JPH07260964A - 変位拡大機構付位置決め装置 - Google Patents
変位拡大機構付位置決め装置Info
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- JPH07260964A JPH07260964A JP5182794A JP5182794A JPH07260964A JP H07260964 A JPH07260964 A JP H07260964A JP 5182794 A JP5182794 A JP 5182794A JP 5182794 A JP5182794 A JP 5182794A JP H07260964 A JPH07260964 A JP H07260964A
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- lever
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高剛性で大きな発生力を得ると共に、高効率で
大きな変位量を得る。又、拡大効率を低下させることな
く、簡単、且、正確に変位の拡大ができるようにする。 【構成】固定部１０と変位伝達ブロック２０との間にア
クチュエータ素子２を変位方向に配設し、該変位伝達ブ
ロックの左右に拡大変位ブロック３０と連続するレバー
変位拡大機構４０を設けた位置決め装置であって；該レ
バー変位拡大機構４０を左右対称に配設するとともに、
該レバー変位拡大機構のレバー４１の支点４１ａと力点
４１ｂと作用点４１ｃとをそれぞれ同一直線４０Ｃ上に
位置せしめ、該変位伝達ブロックを該アクチュエータ素
子側に付勢する予圧機構５０を左右対称に配設する。
大きな変位量を得る。又、拡大効率を低下させることな
く、簡単、且、正確に変位の拡大ができるようにする。 【構成】固定部１０と変位伝達ブロック２０との間にア
クチュエータ素子２を変位方向に配設し、該変位伝達ブ
ロックの左右に拡大変位ブロック３０と連続するレバー
変位拡大機構４０を設けた位置決め装置であって；該レ
バー変位拡大機構４０を左右対称に配設するとともに、
該レバー変位拡大機構のレバー４１の支点４１ａと力点
４１ｂと作用点４１ｃとをそれぞれ同一直線４０Ｃ上に
位置せしめ、該変位伝達ブロックを該アクチュエータ素
子側に付勢する予圧機構５０を左右対称に配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、精密工作機、精密測
定器、半導体露光装置、ハードデスク、プリンタヘッ
ド、などの精密な位置決めを行うための変位拡大機構付
位置決め装置に関するものである。
定器、半導体露光装置、ハードデスク、プリンタヘッ
ド、などの精密な位置決めを行うための変位拡大機構付
位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の位置決め装置には、圧電素子の変
位量を拡大するためにレバー変位拡大機構や座屈式変位
拡大機構等が設けられている。
位量を拡大するためにレバー変位拡大機構や座屈式変位
拡大機構等が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例の位置決め装置
には、次のような問題がある。 （１）レバー変位拡大機構のレバーが左右対称に設けら
れていないので、図８に示すように、レバー１４１の支
点１４１ａを中心とした回転方向１４１Ａ変位となる。
その為、直線方向１４１Ｂ変位が回転方向１４１Ａ変位
に比べて少なくなる。尚、同図において１４１ｂは力
点、１４１ｃは作用点、をそれぞれ示す。
には、次のような問題がある。 （１）レバー変位拡大機構のレバーが左右対称に設けら
れていないので、図８に示すように、レバー１４１の支
点１４１ａを中心とした回転方向１４１Ａ変位となる。
その為、直線方向１４１Ｂ変位が回転方向１４１Ａ変位
に比べて少なくなる。尚、同図において１４１ｂは力
点、１４１ｃは作用点、をそれぞれ示す。
【０００４】（２）図９に示すように、レバー変位拡大
機構のレバー１４１の支点１４１ａはレバー１４１の下
面側に、その力点１４１ｂ及び作用点１４１ｃは該レバ
