JP4180464B2 - 変位量微調整装置 - Google Patents
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Description
すなわち、従来の構成によると変位量微調整装置としての小型化が図り難いという問題があった。これは、次のような理由による。既に説明したように、従来の変位量微調整装置の場合には、一対の弾性部材203、205と湾曲板219等から構成される弾性変形部の下側に支持片215、すなわち、移動ブロック213の変位を許容するための構成部が配置される構成である。そして、弾性変形部の弾性変形によって移動ブロック213が微小変位する際に、支持片215を弾性変形させるようにしている。このような構成にした場合には、変位量微調整装置としての背が高くなってしまい、結局、装置の小型化を図る上で大きな障害になっていた。
又、請求項2による変位量微調整装置は、請求項1記載の変位量微調整装置において、上記一対の弾性部材は上記弾性体からなる4個の支持片によって囲まれた空間内に配置されていることを特徴とするものである。
その際、上記一対の弾性部材は上記弾性体からなる4個の複数個の支持片によって囲まれた空間内に配置することが考えられ、それによって、弾性体からなる複数個の支持片によって囲まれた空間内を有効利用することが可能になり、それによっても、装置の小型化を効果的に図ることができるものである。
又、一対の弾性部材等が弾性体からなる4個の支持片によって囲われた空間内の中央部に位置するような構成とした場合には、平面的にその構成をみた場合においても、スペースの有効利用ひいては装置の小型化を図ることができるものである。又、移動部の移動幅を規制してその精度を高めることができる。
図1は本実施の形態による変位量微調整装置の全体構成を示す平面図であり、図2(a)は要部の構成においてカバーを取り外して内部の構成を示す平面図であり、図2(b)は同上の正面図である。又、図3(a)は図2(a)のa部を拡大して示す図、図3(b)は図2(a)のb部を拡大して示す図である。
尚、図2(a)においては上半分は変位前(移動部1が図中右側に復帰した状態)の状態を示すと共に下半分は変位後(移動部1が図中左側に前進した状態)を示している。又、説明の都合上上記支持片5に厚みを持たせて表示しているが、実際には極めて薄く構成されたものである。
尚、説明の都合上上記弾性部材7、9、湾曲板11に厚みを持たせて表示しているが、実際には極めて薄く構成されたものである。
尚、この実施の形態による変位量微調整装置は、例えば、ワイヤーカット法によって加工・形成されるものである。
すなわち、移動部1の固定部3に対する微小変位を可能にしている4個の支持片5と一対の弾性部材7、9、湾曲板11等の駆動手段が同一平面上に配置される構成であるので、装置としての低背化を図ることができる。それによって、装置の小型化を効果的に図ることができるものである。
又、この第1の実施の形態の場合には、一対の弾性部材7、9、湾曲板11等が、4個の支持片5によって囲われた空間内の中央部に位置するような構成であるので、平面的にその構成をみた場合においても、スペースの有効利用ひいては装置の小型化を図ることができるものである。
又、この実施の形態の場合には、弾性部材7、9の弾性変形によって、移動部1の移動量を規制してその精度を高めることができるものである。
尚、その他の構成は前記第1の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
例えば、前記第1、第2の実施の形態の場合には、一軸タイプの変位量微調整装置に適用した例を挙げて説明したが、それに限定されるものではなく、例えば、相互に直交する二方向に変位可能な二軸タイプの変位量微調整装置に適用してもよい。
その他図示した構成はあくまで一例である。
3 固定部
5 支持片
7 弾性部材
9 弾性部材
11 湾曲板
13 駆動手段
15 摺動子
17 マイクロメータ
19 操作部
23 変位量検出センサ
Claims (2)
- 内側に空間部を備えた固定部と、
上記空間部内に配置され上記固定部に対して弾性体からなる4個の支持片を介して連設され一軸方向に移動可能に設けられた移動部と、
上記移動部の内側空間部に対向・配置された状態で設けられた一対の弾性部材と、
上記一対の弾性部材の間に連設・配置された湾曲板と、
上記固定部の一部を貫通・配置されて上記湾曲板の中央に連設され湾曲板を弾性変形させることにより上記一対の弾性部材を弾性変形させ、それによって、上記弾性体からなる4個の支持片を弾性変形させて上記移動部を上記一軸方向に沿って微小変位させる駆動手段と、を具備し、
上記弾性体からなる4個の支持片と上記一対の弾性部材と上記湾曲板と上記駆動手段は同一平面上に配置されていることを特徴とする変位量微調整装置。 - 請求項1記載の変位量微調整装置において、
上記一対の弾性部材は上記弾性体からなる4個の支持片によって囲まれた空間内に配置されていることを特徴とする変位量微調整装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003283338A JP4180464B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 変位量微調整装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071018 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110905 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120905 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130905 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |