JPH0727918B2 - リードフレームの搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体製造装置に使用されるリードフレーム搬
送装置に関する。

［従来の技術］ 樹脂封止型半導体装置（以下モールドICという）の組立
には、数個のICが連結されたリードフレームが使用され
ている。ペレットボンディング装置等の組立装置におい
て、リードフレームを所定の位置まで搬送するのに、リ
ードフレームの一部を上下方向よりクランパーにより挟
持し、前記クランパーをサーボモーター等により所定量
移動させ、クランパーを開き、原点の位置にクランパー
を復帰し、リードフレームを間欠搬送させる装置が使用
されていた。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した従来のリードフレーム搬送装置は、クランパー
の開閉時、リードフレームが自由になるため、リードフ
レームがズレて搬送精度が悪くなるという欠点があっ
た。

本発明の目的は前記課題を解決したリードフレームの搬
送装置を提供することにある。

［発明の従来技術に対する相違点］ 上述した従来のリードフレーム搬送装置に対し、本発明
はクランパーの開閉動作と逆動作をするリードフレーム
押えを有し、搬送レール上では必らずリードフレームを
クランパーあるいはリードフレーム押えが固定している
という相違点を有する。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明のリードフレーム搬送
装置においては、リードフレームを搬送レール上を所定
位置まで間欠送りするリードフレーム搬送装置におい
て、リードフレームの一部を上下方向より挟持するクラ
ンパーと、前記クランパーを開閉させる開閉機構と、所
定量水平移動する駆動部と、前記クランパーの開閉動作
と逆動作をするリードフレーム押えとを有するものであ
る。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す側面図である。

図において、２本の搬送レール2a,2bを平行に敷設する
とともに、一方のレール2aに沿ってガイドレール2cを平
行に敷設する。２本のレール2a,2bの上部にはリードフ
レーム１の端縁を受け入れる肩部9,9を設け、またガイ
ドレール2cに駆動部10を往復動可能に設け、該駆動部10
にサーボモータ８を装備する。

前記駆動部10に、搬送レール2a,2b上のリードフレーム
１の端縁を上下から挟持する上側クランパー３と下側ク
ランパー４との組を装備し、下側クランパー４を駆動部
10に一体に組付けるとともに、上側クランパー３を駆動
部10にピン11にて開閉可能に枢支し、該上側クランパー
３をバネ12にて閉じる方向に付勢する。

一方、前記駆動部10に、リードフレーム１を搬送レール
2aに圧下するリードフレーム押え５を上下動可能に支持
し、該リードフレーム押え５をバネ13にて圧下方向（図
中下方）に付勢する。

さらに、前記リードフレーム押え５の作用端5aと前記上
側クランパー３の作用端3aとを上下に配して対向させ、
駆動部10のシリンダー６に上下動可能に保持された開閉
部材７をリードフレーム押え５の作用端5aと上側クラン
パー３の作用端3aとの間に配設する。

リードフレーム１は２本の搬送レール2a,2b間に横架さ
れ、リードフレーム押え５により固定されている。開閉
部材７がシリンダー６により上昇すると、まず、上側ク
ランパー３がバネ12にて下方に移動し、リードフレーム
１を下側クランパー４とともに挟持し、リードフレーム
１を保持する。また同時にリードフレーム押え５が開閉
部材７によりバネ13に抗して引き上げられ、リードフレ
ーム１よりはなれることになる。そしてクランパー3,4
で保持されたリードフレーム１は駆動部10がサーボモー
タ８によりガイドレール2cに沿って移動されるのに伴っ
て所定量搬送される。次に、シリンダー６により開閉部
材７が下降すると、まず、リードフレーム押え５がバネ
13のばね力を受けてリードフレーム１を搬送レール2a上
に圧下してこれを固定する。一方、上側クランパー３が
開閉部材７により上方に引き上げられリードフレーム１
より離れ、クランパー3,4が開く。この状態にて駆動部1
0がサーボモータ８によりガイドレール2cに沿って原点
の位置にもどる。

以後、上記動作を繰り返し、リードフレーム１を所定の
位置まで間欠搬送する。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２の概略側面図である。本実施
例ではバネ12にて連結された上側クランパー３と下側ク
ランパー４は開閉部材7a,7bにより上下動するようにな
っており、クランパー3,4は、原点位置に図示されない
サーボモータでもどる際、リードフレーム１より離れて
いるため、リードフレーム１の下面にキズが付かず、ま
た、リードフレーム１の変形を防ぐ利点がある。

また、バネ13にて付勢されたリードフレーム押え５はピ
ン14を支点として一方の開閉部材7aにより、上側クラン
パー３の開閉動作と逆の動作で開閉されることとなる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明はリードフレームの一部を上
下方向よりクランパーにより挟持してこれを搬送し、前
記クランパーの上下動作と逆動作をするリードフレーム
押えにより、クランパーから解放されたリードフレーム
を固定するため、搬送レール上で必らずクランパーある
いはリードフレーム押えがリードフレームを固定するこ
とにより、高精度のリードフレーム搬送を行うことがで
きる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１を示す側面図、第２図は本発
明の実施例２を示す側面図である。 １……リードフレーム、2a,2b……搬送レール ３……上側クランパー、４……下側クランパー ５……リードフレーム押え ６……シリンダー、７……開閉部材 ８……サーボモータ、10……駆動部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】リードフレームを搬送レール上を所定位置
   まで間欠送りするリードフレーム搬送装置において、リ
   ードフレームの一部を上下方向より挟持するクランパー
   と、前記クランパーを開閉させる開閉機構と、所定量水
   平移動する駆動部と、前記クランパーの開閉動作と逆動
   作をするリードフレーム押えとを有することを特徴とす
   るリードフレームの搬送装置。