JPH07287812A - 複数のヨークを備えた薄膜磁気ヘッド - Google Patents

複数のヨークを備えた薄膜磁気ヘッド

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JPH07287812A
JPH07287812A JP5105465A JP10546593A JPH07287812A JP H07287812 A JPH07287812 A JP H07287812A JP 5105465 A JP5105465 A JP 5105465A JP 10546593 A JP10546593 A JP 10546593A JP H07287812 A JPH07287812 A JP H07287812A
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JP
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coil
yoke
thin film
film magnetic
magnetic head
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Application number
JP5105465A
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English (en)
Inventor
Daniel A Nepela
エイ. ネペラ ダニエル
Shih-Cheng Cheng
チェン シー−チェン
Erich P Valstyn
ピー. バルスチン エリック
Edgar M Williams
エム. ウイリアムズ エドガー
Peter G Bischoff
ジー. ビショッフ ピーター
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Read Rite Corp
Original Assignee
Read Rite Corp
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/313Disposition of layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッドの信号出力を増大し、熱雑音を減
少させ、信号対雑音比を改善する。 【構成】 薄膜磁気ヘッドは、ひとつの導電コイルと効
果的に相互作用する複数の磁気ヨークを備えている。磁
気ヨークを構成する磁気的なP1及びP2部分は極めて
幅狭でコイルの回りに接近してこれを取り囲む包囲部材
を形成する。複数のヨークは、コイルの所定長当たり増
大した磁束相互作用を与えるようにコイルに誘導的に結
合されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッド、特に複
数のヨークを備えた薄膜磁気ヘッドの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドはディスクドライブ等の
データープロセッサに広く用いられている。代表的な薄
膜磁気ヘッドは、とりわけ、非磁性のセラミック基材
と、先端の間に変換ギャップを有する第1及び第2の磁
気アームすなわち極からなる磁気ヨークと、ヨークと誘
導結合された導電コイルとからなっている。ヨーク内に
発生する磁束は導電コイル内の電流と相互作用を行い、
データ処理装置の書込み読出しの際にデータ信号の変換
を行う。ヨークとコイルとの間の磁束相互作用の回数の
増加に伴って、データ処理の際に誘導される電圧信号も
増加する。
【0003】公開されたヨーロッパ特許出願400,7
93に記載されているような公知の薄膜ヘッドアセンブ
リでは、ただ1つのヨークの1対の磁気アームを1つま
たはそれ以上のコイルと絡み合わせる(intertwine)こ
とにより、複数の磁束結合が与えられている。このヨー
クはコイルの開口部を通して組み込まれ、コイルと絡み
合わされれて、コイル構造を通して少なくとも2個の通
路(pass)を形成している。前記出願に記載されている
装置のヨークアームは、一方向において長手方向に延び
ており、コイル構造は巻き付けられた設計でヨークの長
手方向に対して直角方向に延びている。引用した前記出
願に記載されている薄膜ヘッドは、ヨークの長さに沿っ
た比較的長いコイル構造を要し、これはコイル抵抗及び
磁気回路の磁気抵抗を増大させる不都合があり、その結
果熱雑音を増加させることは明らかである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術の薄膜ヘッドで得られるよりも著しく高い記録信号
