JPH07268599A - 高純度アルコール用ステンレス鋼及びその表面処理方法 - Google Patents
高純度アルコール用ステンレス鋼及びその表面処理方法Info
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- JPH07268599A JPH07268599A JP6126894A JP6126894A JPH07268599A JP H07268599 A JPH07268599 A JP H07268599A JP 6126894 A JP6126894 A JP 6126894A JP 6126894 A JP6126894 A JP 6126894A JP H07268599 A JPH07268599 A JP H07268599A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高純度アルコールへの金属イオンの溶出量が
極く少ない（１０ｐｐｔ以下の）ステンレス鋼及びその
表面処理方法を提供する。 【構成】 電解研磨処理を施した表面上に１００〜２０
０Åの厚みの鉄系酸化物層が形成されたステンレス鋼で
ある。ステンレス鋼表面に電解研磨処理を施した後、酸
化雰囲気中で４００〜５００℃で１〜３時間加熱するこ
とにより、１００〜２００Åの厚みの鉄系酸化物層を表
面に形成する。
極く少ない（１０ｐｐｔ以下の）ステンレス鋼及びその
表面処理方法を提供する。 【構成】 電解研磨処理を施した表面上に１００〜２０
０Åの厚みの鉄系酸化物層が形成されたステンレス鋼で
ある。ステンレス鋼表面に電解研磨処理を施した後、酸
化雰囲気中で４００〜５００℃で１〜３時間加熱するこ
とにより、１００〜２００Åの厚みの鉄系酸化物層を表
面に形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属イオンの溶出を極
端に嫌う電子工業、医薬品製造等の分野において使用さ
れる配管・機器を構成するステンレス鋼及びその表面処
理方法に関し、詳しくは、高純度アルコールに対する全
金属イオンの溶出総量が１０ｐｐｔ（１０-8ｇ／ｌ）以
下であるステンレス鋼及びその表面処理方法に関する。
端に嫌う電子工業、医薬品製造等の分野において使用さ
れる配管・機器を構成するステンレス鋼及びその表面処
理方法に関し、詳しくは、高純度アルコールに対する全
金属イオンの溶出総量が１０ｐｐｔ（１０-8ｇ／ｌ）以
下であるステンレス鋼及びその表面処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】従来
より、金属イオンの溶出を抑えるために、機器・配管等
の構成材料であるステンレス鋼の表面を研磨して平滑化
する方法が知られている。例えば、バフ研磨を施したス
テンレス鋼は、表面にスクラッチのある粒状の組織とな
るため、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉの酸化物の不動態被膜は不均
一に形成され、Ｆｅイオン他のすべての金属イオンの溶
出量はｐｐｍからｐｐｂのレベルであり、このレベルの
溶出量では、金属イオンの溶出を極端に嫌う電子工業、
医薬品製造等の分野に適用することはできない。
より、金属イオンの溶出を抑えるために、機器・配管等
の構成材料であるステンレス鋼の表面を研磨して平滑化
する方法が知られている。例えば、バフ研磨を施したス
テンレス鋼は、表面にスクラッチのある粒状の組織とな
るため、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉの酸化物の不動態被膜は不均
一に形成され、Ｆｅイオン他のすべての金属イオンの溶
出量はｐｐｍからｐｐｂのレベルであり、このレベルの
溶出量では、金属イオンの溶出を極端に嫌う電子工業、
医薬品製造等の分野に適用することはできない。
【０００３】また、電解研磨を施したステンレス鋼で
は、上記した粒状の組織は電気化学的溶解で除去され、
加工変質層を持たない平滑な健全組織が得られるが、そ
の表面に形成される自然酸化による不動態酸化被膜（図
３参照）は数Åから十数Åと薄く、この場合も金属イオ
ンの溶出量がｐｐｂのレベルであり、本発明の目標とす
るレベルを満たすものではない。
は、上記した粒状の組織は電気化学的溶解で除去され、
加工変質層を持たない平滑な健全組織が得られるが、そ
の表面に形成される自然酸化による不動態酸化被膜（図
３参照）は数Åから十数Åと薄く、この場合も金属イオ
ンの溶出量がｐｐｂのレベルであり、本発明の目標とす
るレベルを満たすものではない。
【０００４】さらに、本発明に関連する技術として、超
純水製造供給装置を構成する機器、配管の構成材料から
超純水中への金属イオンの溶出を抑制するものとして、
特開平２−１４１５６６号公報には、「ステンレス鋼の
表面にバフ仕上げおよび電解研磨を施して光沢仕上面と
し、油分等の付着物を完全に除去した後、３５０〜４５
０℃の温度で１５〜３０分間の加熱処理により仕上面に
着色酸化被膜を形成し、この着色酸化被膜を弱酸で洗浄
することを特徴とする超純水製造供給装置用機器配管材
料」に関する発明が開示されている。この材料によれ
ば、弱酸洗浄により鉄分の多い着色酸化被膜が除去され
るため、高温の超純水に長時間接触しても金属イオンの
