JPH0729497A - 面放電型プラズマディスプレイパネル - Google Patents
面放電型プラズマディスプレイパネルInfo
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- JPH0729497A JPH0729497A JP17288093A JP17288093A JPH0729497A JP H0729497 A JPH0729497 A JP H0729497A JP 17288093 A JP17288093 A JP 17288093A JP 17288093 A JP17288093 A JP 17288093A JP H0729497 A JPH0729497 A JP H0729497A
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- Control Of Gas Discharge Display Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】マトリクス表示方式の面放電型ＰＤＰ及びその
製造方法に関し、放電の干渉を防止し、表示の安定化を
図ることを目的とする。 【構成】表示面Ｈ側の基板１１上に、透明導電膜４１と
それに重なる金属層４２とからなる面放電用の表示電極
Ｘ，Ｙと、誘電体層１７とを有し、背面側の基板２１上
に放電空間３０を単位発光領域毎に区画するストライプ
状の隔壁２９を有した面放電型プラズマディスプレイパ
ネル１において、金属層４２上の誘電体層１７の表面が
他の部分に対して突出しており、その突出部分１７Ｂと
隔壁２９とが当接するように構成される。
製造方法に関し、放電の干渉を防止し、表示の安定化を
図ることを目的とする。 【構成】表示面Ｈ側の基板１１上に、透明導電膜４１と
それに重なる金属層４２とからなる面放電用の表示電極
Ｘ，Ｙと、誘電体層１７とを有し、背面側の基板２１上
に放電空間３０を単位発光領域毎に区画するストライプ
状の隔壁２９を有した面放電型プラズマディスプレイパ
ネル１において、金属層４２上の誘電体層１７の表面が
他の部分に対して突出しており、その突出部分１７Ｂと
隔壁２９とが当接するように構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マトリクス表示方式の
面放電型のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、及
びその製造方法に関する。
面放電型のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、及
びその製造方法に関する。
【０００２】面放電型ＰＤＰは、蛍光体によるカラー表
示に適しており、ＯＡ機器及び公報表示装置などのその
用途が拡大され且つ浸透し始めている。これにともなっ
て、表示の安定化の要求が強まっている。
示に適しており、ＯＡ機器及び公報表示装置などのその
用途が拡大され且つ浸透し始めている。これにともなっ
て、表示の安定化の要求が強まっている。
【０００３】
【従来の技術】図４は一般的な面放電型ＰＤＰ１０の分
解斜視図であり、１つの画素ＥＧに対応する部分の基本
的な構造を示している。
解斜視図であり、１つの画素ＥＧに対応する部分の基本
的な構造を示している。
【０００４】ＰＤＰ１０は、蛍光体の配置形態による分
類の上で反射型と呼称される３電極構造のＰＤＰであ
り、表示面Ｈ側のガラス基板１１、表示のライン方向に
延びた面放電用の一対の表示電極Ｘ，Ｙ、ＡＣ駆動のた
めの誘電体層１７、ＭｇＯからなる保護膜１８、背面側
のガラス基板２１、ライン方向に等間隔に並ぶストライ
プ状の隔壁２９、単位発光領域ＥＵを選択的に発光させ
るためのアドレス電極Ａ、及びフルカラー表示のための
