JPH07273592A - 弾性表面波変換装置 - Google Patents

弾性表面波変換装置

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JPH07273592A
JPH07273592A JP6148594A JP6148594A JPH07273592A JP H07273592 A JPH07273592 A JP H07273592A JP 6148594 A JP6148594 A JP 6148594A JP 6148594 A JP6148594 A JP 6148594A JP H07273592 A JPH07273592 A JP H07273592A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】弾性表面波装置の高品質化、作業性良好化及び
低コスト化を図る。 【構成】入力及び出力電極11,12の連結バー部11a2,11b
2,12a2,12b2の各外側の圧電基板10上に端子部31,32,35,
36を設け、連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2から所定の
鋭角をもって延長した連結バー延長部32,34,37,38 を介
して端子部31,32,35,36と連結バー部11a2,11b2,12a2,12
b2とをそれぞれ接続する。金属ベース20内に埋め込んだ
ピン23,24と端子部31,32とを一直線上に配置してワイヤ
41,42 で接続するとともに、ピン27,28と端子部35,36
とを一直線上に配置してワイヤ43,44で接続する。これ
により、ワイヤ41〜44が短くなって強度が増し、また連
結バー部11a2,11b2,12a2,12b2 からボンディング部をな
くして細く構成でき不要な弾性表面波の発生を抑制す
る。さらに、連結バー延長部32,34,37,38 から発生され
る不要な弾性表面波は直角に進んで出力電極12に届か
ないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属ベース上に方形の
圧電基板を設けるとともに同圧電基板上に櫛歯状の入力
電極及び出力電極をそれぞれ相対向して形成した弾性表
面波変換装置に関する。
【0002】
【本発明に係る技術分野の一般的説明】この種の弾性表
面波変換装置は、図7に示すように、方形の圧電基板1
0上に入力電極11及び出力電極12を対向して形成
し、高周波電源13からの高周波信号を入力電極11に
より弾性表面波に変換して圧電基板10上に伝搬させ、
伝搬されてきた弾性表面波を出力電極12によりふたた
び電気信号に変換して負荷14に供給し、帯域制限され
た所望の周波数帯域の信号を得るようにした弾性表面波
変換器を備えている。入力電極11は、複数の櫛歯部1
1a1,11b1と同複数の櫛歯部11a1,11b1
をそれぞれ連結する連結バー部11a2,11b2とか
らなる一対の櫛歯状電極11a,11bで構成されてい
る。出力電極12も、複数の櫛歯部12a1,12b1
と同複数の櫛歯部12a1,12b1をそれぞれ連結す
る連結バー部12a2,12b2とからなる一対の櫛歯
状電極12a,12bで構成されている。また、必要に
応じて、圧電基板10上であって入力電極11及び出力
電極12の相対向する側と反対側には吸音剤15,16
が塗布されている。
【0003】このように構成した弾性表面波変換器は、
図8,図9に示すように、圧電基板10の下面にて導電
金属製の金属ベース20上に接着剤により接着され、各
櫛歯状電極11a,11b(入力電極11)の連結バー
部11a2,11b2は金属製の導電ワイヤ21,22
により金属ベース20内を気密的に貫通して同ベース2
0上に突出させたリードピン23及びアースピン24の
上端面に接続されている。各櫛歯状電極12a,12b
(出力電極12)の連結バー部12a2,12b2も金
属製の導電ワイヤ25,26を介して金属ベース20内
を気密的に貫通して同ベース20上に突出させたリード
ピン27及びアースピン28の上端面に接続されてい
る。そして、金属ベース20上にかぶせたキャップ29