溶出が殆ど起こらない。しかし、この材料も、高純度ア
ルコールに長時間接触すれば、１００ｐｐｔ程度の金属
イオンの溶出が見られ、本発明の目標とするレベルを満
たすものではない。
純水製造供給装置を構成する機器、配管の構成材料から
超純水中への金属イオンの溶出を抑制するものとして、
特開平２−１４１５６６号公報には、「ステンレス鋼の
表面にバフ仕上げおよび電解研磨を施して光沢仕上面と
し、油分等の付着物を完全に除去した後、３５０〜４５
０℃の温度で１５〜３０分間の加熱処理により仕上面に
着色酸化被膜を形成し、この着色酸化被膜を弱酸で洗浄
することを特徴とする超純水製造供給装置用機器配管材
料」に関する発明が開示されている。この材料によれ
ば、弱酸洗浄により鉄分の多い着色酸化被膜が除去され
るため、高温の超純水に長時間接触しても金属イオンの
溶出が殆ど起こらない。しかし、この材料も、高純度ア
ルコールに長時間接触すれば、１００ｐｐｔ程度の金属
イオンの溶出が見られ、本発明の目標とするレベルを満
たすものではない。
【０００５】本発明は従来の技術の有するこのような問
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、高純
度アルコールへの金属イオンの溶出量が極く少ない（１
０ｐｐｔ以下の）ステンレス鋼及びその表面処理方法を
提供することにある。
題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、高純
度アルコールへの金属イオンの溶出量が極く少ない（１
０ｐｐｔ以下の）ステンレス鋼及びその表面処理方法を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、電解研磨処理を施した表面上に１００〜２
００Åの厚みの鉄系酸化物層が形成された高純度アルコ
ール用ステンレス鋼を第一の発明とし、ステンレス鋼表
面に電解研磨処理を施した後、酸化雰囲気中で加熱する
ことにより、１００〜２００Åの厚みの鉄系酸化物層を
表面に形成することを特徴とする高純度アルコール用ス
テンレス鋼の表面処理方法を第二の発明とし、上記第二
の発明において、加熱条件が、４００〜５００℃で１〜
３時間加熱するものであることを特徴とする高純度アル
コール用ステンレス鋼の表面処理方法を第三の発明とす
る。
に本発明は、電解研磨処理を施した表面上に１００〜２
００Åの厚みの鉄系酸化物層が形成された高純度アルコ
ール用ステンレス鋼を第一の発明とし、ステンレス鋼表
面に電解研磨処理を施した後、酸化雰囲気中で加熱する
ことにより、１００〜２００Åの厚みの鉄系酸化物層を
表面に形成することを特徴とする高純度アルコール用ス
テンレス鋼の表面処理方法を第二の発明とし、上記第二
の発明において、加熱条件が、４００〜５００℃で１〜
３時間加熱するものであることを特徴とする高純度アル
コール用ステンレス鋼の表面処理方法を第三の発明とす
る。
【０００７】本発明において、鉄系酸化物の厚みとは、
図１において、Ｏ2 濃度が最表面の値の半分の値になる
までの厚さをアルゴンによるスパッタリングの鉄換算で
求めた値をいう。
図１において、Ｏ2 濃度が最表面の値の半分の値になる
までの厚さをアルゴンによるスパッタリングの鉄換算で
求めた値をいう。
【０００８】
【作用】アルコールへのＯ2 の溶解度は数十ｐｐｍ程度
（於２５℃）もあり、この程度のＯ2 濃度になると、Ｃ
ｒは過不動態化して不安定な６価となり、溶出しやすく
なる。しかし、ＦｅはＯ2 濃度が高くなると、安定な酸
化物（Ｆｅ2 Ｏ3 ）となり、溶出しにくくなる。従っ
て、ステンレス鋼の表面に鉄系酸化物を形成することに
より、アルコールへの金属イオンの溶出を抑制すること
ができる。この鉄系酸化物の厚みは、１００Å未満では
不十分であるが、２００Å超では厚すぎて脆くなる。加
熱温度が４００℃未満では、酸化被膜の形成が不十分で
あり、５００℃より高温に加熱すると、酸化被膜が過度
に厚くなると同時に脆くなる。同様に加熱時間が１時間
より短いと、酸化被膜の形成が不十分であり、一方、３
時間より長くなると、酸化被膜が過厚となる。
（於２５℃）もあり、この程度のＯ2 濃度になると、Ｃ
ｒは過不動態化して不安定な６価となり、溶出しやすく
なる。しかし、ＦｅはＯ2 濃度が高くなると、安定な酸
化物（Ｆｅ2 Ｏ3 ）となり、溶出しにくくなる。従っ
て、ステンレス鋼の表面に鉄系酸化物を形成することに
より、アルコールへの金属イオンの溶出を抑制すること
ができる。この鉄系酸化物の厚みは、１００Å未満では
不十分であるが、２００Å超では厚すぎて脆くなる。加
熱温度が４００℃未満では、酸化被膜の形成が不十分で
あり、５００℃より高温に加熱すると、酸化被膜が過度
に厚くなると同時に脆くなる。同様に加熱時間が１時間
より短いと、酸化被膜の形成が不十分であり、一方、３
時間より長くなると、酸化被膜が過厚となる。
【０００９】
【実施例】以下、実施例として、ＳＵＳ３１６Ｌステン
レス鋼製の管径２５Ａ、長さ５００ｍｍのパイプを製作
し、りん酸・硫酸系電解液により電解電流密度１０Ａ／
ｄｍ2 の条件で電解研磨し、表面の加工変質層を１０〜
５０μｍ除去することで健全な母材表面を得、次いで抵
抗率１８ＭΩ・ｃｍ以上の超純水により精密洗浄を行っ
てから、酸化雰囲気で（４００〜５００℃）×２時間の
加熱処理を行うことにより、厚みが１００〜２００Åで