３原色の蛍光体２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂなどから構成さ
れている。
類の上で反射型と呼称される３電極構造のＰＤＰであ
り、表示面Ｈ側のガラス基板１１、表示のライン方向に
延びた面放電用の一対の表示電極Ｘ，Ｙ、ＡＣ駆動のた
めの誘電体層１７、ＭｇＯからなる保護膜１８、背面側
のガラス基板２１、ライン方向に等間隔に並ぶストライ
プ状の隔壁２９、単位発光領域ＥＵを選択的に発光させ
るためのアドレス電極Ａ、及びフルカラー表示のための
３原色の蛍光体２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂなどから構成さ
れている。
【０００５】表示の各画素（ドット）ＥＧは、ライン方
向に並ぶ同一面積の３つの単位発光領域ＥＵから構成さ
れ、単位発光領域ＥＵの平面形状は縦方向に長い長方形
（例えば６６０μｍ×２２０μｍ程度の大きさ）とされ
ている。
向に並ぶ同一面積の３つの単位発光領域ＥＵから構成さ
れ、単位発光領域ＥＵの平面形状は縦方向に長い長方形
（例えば６６０μｍ×２２０μｍ程度の大きさ）とされ
ている。
【０００６】内部の放電空間３０は、隔壁２９によっ
て、ライン方向に単位発光領域ＥＵ毎に区画され且つそ
の間隙寸法が規定されている。この放電空間３０には適
当な放電ガスが封入されている。
て、ライン方向に単位発光領域ＥＵ毎に区画され且つそ
の間隙寸法が規定されている。この放電空間３０には適
当な放電ガスが封入されている。
【０００７】表示電極Ｘ，Ｙは、蛍光体２８Ｒ，２８
Ｇ，２８Ｂに対して表示面Ｈ側に配置されることから、
面放電を広範囲とし且つ表示光の遮光を最小限とするた
め、１５０μｍ程度の幅を有した帯状の透明導電体４１
と、その導電性を補う６０μｍ程度の幅を有した金属層
４２とから構成されている。透明導電体４１はネサ膜
（酸化錫膜）からなり、金属層４２は例えばクロム−銅
−クロムの三層構造の薄膜からなる。通常、透明導電体
４１及び金属層４２は、それぞれフォトリソグラフィ法
によって形成され、これらを合わせた厚さは１．５μｍ
程度である。
Ｇ，２８Ｂに対して表示面Ｈ側に配置されることから、
面放電を広範囲とし且つ表示光の遮光を最小限とするた
め、１５０μｍ程度の幅を有した帯状の透明導電体４１
と、その導電性を補う６０μｍ程度の幅を有した金属層
４２とから構成されている。透明導電体４１はネサ膜
（酸化錫膜）からなり、金属層４２は例えばクロム−銅
−クロムの三層構造の薄膜からなる。通常、透明導電体
４１及び金属層４２は、それぞれフォトリソグラフィ法
によって形成され、これらを合わせた厚さは１．５μｍ
程度である。
【０００８】表示電極Ｘ，Ｙに対して所定の電圧を印加
すると、誘電体層１７の表面方向の放電（面放電）が生
じ、放電ガスの放つ紫外線によって蛍光体２８Ｒ，２８
Ｇ，２８Ｂが励起されて発光する。
すると、誘電体層１７の表面方向の放電（面放電）が生
じ、放電ガスの放つ紫外線によって蛍光体２８Ｒ，２８
Ｇ，２８Ｂが励起されて発光する。
【０００９】図５及び図６は従来のＰＤＰ１ｊの要部を
拡大して示す断面図である。これらの図において、図３
に対応する構成要素には同一の符号を付してある。した
がって、ここではＰＤＰ１ｊの各部の説明を省略する。
拡大して示す断面図である。これらの図において、図３
に対応する構成要素には同一の符号を付してある。した
がって、ここではＰＤＰ１ｊの各部の説明を省略する。
【００１０】ＰＤＰ１ｊは、各ガラス基板１１，２１に
ついて別個に所定の構成要素を設けた後、隔壁２９と誘
電体層１７とが当接するようにガラス基板１１，２１を
対向配置し、予め一方の基板の周囲に塗布した封止ガラ
スを焼成して放電空間を封止するといった一連の工程を
経て製造される。なお、誘電体層１７の表面には保護膜
１８（図３参照）が設けられるが、その厚さは５０００