の周端面を気密的に同ベース20上に接着して、圧電基
板10を上方から覆うようにしている。なお、アースピ
ン24,28と金属ベース20との間は絶縁されていな
いが、リードピン23,27と金属ベース20との間は
ガラス製の絶縁物23a,27a(27aのみを図示)
により絶縁されている。
【0004】
【従来の技術】このような弾性表面波変換装置において
は、従来、図10〜13に拡大して示すように、入力電
極11の各連結バー部11a2,11b2の表面とリー
ドピン23及びアースピン24の各上端面とに金属製の
導電ワイヤ21,22の両端をそれぞれボンディングす
るとともに、出力電極12の各連結バー部12a2,1
2b2の表面とリードピン27及びアースピン28の各
上端面とに金属製の導電ワイヤ25,26の両端をそれ
ぞれボンディングしていた。図10は入力電極11とし
てアポダイズド(重み付け)電極を用いかつ出力電極1
2として正規型電極を用いるとともに、両電極11,1
2間にシールド電極17を設けて同電極17の両端を金
属ベース20に導電ワイヤ17a,17bを介して接続
した従来例を示している。図11は、前記図10の弾性
表面波変換装置における入力電極11及び出力電極12
の大きさ及び形状を異ならせた従来例を示すものであ
る。図12は入力電極11及び出力電極12として共に
アポダイズド電極を用いるとともに、両電極11,12
間にマルチストリップカプラ(MSC)18を設けた従
来例を示している。図13は、前記図12の弾性表面波
変換装置における入力電極11及び出力電極12の大き
さ及び形状を異ならせた従来例を示すものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置にあっては、圧電基板10、入力電極11、出力電極
12などからなる変換器部分は要求される周波数帯域、
性能などにより様々であり、それに対してパッケージは
種々用意されているものの全ての変換器部分の大きさに
対応して用意されているわけではない。したがって、導
線ワイヤ21,22,25,26の長さが非常に長くな
る場合があって、ワイヤの引っ張り強度の低下に起因し
てワイヤ切れ及びワイヤ剥がれが生じたり、ワイヤのた
るみによる短絡が生じて周波数特性が悪化したり、ワイ
ヤの無駄使いによる製造原価の高騰につながったり、作
業性が悪化したりするという問題がある。さらに、連結
バー部11a2,11b2,12a2,12b2、ワイ
ヤのボテンディング部において音響的反射が発生して、
周波数特性、特に立ち上がり特性、阻止域特性などを悪
化させている(図14参照)。
【0006】本発明は上記問題に対処するためになされ
もので、その目的は上記問題点を解消した弾性表面波変
換装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成上の特徴は、入力電極の各連結バー部
の各外側の圧電基板上であって圧電基板の側端面と直交
する端面から等距離の位置に一対の入力電極用端子部を
それぞれ設けるとともに、圧電基板上にて入力電極の各
連結バー部から所定の鋭角をもってそれぞれ延長した一
対の連結バー延長部を介して各入力電極用端子部と入力
電極の各連結バー部とをそれぞれ接続し、出力電極の各
連結バー部の各外側の圧電基板上であって圧電基板の側
端面と直交する端面から等距離の位置に一対の出力電極
用端子部をそれぞれ設けるとともに、圧電基板上にて出
力電極の各連結バー部から所定の鋭角をもってそれぞれ
延長した一対の連結バー延長部を介して各出力電極用端
子部と出力電極の各連結バー部とをそれぞれ接続し、ま
た一対の入力電極用ピンと一対の入力電極用端子部とを
一直線上に配置するとともに各入力電極用ピンと各入力
電極用端子部とをそれぞれ導電ワイヤで接続し、かつ一
対の出力電極用ピンと一対の出力電極用端子部とを一直
線上に配置するとともに各出力電極用ピンと各出力電極
用端子部とをそれぞれ導電ワイヤで接続したことにあ
る。
【0008】
【発明の作用・効果】上記のように構成した本発明にお
いては、入力及び出力電極の各連結バー部の各外側の圧
電基板上に入力及び出力電極用端子部をそれぞれ設ける
とともに、これらの各端子部と入力及び出力電極用ピン
