JPH0727746U - 研磨材固定用テープ - Google Patents

研磨材固定用テープ

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JPH0727746U
JPH0727746U JP6466893U JP6466893U JPH0727746U JP H0727746 U JPH0727746 U JP H0727746U JP 6466893 U JP6466893 U JP 6466893U JP 6466893 U JP6466893 U JP 6466893U JP H0727746 U JPH0727746 U JP H0727746U
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JP
Japan
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heat
adhesive layer
abrasive
sensitive adhesive
reactive
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Application number
JP6466893U
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English (en)
Inventor
久也 甲斐
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Kasei Polymer Co Ltd
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
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  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目 的】研磨材を極めて強固に接着し、研磨砥粒
液存在下での加熱、加圧によってもはがれを生ずること
がない熱反応型粘着剤層を有し、使用後にポリッシング
マシンの定盤から容易に再はく離可能な両面接着テープ
を提供することにある。 【構 成】プラスチックフィルムの片面に、(A)
分子内にエチレン性不飽和基を有するアクリル酸エステ
ル共重合体と、(B)熱ラジカル重合開始剤を混合して
なる、熱反応型粘着剤層を設け、該プラスチックフィル
ムの他方の面に再はく離性粘着剤層を設けてなることを
特徴とする研磨材固定用テープ。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【考案の分野】
本考案は、レンズ、ガラス、アルミディスク、ウエハーなどのラッピング、ポ リッシングといった研磨に用いられる研磨材を固定するためのテープに関する。
【0002】
【従来技術】
従来、レンズ、ガラス、アルミディスク、ウエハーなどを研磨するための材料 としては、硬質のウレタン発泡体や、微細孔を有する合成皮革を研磨材として、 これをポリッシングマシンの定盤に溶液型のゴム系接着剤で固定し使用している 。
【0003】 しかし、この方法では、ウレタン発泡体や合成皮革の裏面と、定盤に、接着剤 を塗布し、溶剤を乾燥させてから貼合わせなければならず、工程に時間がかかる といった問題があり、また研磨材が摩耗し貼替えるとき、研磨材をはがすと接着 剤が定盤側に残り、これを除去するのに大変な手間がかかるという欠点があった 。
【0004】 またこれに代わり、両面テープを使う方法が検討され始めており、この様なテ ープにはポリエステルフィルムにアクリル酸エステル系ポリマーを主とした粘着 剤や、スチレンイソプレンスチレンまたはスチレンブタジエンスチレン、スチレ ンエチレンブタジエンスチレンなど、ブロックポリマーと称するゴム系ホットメ ルト形の粘着剤層を設けたものが一部で使用されている。
【0005】
【考案が解決しようとする問題点】
しかしながら、研磨材は多孔質のポリウレタンや合成皮革などであって、表面 が粗いため、これらの従来から用いられている粘着剤などは、研磨材への接着性 が充分でなく、ガラス、レンズ、ウエハーなどの研磨においては、研磨砥粒液に よる、PH9〜13にも及ぶ強アルカリ存在下でポリッシングマシンの定盤の回 転の応力、圧力、温度が、研磨材とそれを接着している接着剤または両面接着テ ープにかかるため、回転研磨中にパッドや合成皮革がテープからはがれ、研磨中 のワークに大きなダメージを与えるといったトラブルが絶えなかった。
【0006】 こうしたトラブルは、ワークやキャリヤ等高価な材料を用いている精密研磨工 程においてはきわめて大きな損失にいたるものであり、この問題を解決すること は永年の大きな課題であった。