強固で緻密なＦｅ系酸化物（ＦｅＯ、Ｆｅ2Ｏ3 、Ｆｅ
3 Ｏ4)の層（図１および図２参照）が表面に形成された
ステンレス鋼製パイプを得た。図１は、本発明の表面処
理方法によるステンレス鋼表面の厚さ方向の原子濃度分
布を示す図であり、図２は同ステンレス鋼表面のＦｅの
結合状態を示す図である。図２に明らかなように、最表
層〜表面近傍にはＦｅ0 のピークがなく、表面付近の組
成はＦｅ3 Ｏ4 、Ｆｅ2 Ｏ3 およびＦｅＯからなるＦｅ
酸化物を主体とするものであることが分かり、図１より
この表面は略１００％鉄系酸化物からなることが理解で
きる。なお、鉄系酸化物の中で最も酸化が進んだ３価の
鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）がアルコール溶液に対して安定してい
る。
レス鋼製の管径２５Ａ、長さ５００ｍｍのパイプを製作
し、りん酸・硫酸系電解液により電解電流密度１０Ａ／
ｄｍ2 の条件で電解研磨し、表面の加工変質層を１０〜
５０μｍ除去することで健全な母材表面を得、次いで抵
抗率１８ＭΩ・ｃｍ以上の超純水により精密洗浄を行っ
てから、酸化雰囲気で（４００〜５００℃）×２時間の
加熱処理を行うことにより、厚みが１００〜２００Åで
強固で緻密なＦｅ系酸化物（ＦｅＯ、Ｆｅ2Ｏ3 、Ｆｅ
3 Ｏ4)の層（図１および図２参照）が表面に形成された
ステンレス鋼製パイプを得た。図１は、本発明の表面処
理方法によるステンレス鋼表面の厚さ方向の原子濃度分
布を示す図であり、図２は同ステンレス鋼表面のＦｅの
結合状態を示す図である。図２に明らかなように、最表
層〜表面近傍にはＦｅ0 のピークがなく、表面付近の組
成はＦｅ3 Ｏ4 、Ｆｅ2 Ｏ3 およびＦｅＯからなるＦｅ
酸化物を主体とするものであることが分かり、図１より
この表面は略１００％鉄系酸化物からなることが理解で
きる。なお、鉄系酸化物の中で最も酸化が進んだ３価の
鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）がアルコール溶液に対して安定してい
る。
【００１０】また、比較例として、バフ研磨のみを行っ
た同上ステンレス鋼製パイプと、同上条件で電解研磨の
みを行った同上ステンレス鋼製パイプを作製した。
た同上ステンレス鋼製パイプと、同上条件で電解研磨の
みを行った同上ステンレス鋼製パイプを作製した。
【００１１】次いで、これらの各パイプに高純度イソプ
ロピルアルコールを満たし、２０℃で５６日間保持した
後、パイプ内の高純度イソプロピルアルコール中に溶出
した金属イオンをＩＣＰ−ＭＳ（誘導結合プラズマ質量
分析計）で求めた。その結果を以下の表１に示す。
ロピルアルコールを満たし、２０℃で５６日間保持した
後、パイプ内の高純度イソプロピルアルコール中に溶出
した金属イオンをＩＣＰ−ＭＳ（誘導結合プラズマ質量
分析計）で求めた。その結果を以下の表１に示す。
【００１２】
【表１】
【００１３】表１に明らかなように、本発明の表面処理
方法によるパイプからの全金属イオン溶出量は１０ｐｐ
ｔ未満であり、極めて優れた耐溶出性を有していること
がわかる。しかし、バフ研磨や電解研磨によるものの金
属イオン溶出量は極めて多く、本発明の目標とするレベ
ルを満たすものではない。
方法によるパイプからの全金属イオン溶出量は１０ｐｐ
ｔ未満であり、極めて優れた耐溶出性を有していること
がわかる。しかし、バフ研磨や電解研磨によるものの金
属イオン溶出量は極めて多く、本発明の目標とするレベ
ルを満たすものではない。
【００１４】なお、上記溶出試験において、高純度アル
コールとしてイソプロピルアルコールを使用したが、エ
チルアルコール・メチルアルコール・ブチルアルコール
等の高純度アルコールを使用してもよい。
コールとしてイソプロピルアルコールを使用したが、エ
チルアルコール・メチルアルコール・ブチルアルコール
等の高純度アルコールを使用してもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば高
純度アルコールに対する金属イオンの溶出量の極めて少
ない（１０ｐｐｔ＝１０-8ｇ／ｌ以下の）ステレンス鋼
およびその処理方法を提供することができ、電子工業、
医薬品製造等の産業の発達に対する貢献度は極めて大な
るものがある。
純度アルコールに対する金属イオンの溶出量の極めて少
ない（１０ｐｐｔ＝１０-8ｇ／ｌ以下の）ステレンス鋼
およびその処理方法を提供することができ、電子工業、
医薬品製造等の産業の発達に対する貢献度は極めて大な
るものがある。
【図１】本発明の表面処理方法によるステンレス鋼表面
の厚さ方向の原子濃度分布を示す図である。
の厚さ方向の原子濃度分布を示す図である。
【図２】本発明の表面処理方法によるステンレス鋼表面
のＦｅの結合状態を示す図である。
のＦｅの結合状態を示す図である。
【図３】ステンレス鋼を電解研磨した直後の表面の厚さ
方向の原子濃度分布を示す図である。
方向の原子濃度分布を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項１】 電解研磨処理を施した表面上に１００〜
２００Åの厚みの鉄系酸化物層が形成された高純度アル
コール用ステンレス鋼。 - 【請求項２】 ステンレス鋼表面に電解研磨処理を施し
た後、酸化雰囲気中で加熱することにより、１００〜２
