JP5346226B2 - 研磨材固定用両面粘着テープ及び研磨材付き粘着テープ - Google Patents

Description

本発明は、研磨材を研磨装置の研磨定盤（以下、「定盤」とのみ記す）に固定するための研磨材固定用両面粘着テープ及びこの研磨材固定用両面粘着テープを用いた研磨材付き粘着テープに関する。

従来から研磨布あるいは研磨パッドと呼ばれるシート状をした研磨材を定盤に固定するにあたって、基材フィルムの一方の面に研磨材固定用粘着剤層が積層一体化され、他方の面に定盤固定用粘着剤層が積層一体化された研磨材固定用両面粘着テープが使用されている。
また、このような研磨材固定用両面粘着テープとして、研磨材固定用粘着剤層を構成する粘着剤としてカルボキシル基や水酸基を有するモノマーと（メタ）アクリル酸アルキルエステルとの共重合体に高軟化点の樹脂を配合した熱活性のアクリル系接着剤が用いられたものが提案されている（特許文献１）。

この先に提案された研磨材固定用両面粘着テープは、定盤固定用粘着層が軽く定盤に接触させただけでも十分な粘着性能を発揮するとともに、研磨中は機械的衝撃によって研磨材が剥がれたり、強酸性研磨砥粒液や強アルカリ性研磨砥粒液など、いろいろの物性の異なる研磨砥粒液等を用いた場合においても研磨材が剥がれたりすることがないことは勿論、定盤からの剥がれもなく、かつ使用後は、研磨材固定用両面粘着テープを定盤から糊残り等の問題なく剥離できるという優れたものである。

一方、定盤には、研磨砥粒液の供給孔を備えたものがあるが、このような定盤に貼着して用いる研磨材の場合、通常、まず、研磨材に研磨材固定用両面粘着テープを貼着して研磨材付粘着テープとしたのち、この研磨材付粘着テープに定盤の研磨砥粒液の供給孔のピッチに合わせて孔を穿設した状態で工場から出荷され、研磨を行う際に、研磨材付粘着テープに穿設された孔を定盤の供給孔に一致させるように、定盤固定用粘着剤層を介して研磨材付粘着テープを定盤に粘着固定するようになっている。

しかし、研磨材付粘着テープに穿設された孔を定盤の供給孔に合わせて研磨材付粘着テープを定盤に粘着固定する作業は熟練を要し、未熟な作業者は貼り直しをしなければならない場合が多く、上記のように、軽く定盤に接触させただけでも十分な粘着性能を発揮する研磨材固定用両面粘着テープでは、貼り直し作業が難しいという問題がある。

特開２００１−３５４９２６号公報

本発明は、上記事情に鑑みて、初期タック性が低く定盤への貼り直しが容易であるが、しっかりと押圧し、一旦定盤に貼り付けられた後には、研磨中の機械的衝撃によって研磨材が剥がれたり、いろいろの物性の異なる研磨砥粒液等を用いた場合においても研磨材が剥がれたりすることがないことは勿論、定盤からの剥がれもなく、かつ使用後は、研磨材固定用両面粘着テープを定盤に糊残りが発生することなく剥離できる研磨材固定用両面粘着テープ、及び、この研磨材固定用両面粘着テープを用いた研磨材付き粘着テープを提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明にかかる研磨材固定用両面粘着テープは、基材フィルムの一方の面に研磨材固定用粘着剤層が積層一体化され、他方の面に定盤固定用粘着剤層が積層一体化された研磨材固定用両面粘着テープであって、定盤固定用粘着剤層を構成する粘着剤が、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、キシレン樹脂を５〜３０重量部含有する感圧型粘着剤であり、研磨材固定用粘着剤層を構成する粘着剤が、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、テルペンフェノール樹脂を２０〜７０重量部含有する感熱型粘着剤であることを特徴としている。

本発明において、（メタ）アクリル酸とは、メタアクリル酸及びアクリル酸のいずれか
であることを意味する。
本発明の研磨材固定用両面粘着テープにおいて、定盤固定用粘着剤層を構成する粘着剤は、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、キシレン樹脂を５〜３０重量部含有する感圧型粘着剤に限定されるが、その理由は以下のとおりである。