とをそれぞれ導電ワイヤで接続するようにしたので、様
々な大きさの圧電基板10、入力電極11、出力電極1
2などからなる変換器部分を所定の大きさのパッケージ
に実装する場合でも、導電ワイヤの長さを所定の短い長
さにすることが可能となる。したがって、前述した導電
ワイヤが長くなったことに起因したワイヤ切れ及びワイ
ヤ剥がれ、周波数特性の悪化、製造原価の高騰及び作業
性悪化の問題を解消できる。また、一対の入力電極用ピ
ンと一対の入力電極用端子部とを一直線上に配置すると
ともに、一対の出力電極用ピンと一対の出力電極用端子
部とを一直線上に配置したので、作業効率が良好にな
る。また、入力及び出力電極用端子部を設けることによ
り、入力及び出力電極の各連結バー部を細く形成できて
音響的反射波が良好に抑圧されるとともに、各連結バー
部にボンディング部が形成されなくなって同ボテンディ
ング部から不要な弾性表面波が発生されなくなるので、
周波数特性、特に立ち上がり特性、阻止域特性などが良
好になる。さらに、入力及び出力電極の各連結バー部と
入力及び出力電極用端子部とをそれぞれ各連結バー部か
ら所定の鋭角をもってそれぞれ延長した各連結バー延長
部によりそれぞれ接続するようにしたので、各連結バー
延長部から発生される不要な弾性表面波は同延長部に直
角に進んで出力電極に向かわないので、各連結バー延長
部を設けたことによる影響をなくして周波数特性を良好
に保つことができる。
【0009】
【実施例】次に、本発明の実施例を説明する。同実施例
においても、図1,7〜9に示すように、従来の装置と
同様、金属ベース20上に方形の圧電基板10が設けら
れており、圧電基板10上にてアポダイズド(重み付
け)電極で構成した入力電極11と正規型電極で構成し
た出力電極12とが対向している。入力電極11は一対
の櫛歯状電極11a,11bからなり、各櫛歯状電極1
1a,11bは圧電基板10の側端面10a,10bに
それぞれ平行かつ相対向した各連結バー部11a2,1
1b2を有している。出力電極12も一対の櫛歯状電極
12a,12bからなり、各櫛歯状電極12a,12b
は圧電基板10の側端面10a,10bにそれぞれ平行
かつ相対向した各連結バー部12a2,12b2を有し
ている。なお、図1においては、各連結バー部11a
2,11b2,12a2,12b2からそれぞれ直角に
延出された複数の櫛歯部11a1,11b1,12a
1,12b1を省略して示している。また、入力電極1
1と出力電極12との間には導電ワイヤ17a,17b
を介して金属ベース20に接続したシールド電極17が
設けられており、同シールド電極17は電磁波、静電誘
導波などの直達波の入力電極11から出力電極12への
伝搬を抑制する。
【0010】圧電基板10上には、入力電極11の各連
結バー部11a2,11b2のためのボンディングに必
要な面積を有する入力電極用端子部31,32が形成さ
れている。これらの入力電極用端子部31,32は各連
結バー部11a2,11b2のそれぞれ外側であって圧
電基板10の側端面10a,10bにそれぞれ近く、か
つ同側端面10a,10bと直交する端面10cから近
い等距離に位置している。各連結バー部11a2,11
b2の端面10c側の端部からは鋭角をもって同連結バ
ー部11a2,11b2と同様な細い帯状導体で構成し
た一対の連結バー延長部33,34がそれぞれ入力電極
用端子部31,32に向って延設されており、各連結バ
ー部11a2,11b2と入力電極用端子部31,32
は連結バー延長部33,34を介して電気的に接続され
ている。吸音剤15は、入力電極11の端面10c側に
て、入力電極用端子部31,32を避けかつ連結バー延
長部33,34の上から圧電基板10上に塗布されてい
る。
【0011】出力電極12の各連結バー部12a2,1
2b2のためのボンディングに必要な面積を有する出力
電極用端子部35,36も圧電基板10上に形成されて
いる。これらの出力電極用端子部35,36は各連結バ
ー部12a2,12b2のそれぞれ外側であって圧電基
板10の側端面10a,10bにそれぞれ近く、かつ同
側端面10a,10bと直交する端面10dから近い等
距離に位置している。各連結バー部12a2,12b2
の端面10d側の端部からは鋭角をもって同連結バー部
12a2,12b2と同様な細い帯状導体で構成した一
対の連結バー延長部37,38がそれぞれ出力電極用端
子部35,36に向って対称に延設されており、各連結
バー部12a2,12b2と出力電極用端子部35,3
6は連結バー延長部37,38を介して電気的に接続さ
れている。吸音剤16は、出力電極12の端面10d側
にて、出力電極用端子部35,36を避けかつ連結バー
延長部37,38の上から圧電基板10上に塗布されて
いる。
【0012】一方、金属ベース20に固定される入力電
極11のためのリードピン23及びアースピン24は、
圧電基板10の各側方近傍であって両入力電極用端子部
31,32を結ぶ直線上位置に突出している。入力電極
用端子部31,32とリードピン23及びアースピン2
4とは、引っ張り強度を増加させるために、図5に示す
ように多少のたるみをもたせて各一端を入力電極用端子
部31,32にボンディングしかつ各他端をリードピン
23及びアースピン24の上面にボンディングした導電
ワイヤ41,42によりそれぞれ接続されている。ま
た、金属ベース20に固定される出力電極12のための
リードピン27及びアースピン28も、圧電基板10の
各側方近傍であって両出力電極用端子部35,36を結
ぶ直線上位置に突出している。出力電極用端子部35,
36とリードピン27及びアースピン28とは、引っ張
り強度を増加させるために、図5に示すように多少のた
るみをもたせて各一端を出力電極用端子部35,36に
ボンディングしかつ各他端をリードピン27及びアース
ピン28の上面にボンディングした導電ワイヤ43,4
4によりそれぞれ接続されている。
【0013】次に、上記図1の実施例の第1変形例につ
いて説明する。この第1変形例は、図2に示すように、
入力電極11としてアポダイズド(重み付け)電極を採
用しているが、同電極11の連結バー部11a2,11
b2間の距離が上記実施例の場合より短くかつ両連結バ
ー部11a2,11b2の長さが上記実施例の場合より
長く構成されている。そのため、入力電極用端子部3
1,32は吸音剤15よりも内側であって圧電基板10
の端面10cから等距離の位置に設けられ、連結バー延
長部33,34は各連結バー部11a2,11b2の中
間部から鋭角をもって入力電極用端子部31,32に対
称に延長されている。また、正規型電極で構成した出力
電極12においても同様に、その連結バー部12a2,
12b2間の距離が上記実施例の場合より短くかつ両連
結バー部12a2,12b2の長さが上記実施例の場合
より長く構成されている。そのため、出力電極用端子部
35,36は吸音剤16よりも内側であって圧電基板1
0の端面10dから等距離の位置に設けられ、連結バー
延長部37,38は各連結バー部12a2,12b2の
中間部から鋭角をもって出力電極用端子部35,36に
対称に延長されている。リードピン23及びアースピン
24が圧電基板10の両側近傍であって入力電極用端子
部31,32と同一直線上にあって導電ワイヤ41,4
2により接続されている点、リードピン27及びアース
ピン28が圧電基板10の両側近傍であって出力電極用
端子部35,36と同一直線上にあって導電ワイヤ4
3,44により接続されている点など、その他の点は上
記実施例の構成と同じである。
【0014】次に、上記図1の実施例の第2変形例につ
いて説明する。この第2変形例は、図3に示すように、
入力電極11及び出力電極12の両方共アポダイズド
(重み付け)電極を採用しており、入力電極11は圧電
基板10の側端面10b側近く設けられ、出力電極12
は圧電基板10の側端面10a側近く設けられいる。ま
た、入力電極11と出力電極との間には、マルチストリ
ップカプラ(MSC)18が設けられており、弾性表面
波の伝達特性が改善されるようになっている。その他の
点については、上記実施例の場合と同じである。
【0015】次に、上記図1の実施例の第3変形例につ
いて説明する。この第3変形例は、図4に示すように、
入力電極11の各連結バー部11a2,11b2間の距
離が第2変形例の場合より短く構成されるとともに、両