Å程度であるので、保護膜１８は隔壁２９との当接時に
局所的に破れ、実質的には隔壁２９と誘電体層１７とが
当接する形となる。
ついて別個に所定の構成要素を設けた後、隔壁２９と誘
電体層１７とが当接するようにガラス基板１１，２１を
対向配置し、予め一方の基板の周囲に塗布した封止ガラ
スを焼成して放電空間を封止するといった一連の工程を
経て製造される。なお、誘電体層１７の表面には保護膜
１８（図３参照）が設けられるが、その厚さは５０００
Å程度であるので、保護膜１８は隔壁２９との当接時に
局所的に破れ、実質的には隔壁２９と誘電体層１７とが
当接する形となる。
【００１１】このような製造過程において、隔壁２９は
低融点ガラスペーストの焼成によって形成される。すな
わち、帯状の開口パターンを有したスクリーンマスクを
用いて、焼成時の型崩れを防止するために無機フィラー
を多めに混合した低融点ガラスペーストが、アドレス電
極Ａを設けたガラス基板２１上に数回重ねて塗布され
る。そして、５００〜６００℃程度の温度の熱処理が行
われ、所定の高さの隔壁２９が形成される。
低融点ガラスペーストの焼成によって形成される。すな
わち、帯状の開口パターンを有したスクリーンマスクを
用いて、焼成時の型崩れを防止するために無機フィラー
を多めに混合した低融点ガラスペーストが、アドレス電
極Ａを設けたガラス基板２１上に数回重ねて塗布され
る。そして、５００〜６００℃程度の温度の熱処理が行
われ、所定の高さの隔壁２９が形成される。
【００１２】隔壁２９の配列ピッチ、すなわちライン方
向の単位発光領域のピッチが２２０μｍ程度である場合
には、隔壁２９の高さは１３０μｍ程度とされる。通
常、アドレス電極Ａと蛍光体とを合わせた厚さは３０μ
ｍ程度であるので、この場合には、各単位発光領域の放
電空間の間隙寸法は１００μｍ程度となる。
向の単位発光領域のピッチが２２０μｍ程度である場合
には、隔壁２９の高さは１３０μｍ程度とされる。通
常、アドレス電極Ａと蛍光体とを合わせた厚さは３０μ
ｍ程度であるので、この場合には、各単位発光領域の放
電空間の間隙寸法は１００μｍ程度となる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように隔壁２
９は厚膜法によって形成されるので、ペーストの塗布ム
ラや焼成時のいわゆるダレなどに起因して、各隔壁２９
においてその延長方向に高さのバラツキが生じる。つま
り、図５によく示されるように、隔壁２９の頂上部（稜
線）は平坦ではなく、隔壁２９と誘電体層１７との間に
は大小の空隙が生じる。
９は厚膜法によって形成されるので、ペーストの塗布ム
ラや焼成時のいわゆるダレなどに起因して、各隔壁２９
においてその延長方向に高さのバラツキが生じる。つま
り、図５によく示されるように、隔壁２９の頂上部（稜
線）は平坦ではなく、隔壁２９と誘電体層１７との間に
は大小の空隙が生じる。
【００１４】このため、従来では、特に金属層４２の上
方に表裏方向の寸法が数μｍ以上の空隙５０が生じた場
合に、図６によく示されるように放電が不要に拡がり、
隣接する単位発光領域間で放電の干渉が起こるという問
題があった。
方に表裏方向の寸法が数μｍ以上の空隙５０が生じた場
合に、図６によく示されるように放電が不要に拡がり、
隣接する単位発光領域間で放電の干渉が起こるという問
題があった。
【００１５】放電の干渉が起こると、点灯（発光）すべ
きドットが非点灯となったり、逆に非点灯となるべきド
ットが点灯し、表示が乱れてしまう。なお、放電空間の
間隙寸法が１００μｍ程度である場合には、金属層４２
以外の部分においては、空隙５０が１０μｍを越える大
きなものでない限り放電の干渉はほとんど起こらない。
きドットが非点灯となったり、逆に非点灯となるべきド
ットが点灯し、表示が乱れてしまう。なお、放電空間の