〔（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体〕
（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有することにより、定盤固定用粘着剤層は、強い粘着力、耐熱性及び再剥離性を有するものとなり、研磨中の剥れを防止することができる。重合性モノマー混合物中の（メタ）アクリル酸ブチルの含有量は、９０重量％以上に限定されるが、その理由は、含有量が９０重量％未満では耐熱性の向上効果が不十分であるためで、より好ましくは９５重量％以上である。

また、上記重合性モノマー混合物中には、（メタ）アクリル酸ブチル以外に、（メタ）アクリル酸ブチルと共重合する他の重合性モノマーが１０重量％未満の範囲で配合される。
他の重合性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、ｎ−メチロールアクリルアミド、無水マレイン酸、酢酸ビニル、スチレンなどの（メタ）アクリル酸ブチルと共重合可能なアルキル基の炭素数が１〜１２のビニルモノマーが挙げられ、中でも、研磨材へのより高い接着力を発揮して、研磨材からテープの剥離をより防ぐことができる定盤固定用粘着剤層を得られることから、（メタ）アクリル酸を配合することが好ましい。

上記（メタ）アクリル酸の配合量は、（メタ）アクリル酸ブチル１００重量部に対して、１〜１０重量部が好ましく、１〜５重量部がより好ましく、１〜３重量部が更に好ましい。
すなわち、（メタ）アクリル酸の配合が、少なすぎると凝集力が不足し、粘着剤層のせん断抵抗力が低下して研磨時に加わるせん断力によって凝集破壊を招き、剥離しやすくなり、多すぎるとガラス転移点温度がアップし、低温接着性能が低下するおそれがある。

〔（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の分子量〕
上記共重合体の分子量としては、重量平均分子量で３０万〜８０万が好ましい。すなわち、分子量が小さいと耐熱性が劣ったり、粘着剤層のせん断抵抗力が低下して研磨時に加わるせん断力によって凝集破壊を招き、剥離しやすくなる場合があり、大きいと、初期タック性が不足する場合がある。

〔重合方法〕
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体を得るためには、（メタ）アクリル酸ブチルと、必要に応じて配合する上述の他の重合性モノマーとを、重合開始剤の存在下にてラジカル反応させればよい。なお、重合方法としては、特に限定されず、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などが挙げられる。

〔重合開始剤〕
そして、上記重合開始剤としては、特に限定されず、例えば、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレートなどが挙げられ、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレートが好ましい。なお、上記重合開始剤は単独で用いられても、二種以上が併用されてもよい。

〔キシレン樹脂〕
上記キシレン樹脂の配合割合は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、５〜３０重量部（より好ましくは１０〜２０重量部）に限定される。その理由は、キシレン樹脂の配合量が５重量部未満であると、粘着剤層のせん断抵抗力が低下して研磨時に加わるせん断力によって凝集破壊を起こして剥れがおきることがあり、３０重量部を超えると、初期タック性が高くて貼り直しがしにくくなるとともに、使用後の剥離が困難となる、あるいは、糊残りすることがあるためである。

また、本発明で用いられるキシレン樹脂としては、本発明の目的を達成できれば、特に限定されないが、熱可塑性アルキルフェノール変性タイプのものが好ましく、中でも平均分子量が１０００〜１５００ものが好ましい。このような条件にあてはまる市販のキシレン樹脂としては、フドー社製商品名ＨＰ７０やフドー社製商品名ＨＰ１００などが挙げられる。

なお、定盤固定用粘着剤中には、本発明の目的を阻害しない範囲でキシレン樹脂以外にその他の粘着付与樹脂を配合しても構わない。
その他の粘着付与樹脂としては、特に限定されないが、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂が挙げられ、これらを単独であるいは併せて用いることができる。

〔定盤固定用粘着剤層の初期タック性〕
なお、初期タック性は、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠した傾斜式ボールタック試験により判断でき、３０°の傾斜で試験をおこなったとき、ボールナンバーが４〜２０となることが好ましく、５〜１５となることがより好ましい。

〔定盤固定用粘着剤層の粘着力〕
そして、上記研磨材固定用両面粘着テープにおける定盤固定用粘着剤層の１８０°ピール力は、低いと、研磨工程中にスラリー液に含有された酸やアルカリによって定盤固定用粘着剤層が変質されてその粘着力が低下した際に、研磨材固定用両面粘着テープが研磨機定盤から剥離してしまうことがある一方、高いと、糊残りすることがあるので、５〜２０／２５ｍｍが好ましく、８〜１５Ｎ／２５ｍｍがより好ましい。
ここで、上記研磨材固定用両面粘着テープにおける定盤固定用粘着剤層の１８０°ピール力は、ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準拠して測定するものとする。なお、上記１８０°ピール力の測定方法において、定盤固定用両面粘着テープからなる試験片を試験板（ステンレス板）に貼着させてから１８０°ピール力の測定を行うまでに、温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気中に３０分間静置するものとする。