連結バー部11a2,11b2の長さが第2変形例の場
合より長く構成されている。また、出力電極12の各連
結バー部12a2,12b2間の距離も第2変形例の場
合より短く構成されるとともに、両連結バー部12a
2,12b2の長さも第2変形例の場合より長く構成さ
れている。連結バー延長部33,34,37,38が各
連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2の
中間部から鋭角をもって対称に延長されて入力電極用端
子部31,32及び出力電極用端子部35,36に導か
れている点など、その他の点に関しては第1変形例の場
合と同じである。
【0016】上記のように構成した実施例及び各変形例
においては、入力電極11及び出力電極12の各連結バ
ー部11a2,11b2,12a2,12b2の各外側
の圧電基板10上に入力電極用端子部31,32及び出
力電極用端子部35,36をそれぞれ設けるとともに、
各連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2
と各端子部31,32,35,36とを各連結バー延長
部33,34,37,38を介して接続し、かつ各端子
部31,32,35,36と入力電極用ピン23,24
及び出力電極用ピン27,28とをそれぞれ導電ワイヤ
41〜44で接続するようにしたので、様々な大きさの
圧電基板10、入力電極11、出力電極12などからな
る変換器部分を所定の大きさのパッケージに実装する場
合でも、導電ワイヤ41〜44の長さを所定の短い長さ
にすることが可能となる。したがって、ワイヤ引っ張り
強度が増加してワイヤ切れ及びワイヤ剥がれを防止で
き、導電ワイヤ41〜44のたるみによる周波数特性の
悪化を防止でき、導電ワイヤ41〜44の材料削減によ
る製造原価の低減ができ、かつ作業性が向上する。ま
た、一対の入力電極用ピン23,24と一対の入力電極
用端子部31,32とを一直線上に配置するとともに、
一対の出力電極用ピン27,28と一対の出力電極用端
子部35,36とを一直線上に配置したので、作業効率
及び生産性が向上する。
【0017】また、入力電極用端子部31,32及び出
力電極用端子部35,36を設けることにより、入力電
極11及び出力電極12の各連結バー部11a2,11
b2,12a2,12b2を細く形成できて音響的反射
波が良好に抑圧されるとともに、各連結バー部11a
2,11b2,12a2,12b2にボンディング部が
形成されなくなって同ボテンディング部から不要な弾性
表面波が発生されなくなるので、周波数特性、特に立ち
上がり特性、阻止域特性などが良好になる。さらに、入
力電極11及び出力電極12の各連結バー部11a2,
11b2,12a2,12b2と入力電極用端子部3
1,32及び出力電極用端子部35,36とをそれぞれ
各連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2
から所定の鋭角をもってそれぞれ延長した各連結バー延
長部33,34,37,38によりそれぞれ接続するよ
うにしたので、各連結バー延長部33,34,37,3
8から発生される不要な弾性表面波は同延長部33,3
4,37,38に対して直角に進んで出力電極12に向
かわないので、各連結バー延長部33,34,37,3
8を設けたことによる影響をなくして周波数特性を良好
に保つことができる(図6の周波数特性参照)。
【0018】さらに、上記実施例及び第2変形例におい
ては、吸音剤15,16を連結バー延長部33,34,
37,38上に塗布するようにしたので、この吸音剤1
5,16による不要な弾性表面波をより良好に抑圧する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例に係り金属ベース上に圧電基
板を接着した状態の斜視図である。
【図2】 前記実施例の第1変形例に係り金属ベース上
に圧電基板を接着した状態の斜視図である。
【図3】 前記実施例の第2変形例に係り金属ベース上
に圧電基板を接着した状態の斜視図である。
【図4】 前記実施例の第3変形例に係り金属ベース上
に圧電基板を接着した状態の斜視図である。