間隙寸法が１００μｍ程度である場合には、金属層４２
以外の部分においては、空隙５０が１０μｍを越える大
きなものでない限り放電の干渉はほとんど起こらない。
【００１６】本発明は、上述の問題に鑑み、放電の干渉
を防止し、表示の安定化を図ることを目的としている。
を防止し、表示の安定化を図ることを目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るＰ
ＤＰは、上述の課題を解決するため、図１に示すよう
に、表示面Ｈ側の基板１１上に、透明導電膜４１とそれ
に重なる金属層４２とからなる面放電用の表示電極Ｘ，
Ｙと、前記表示電極Ｘ，Ｙを被覆する誘電体層１７とを
有し、背面側の基板２１上に放電空間３０を単位発光領
域毎に区画するストライプ状の隔壁２９を有した面放電
型プラズマディスプレイパネル１において、前記金属層
４２上の前記誘電体層１７の表面が他の部分に対して突
出しており、その突出部分１７Ｂと前記隔壁２９とが当
接してなる。
ＤＰは、上述の課題を解決するため、図１に示すよう
に、表示面Ｈ側の基板１１上に、透明導電膜４１とそれ
に重なる金属層４２とからなる面放電用の表示電極Ｘ，
Ｙと、前記表示電極Ｘ，Ｙを被覆する誘電体層１７とを
有し、背面側の基板２１上に放電空間３０を単位発光領
域毎に区画するストライプ状の隔壁２９を有した面放電
型プラズマディスプレイパネル１において、前記金属層
４２上の前記誘電体層１７の表面が他の部分に対して突
出しており、その突出部分１７Ｂと前記隔壁２９とが当
接してなる。
【００１８】請求項２の発明に係る方法は、前記表示電
極Ｘ，Ｙを含めて前記基板１１を一様に被覆する表面が
平坦な第１の低融点ガラス層１７Ａを設けた後、前記第
１の低融点ガラス層１７Ａに重ねて前記金属層４２上に
第２の低融点ガラス層１７Ｂを設けることによって、前
記誘電体層１７を形成するものである。
極Ｘ，Ｙを含めて前記基板１１を一様に被覆する表面が
平坦な第１の低融点ガラス層１７Ａを設けた後、前記第
１の低融点ガラス層１７Ａに重ねて前記金属層４２上に
第２の低融点ガラス層１７Ｂを設けることによって、前
記誘電体層１７を形成するものである。
【００１９】請求項３の発明に係る方法は、前記第１の
低融点ガラス層１７Ａ上に、低融点ガラスを含有した感
光性樹脂１７０を一様に塗布し、前記金属層４２を露光
マスクとして前記感光性樹脂１７０のパターン露光を行
い、現像処理の後に残った前記感光性樹脂１７０ａを焼
成することによって、前記第２の低融点ガラス層１７Ｂ
を形成するものである。
低融点ガラス層１７Ａ上に、低融点ガラスを含有した感
光性樹脂１７０を一様に塗布し、前記金属層４２を露光
マスクとして前記感光性樹脂１７０のパターン露光を行
い、現像処理の後に残った前記感光性樹脂１７０ａを焼
成することによって、前記第２の低融点ガラス層１７Ｂ
を形成するものである。
【００２０】請求項４の発明に係る方法は、厚膜法によ
って前記誘電体層１７の表面を部分的に突出させるに十
分な厚さの前記金属層４２を形成し、その後に前記基板
１１を被覆する一様な厚さの低融点ガラス層を設けるこ
とにより、前記誘電体層１７を形成するものである。
って前記誘電体層１７の表面を部分的に突出させるに十
分な厚さの前記金属層４２を形成し、その後に前記基板
１１を被覆する一様な厚さの低融点ガラス層を設けるこ
とにより、前記誘電体層１７を形成するものである。
【００２１】
【作用】誘電体層１７の表面の部分的な突出により、誘
電体層１７の表面が平坦である場合と比べて、誘電体層
１７と隔壁２９との接触面積が減少することから、当接
によって隔壁２９の頂上部及び誘電体層１７の突出部分
の一方又は両方が変形する。
電体層１７の表面が平坦である場合と比べて、誘電体層
１７と隔壁２９との接触面積が減少することから、当接
によって隔壁２９の頂上部及び誘電体層１７の突出部分
の一方又は両方が変形する。