を実現する薄膜ヘッドを提供することである。
【0005】本発明の他のひとつの目的は、結果的に磁
気装置の熱雑音の減少を伴う低い回路抵抗及びそれに伴
う装置の信号対雑音比の増加を有する薄膜ヘッドを提供
することである。
【0006】他のひとつの目的は、小さいインダクタン
スを有し、これにより特に高周波において改善された信
号対雑音比を与える薄膜ヘッドを提供することである。
【0007】他のひとつの目的は、多数のヘッドを取り
付けるセラミックウェーハのスペース及び表面積の有効
利用の改善を可能にする薄膜ヘッドを提供することであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の1実施例では、
薄膜磁気ヘッドアセンブリは、少なくともひとつの導電
コイルと相互作用する複数の磁気ヨークで形成される。
各磁気ヨークは、それぞれP1及びP2部分として示さ
れた第1及び第2のヨークアームすなわち部分からな
り、これらは後部及び前部の結合部で直列接続されてひ
とつの連続した磁束通路を形成する。コイルは平面状で
あることが好ましく、変換ギャップに近接したベース部
と、反対側となるトップサイド部と、2つの接続サイド
部からなる。複数のヨークは、コイルのベース部及びト
ップサイド部と平行な方向に沿ってほぼ等間隔に間をお
いて近接して配置されている。各ヨークのP2部分は、
各ヨークがコイルの回りに包囲部材を形成するように、
各P1部分に重ね合わされる。ヨーク包囲部材のP1部
分及びP2部分はほゞ同一の広がりを有し、コイル面に
直交する方向において互いに整列されている。P1及び
P2ヨーク部分は隣接するヨークのそれぞれP2及びP
1ヨーク部分に接続されて連続した磁束通路を形成して
いる。最初のヨークのP1極片の端部と最後のヨークの
P2極片の端部との間には変換ギャップが設けられる。
【0009】別の実施例では、コイルを取り囲むヨーク
包囲部材のP1ヨーク部分はP2ヨーク部分に対してあ
る角度をもって配置される。角度をもたせたP1ヨーク
部分は互いに平行で等間隔に配置されている。P2ヨー
ク部分も等間隔であり、互いにまた平面状コイルの両サ
イド部に平行に配置されている。
【0010】他の実施例では、P1及びP2ヨーク部分
は部分的には同じ広がりを有し、部分的には同じ広がり
を有していない。
【0011】
【作用】コイルと相互作用する複数のヨーク包囲部材
は、複数の結合と著しく増大した誘導結合とを与える。
その結果、薄膜ヘッドからの出力信号は著しく増加し、
熱雑音は大幅に減少する。
【0012】
【発明の効果】ここに開示されたヘッドの設計によれ
ば、従来の薄膜ヘッドと同じコイル巻数で、磁気回路と
コイルとの間に複数の結合が得られる。従って、単位巻
数当り、動作効率の改善を伴う高い信号出力が得られ
る。この薄膜ヘッド構造は、重ね合わせ構造でコイルを
包囲する複数のヨークを用い、ヨークはコイルが占有す
る所定の領域に関して最大数の磁束結合が得られるよう
な向きに配置される。コイル構造の複数の部分に結合さ
れ接近して配置された幅の狭い磁気ヨークは、高い信号
出力と低い熱雑音という利点を与える。
【0013】
【実施例】本発明は、図面に従って更に詳述される。図
において、同じ部分には同じ番号を付した。各図面は必
ずしも正しい比率で示されていないことは理解されるべ
きである。
【0014】図1及び図2に示すように、薄膜ヘッド
は、導電コイル18に誘導結合された例えばパーマロイ
製の複数の磁気ヨーク10,12,14,16を有して
いる。コイル18はその半分のみが示され、コイル全体
の中心線CLは接合部20a〜20dを通っている。各
ヨークは、後端結合部において接合部20a〜20dを
介して、また前端結合部において接合部22,24及び
26を介してそれぞれ接続された、第1のパーマロイ部
分(磁性部分)P1及び第2のパーマロイ部分P2から
なっている。各ヨークのP1及びP2部分は、コイルベ
ース部30を取り囲む包囲部材を形成する。P1及びP
2ヨーク部分は例えば10〜30ミクロン(μm)と幅
狭に作られ、ヨークの間の間隔は、コイルの両サイド部
の間に入るヨークの数をできるだけ多くするために、効
果的に小さくしてある。隣接するヨークの横方向間隔
は、ヨークのP1及びP2部分の垂直方向間隔の2分の
1より大きいことが望ましい。
【0015】薄膜ヘッド設計は、P1及びP2部分の幅
を非常に小さくし、磁気ディスク等の磁気媒体上に記録
されるデータトラックの幅によって決まる、ヘッドの作
動トラック幅に近い最小幅にすることが可能とする。デ
ータトラック幅に対するヨーク幅の比は約1.25:1
ないし6:1の範囲とすることができるが、いずれの場
合にもヨーク幅はトラック幅よりも大きい。非常に小さ
いヨーク幅は低いインダクタンスという結果となり、高