〔定盤固定用粘着剤層の厚み〕
定盤固定用粘着剤層の厚みは、特に限定されないが、２０〜６０μｍが好ましく、３０〜５０μｍがより好ましい。
すなわち、定盤固定用粘着剤層の厚みが薄すぎると、研磨工程中に研磨材とともに研磨材固定用両面粘着テープが定盤から剥離したり、研磨材の研磨精度が劣るおそれがある一方、厚すぎると、再剥離性が低下し定盤から剥離させた際に定盤に糊残りが生じるおそれがある。
〔架橋剤〕
上記定盤固定用粘着剤層に用いられる粘着剤には、架橋剤を添加してもよい。上記架橋剤としては、特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤などが挙げられ、イソシアネート系架橋剤が好ましい。

一方、本発明の研磨材固定用両面粘着テープにおいて、研磨材固定用粘着剤層を構成する粘着剤としては、本発明の目的を達成することができる粘着剤であれば、特に限定されないが、例えば、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、テルペンフェノール樹脂を２０〜７０重量部含有する感熱型粘着剤や、ホットメルト系粘接着剤が挙げられ、中でも（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、テルペンフェノール樹脂を２０〜７０重量部含有する感熱型粘着剤が好適である。
本発明において、感熱型粘着剤とは、熱圧着後に高い接着力を発揮するものをいう。

〔（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体〕
上記感熱型粘着剤に用いられる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体としては、上記定盤固定用粘着剤層を構成する粘着剤に用いられるものと同様のものを用いることができる。
また、上記感熱型粘着剤は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、テルペンフェノール樹脂を２０〜７０重量部（より好ましくは、３０〜６０重量部）配合することが好ましいが、その理由は、テルペンフェノール樹脂の配合量が２０重量部未満であると、感熱型粘着剤として機能しなかったり、粘着力が不足する場合があり、７０重量部を超えると、粘着剤層が硬くなってしまい初期タック性が劣る場合があるためである。

〔テルペンフェノール樹脂〕
また、本発明で用いられるテルペンフェノール樹脂としては、本発明の目的を達成できれば、特に限定されず、例えば、ヤスハラケミカル社のＹＳシリーズ商品名Ｔ１１５やヤスハラケミカル社のＹＳシリーズ商品名Ｔ１３０などの市販のテルペンフェノール樹脂を用いることができる。

また、上記感熱型粘着剤には、テルペンフェノール樹脂以外に本発明の目的を阻害しない範囲でその他の粘着付与樹脂を配合しても構わない。
その他の粘着付与樹脂としては、特に限定されないが、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂が挙げられ、これらを単独であるいは併せて用いることができる。

〔研磨材固定用粘着剤層の粘着力〕
研磨材固定用両面粘着テープにおける研磨材固定用粘着剤層の１８０°ピール力は、低いと、研磨工程中にスラリー液に含有された酸やアルカリによって研磨材固定用粘着剤層が変質してその粘着力が低下した際に、研磨材が研磨材固定用両面粘着テープから剥離してしまうことがあるため、２０Ｎ／２５ｍｍ以上が好ましく、２５Ｎ／２５ｍｍ以上がより好ましい。
ここで、上記研磨材固定用両面粘着テープにおける研磨材固定用粘着剤層の１８０°ピール力は、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定するものとする。なお、上記１８０°ピール力の測定方法において、研磨材固定用両面粘着テープからなる試験片を試験板（ステンレス板）に貼着させてから１８０°ピール力の測定を行うまでに、温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気中に３０分間静置するものとする。

〔研磨材固定用粘着剤層の厚み〕
研磨材固定用粘着剤層の厚みは、特に限定されないが、６０〜１００μｍが好ましく、７０〜９０μｍがより好ましい。すなわち、研磨材固定用粘着剤層の厚みが薄すぎると、研磨工程中に研磨材固定用粘着剤層から研磨材が剥離したり、研磨材の研磨精度が劣るおそれがある一方、厚いと、研磨工程中に研磨材固定用粘着剤層で凝集破壊が発生することがある。