ー１４１の上面側にそれぞれ位置している。そのため、
横方向成分１４１Ｙが縦方向成分１４１Ｔに比べ極めて
大きくなるので、変位拡大率が低下する。
機構のレバー１４１の支点１４１ａはレバー１４１の下
面側に、その力点１４１ｂ及び作用点１４１ｃは該レバ
ー１４１の上面側にそれぞれ位置している。そのため、
横方向成分１４１Ｙが縦方向成分１４１Ｔに比べ極めて
大きくなるので、変位拡大率が低下する。
【０００５】（３）圧電素子は、これを直接ねじで押圧
することにより、予圧を付与するが、ねじピッチを狭く
するのに限界があるため、ボルト回転による予圧力の調
整が困難である。又、図１０に示すように、圧電素子１
０２には支点ヒンジ１４３のばね性を利用して予圧を付
与するとともに、ねじ２００の調整により予圧力を調節
することも行われる。ところが、レバー１２１に力Ｆが
加わると、該圧電素子１０２にはねじ２００を介して （Ｌ2／Ｌ1）×Ｆ の力が加わるとともに、該ねじ２００の先端と当接する
圧電素子１０２の端部１０２Ａが変形し変位の吸収が発
生する。
することにより、予圧を付与するが、ねじピッチを狭く
するのに限界があるため、ボルト回転による予圧力の調
整が困難である。又、図１０に示すように、圧電素子１
０２には支点ヒンジ１４３のばね性を利用して予圧を付
与するとともに、ねじ２００の調整により予圧力を調節
することも行われる。ところが、レバー１２１に力Ｆが
加わると、該圧電素子１０２にはねじ２００を介して （Ｌ2／Ｌ1）×Ｆ の力が加わるとともに、該ねじ２００の先端と当接する
圧電素子１０２の端部１０２Ａが変形し変位の吸収が発
生する。
【０００６】（４）図１１に示す様に、該レバー拡大機
構のレバー１４１の変位範囲ｗは、初期水平位置１４１
Ｄから予圧力位置１４１Ｅ、圧電素子の伸長時における
上方位置１４１Ｆの範囲であり、この時、作用点１４１
ｃはＮだけ横方向に変位する。そのため、縦方向成分が
少なくなり変位拡大量が減少する。
構のレバー１４１の変位範囲ｗは、初期水平位置１４１
Ｄから予圧力位置１４１Ｅ、圧電素子の伸長時における
上方位置１４１Ｆの範囲であり、この時、作用点１４１
ｃはＮだけ横方向に変位する。そのため、縦方向成分が
少なくなり変位拡大量が減少する。
【０００７】そのため、該拡大機構の剛性が小さくなっ
て変位の吸収が発生し、拡大効率、即ち、設計上の変位
拡大率と実際の変位拡大率との比率、が低下し、例え
ば、拡大効率３０％、となってしまう。
て変位の吸収が発生し、拡大効率、即ち、設計上の変位
拡大率と実際の変位拡大率との比率、が低下し、例え
ば、拡大効率３０％、となってしまう。
【０００８】この発明は、上記事情に鑑み高剛性で大き
な発生力を得るとともに、高効率で大きな変位量を得る
ことを目的とする。他の目的は、拡大効率を低下させる
ことなく、簡単、且、正確に予圧を付与することであ
る。
な発生力を得るとともに、高効率で大きな変位量を得る
ことを目的とする。他の目的は、拡大効率を低下させる
ことなく、簡単、且、正確に予圧を付与することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、固定部と変
位伝達ブロックとの間にアクチュエータ素子を変位方向
に配設し、該変位伝達ブロックの左右に変位拡大ブロッ
クと連続するレバー変位拡大機構を設けた位置決め装置
であって；該レバー変位拡大機構を左右対称に配設する
とともに、該レバー変位拡大機構のレバーの支点と力点
と作用点とをそれぞれ同一直線上に位置せしめ、該変位
伝達ブロックを該アクチュエータ素子側に付勢する予圧
機構を左右対称に配設したことを特徴とする変位拡大機
構付位置決め装置、により前記目的を達成しようとする
ものである。
位伝達ブロックとの間にアクチュエータ素子を変位方向
に配設し、該変位伝達ブロックの左右に変位拡大ブロッ
クと連続するレバー変位拡大機構を設けた位置決め装置
であって；該レバー変位拡大機構を左右対称に配設する
とともに、該レバー変位拡大機構のレバーの支点と力点
と作用点とをそれぞれ同一直線上に位置せしめ、該変位
伝達ブロックを該アクチュエータ素子側に付勢する予圧