周波応答を改善し、信号対雑音(S/N)比を増加させ
るのに役に立つ。
【0016】磁気ヨークは、連続磁束回路を形成するよ
うに、直列に接続される。ヨークの間の連続接続を達成
するために、ヨーク10のP2部分は接合部22を介し
てヨーク12のP1部分に接続され、ヨーク12のP2
部分は接合部24を介してヨーク14のP1部分に接続
され、ヨーク14のP2部分は接合部26を介してヨー
ク16のP1部分に接続される。一連の複数のヨークの
最初のヨーク10のP1部分の端部と最後のヨーク16
のP2部分の間には変換ギャップ28が設けられる。
【0017】図1及び図2に示した実施例においては、
コイル18は、ベース部30と、平行な両サイド部3
2、34と、ベース部に対向するトップサイド部(図示
せず)とからなっている。書込み電流(i)はデバイス
が書込みモードの際にコイル18に供給され、読出し信
号は読出しモードの際にコイルから得られる。
【0018】本発明の薄膜ヘッドの製造においては、P
1層は周知のマスキング及びエッチング法でデポジット
される。P1層は、ヨーク10,12,14,16のそ
れぞれのためのひとつである、間隔をあけたP1部分を
有するように設計される。P1層のデポジットの前に、
セラミック基材の研磨した表面上に施されたアルミナア
ンダーコート上にシード層(seed layer)が形成され
る。次に、ヨーク10のP1部分とヨーク16のP2部
分との間に変換ギャップを設けるための、酸化アルミニ
ウムの第1の絶縁層がデポジットされる。次に、フォト
リソグラフィマスキング技法及び化学エッチングによ
り、パターン化された電気コイル構造18が形成され画
定される。複数のヨークに結合されるコイル18は半分
のみが示され、矢印は電流の方向を示す。コイル構造1
8をカバーし、P1及びP2磁性層から絶縁するため
に、絶縁材がデポジットされる。次に、間隔をあけたP
2部分を有するP2層がデポジットされ、これらのP2
部分は、接合部20a〜20dを介してそれぞれ各ヨー
クの後端結合部において各P1部分と接触し、また最後
のヨーク16のP2部分を除き接合部22,24,26
を介して隣接するP1部分と接触する。P2部分は、平
面状のコイル18と直交して配置された各軸線に沿って
各P1部分と整列して重ね合わされ、それらと同一の広
がりを有している。保護絶縁オーバーコートが、例えば
高周波(r.f.)スパッタリングにより、ヘッド構造上に
デポジットされ、薄膜ヘッドがその上に形成される空気
支持スライダ(air bearing slider)または基材の機械
加工及びラッピング中における機械的強度付与及び保護
を行う。読出し及び書込みの各モードの間にヘッドとの
間でデータ信号を授受するため、結合パッド、相互接
続、及びヘッド回路への配線がなされている。
【0019】図1及び図2に示す複数ヨーク薄膜磁気ヘ
ッドは、従来の誘導式ヘッドに比して約4倍の出力信号
を与える。特定の抵抗を有する任意のコイルに関して
は、ここに開示した複数のヨークを有する薄膜ヘッド
は、先に引用した出願に記載されているヘッド装置の薄
膜ヘッドアセンブリで得られるものの約2倍の出力信号
が現実に得られる。図1及び図2に示すヘッド構造は、
信号対雑音比における結果的な改善を伴う熱雑音の減少
を可能にする。
【0020】図3は、コイル64のベース部68が磁気
フルヨーク(full yoke)42,44(コイルの回りに
包囲部材を形成するP1及びP2の両部分を有するヨー
ク)に誘導結合され、コイルの対向するトップサイド部
66が磁気ヨーク36,38,40に誘導結合された、
本発明の別の実施例を示している。磁気回路は、変換ギ
ャップ62を画定するP1部分78及びP2部分80か
らなるワンハーフヨーク(one-half yoke)によって完
成される。コイル64の両端は、記録モードの際にはヘ
ッドへ、読出しモードの際にはヘッドから、データ信号
を通過させるための読み/書き回路に接続されている。
ヨーク36,38及び40のP1及びP2部分は、それ
ぞれ接合部50,52,54において接続されている。
同様に、ヨーク42及び44のP1及びP2部分は接合
部58,60を介して接続されている。全てのヨーク
は、連続した磁束通路を形成するように、接合部56に
おいて結合される。図1及び図2の実施態様と比較し
て、付加的な磁気ヨーク包囲部材36,38,40は、
磁束結合の量をかなり増加させる。複数のヨークがコイ
ルの一部分に誘導的に結合され、第2の複数のヨークが
コイルの反対の部分に誘導的に結合されている、図3に
示す重ね合せタイプあるいは包囲部材タイプの構造は、
信号出力に相当な利得を与える。本実施態様で実現され
る信号の利得は、同一のコイル巻数を有する従来型のヘ