〔架橋剤〕
上記研磨材固定用粘着剤層に用いられる粘着剤には、架橋剤を添加してもよい。上記架橋剤としては、特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤などが挙げられ、中でも耐熱性及び耐久性等の性能を発現しやすいことからイソシアネート系架橋剤が好ましい。

〔基材フィルム〕
基材フィルムの材料としては、特に限定されないが、プラスチックフィルムが好ましく、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、塩化ビニル樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等のフィルム、もしくはこれらの積層体などが挙げられ、耐薬品性、強度的を求めるのであれば、ポリエチレンテレフタレートが好ましく、研磨材との密着性に優れ、研磨材や被研磨物のうねりへの追従しやすさを求めるのであれば、２軸延伸ポリプロピレンが好ましい。

〔基材フィルムの厚さ〕
基材フィルムの厚さは特に限定はされないが、１０〜２００μｍが好ましく、２５〜７０μｍがより好ましく、３０〜６０μｍが更に好ましい。すなわち、基材フィルムが、薄すぎると剛性が不足し、その結果研磨精度が不足する（強度が劣り、取り付け性が劣るということもある。）場合があり、厚すぎると、きれいにぴちっと貼ることが難しく作業性が悪いなど、研磨材への取りつけ作業性に問題がでる場合がある。

〔研磨材固定用両面粘着テープの製造方法〕
研磨材固定用両面粘着テープの製造方法としては、例えば、先ず、一面に離型処理が施されてなる離型フィルム２枚と、定盤固定用粘着剤層用の粘着剤に溶剤（例えば、トルエン、キシレン、酢酸エチル等）を加えて形成された定盤固定用粘着剤層用の粘着剤溶液と、研磨材固定用粘着剤層用の粘着剤に溶剤（例えば、トルエン、キシレン、酢酸エチル等）を加えて形成された研磨材固定用粘着剤層用の粘着剤溶液とを用意する。
続いて、定盤固定用粘着剤層用の粘着剤溶液を一方の離型フィルムの離型処理面に塗布して、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥、除去することにより離型フィルムの離型処理面上に定盤固定用粘着剤層が形成されてなる定盤固定用粘着剤層積層フィルムを作製する。その一方、研磨材固定用粘着剤層用の粘着剤溶液を他方の離型フィルムの離型処理面に塗布して、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥、除去することにより離型フィルムの離型処理面上に研磨材固定用粘着剤層が形成されてなる研磨材固定用粘着剤層積層フィルムを作製する。

しかる後、基材層となる基材フィルムを用意し、この基材フィルムの一面に上記定盤固定用粘着剤層積層フィルムをその定盤固定用粘着剤層が基材フィルムに対向した状態となるように積層させる一方、上記基材フィルムの他面に上記研磨材固定用粘着剤層積層フィルムをその研磨材固定用粘着剤層が基材フィルムに対向した状態となるように積層させて積層体を作製する。
そして、この積層体をゴムローラなどによって厚み方向に加圧することによって、定盤固定用粘着剤層、基材層及び研磨材固定用粘着剤層がこの順に積層一体化されてなり、且つ、その定盤固定用粘着剤層及び研磨材固定用粘着剤層の表面に離型フィルムが剥離可能に積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープを得ることができる。

本発明にかかる研磨材付き粘着テープは、上記本発明の研磨材固定用両面粘着テープの、研磨材固定用粘着剤層上に研磨材が貼着固定されていることを特徴としている。

〔研磨材の材質〕
研磨材としては、特に限定されないが、たとえば、発泡ポリウレタン等の高分子樹脂素材により形成されたものや無発泡タイプのウレタン樹脂等が挙げられる。

〔研磨材付き粘着テープの製造方法〕
研磨材付き粘着テープの製造方法としては、特に限定されず、例えば、上記のようにして得られた研磨材固定用両面粘着テープの研磨材固定用粘着剤層上に研磨材を重ね合わせて積層物を作製し、この積層物をゴムローラなどによりその厚み方向に加圧することによって、積層一体化させる方法が挙げられる。

本発明にかかる研磨材固定用両面粘着テープは、以上のように、基材フィルムの一方の面に研磨材固定用粘着剤層が積層一体化され、他方の面に定盤固定用粘着剤層が積層一体化された研磨材固定用両面粘着テープであって、定盤固定用粘着剤層を構成する粘着剤が、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、キシレン樹脂を５〜３０重量部含有する感圧型粘着剤であるので、定盤固定用粘着剤層の初期タック性が低く定盤への貼り直しが容易であるが、しっかりと押圧し、一旦定盤に貼り付けた後には、研磨中に機械的衝撃によって研磨材が剥がれたり、強酸性研磨砥粒液や強アルカリ性研磨砥粒液など、いろいろの物性の異なる研磨砥粒液等を用いた場合においても研磨材が剥がれたりすることがないことは勿論、定盤からの剥がれもなく、かつ使用後は、研磨材固定用両面粘着テープを定盤から糊残り等の問題なく剥離できる。

また、研磨材固定用粘着剤層を構成する粘着剤としては、本発明の目的を達成することができる粘着剤であれば、特に限定されないが、例えば、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、テルペンフェノール樹脂を２０〜７０重量部含有する感熱型粘着剤を用いるようにすれば、より確実に研磨中に機械的衝撃によって研磨材が剥がれることがなく、また、強酸性研磨砥粒液や強アルカリ性研磨砥粒液など、いろいろの物性の異なる研磨砥粒液等を用いた場合においても研磨材をしっかりとした固定状態に保つことができる。

そして、研磨材側粘着剤層の厚みを６０〜１００μｍ、定盤側粘着剤層の厚みを２０〜６０μｍとすれば、より精度がよく、より安定した状態で被研磨物の研磨を行うことができるとともに、研磨後には糊残りなく定盤から剥離することができる。

本発明にかかる研磨材付き粘着テープは、上記本発明の研磨材固定用両面粘着テープの、研磨材固定用粘着剤層上に研磨材が貼着固定されているので、定盤固定用粘着剤層によって定盤に固定するだけで、精度よく安定した状態で被研磨物を研磨できるとともに、研磨後には糊残りなく定盤から剥離することができる。