【００２２】したがって、誘電体層１７の突出部分以外
の部分と隔壁２９との間隙寸法は、当接前における誘電
体層１７の表面の高低差よりも小さくなる。そして、放
電の干渉の起こり易い金属層４２の上方において、偶然
に隔壁２９の高さが他の部分に比べて低く、誘電体層１
７と隔壁２９との間に空隙が生じたとしても、その空隙
は誘電体層１７の突出部分が入り込むことによって小さ
くなる。
の部分と隔壁２９との間隙寸法は、当接前における誘電
体層１７の表面の高低差よりも小さくなる。そして、放
電の干渉の起こり易い金属層４２の上方において、偶然
に隔壁２９の高さが他の部分に比べて低く、誘電体層１
７と隔壁２９との間に空隙が生じたとしても、その空隙
は誘電体層１７の突出部分が入り込むことによって小さ
くなる。
【００２３】
【実施例】図１及び図２は本発明に係るＰＤＰ１の要部
を拡大して示す断面図である。これらの図において、Ｐ
ＤＰ１は、３電極構造を有した反射型のＰＤＰであり、
表示面Ｈ側のガラス基板１１、透明導電膜４１とそれに
重なる金属層４２とからなる面放電用の表示電極Ｘ，
Ｙ、表示電極Ｘ，Ｙを被覆する誘電体層１７、背面側の
ガラス基板２１、内部の放電空間３０をライン方向に単
位発光領域毎に区画するストライプ状の隔壁２９、蛍光
体２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ、及び図示しない保護膜など
から構成されている。
を拡大して示す断面図である。これらの図において、Ｐ
ＤＰ１は、３電極構造を有した反射型のＰＤＰであり、
表示面Ｈ側のガラス基板１１、透明導電膜４１とそれに
重なる金属層４２とからなる面放電用の表示電極Ｘ，
Ｙ、表示電極Ｘ，Ｙを被覆する誘電体層１７、背面側の
ガラス基板２１、内部の放電空間３０をライン方向に単
位発光領域毎に区画するストライプ状の隔壁２９、蛍光
体２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ、及び図示しない保護膜など
から構成されている。
【００２４】ライン方向の単位発光領域のピッチは２２
０μｍであり、各単位発光領域における放電空間３０の
間隙寸法は１００μｍ程度である。また、透明導電膜４
１の幅は１５０μｍであり、金属層（バス電極）４２の
幅は６０μｍである。
０μｍであり、各単位発光領域における放電空間３０の
間隙寸法は１００μｍ程度である。また、透明導電膜４
１の幅は１５０μｍであり、金属層（バス電極）４２の
幅は６０μｍである。
【００２５】ＰＤＰ１において、誘電体層１７は、表示
電極Ｘ，Ｙを含めてガラス基板１１の内面を一様に被覆
する３０μｍ程度の厚さの低融点ガラス層１７Ａと、金
属層４２に対応づけて設けられた５〜１０μｍ程度の厚
さのストライプ状の低融点ガラス層１７Ｂとから構成さ
れている。つまり、誘電体層１７は、金属層４２の上方
の表面が他の部分に対して５〜１０μｍ程度だけ突出す
るように形成されている。
電極Ｘ，Ｙを含めてガラス基板１１の内面を一様に被覆
する３０μｍ程度の厚さの低融点ガラス層１７Ａと、金
属層４２に対応づけて設けられた５〜１０μｍ程度の厚
さのストライプ状の低融点ガラス層１７Ｂとから構成さ
れている。つまり、誘電体層１７は、金属層４２の上方
の表面が他の部分に対して５〜１０μｍ程度だけ突出す
るように形成されている。
【００２６】図３（ａ）〜（ｃ）はＰＤＰ１の各製造段
階を示す断面図である。ＰＤＰ１の製造に際しては、ガ
ラス基板１１上に、まず、表示電極Ｘ，Ｙを設け、続け
て表示電極Ｘ，Ｙを含めてガラス基板１１を一様に被覆
する表面が平坦な第１の低融点ガラス層１７Ａを設け
る。
階を示す断面図である。ＰＤＰ１の製造に際しては、ガ
ラス基板１１上に、まず、表示電極Ｘ，Ｙを設け、続け
て表示電極Ｘ，Ｙを含めてガラス基板１１を一様に被覆