ッドで得られる利得の約6倍である。
【0021】コイルの回りにヨーク包囲部材が形成され
た薄膜ヘッドの新規な設計のひとつの変形例が図4に示
されている。この実施態様においては、コイル18の面
の下方に配置されたP1ヨーク部分は、コイル層の上方
に形成されコイルの両サイド部32,34とほぼ平行な
P2ヨーク部分に対してある角度をなしている。P1及
びP2ヨーク部分は、コイルの中心線に沿って両サイド
部32,34の間に配置された接合部70,72,7
4,76を介して接続されている。P1及びP2ヨーク
部分は更に、コイル18の外辺部の外側に設けた接合部
78,80,82を介して接続されている。本発明の他
の実施例は、図3に示すように、コイルの上下両部分を
囲む角度付きヨークよりなっている。
【0022】図1及び図2の実施例におけるように、コ
イルの全高は、薄膜変換器が取り付けられるヘッドスラ
イダの厚さの約80%のコイル高さを一般的に必要とす
る、従来の薄膜ヘッドで用いられたものよりも減少させ
ることができる。従ってより少ない厚さのスライダが使
用できて空間の必要性が減少される。
【0023】図5に示すように、ヨーク包囲部材は、き
ちんと並んだほゞ平行なP1パーマロイストリップと、
きちんと並んだほゞ平行なP2パーマロイストリップに
より形成されている。P1ストリップはコイル84の対
向する各レッグに対しある角度で配置され、一方P2ス
トリップはコイルの各レッグにほゞ直角に配置されてい
る。P1及びP2ストリップは、コイル84の外側にあ
る接合部86及び92、及びコイル84の内側にある接
合部88及び90において結合されている。結合された
ストリップは、一様に間隔をあけた範囲でコイルのレッ
グを取り囲んでいる。変換ギャップ94が、ヨークの上
部中心に位置するP1及びP2要素の接続部に設けられ
ている。
【0024】P1パーマロイ合金の鍍金の間に、方向を
合わせる直流磁界(orienting DC magnet field)H
が、P1ストリップの長さと直交する角度で加えられ
る。続くP2パーマロイ合金の鍍金の間に、第2の方向
を合わせる直流磁界を加える装置は、加えられる磁界が
P2ストリップとほゞ直角となるように、方向を変えら
れる。従って鍍金の間に加えられる磁界はただ2つの角
度しか必要でなく、これにより製作の労力と費用を低減
する。
【0025】図5の実施例では、ヨーク幅は4〜30ミ
クロンの範囲内に作られる。コイル84は単数はもちろ
ん複数でもよい。
【0026】開示された薄膜ヘッド構造の設計及びパラ
メータの変更が、本発明の範囲内においてなされ得るこ
とは理解されるべきである。例えば、このヘッド設計に
用いたコイル構造は、1個を越える平面状コイルを組み
込むことができ、コイルの巻数は1巻きを越えてもよ
い。コイルは正方形または長方形以外の形状であっても
よい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による薄膜ヘッドアセンブリの好まし
い実施例の、コイルのほぼ半分のみを示す等角投影図で
ある。
【図2】 図1の寸法を縮小した平面図である。
【図3】 本発明の別の実施例を示す等角投影図であ
る。
【図4】 本発明の概念を用いた別の構成の平面図であ
る。
【図5】 本発明の概念を用いた変形構成の平面図であ
る。
【符号の説明】
10,12,14,16…ヨーク 18,64,84…導電コイル 20a〜20d,22,24,26…接合部 28,62,94…変換ギャップ 30,68…ベース部 36,38,40,42,44,78,80…ヨーク 50,52,54,56,58,60…接合部 66…トップサイド部 70,72,74,76,78,80,82…接合部 86,88,90,92…接合部 P1…第1の磁性部分 P2…第2の磁性部分
フロントページの続き (72)発明者 シー−チェン チェン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95035 ミルピタス アパートメント D 104 ディクソンランディングロード 440 (72)発明者 エリック ピー. バルスチン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95030 ロスガトス ビアコラド 103 (72)発明者 エドガー エム. ウイリアムズ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94301 パロアルト サンタリタアベニュ ー 185 (72)発明者 ピーター ジー. ビショッフ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95014 キューパティノ ラエレーン 22215