以下に、本発明の実施例を詳しく説明する。

（実施例１）
〔感熱型粘着剤溶液Ａ１の作製〕
アクリル酸ブチル９５重量部と、アクリル酸５重量部とを共重合させて（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体（重量平均分子量５５万）を得た。得られた（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体の固形分１００重量部に、テルペンフェノール樹脂（ヤスハラケミカル社製商品名Ｔ１３０）を４０重量部添加して感熱型粘着剤溶液Ａ１を得た。
〔感圧型粘着剤溶液Ｂ１の作製〕
アクリル酸ブチル９７重量部と、アクリル酸３重量部とを共重合させて（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体（重量平均分子量５０万）を得た。得られた（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体の固形分１００重量部に、キシレン樹脂（フドー株式会社製商品名ＨＰ１００、分子量１０００〜１５００）を１０重量部添加するとともに、溶剤として酢酸エチルを含む感圧型粘着剤溶液Ｂ１を得た。
〔研磨材固定用両面粘着テープの作製〕
上記感熱型粘着剤溶液Ａ１を離型フィルムの離型処理面に塗布して、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥、除去することにより、離型フィルムの離型処理面上に、表１に示した厚みを有する研磨材固定用粘着剤層Ａ１が形成されてなる研磨材固定用粘着剤層積層フィルムを作製した。
一方、上記感圧型粘着剤溶液Ｂ１を離型フィルムの離型処理面に塗布して、粘着剤溶液中の溶剤を完全に乾燥、除去することにより、離型フィルムの離型処理面上に、表１に示した厚みを有する定盤固定用粘着剤層Ｂ１が形成されてなる定盤固定用粘着剤層積層フィルムを作製した。
しかる後、基材フィルムとしての厚さ２３μｍの二軸延伸ポリプロピレンフィルムの一面に上記定盤固定用粘着剤層積層フィルムをその定盤固定用粘着剤層Ｂ１が基材フィルムに対向した状態となるように積層させる一方、上記二軸延伸ポリプロピレンフィルムの他面に上記研磨材固定用粘着剤層積層フィルムをその研磨材固定用粘着剤層Ａ１が基材フィルムに対向した状態となるように積層させて、積層体を得た。
そして、この積層体をゴムローラなどによって厚み方向に加圧することによって、定盤固定用粘着剤層Ｂ１、二軸延伸ポリプロピレンフィルムからなる基材層及び研磨材固定用粘着剤層Ａ１がこの順に積層一体化されてなり、且つ、その定盤固定用粘着剤層Ｂ１及び研磨材固定用粘着剤層Ａ１の表面に離型フィルムが剥離可能に積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例２）
キシレン樹脂の配合量を５重量部とした感圧型粘着剤溶液Ｂ２を用いて定盤固定用粘着剤層Ｂ２を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例３）
キシレン樹脂の配合量を３０重量部とした感圧型粘着剤溶液Ｂ３を用いて定盤固定用粘着剤層Ｂ３を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例４）
キシレン樹脂の配合量を２０重量部とした感圧型粘着剤溶液Ｂ４を用いて定盤固定用粘着剤層Ｂ４を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例５）
〔感圧型粘着剤溶液Ｂ１の作製〕
キシレン樹脂として、キシレン樹脂（フドー株式会社製商品名Ｈ８０、分子量４６５）を用いた感圧型粘着剤溶液Ｂ５によって定盤固定用粘着剤層Ｂ５を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例６）
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体として、アクリル酸ブチル９０重量部と、アクリル酸１０重量部とを共重合させて得た（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体（重量平均分子量５５万）を用いた感圧型粘着剤溶液Ｂ６によって定盤固定用粘着剤層Ｂ６を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例７）
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体として、アクリル酸ブチル９０重量部と、アクリル酸９重量部と、アクリロニトリル１重量部とを共重合させて得た（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体（重量平均分子量５５万）を用いた感圧型粘着剤溶液Ｂ７によって定盤固定用粘着剤層Ｂ７を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例８）
テルペンフェノール樹脂の配合量を２０重量部とした感熱型粘着剤溶液Ａ２を用いて研磨材固定用粘着剤層Ａ２を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例９）
テルペンフェノール樹脂の配合量を７０重量部とした感熱型粘着剤溶液Ａ３を用いて研磨材固定用粘着剤層Ａ３を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例１０）
テルペンフェノール樹脂の配合量を６０重量部とした感熱粘着剤溶液Ａ４を用いて研磨材固定用粘着剤層Ａ４を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例１１）
定盤固定用粘着剤層Ｂ１の厚みを表１に示すとおりにした以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例１２）
定盤固定用粘着剤層Ｂ１の厚みを表１に示すとおりにした以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例１３）
研磨材固定用粘着剤層Ａ１の厚みを表１に示すとおりにした以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（実施例１４）
研磨材固定用粘着剤層Ａ１の厚みを表１に示すとおりにした以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（比較例１）
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体として、アクリル酸ブチル８５重量部と、アクリル酸１５重量部とを共重合させた（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体（重量平均分子量５０万）を用いた感圧型粘着剤溶液Ｂ８によって定盤固定用粘着剤層Ｂ８を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（比較例２）
キシレン樹脂の配合量を３５重量部とした感圧型粘着剤溶液Ｂ９を用いて定盤固定用粘着剤層Ｂ９を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

（比較例３）
キシレン樹脂の配合量を３重量部とした感圧型粘着剤溶液Ｂ１０を用いて定盤固定用粘着剤層Ｂ１０を形成した以外は、上記実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。

上記実施例１〜１４及び比較例１〜３で製造された研磨材固定用両面粘着テープについて、以下に示す方法によって定盤固定用粘着剤層の初期タック性、定盤固定用粘着剤層の粘着力、定盤固定用粘着剤層の保持力、定盤固定用粘着剤層の再剥離性、研磨材固定用粘着剤層の粘着力、研磨材固定用粘着剤層の保持力、定盤固定用粘着剤層の研磨中のはがれの有無をそれぞれ調べ、その結果を研磨材固定用両面粘着テープの層構成と合わせて表１〜表３に示した。

〔定盤固定用粘着剤層の初期タック性〕
研磨材固定用両面粘着テープから縦３００ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。この試験片の定盤固定用粘着剤層面に対し、ＪＩＳ Ｚ０２３７の傾斜式ボールタック試験方法に基づき、３０°の傾斜で試験を行い、停止した最大のボールナンバーを調べた。

〔定盤固定用粘着剤層の粘着力〕
研磨材固定用両面粘着テープから縦１５０ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。この試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に重ね合わせて２ｋｇのローラーで押圧し、試験片をステンレス板上に貼着してから温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて２０分間に亘って放置した後、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７（＝１８０度ピール試験）に準拠して粘着力を測定した。