【0007】 こうした問題の改善として、実開昭62−153057公報に記載されている ような粘着剤が提案されているが、特定の研磨材には効果が認められるものの、 広汎な研磨材への適用はむずかしく、耐アルカリ性もより一層の特性が求められ ていた。
【0008】
【考案の目的】
本考案の目的は、前記の如く研磨材を強固に接着し、酸・アルカリ性の研磨砥 粒液存在下での加熱、加圧によってもはがれを生ずることがない接着剤層を有す る、研磨材に強接着で、定盤から再はく離可能な両面接着テープを提供すること にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本考案は研磨材からのはがれを防止可能な強固な接着を有するための両面接着 テープとして、プラスチックフィルム支持体の片側に、(A)分子内にエチレン 性不飽和基を有するアクリル酸エステル共重合体と、(B)熱ラジカル重合開始 剤を混合してなる熱反応型粘着剤層を設け、該プラスチックフィルム支持体の他 方の面に再はく離性粘着剤層を設けてなることを特徴とする研磨材固定用両面テ ープに関するものである。 アクリル酸エステル系の反応型粘着剤は、湿気硬化型なども含め各種提案され ているが、本考案においては、常温では単なる粘着剤で短時間の加熱により硬化 反応をする、前記熱反応型が最も好ましい。
【0010】 使用に際しては、反応型粘着剤面をヒートプレスにより研磨材に接着する。ア クリル系ポリマーを主成分とした熱反応型粘着剤はヒートプレスにより一時的に 溶融し、研磨材の内部に一部浸透すると共に、熱により硬化し、凝集力を著しく 向上させるので、研磨工程の強アルカリ液存在下でも、研磨材からはがれにくく 、耐久性を向上させるのに大きな効果を発揮する。
【0011】 プラスチックフィルムは研磨砥粒液の接着剤層への浸透防止、接着剤層の平滑 化及び使用後の再はく離のため使用される。
【0012】 以下、本考案について詳細に説明する。 この考案において用いられる、アクリル粘着剤に用いるアクリル系ポリマーは、 一般式(I)で表されるアクリル酸エステルの一種以上と官能基を有するエチレ ン性不飽和単量体及び、必要に応じて官能基を有さないエチレン性不飽和単量体 とからなる共重合組成からなるものであって、ポリマー分子中にエチレン性不飽 和基が含有されていなければならない。
【0013】 但し、一般式(I)中Rは水素またはメチル基を、Rは炭素数2〜14の アルキル基を示す。また、前記における共重合体組成となすための官能基を有す るエチレン性不飽和単量体には次のような物があげられる。
【0014】 水酸基を有するモノマーとして、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート 、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N−メチロールアクリルアミ ド、アリルアルコールなど、カルボン酸を有するモノマーとして、アクリル酸、 マレイン酸、コハク酸など、一級アミノ基または二級アミノ基を有するモノマー として、N−メチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−エチルアミノエチ ル(メタ)アクリレートなど、三級アミノ基を有するモノマーとしては、ジメチ ルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリ ルアミドなど、アミド基、N−置換アミド基を有するモノマーと、アクリルアミ ド、メタクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドなど、ニトリル基を 有するモノマーとして、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、また官能基を 有さないエチレン性不飽和単量体としては、スチレン、酢酸ビニル、プロピオン 酸ビニル、ビニルエーテルなどがあげられる。
【0015】 アクリル粘着剤が、熱ラジカル重合開始剤による反応を生ずるためには、エチ レン性不飽和基が必要であり、アクリル系ポリマー(I)に対し、該ポリマー( I)中の官能基と、グラフト反応などにより側鎖に導入することが好ましく、反 応性のモノマーの例として、エポキシ基やアジリジニル基を有するエチレン性不 飽和モノマーなどが好適であって、その具体例としては、グリシジル(メタ)ア クリレート、アリルグリシジルエーテル、1,3−ブタジエンモノエポキサイド などのエポキシ基を有するもの、2−(1−アジリジニル)ブチル(メタ)アク リレートなどのアジリジニル基を有するものがあげられる。
【0016】 該アクリル粘着剤に対し、必要に応じて初期の凝集力を付与するために、架橋 剤を添加することができる。