機構を左右対称に配設したことを特徴とする変位拡大機
構付位置決め装置、により前記目的を達成しようとする
ものである。
【００１０】
【作 用】アクチュエータ素子に電圧を印加すると、該
アクチュエータ素子が伸びて変位伝達ブロックを押圧す
るので、該変位伝達ブロックは予圧機構のばね力に抗し
て移動し、左右対称に設けられたレバー変位拡大機構を
作動させる。この変位拡大機構の作動により前記アクチ
ュエータ素子の変位量は拡大されて変位拡大ブロックに
伝達される。そのため、変位拡大ブロックの変位量はア
クチュエータ素子の変位量に比べて大幅に増大する。
アクチュエータ素子が伸びて変位伝達ブロックを押圧す
るので、該変位伝達ブロックは予圧機構のばね力に抗し
て移動し、左右対称に設けられたレバー変位拡大機構を
作動させる。この変位拡大機構の作動により前記アクチ
ュエータ素子の変位量は拡大されて変位拡大ブロックに
伝達される。そのため、変位拡大ブロックの変位量はア
クチュエータ素子の変位量に比べて大幅に増大する。
【００１１】次に、前記印加電圧をゼロにすると、力点
を介した予圧機構のばね力により前記ブロックは確実に
元の位置に戻る。このような行程を繰り返すことにより
正確な位置決めを行う。
を介した予圧機構のばね力により前記ブロックは確実に
元の位置に戻る。このような行程を繰り返すことにより
正確な位置決めを行う。
【００１２】
【実施例】この発明の第１実施例を図１〜図５により説
明する。一枚の板体、例えば、ステンレス製板１を放電
加工、レーザー加工、プラズマ加工等により切溝Ｈを形
成して固定部１０と変位伝達ブロック２０と変位拡大ブ
ロック３０とレバー変位拡大機構４０と予圧機構５０と
を一体的に形成する。
明する。一枚の板体、例えば、ステンレス製板１を放電
加工、レーザー加工、プラズマ加工等により切溝Ｈを形
成して固定部１０と変位伝達ブロック２０と変位拡大ブ
ロック３０とレバー変位拡大機構４０と予圧機構５０と
を一体的に形成する。
【００１３】固定部１０の収容部１１には、アクチュエ
ータ素子２が配置され、後述する予圧機構５０により予
圧が付与されることにより、該素子２の後端が収容部１
１の底部に固定されると共に、先端は変位伝達ブロック
２０に固定される。このアクチュエータ素子２は板体１
の中心線１ｃ方向に変位する縦置きアクチュエータ素子
で、例えば、圧電、電歪、磁歪などの素子が用いられ
る。
ータ素子２が配置され、後述する予圧機構５０により予
圧が付与されることにより、該素子２の後端が収容部１
１の底部に固定されると共に、先端は変位伝達ブロック
２０に固定される。このアクチュエータ素子２は板体１
の中心線１ｃ方向に変位する縦置きアクチュエータ素子
で、例えば、圧電、電歪、磁歪などの素子が用いられ
る。
【００１４】変位伝達ブロック２０はコ字状に形成さ
れ、その中央部には、アクチュエータ素子２の先端が固
定されている。該ブロック２０は第１レバー変位拡大機
構４０に連続している。
れ、その中央部には、アクチュエータ素子２の先端が固
定されている。該ブロック２０は第１レバー変位拡大機
構４０に連続している。
【００１５】この第１レバー変位拡大機構４０は板体１
の中心線を挟んで左右対称に配設され、第１レバー４１
は、力点ヒンジ４２を介して変位伝達ブロック２０と連
続し、支点ヒンジ４３を介して固定部１０と連続し、
又、作用点ヒンジ４４を介して変位拡大ブロック３０の
側柱３１に連続している。これらの関係の原理図を図２
に示す。
の中心線を挟んで左右対称に配設され、第１レバー４１
は、力点ヒンジ４２を介して変位伝達ブロック２０と連
続し、支点ヒンジ４３を介して固定部１０と連続し、
又、作用点ヒンジ４４を介して変位拡大ブロック３０の
側柱３１に連続している。これらの関係の原理図を図２
に示す。
【００１６】この第１レバー４１の支点４１ａ、力点４
１ｂ、作用点４１ｃは中心線１ｃと直交する直線４０ｃ
上に位置している。これらの関係の原理図を図３に示
す。変位拡大ブロック３０は前記変位伝達ブロック２０
の外側を囲むコ字状のブロックであり、両ブロック２
０、３０の中心は中心線１ｃ上に位置する。
１ｂ、作用点４１ｃは中心線１ｃと直交する直線４０ｃ
