JPH07285068A - ラップ盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ラップ盤において、上定盤の平行度の狂いに
よるワークの割れ、欠けを防止すること。 【構成】 キャリア１０に保持されたワークＷを下定盤
１と上定盤２との間に挟み込み、キャリア１０を自転・
公転させることによりワークＷの上下面を研磨するラッ
プ盤。上定盤２は上下動可能であり、その外周部にオイ
ルを緩衝媒体とするショックアブソーバ２０が取り付け
られている。ショックアブソーバ２０のロッド２１の先
端にはローラ２２が装着され、上定盤２の下動時にロー
ラ２２がインターナルギヤ４の上面に当接する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ラップ盤、特にセラミ
ック、ガラス等からなるワークの上下面を研磨するため
のラップ盤に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、チップタイプの圧電部品やコン
デンサ部品のセラミック基板（以下、ワークと記す）を
研磨するにはラップ盤と称する浮遊砥粒式研磨装置が用
いられている。この種のラップ盤は、外周に歯部を形成
したキャリアを下定盤と上定盤との間に配置すると共
に、キャリアの歯部を大径のインターナルギヤ及び小径
の中心ギヤに噛合させ、該キャリアの穴に保持されたワ
ークを下定盤と上定盤との間に挟み込み、インターナル
ギヤ及び／又は中心ギヤの回転に基づいてキャリアを自
転・公転させると共に、ワークに研磨液を供給し、ワー
クの上下面を研磨する。

【０００３】ところで、前記上定盤はシリンダに連結さ
れ、ワークの装填及び取り出しのために下定盤に対して
上下動可能とされている。しかしながら、上定盤はシリ
ンダのロッドに自在継手を介して連結されているため、
上下動の際に平行度を保持し難く、ワークを挟み込むた
めの下動時に上定盤のエッジがワークに当接することが
あり、当接されたワークは衝撃で割れや欠けが生じる不
具合を有している。特に、ワークが定盤に対してオーバ
ーハングしている（はみ出している）形式のラップ装置
にあっては、この不具合は顕著である。

【０００４】

【発明の目的、構成、作用、効果】そこで、本発明の目
的は、ワークに割れや欠けが発生することのないラップ
盤を提供することにある。

【０００５】以上の目的を達成するため、本発明に係る
ラップ盤は、上定盤がワークを挟み込むために移動した
ときに、上定盤がワークと当接する際の衝撃を緩和する
ための衝撃緩和手段を備えている。

【０００６】衝撃緩和手段とは、例えば封入されたオイ
ルをダンパ材として使用したもので、上定盤の平行度に
狂いが生じていても、上定盤が移動してワークに当接す
る際、この衝撃緩和手段が作用し、ワークに対する衝撃
を緩和する。これにてワークに割れや欠けが生じること
を未然に防止できる。

【０００７】さらに、本発明に係るラップ盤は、上定盤
の外周部の複数箇所に設置された衝撃緩和手段と、この
衝撃緩和手段のロッドの先端に回転自在に装着されたロ
ーラ部材とを備え、前記上定盤がワークを挟み込むため
に移動したときに、前記ローラ部材がインターナルギヤ
の上面に当接することを特徴とする。この発明によれ
ば、ストッパ部材を特に設けることなくインターナルギ
ヤを利用して、上定盤からワークに作用する衝撃を吸収
することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明に係るラップ盤の実施例につい
て添付図面を参照して説明する。 （第１実施例、図１、図２参照）ラップ盤は、概略、下
定盤１、上定盤２、中心ギヤ３、インターナルギヤ４、
キャリア１０，１５、ショックアブソーバ２０によって
構成されている。

【０００９】下定盤１は上面をラップ加工面としたもの
で、スタンド５上にフレーム６を介して固定されてい
る。上定盤２は下面をラップ加工面としたもので、キャ
リア１０，１５の着脱のために図示しないシリンダのロ
ッドに自在継手を介して取り付けられ、一定のストロー
クで上下動可能とされている。中心ギヤ３は定盤１，２
の中心部に設置され、支軸７によって図示しないモータ
から回転駆動される。インターナルギヤ４はスタンド５
上にフレーム８を介して回転自在に装着され、前記モー
タによってフレーム８に固定したギヤ９を介して回転駆
動される。