する表面が平坦な第１の低融点ガラス層１７Ａを設け
る。
【００２７】次に、低融点ガラス層１７Ａ上に、低融点
ガラス粉末を含有したポジ型の感光性樹脂１７０を一様
に塗布し、２ｍｍ又は３ｍｍ程度の厚さを有したガラス
基板１１の裏面側からいわゆる全面露光の形で感光性樹
脂１７０に対して紫外線を照射する〔図３（ａ）〕。こ
のとき、金属層４２により紫外線が遮られ、感光性樹脂
１７０の内で金属層４２の上方の部分が非露光部分とな
り、この部分では非可溶状態（現像により除去されない
状態）が保たれる。
ガラス粉末を含有したポジ型の感光性樹脂１７０を一様
に塗布し、２ｍｍ又は３ｍｍ程度の厚さを有したガラス
基板１１の裏面側からいわゆる全面露光の形で感光性樹
脂１７０に対して紫外線を照射する〔図３（ａ）〕。こ
のとき、金属層４２により紫外線が遮られ、感光性樹脂
１７０の内で金属層４２の上方の部分が非露光部分とな
り、この部分では非可溶状態（現像により除去されない
状態）が保たれる。
【００２８】そして、現像処理を行い〔図３（ｂ）〕、
残った感光性樹脂１７０ａを５００〜５６０℃程度の温
度で焼成する。これにより、樹脂成分が消失して第２の
低融点ガラス層１７Ｂが形成される〔図３（ｃ）〕。
残った感光性樹脂１７０ａを５００〜５６０℃程度の温
度で焼成する。これにより、樹脂成分が消失して第２の
低融点ガラス層１７Ｂが形成される〔図３（ｃ）〕。
【００２９】その後、低融点ガラス層１７Ａ，１７Ｂの
表面にＭｇＯを蒸着して保護膜を設け、ガラス基板１１
と別途に隔壁２９などを設けたガラス基板２１とを重ね
合わせ、適当な当接力を加えながら封止ガラスを焼成し
てガラス基板１１，２１の周囲を封止し、放電ガスを封
入して組み立てを終える。
表面にＭｇＯを蒸着して保護膜を設け、ガラス基板１１
と別途に隔壁２９などを設けたガラス基板２１とを重ね
合わせ、適当な当接力を加えながら封止ガラスを焼成し
てガラス基板１１，２１の周囲を封止し、放電ガスを封
入して組み立てを終える。
【００３０】ＰＤＰ１においては、封止に際して、誘電
体層１７の突出部分、すなわち低融点ガラス層１７Ｂと
隔壁２９とが当接して放電空間３０の間隙寸法が規定さ
れる。そのとき、誘電体層１７と隔壁２９との接触面積
が小さいことから、例えば隔壁２９の頂上部が変形し、
図１によく示されるように低融点ガラス層１７Ｂが隔壁
２９に埋まり込む。
体層１７の突出部分、すなわち低融点ガラス層１７Ｂと
隔壁２９とが当接して放電空間３０の間隙寸法が規定さ
れる。そのとき、誘電体層１７と隔壁２９との接触面積
が小さいことから、例えば隔壁２９の頂上部が変形し、
図１によく示されるように低融点ガラス層１７Ｂが隔壁
２９に埋まり込む。
【００３１】したがって、誘電体層１７と隔壁２９との
間隙寸法は、低融点ガラス層１７Ｂの厚さよりも小さく
なる。そして、放電の干渉の起こり易い金属層４２の上
方においては、偶然に隔壁２９の高さが他の部分に比べ
て低く、誘電体層１７と隔壁２９との間に空隙５０が生
じるような場合であっても、図１と図５との比較から明
らかなように、その空隙５０に低融点ガラス層１７Ｂが
挿入されて空隙５０が小さくなり、放電の干渉が防止さ
れる。
間隙寸法は、低融点ガラス層１７Ｂの厚さよりも小さく
なる。そして、放電の干渉の起こり易い金属層４２の上
方においては、偶然に隔壁２９の高さが他の部分に比べ
て低く、誘電体層１７と隔壁２９との間に空隙５０が生
じるような場合であっても、図１と図５との比較から明
らかなように、その空隙５０に低融点ガラス層１７Ｂが
挿入されて空隙５０が小さくなり、放電の干渉が防止さ
れる。
【００３２】なお、低融点ガラス層１７Ｂの厚さを必要
以上に大きくすると、たとえ隔壁２９の頂上部が平坦で
あっても、低融点ガラス層１７Ａと隔壁２９との間隙寸
法が大きくなり、透明導電膜４１の上部などにおいて放
電の干渉が起こるおそれがある。そのため、放電空間３