上に位置している。これらの関係の原理図を図３に示
す。変位拡大ブロック３０は前記変位伝達ブロック２０
の外側を囲むコ字状のブロックであり、両ブロック２
０、３０の中心は中心線１ｃ上に位置する。
【００１７】第１レバー変位拡大機構４０のレバー４１
は、予圧機構５０を介して固定部１０に連続している
が、この予圧機構５０は、中心線１ｃを挟んで左右対称
に配設されている。この予圧機構５０は、予圧力ばね５
１と回り止め５２と引張りブロック５３を備えており、
該引張りブロック５３に螺着された予圧力調圧ねじ５４
によりばね力が調整される。
は、予圧機構５０を介して固定部１０に連続している
が、この予圧機構５０は、中心線１ｃを挟んで左右対称
に配設されている。この予圧機構５０は、予圧力ばね５
１と回り止め５２と引張りブロック５３を備えており、
該引張りブロック５３に螺着された予圧力調圧ねじ５４
によりばね力が調整される。
【００１８】すなわち、アクチュエータ素子２の予圧力
は、レバー４１の力点のほぼ真下に配した予圧力ばね５
１を予圧力調圧ねじ５４によりばね力を調整することに
より、ばね力が、レバー４１及び変位伝達ブロック２０
に連続して伝達され、変位伝達ブロックの中央部からア
クチュエータ素子２に予圧を付与する。又、予圧力調整
ねじを回す際のねじりは固定部１０と引っ張りブロック
５３の間に板状に形成された回り止め５２により規制さ
れ、引っ張りブロック５３は回転しない。
は、レバー４１の力点のほぼ真下に配した予圧力ばね５
１を予圧力調圧ねじ５４によりばね力を調整することに
より、ばね力が、レバー４１及び変位伝達ブロック２０
に連続して伝達され、変位伝達ブロックの中央部からア
クチュエータ素子２に予圧を付与する。又、予圧力調整
ねじを回す際のねじりは固定部１０と引っ張りブロック
５３の間に板状に形成された回り止め５２により規制さ
れ、引っ張りブロック５３は回転しない。
【００１９】次に本実施例の作動について説明する。ア
クチュエータ素子２、例えば、圧電素子に電圧を印加す
ると、該圧電素子２が中心線１ｃ方向に電圧に応じて伸
び予圧機構５０のばね力に抗して変位伝達ブロック２０
を矢印Ａ１方向に移動させる。
クチュエータ素子２、例えば、圧電素子に電圧を印加す
ると、該圧電素子２が中心線１ｃ方向に電圧に応じて伸
び予圧機構５０のばね力に抗して変位伝達ブロック２０
を矢印Ａ１方向に移動させる。
【００２０】該変位伝達ブロック２０が矢印Ａ１方向に
移動すると、レバー変位拡大機構４０の力点ヒンジ４２
を介してレバー４１が引っ張られる。該レバー４１は作
用点ヒンジ４４を介して変位拡大ブロック３０を矢印Ａ
１方向に移動させる。そのため、圧電素子２の変位量は
てこの原理により大幅に拡大されて変位拡大ブロック３
０に伝えられる。
移動すると、レバー変位拡大機構４０の力点ヒンジ４２
を介してレバー４１が引っ張られる。該レバー４１は作
用点ヒンジ４４を介して変位拡大ブロック３０を矢印Ａ
１方向に移動させる。そのため、圧電素子２の変位量は
てこの原理により大幅に拡大されて変位拡大ブロック３
０に伝えられる。
【００２１】この時、レバー４１の支点４１ａ、力点４
１ｂ、作用点４１ｃが同一直線４０ｃ上に位置するの
で、図３に示す様に、作用点ヒンジ４４の横方向成分Ｍ
は小さい。又、レバー４１は左右対称に配設されている
ので、両側の側柱３１を同時に平行に移動させ、変位拡
大ブロック３０を矢印Ａ１方向に変位させる。
１ｂ、作用点４１ｃが同一直線４０ｃ上に位置するの
で、図３に示す様に、作用点ヒンジ４４の横方向成分Ｍ
は小さい。又、レバー４１は左右対称に配設されている
ので、両側の側柱３１を同時に平行に移動させ、変位拡
大ブロック３０を矢印Ａ１方向に変位させる。
【００２２】次に、前記印加電圧をゼロにすると、圧電
素子２は縮むとともに、予圧機構５０のばね力により前
記各ブロック２０、３０は確実に元の位置に戻る。
素子２は縮むとともに、予圧機構５０のばね力により前
記各ブロック２０、３０は確実に元の位置に戻る。
【００２３】このようにして、圧電素子２の変位量は第
１レバー変位拡大機構４０により拡大されて変位拡大ブ
ロック３０に伝達される。