【0017】 (B)架橋剤としては前記の官能基と反応するもの多官能物質であれば何でも よく、ポリイソシアネート、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、アジリジン系など特 に限定されるものではない。また、前記(A)アクリル系ポリマーの分子量が小 さい場合などにおいてはフローしすぎて熱プレス時に粘着剤がはみ出すといった 問題が生じることがあるが、分子量が十分大きく、熱時のフロー性が著しくなけ れば(B)は必ずしも必要ではない場合がある。
【0018】 ここでいう架橋は、熱ラジカル重合開始剤による硬化に比べて極めて粗い網目 を形成する三次元化のことであって、アクリル系粘着剤で一般に処方される類の ものであり、これらは粘着剤のタックを損なわない。
【0019】 更に、熱ラジカル重合開始剤(C)としては、ベンゾイルパーオキサイド、メ チルエチルケトンパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ジクミルパーオ キサイド、ジーtert−ブチルパーオキサイド、クメンヒドロキシルパーオキ サイドなどの有機過酸化物、アゾビスイソブチロニトリルなどのアゾ化合物など が用いられる。
【0020】 これらを溶液状態で混合した熱反応型粘着剤組成物を支持体の片側に塗付、乾 燥し、皮膜形成して用いる。 支持体としては、それ自身が平滑であり、再はく離時に切断して定盤に糊残り をしないよう一定の強度が要求されるため、プラスチックフィルムを用いる。
【0021】 プラスチックフィルムとしては、ポリエステル、ポリエチレン、CPP、OP P、ポリ塩化ビニルなどが一般的であるが、寸法安定性の面で特にポリエステル フィルムが好適である。
【0022】 なおこのプラスチックフィルムは、単一層である必要はなく、2種以上のプラ スチックや金属箔などの多層ラミネートフィルムであっても差し仕えはない。
【0023】 これらのフィルムによる支持体の厚みは、20〜200μ程度が好適である。
【0024】 支持体の他方の面に用いる再はく離型粘着剤は、研磨剤を研磨工程中の強いせ ん断力に対し常に保持し、かつ研磨材が摩耗し、交換が必要になったときテープ ごと研磨機の定盤からひきはがすため、糊残りのないことが求められる。
【0025】 粘着剤として用いられるものとしては、天然ゴム、ポリイソプチレン、スチレ ン系ブロックポリマー、アクリル酸エステルポリマーなどの粘着剤が好ましい。
【0026】 このようにして得られた研磨材固定用両面接着テープは、市販の合成皮革状ス エード、ベロアといったポリッシング用研磨材シートや、酸化セリウム等の研磨 砥粒を含有した硬質ウレタン発泡体などのラッピング用研磨材シートに対して熱 接着される。
【0027】 熱反応型粘着剤層を、該研磨材シートの裏面、もしくは表裏のない場合そのい ずれかの面に仮付けし、ホットプレスにより、熱ラジカル反応に必要なエネルギ ーを温度と加熱時間で与え、接着を完了させる。
【化1】
【0028】 熱ラジカル硬化反応によりアクリル粘着剤は粘着剤としてのタックはほぼ失わ れるが、非常に高い凝集力が発現する。
【0029】
【作用】
研磨材用パッドに熱反応型粘着剤を貼付け、熱プレスすることにより架橋して 凝集力が増大し、接着力も比例して増すので、これを再はく離側粘着剤を用いて 研磨の定盤に貼付け、長期に亘り使用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】は本考案の実施例の断面図である。
【符号の説明】
1.熱ラジカル反応性アクリル粘着剤 2.プラスチックフィルム 3.再はく離粘着剤 4.離型紙 5.研磨材

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. プラスチックフィルムの片面に、(A)分子内にエチレ
    ン性不飽和基を有するアクリル酸エステル共重合体と、
    (B)熱ラジカル重合開始剤を混合してなる熱反応型粘
    着剤層を設け、該プラスチックフィルムの他方の面に再
    はく離性粘着剤層を設けてなることを特徴とする熱反応
    性研磨材固定用両面テープ。
JP6466893U 1993-10-28 1993-10-28 研磨材固定用テープ Pending JPH0727746U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116967930A (zh) * 2023-09-21 2023-10-31 上海芯谦集成电路有限公司 特殊热熔胶加工工艺的抛光垫及其制备方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116967930A (zh) * 2023-09-21 2023-10-31 上海芯谦集成电路有限公司 特殊热熔胶加工工艺的抛光垫及其制备方法
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