０の間隙寸法が１００μｍ程度である場合には、低融点
ガラス層１７Ｂの厚さ（誘電体層１７の表面の高低差）
を１０μｍ以下とするのが望ましい。
以上に大きくすると、たとえ隔壁２９の頂上部が平坦で
あっても、低融点ガラス層１７Ａと隔壁２９との間隙寸
法が大きくなり、透明導電膜４１の上部などにおいて放
電の干渉が起こるおそれがある。そのため、放電空間３
０の間隙寸法が１００μｍ程度である場合には、低融点
ガラス層１７Ｂの厚さ（誘電体層１７の表面の高低差）
を１０μｍ以下とするのが望ましい。
【００３３】また、金属層４２上の誘電体層１７の表面
を他の部分に対して突出させる方法としては、上述のよ
うに誘電体層１７を２つの層に分けて形成する方法の他
に、例えばＡｇ又はＮｉを主成分とする導電ペーストを
用いる厚膜法によって金属層４２を１０μｍ程度の厚さ
に形成し、その後に低融点ガラスペーストを塗布面の起
伏を踏襲するように一様な厚さに塗布して焼成する方法
がある。
を他の部分に対して突出させる方法としては、上述のよ
うに誘電体層１７を２つの層に分けて形成する方法の他
に、例えばＡｇ又はＮｉを主成分とする導電ペーストを
用いる厚膜法によって金属層４２を１０μｍ程度の厚さ
に形成し、その後に低融点ガラスペーストを塗布面の起
伏を踏襲するように一様な厚さに塗布して焼成する方法
がある。
【００３４】上述の実施例によれば、誘電体層１７の突
出部分と金属層４２とがセルフアライメントとなるの
で、放電の干渉を確実に抑えることができる。上述の実
施例において、各部の寸法は、表示面の大きさや解像度
に応じて適宜選定することができる。
出部分と金属層４２とがセルフアライメントとなるの
で、放電の干渉を確実に抑えることができる。上述の実
施例において、各部の寸法は、表示面の大きさや解像度
に応じて適宜選定することができる。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、放電空間を区画する隔
壁の高さのバラツキに起因する単位発光領域間の放電の
干渉を抑えることができ、表示の安定化を図ることがで
きる。
壁の高さのバラツキに起因する単位発光領域間の放電の
干渉を抑えることができ、表示の安定化を図ることがで
きる。
【００３６】請求項３及び請求項４の発明によれば、誘
電体層の突出部分の位置精度を高めることができ、より
表示の安定したプラズマディスプレイパネルを製造する
ことができる。
電体層の突出部分の位置精度を高めることができ、より
表示の安定したプラズマディスプレイパネルを製造する
ことができる。
【図１】本発明に係るＰＤＰの要部を拡大して示す断面
図である。
図である。
【図２】本発明に係るＰＤＰの要部を拡大して示す断面
図である。
図である。
【図３】図１及び図２のＰＤＰの各製造段階を示す断面
図である。
図である。
【図４】一般的な面放電型ＰＤＰの基本的な構造を示す
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図５】従来のＰＤＰの要部を拡大して示す断面図であ
る。
る。
【図６】従来のＰＤＰの要部を拡大して示す断面図であ
る。
る。
１ ＰＤＰ（面放電型プラズマディスプレイパネル） １１ ガラス基板（基板） １７ 誘電体層 １７Ａ 第１の低融点ガラス層（突出部分） １７Ｂ 第２の低融点ガラス層 ２１ ガラス基板（基板） ２９ 隔壁 ３０ 放電空間 ４１ 透明導電膜 ４２ 金属層 １７０ 感光性樹脂 １７０ａ 感光性樹脂 Ｈ 表示面 Ｘ，Ｙ 表示電極
フロントページの続き (72)発明者 富岡 哲好 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】表示面（Ｈ）側の基板（１１）上に、透明
導電膜（４１）とそれに重なる金属層（４２）とからな
る面放電用の表示電極（Ｘ）（Ｙ）と、前記表示電極