１レバー変位拡大機構４０により拡大されて変位拡大ブ
ロック３０に伝達される。
【００２４】この時の第１レバー４１の変位範囲は図４
に示す様に、初期水平位置４１Ｄから上方及び下方にま
で及ぶ。
に示す様に、初期水平位置４１Ｄから上方及び下方にま
で及ぶ。
【００２５】即ち、圧電素子２が伸長した時の上方位置
４１Ｆから、該圧電素子２が元の状態に戻るとともに予
圧機構５０により元の位置に引き戻された時の下方位置
４１Ｅの範囲Ｗにわたって変位する。
４１Ｆから、該圧電素子２が元の状態に戻るとともに予
圧機構５０により元の位置に引き戻された時の下方位置
４１Ｅの範囲Ｗにわたって変位する。
【００２６】この時の作用点４１ｃの横方向に対する変
位は、第１レバー４１の初期水平位置４１Ｄの時の作用
点の位置と上方及び下方位置４１Ｅ、４１Ｆの作用点の
位置の差ｎだけである。そのため、変位拡大ブロック３
０に大きな変位を与えることができる。
位は、第１レバー４１の初期水平位置４１Ｄの時の作用
点の位置と上方及び下方位置４１Ｅ、４１Ｆの作用点の
位置の差ｎだけである。そのため、変位拡大ブロック３
０に大きな変位を与えることができる。
【００２７】圧電素子２はその両端を変位伝達ブロック
２０と固定部１０とにそれぞれ固定され、又、予圧力ば
ね５１の引張り力も調圧ねじ５４により任意に調整でき
る。そのため、該圧電素子２の両端は完全な面接触とな
り、剛性の低下を防止し変位量の増大を図ることができ
る。
２０と固定部１０とにそれぞれ固定され、又、予圧力ば
ね５１の引張り力も調圧ねじ５４により任意に調整でき
る。そのため、該圧電素子２の両端は完全な面接触とな
り、剛性の低下を防止し変位量の増大を図ることができ
る。
【００２８】この発明の第２実施例を図７により説明す
る。この実施例と第１実施例との相違点は、レバー変位
拡大機構を２段に設けるとともに圧電素子２を複数個直
列に配設して更に変位拡大量を増大せしめたことであ
る。図７において、図１と同一図面符号はその名称も機
能も同一である。
る。この実施例と第１実施例との相違点は、レバー変位
拡大機構を２段に設けるとともに圧電素子２を複数個直
列に配設して更に変位拡大量を増大せしめたことであ
る。図７において、図１と同一図面符号はその名称も機
能も同一である。
【００２９】側板３１は力点ヒンジ７２を介して第２レ
バー変位拡大機構７０の第２レバー７１に連続し、外側
板３４は支点ヒンジ７３を介して第２レバー７１に連続
し、又、第２レバー７１は作用点ヒンジ７４を介して変
位拡大ブロック３０に連続している。
バー変位拡大機構７０の第２レバー７１に連続し、外側
板３４は支点ヒンジ７３を介して第２レバー７１に連続
し、又、第２レバー７１は作用点ヒンジ７４を介して変
位拡大ブロック３０に連続している。
【００３０】第２レバー７１の支点、力点、作用点は中
心線１Ｃと直交する直線７０ｃ上にそれぞれ位置し、そ
の作用は前記第１レバー変位拡大機構４０と同じであ
る。
心線１Ｃと直交する直線７０ｃ上にそれぞれ位置し、そ
の作用は前記第１レバー変位拡大機構４０と同じであ
る。
【００３１】なお、予圧機構の予圧力ばねは、図５、図
６の様に構成してもよい。図５は板体１を放電加工して
蛇行状に形成した予圧力ばね５６であるが、このばね５
６は板体１が薄い場合に特に有効である。
６の様に構成してもよい。図５は板体１を放電加工して
蛇行状に形成した予圧力ばね５６であるが、このばね５
６は板体１が薄い場合に特に有効である。
【００３２】図６は、さらばねを用いた場合の予圧力ば
ね５７である。第１レバー４１にねじ受け部材５８が固
定されており、該ねじ受け部材５８には、固定部１０を
貫通する調圧ボルト５９が螺着されている。
ね５７である。第１レバー４１にねじ受け部材５８が固
定されており、該ねじ受け部材５８には、固定部１０を
貫通する調圧ボルト５９が螺着されている。
【００３３】この調圧ボルト５９の頭６０と固定部１０
との間には、さらばね６１が介在している。この予圧力
ばね５７は板体１が厚い場合に用いられるが、さらばね
６１の代わりにコイルばねやその他のばねを用いること
も可能である。
との間には、さらばね６１が介在している。この予圧力