【００１０】キャリア１０は、上下に貫通する保持穴１
１と外周部に歯部１２を有し、歯部１２が前記中心ギヤ
３とインターナルギヤ４とに噛合した状態で下定盤１上
にセットされている。保持穴１１はワークＷを嵌合保持
するためのものである。キャリア１５は定盤１，２のラ
ップ加工面の修正用に設けたもので、前記キャリア１０
と同様に、外周部に形成した歯部１６が中心ギヤ３とイ
ンターナルギヤ４とに噛合した状態で下定盤１上にセッ
トされている。

【００１１】ショックアブソーバ２０は、内部に封入さ
れたオイルがロッド２１の押込みによってオリフィス
（図示せず）を通って移動するときの抵抗にて衝撃を緩
和する周知の構成からなるもので、前記上定盤２の外周
部に等間隔に３箇所、ブラケット２３によって取り付け
られている。即ち、ショックアブソーバ２０は上定盤２
と共に上下動する。ロッド２１の先端にはローラ２２が
回転自在に装着され、このローラ２２はショックアブソ
ーバ２０が上定盤２と共に下動した際に、前記インター
ナルギヤ４の上面に当接する。

【００１２】次に、以上の構成からなるラップ盤の動作
を説明する。まず、上定盤２を上方に移動させた状態
で、ワークＷを保持したキャリア１０及び修正用キャリ
ア１５を下定盤１上にセットし、上定盤２を下動させ
る。上定盤２の下動によってワークＷが定盤１，２の間
に挟み込まれるが、上定盤２の平行度に狂いが生じてい
ても、下がりぎみのエッジがワークＷに当接する以前
に、ローラ２２がインターナルギヤ４の上面に当接し、
衝撃を緩和する。従って、ワークＷに割れや欠けが発生
することがない。

【００１３】ワークＷが定盤１，２で挟み込まれ、中心
ギヤ３及びインターナルギヤ４が回転駆動されると、キ
ャリア１０，１５が自転・公転する。このとき、図示し
ない供給手段から砥粒を含む研磨液が供給される。キャ
リア１０の自転・公転に伴ってワークＷも自転・公転
し、その上下面が研磨される。なお、修正用キャリア１
５は定盤１，２のラップ加工面の平面度を修正するため
のものである。

【００１４】（第２実施例、図３参照）本第２実施例
は、上定盤２の外周部の複数箇所にブラケット２４を介
してショックアブソーバ２０を取り付け、そのロッド２
１の先端をストッパ３０に当接させ、衝撃を緩和するよ
うにしたものである。

【００１５】（第３実施例、図４参照）本第３実施例
は、定位置に固定されたブラケット３１にショックアブ
ソーバ２０を取り付け、上定盤２にはストッパ２５を固
定したものである。上定盤２の下動時にストッパ２５が
ショックアブソーバ２０のロッド２１の先端に当接し、
衝撃が緩和される。

【００１６】（他の実施例）なお、本発明に係るラップ
盤は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範
囲内で種々に変更可能である。例えば、キャリア１０を
自転・公転させる構成やショックアブソーバ２０の種類
は任意である。また、修正用キャリア１５は必ずしも必
要ではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るラップ盤の第１実施例を示す断面
図。

【図２】前記ラップ盤の上定盤を取り外した状態を示す
平面図。

【図３】本発明に係るラップ盤の第２実施例を示す概略
説明図。

【図４】本発明に係るラップ盤の第３実施例を示す概略
説明図。

【符号の説明】

１…下定盤 ２…上定盤 ４…インターナルギヤ １０…キャリア ２０…ショックアブソーバ ２１…ロッド ２２…ローラ ２５，３０…ストッパ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアに保持されたワークを下定盤と
   上定盤との間に挟み込み、キャリアを自転・公転させる
   ことによりワークを研磨するラップ盤において、 前記上定盤がワークを挟み込むために移動したときに、
   上定盤がワークと当接する際の衝撃を緩和するための衝
   撃緩和手段を備えたこと、 を特徴とするラップ盤。
2. 【請求項２】 キャリアに保持されたワークを下定盤と
   上定盤との間に挟み込み、インターナルギヤ及び／又は
   中心ギヤの回転に基づいてキャリアを自転・公転させる
   ことによりワークを研磨するラップ盤において、 前記上定盤の外周部の複数箇所に設置された衝撃緩和手
   段と、 前記衝撃緩和手段のロッドの先端に回転自在に装着され
   たローラ部材とを備え、 前記上定盤がワークを挟み込むために移動したときに、
   前記ローラ部材が前記インターナルギヤの上面に当接す
   ること、を特徴とするラップ盤。