（Ｘ）（Ｙ）を被覆する誘電体層（１７）とを有し、背
面側の基板（２１）上に放電空間（３０）を単位発光領
域毎に区画するストライプ状の隔壁（２９）を有した面
放電型プラズマディスプレイパネル（１）において、 前記金属層（４２）上の前記誘電体層（１７）の表面が
他の部分に対して突出しており、その突出部分（１７
Ｂ）と前記隔壁（２９）とが当接してなることを特徴と
する面放電型プラズマディスプレイパネル。 - 【請求項２】請求項１記載の面放電型プラズマディスプ
レイパネル（１）の製造方法であって、 前記表示電極（Ｘ）（Ｙ）を含めて前記基板（１１）を
一様に被覆する表面が平坦な第１の低融点ガラス層（１
７Ａ）を設けた後、前記第１の低融点ガラス層（１７
Ａ）に重ねて前記金属層（４２）上に第２の低融点ガラ
ス層（１７Ｂ）を設けることによって、前記誘電体層
（１７）を形成することを特徴とする面放電型プラズマ
ディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項３】請求項２記載の面放電型プラズマディスプ
レイパネル（１）の製造方法であって、 前記第１の低融点ガラス層（１７Ａ）上に、低融点ガラ
スを含有した感光性樹脂（１７０）を一様に塗布し、前
記金属層（４２）を露光マスクとして前記感光性樹脂
（１７０）のパターン露光を行い、現像処理の後に残っ
た前記感光性樹脂（１７０ａ）を焼成することによっ
て、前記第２の低融点ガラス層（１７Ｂ）を形成するこ
とを特徴とする面放電型プラズマディスプレイパネルの
製造方法。 - 【請求項４】請求項１記載の面放電型プラズマディスプ
レイパネル（１）の製造方法であって、 厚膜法によって前記誘電体層（１７）の表面を部分的に
突出させるに十分な厚さの前記金属層（４２）を形成
し、その後に前記基板（１１）を被覆する一様な厚さの
低融点ガラス層を設けることにより、前記誘電体層（１
７）を形成することを特徴とする面放電型プラズマディ
スプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17288093A JP3476215B2 (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 面放電型プラズマディスプレイパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17288093A JP3476215B2 (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 面放電型プラズマディスプレイパネル |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729497A true JPH0729497A (ja) | 1995-01-31 |
| JP3476215B2 JP3476215B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=15950030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17288093A Expired - Fee Related JP3476215B2 (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 面放電型プラズマディスプレイパネル |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3476215B2 (ja) |
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-
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