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれが第1及び第2の磁性部分から
    なる複数の磁束ヨークと、 少なくとも1個の導電コイルを備えてなり、 前記第1及び第2のヨーク部分が前記コイルを取り囲ん
    で前記コイルとヨークの間に誘導結合を与える複数の包
    囲部材を形成する、薄膜磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記各ヨークの第2部分が、前記各ヨー
    クのうちの最後のものの第2部分を除いて、次のヨーク
    の第1部分に結合され、前記ヨークのうちの最初のヨー
    クの第1部分の非結合端と最後のヨークの第2部分の非
    結合端が、それらの間に変換ギャップを形成する請求項
    1の薄膜磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記コイルが平面状である請求項1の薄
    膜磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記各ヨークの第2部分が、前記コイル
    の面と直角な軸線に沿って前記第1部分のそれぞれに対
    し重ねられ実質的に整列されている請求項3の薄膜磁気
    ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記各ヨークが前記コイル面に沿って横
    方向に間隔をおいて配置され、隣接するヨークの間の横
    方向間隔が前記ヨークの第1及び第2部分の間の垂直方
    向間隔の2分の1より大きい請求項3の薄膜磁気ヘッ
    ド。
  6. 【請求項6】 前記コイルがほぼ正方形または長方形で
    ある請求項1の薄膜磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記コイルがベース部及び対向するトッ
    プサイド部を有し、前記第1及び第2部分が前記ベース
    部を取り巻く包囲部材を形成するように結合されている
    請求項6の薄膜磁気ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記ヨークが前記コイルの前記ベース部
    及びトップサイド部を取り巻く包囲部材を形成している
    請求項6の薄膜磁気ヘッド。
  9. 【請求項9】 前記ヨークの前記第2部分が前記ヨーク
    の前記第1部分に接合部を介して結合されている請求項
    1の薄膜磁気ヘッド。
  10. 【請求項10】 前記接合部が前記コイルの中心線に沿
    って配置されている請求項9の薄膜磁気ヘッド。
  11. 【請求項11】 前記第1の磁性部分がそれぞれ前記第
    2の磁性部分に後端結合部において接続されている請求
    項1の薄膜磁気ヘッド。
  12. 【請求項12】 データトラック幅に対する各ヨーク幅
    の比が約1.25:1〜6.0:1の範囲内にある請求
    項1の薄膜磁気ヘッド。
  13. 【請求項13】 ヨーク部分の幅が約10〜30ミクロ
    ンである請求項1の薄膜磁気ヘッド。
  14. 【請求項14】 第1及び第2の対向するレッグを有す
    る導電コイルと、 前記コイルの前記第1のレッグに対し第1の角度で配置
    された第1の複数の実質的に平行な磁性ストリップと、 前記コイルの前記第1のレッグに対し前記第1の角度と
    は異なった角度で配置された第2の複数の実質的に平行
    な磁性ストリップと、 前記コイルの前記第2のレッグに対し前記第1の角度で
    配置された第3の複数の実質的に平行な磁性ストリップ
    と、 前記コイルの前記第2のレッグに対し前記異なった角度
    で配置された第4の複数の実質的に平行な磁性ストリッ
    プを備えてなり、 前記第1の複数のストリップと前記第2の複数のストリ
    ップは接続されて前記コイルの第1のレッグを取り囲
    み、 前記第3の複数のストリップと前記第4の複数のストリ
    ップは接続されて前記コイルの第2のレッグを取り囲ん
    でなる、薄膜磁気ヘッド。
  15. 【請求項15】 前記第1の複数のストリップのうちの
    ひとつの磁性ストリップと前記第2の複数のストリップ
    のうちのひとつの磁性ストリップの間に形成された変換
    ギャップを含む請求項14の薄膜磁気ヘッド。
JP5105465A 1992-05-04 1993-05-06 複数のヨークを備えた薄膜磁気ヘッド Pending JPH07287812A (ja)

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