００Åの厚みの鉄系酸化物層を表面に形成することを特
徴とする高純度アルコール用ステンレス鋼の表面処理方
法。 - 【請求項３】 加熱条件が、４００〜５００℃で１〜３
時間加熱するものであることを特徴とする請求項２記載
の高純度アルコール用ステンレス鋼の表面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6061268A JP3031404B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 高純度アルコール用ステンレス鋼の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6061268A JP3031404B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 高純度アルコール用ステンレス鋼の表面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07268599A true JPH07268599A (ja) | 1995-10-17 |
| JP3031404B2 JP3031404B2 (ja) | 2000-04-10 |
Family
ID=13166315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6061268A Expired - Lifetime JP3031404B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 高純度アルコール用ステンレス鋼の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3031404B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005157361A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Merck Patent Gmbh | 液晶を詰め、輸送し、貯蔵し、回収するための方法およびシステム |
| WO2008020601A1 (fr) * | 2006-08-14 | 2008-02-21 | Toyo Seikan Kaisha, Ltd. | Ressort hélicoïdal pour pile à combustible |
| WO2008020602A1 (fr) * | 2006-08-14 | 2008-02-21 | Toyo Seikan Kaisha, Ltd. | Élément en acier inoxydable pour pile à combustible |
| KR20200100201A (ko) | 2018-03-02 | 2020-08-25 | 가부시키가이샤 도쿠야마 | 스테인리스강 부재 및 그 제조 방법 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6061268A patent/JP3031404B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005157361A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Merck Patent Gmbh | 液晶を詰め、輸送し、貯蔵し、回収するための方法およびシステム |
| WO2008020601A1 (fr) * | 2006-08-14 | 2008-02-21 | Toyo Seikan Kaisha, Ltd. | Ressort hélicoïdal pour pile à combustible |
| WO2008020602A1 (fr) * | 2006-08-14 | 2008-02-21 | Toyo Seikan Kaisha, Ltd. | Élément en acier inoxydable pour pile à combustible |
| JP2008047382A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 燃料電池用コイルスプリング |
| US8075991B2 (en) | 2006-08-14 | 2011-12-13 | Toyo Seikan Kaisha, Ltd. | Stainless steel member for a fuel cell |
| KR20200100201A (ko) | 2018-03-02 | 2020-08-25 | 가부시키가이샤 도쿠야마 | 스테인리스강 부재 및 그 제조 방법 |
| US10906021B2 (en) | 2018-03-02 | 2021-02-02 | Tokuyama Corporation | Stainless steel member and production method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3031404B2 (ja) | 2000-04-10 |
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