ばね５７は板体１が厚い場合に用いられるが、さらばね
６１の代わりにコイルばねやその他のばねを用いること
も可能である。
【００３４】
【発明の効果】この発明は以上の様に構成したので、次
の如き顕著な効果を奏する。 （1）レバー変位拡大機構を左右対称に配設するととも
に、該レバー変位拡大機構のレバーの支点と力点と作用
点とをそれぞれ同一直線上に位置せしめたので、レバー
は直線変位となるとともに従来例に比し、横方向成分が
小さくなる。そのため、従来例に比べて高効率で大きな
変位量を得ることができる。
の如き顕著な効果を奏する。 （1）レバー変位拡大機構を左右対称に配設するととも
に、該レバー変位拡大機構のレバーの支点と力点と作用
点とをそれぞれ同一直線上に位置せしめたので、レバー
は直線変位となるとともに従来例に比し、横方向成分が
小さくなる。そのため、従来例に比べて高効率で大きな
変位量を得ることができる。
【００３５】（2）予圧機構を左右対称に設けてレバー
を引き戻す様にしたので、従来例に比し変位範囲が拡大
するため、大きな変位量を得ることができる。
を引き戻す様にしたので、従来例に比し変位範囲が拡大
するため、大きな変位量を得ることができる。
【００３６】（3）アクチュエータ素子の両端が固定部
と変位伝達ブロックとにそれぞれ全面接触で固着されて
いるので、該素子の両端の剛性が大きく、従来例と異な
り変位減少が発生することはない。
と変位伝達ブロックとにそれぞれ全面接触で固着されて
いるので、該素子の両端の剛性が大きく、従来例と異な
り変位減少が発生することはない。
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１の原理図である。
【図３】図１のレバーの支点、力点、作用点の関係を示
す図である。
す図である。
【図４】図１のレバーの変位範囲を示す原理図である。
【図５】他の予圧力ばねを示す図である。
【図６】更に他の予圧力ばねを示す図である。
【図７】本発明の第２実施例を示す縦断面図である。
【図８】従来例のレバーの回転方向成分を示す図であ
る。
る。
【図９】従来例のレバーの支点、力点、作用点の位置関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図１０】従来例の圧電素子と予圧力ばねとの関係を示
す図である。
す図である。
【図１１】従来例のレバーの変位範囲を示す図である。
１Ｃ 板体の中心線 ２ アクチュエータ素子 １０ 固定部 ２０ 変位伝達ブロック ３０ 変位拡大ブロック ４０ レバー変位拡大機構 ４０ｃ 直線 ４１ 第１レバー ４２ 力点ヒンジ ４３ 支点ヒンジ ４４ 作用点ヒンジ ５０ 予圧機構 ５１ 予圧力ばね ７０ 第２レバー変位拡大機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鵜澤 高吉 東京都新宿区市谷田町３−25 (72)発明者 衣川 裕 千葉県流山市江戸川台東３−286
Claims (9)
- 【請求項１】固定部と変位伝達ブロックとの間にアクチ
ュエータ素子を変位方向に配設し、該変位伝達ブロック
の左右に変位拡大ブロックと連続するレバー変位拡大機
構を設けた位置決め装置であって；該レバー変位拡大機
構を左右対称に配設するとともに、該レバー変位拡大機
構のレバーの支点と力点と作用点とをそれぞれ同一直線
上に位置せしめたことを特徴とする変位拡大機構付位置
決め装置。 - 【請求項２】固定部と変位伝達ブロックとの間にアクチ
ュエータ素子を変位方向に配設し、該変位伝達ブロック
の左右に変位拡大ブロックと連続するレバー変位拡大機
構を設けた位置決め装置であって；該レバー変位拡大機
構を左右対称に配設するとともに、該レバー変位拡大機
構のレバーの支点と力点と作用点とをそれぞれ同一直線
上に位置せしめ、該変位伝達ブロックを該アクチュエー
タ素子側に付勢する予圧機構を左右対称に配設したこと
を特徴とする変位拡大機構付位置決め装置。 - 【請求項３】予圧機構の予圧力ばねを前記レバーの力点
のほぼ真下に配設し、前記変位伝達ブロックと連続する
ようにしたことを特徴とする請求項２記載の変位拡大機