〔定盤固定用粘着剤層の保持力〕
得られた研磨布固定用両面粘着テープの研磨材固定用粘着剤層上に２５μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、長さ１００ｍｍ、幅２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出し、試験片の定盤固定用粘着剤層をステンレス板上に重ね合わせて２ｋｇのローラーで押圧し、試験片をステンレス板上に貼着させた後、４０℃で６０分間に亘って養生させた。
次いで、ＰＥＴフィルムの下面に試験片が水平に位置した状態となるように配設し、４０℃において、試験片の長さ方向の端部に１ｋｇｆの荷重を垂直方向に付加し、試験片に荷重を付加してから１時間後の剥離長さを、ルーペを用いて測定した。

〔定盤固定用粘着剤層の再剥離性〕
上記定盤固定用粘着剤層の粘着力測定方法と同様の要領で試験片をステンレス板から剥離した際のステンレス板上の糊残りの有無を目視観察し、下記基準に基づいて判断した。
○：ステンレス板上に糊残りはなかった。
△：ステンレス板上に部分的に糊残りを生じた。
×：定盤固定用粘着剤層に凝集破壊を生じ、ステンレス板上に全面的に糊残りを生じた。

〔研磨材固定用粘着剤層の粘着力〕
研磨材固定用両面粘着テープから縦１５０ｍｍ×横２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出した。この試験片の研磨材用粘着剤層をステンレス板上に重ね合わせて２ｋｇのローラーで押圧し、試験片をステンレス板上に貼着してから温度２５℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて２０分間に亘って放置した後、引張試験機を用いてＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して粘着力を測定した。

〔研磨材固定用粘着剤層の保持力〕
得られた研磨布固定用両面粘着テープの定盤固定用粘着剤層上に２５μｍ厚みのＰＥＴフィルムを裏打ちし、長さ１００ｍｍ、幅２５ｍｍの平面長方形状の試験片を切り出し、２ｋｇのローラーで押圧して試験片の研磨材固定用粘着剤層をステンレス板上に貼着させた後、４０℃で６０分間に亘って養生させた。
次いで、ＰＥＴフィルムの下面に試験片が水平に位置した状態となるように配設し、４０℃において、試験片の長さ方向の端部に１ｋｇｆの荷重を垂直方向に付加し、試験片に荷重を付加してから１時間後の剥離長さを、ルーペを用いて測定した。

〔研磨中はがれの有無〕
実施例及び比較例で得られた研磨材固定用両面粘着シートの、研磨材固定用粘着剤層に研磨材としての厚さ１．５ｍｍの研磨パッドを積層し、ゴムロールを用いて貼り合せた。そして、研磨装置定盤に載せて、研磨パッド側からゴムロールを押し当てて定盤固定用粘着剤層を定盤に固定した。
ガラス板を被研磨試験体とし、研磨スラリー（通常ＣＭＰ用に用いられるスラリーであるＣａｂｏｔ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製Ｗ２０００（ｐＨ２．３））を用い、研磨圧力４９．０ｋＰａ、回転数１００ｒｐｍで５分間研磨パッドを稼動させた。その後、研磨材固定用両面テープの定盤固定用粘着剤層と定盤の界面について、剥離状態を目視観察した。上述操作を１０回行った。
以下の基準で評価した。
◎：はがれも浮きも見られなかった。
○：浮きが１箇所見られた。
△：浮きが２箇所見られた。
×：はがれも浮きも両方見られた。

Claims (3)

1. 基材フィルムの一方の面に研磨材固定用粘着剤層が積層一体化され、他方の面に定盤固定用粘着剤層が積層一体化された研磨材固定用両面粘着テープであって、定盤固定用粘着剤層を構成する粘着剤が、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、キシレン樹脂を５〜３０重量部含有する感圧型粘着剤であり、研磨材固定用粘着剤層を構成する粘着剤が、（メタ）アクリル酸ブチルを９０重量％以上含有する重合性モノマー混合物中の重合性モノマーを共重合して得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体と、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の固形分１００重量部に対して、テルペンフェノール樹脂を２０〜７０重量部含有する感熱型粘着剤であることを特徴とする、研磨材固定用両面粘着テープ。
2. 定盤固定用粘着剤層の厚みが２０〜６０μｍであり、研磨材固定用粘着剤層の厚みが６０〜１００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
3. 請求項１または請求項２に記載の研磨材固定用両面粘着テープの、研磨材固定用粘着剤層上に研磨材が貼着固定されていることを特徴とする研磨材付き粘着テープ。