【図5】 前記実施例及び各変形例に係る入力電極用端
子部及び出力電極用端子部と各ピンとをそれぞれ導電ワ
イヤで接続した状態を示す拡大断面図である。
【図6】 前記実施例及び各変形例の周波数特性図であ
る。
【図7】 弾性表面波変換器の一般的な例を示す斜視図
である。
【図8】 同弾性表面波変換器の装着の一例を示す一部
破断斜視図である。
【図9】 同弾性表面波変換器の装着の別の例を示す一
部破断斜視図である。
【図10】従来の弾性表面波変換器の一例を示す斜視図
である。
【図11】従来の弾性表面波変換器の他の例を示す斜視
図である。
【図12】従来の弾性表面波変換器の他の例を示す斜視
図である。
【図13】従来の弾性表面波変換器の他の例を示す斜視
図である。
【図14】従来の弾性表面波変換器の周波数特性図であ
る。
【符号の説明】
10…圧電基板,11…入力電極、11a,11b…櫛
歯状電極、11a1,11b1…櫛歯部、11a2,1
1b2…連結バー部、12…出力電極、12a,12b
…櫛歯状電極、12a1,12b1…櫛歯部、12a
2,12b2…連結バー部、20…金属ベース、21,
22,25,26…導電ワイヤ、23,27…リードピ
ン、24,28…アースピン、31,32…入力電極用
端子部、33,34…連結バー延長部、35,36…出
力電極用端子部、37,38…連結バー延長部、41〜
44…導電ワイヤ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属ベース上に方形の圧電基板を設ける
    とともに同圧電基板上に一対の櫛歯状電極でそれぞれ構
    成した入力電極及び出力電極を対向させてなり、前記入
    力電極を構成する一対の櫛歯状電極の各連結バー部を前
    記圧電基板の側端面にそれぞれ平行かつ相対向させて設
    けるとともに前記金属ベース上であって同圧電基板の側
    端面の各外側にそれぞれ設けた一対の入力電極用ピンに
    同入力電極の各連結バー部を電気的にそれぞれ接続し、
    かつ前記出力電極を構成する一対の櫛歯状電極の各連結
    バー部を前記圧電基板の側端面にそれぞれ平行かつ相対
    向させて設けるとともに前記金属ベース上であって同圧
    電基板の側端面の各外側にそれぞれ設けた一対の出力電
    極用ピンに同出力電極の各連結バー部を電気的にそれぞ
    れ接続した弾性表面波変換装置において、 前記入力電極の各連結バー部の各外側の圧電基板上であ
    って前記圧電基板の側端面と直交する端面から等距離の
    位置に一対の入力電極用端子部をそれぞれ設けるととも
    に、同圧電基板上にて同入力電極の各連結バー部から所
    定の鋭角をもってそれぞれ延長した一対の連結バー延長
    部を介して各入力電極用端子部と同入力電極の各連結バ
    ー部とをそれぞれ接続し、 前記出力電極の各連結バー部の各外側の圧電基板上であ
    って前記圧電基板の側端面と直交する端面から等距離の
    位置に一対の出力電極用端子部をそれぞれ設けるととも
    に、同圧電基板上にて同出力電極の各連結バー部から所
    定の鋭角をもってそれぞれ延長した一対の連結バー延長
    部を介して各出力電極用端子部と同出力電極の各連結バ
    ー部とをそれぞれ接続し、かつ前記一対の入力電極用ピ
    ンと一対の入力電極用端子部とを一直線上に配置すると
    ともに各入力電極用ピンと各入力電極用端子部とをそれ
    ぞれ導電ワイヤで接続し、かつ前記一対の出力電極用ピ
    ンと一対の出力電極用端子部とを一直線上に配置すると
    ともに各出力電極用ピンと各出力電極用端子部とをそれ
    ぞれ導電ワイヤで接続したことを特徴とする弾性表面波
    変換装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001153781A (ja) * 1999-11-26 2001-06-08 Maruyasu Industries Co Ltd 液体の特性値を測定するための弾性表面波装置

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