構付位置決め装置。 - 【請求項４】固定部と変位伝達ブロックとの間にアクチ
ュエータ素子を変位方向に配設し、該変位伝達ブロック
の左右に変位拡大ブロックと連続するレバー変位拡大機
構を設けた位置決め装置であって；該レバー変位拡大機
構を左右対称に配設するとともに、該レバー変位拡大機
構のレバーの支点と力点と作用点とをそれぞれ同一直線
上に位置せしめ、該レバー変位拡大機構を複数段形成し
たことを特徴とする変位拡大機構付位置決め装置。 - 【請求項５】該レバー変位拡大機構のレバーが、支点ヒ
ンジを介して固定部に連続し、力点ヒンジを介して変位
伝達ブロックに連続し、作用点ヒンジを介して変位拡大
ブロックに連続していることを特徴とする請求項１、
２、３、又は、４記載の変位拡大機構付位置決め装置。 - 【請求項６】固定部と変位伝達ブロックと変位拡大ブロ
ックとレバー変位拡大機構とが放電加工により単一の板
体に形成されることを特徴とする請求項１、又は、４記
載の変位拡大機構付位置決め装置。 - 【請求項７】固定部と変位伝達ブロックと変位拡大ブロ
ックとレバー変位拡大機構と予圧機構の予圧力ばねが放
電加工により単一の板体に形成されることを特徴とする
請求項２、又は、３記載の変位拡大機構付位置決め装
置。 - 【請求項８】アクチュエータ素子の一端が固定部に固着
され、他端が変位伝達ブロックに固着されていることを
特徴とする請求項１、２、３、又は、４記載の変位拡大
機構付位置決め装置。 - 【請求項９】アクチュエータ素子が直列に複数連続して
いることを特徴とする請求項１、２、３、又は、４記載
の変位拡大機構付位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05182794A JP3496099B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 変位拡大機構付位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05182794A JP3496099B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 変位拡大機構付位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260964A true JPH07260964A (ja) | 1995-10-13 |
| JP3496099B2 JP3496099B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=12897722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05182794A Expired - Fee Related JP3496099B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 変位拡大機構付位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3496099B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016178836A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | アクチュエータ |
-
1994
- 1994-03-23 JP JP05182794A patent/JP3496099B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016178836A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | アクチュエータ |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3496099B2 (ja) | 2004-02-09 |
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