置 | |
| JP3569039B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| JPH11270482A (ja) | 真空ポンプ | |
| KR100288677B1 (ko) | 밀폐압축기 | |
| JPH04159488A (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| JP4360005B2 (ja) | 機械駆動式過給機のギヤ室圧抜き機構 | |
| JP3073889U (ja) | 複合式ツインスクリューロータ装置 | |
| JPS60222583A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| WO1999042729A1 (fr) | Pompe a vide | |
| JPH0518382A (ja) | スクリユー形真空ポンプ | |
| JP2002070776A (ja) | 複合型真空ポンプ |