JPH07257692A - 液体連続移送方法及びその装置 - Google Patents
液体連続移送方法及びその装置Info
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- JPH07257692A JPH07257692A JP7924894A JP7924894A JPH07257692A JP H07257692 A JPH07257692 A JP H07257692A JP 7924894 A JP7924894 A JP 7924894A JP 7924894 A JP7924894 A JP 7924894A JP H07257692 A JPH07257692 A JP H07257692A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】液の移送において常に一定の圧力や流量が得ら
れる、脈動の生じない方法及び装置を提供する。 【構成】三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器１、２、３
を設け、これらの各密閉容器１、２、３の少なくとも一
つは空又はほぼ空にしておき、他の各容器１、２に移送
する液体を入れ、これらの液体を入れた容器の少なくと
も一つは他の容器より液体の挿入量を少なくしておき、
これらの液体が入った密閉容器１、２に外部より気体を
注入し、この気体の圧力により各容器１、２から液体を
導出させて各パイプ４、５、６のまま又は一本のパイプ
７に集めて液体を目的箇所である開放容器８に移送し、
この移送する間に開放容器８から液体を上記空の密閉容
器３に注入させ、上記容器１、２の内の一つの容器２が
空又はほぼ空に成ると同時に上記気体供給バルブを切替
て当該時点で液体が入った密閉容器１、３に気体を注入
して連続的に液体を移送、循環させる。
れる、脈動の生じない方法及び装置を提供する。 【構成】三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器１、２、３
を設け、これらの各密閉容器１、２、３の少なくとも一
つは空又はほぼ空にしておき、他の各容器１、２に移送
する液体を入れ、これらの液体を入れた容器の少なくと
も一つは他の容器より液体の挿入量を少なくしておき、
これらの液体が入った密閉容器１、２に外部より気体を
注入し、この気体の圧力により各容器１、２から液体を
導出させて各パイプ４、５、６のまま又は一本のパイプ
７に集めて液体を目的箇所である開放容器８に移送し、
この移送する間に開放容器８から液体を上記空の密閉容
器３に注入させ、上記容器１、２の内の一つの容器２が
空又はほぼ空に成ると同時に上記気体供給バルブを切替
て当該時点で液体が入った密閉容器１、３に気体を注入
して連続的に液体を移送、循環させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は気体の圧力を利用して
適宜の液体を脈動なく連続的に目的箇所に移送する方法
及びその装置に関するものである。
適宜の液体を脈動なく連続的に目的箇所に移送する方法
及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来電子部品等のエッチング液等の特殊
薬液を液槽に移送するには、ゴム又は樹脂等の膜を上下
運動させてポンプ作用させるダイヤフラムポンプ等を採
用している。ダイヤフラムポンプ等は液漏れがなく、化
学薬液等に良く使用されている。そしてこの場合、液に
不純物が入らない様に移送路の途中でフィルターを設
け、濾過している場合が多い。
薬液を液槽に移送するには、ゴム又は樹脂等の膜を上下
運動させてポンプ作用させるダイヤフラムポンプ等を採
用している。ダイヤフラムポンプ等は液漏れがなく、化
学薬液等に良く使用されている。そしてこの場合、液に
不純物が入らない様に移送路の途中でフィルターを設
け、濾過している場合が多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらの
装置では、ポンプによる液の供給の際、上記膜の上下運
動によりポンプ作用をさせるため、移送される液体の流
れに脈動が生じる。従って当該液体を適宜の処理液槽に
移送する場合処理液面が変化し、そのため処理が均一に
できない等、脈動による弊害が生じる。またこの脈動に
よりフィルターにいったん引っ掛かったものが、過度の
圧力でフィルターを通過してしまうことがある。従って
不純物が液の中に混ざってしまう欠点がある。
装置では、ポンプによる液の供給の際、上記膜の上下運
動によりポンプ作用をさせるため、移送される液体の流
れに脈動が生じる。従って当該液体を適宜の処理液槽に
移送する場合処理液面が変化し、そのため処理が均一に
できない等、脈動による弊害が生じる。またこの脈動に
よりフィルターにいったん引っ掛かったものが、過度の
圧力でフィルターを通過してしまうことがある。従って
不純物が液の中に混ざってしまう欠点がある。
【０００４】この発明はこれらの点に鑑みて為されたも
ので、液の移送において常に一定の圧力や流量が得られ
る、脈動の生じない方法及び装置を提供することにより
上記課題を解決しようとするものである。
ので、液の移送において常に一定の圧力や流量が得られ
る、脈動の生じない方法及び装置を提供することにより
上記課題を解決しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで請求項１項の発明
では、三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器を設け、これ
らの各密閉容器の少なくとも一つは空又はほぼ空にして
おき、他の各容器に移送する液体を入れ、これらの液体
を入れた容器の少なくとも一つは他の容器より液体の挿
入量を少なくしておく。そしてこれらの液体が入った密
閉容器に外部より気体を注入し、この気体の圧力により
各容器から液体を導出させて各パイプのまま又は一本の
パイプに集めて液体を目的箇所に移送する。この移送す
る間に目的箇所から液体を帰還させて上記空の密閉容器
に注入させ、上記容器の一つの容器が空又はほぼ空に成
ると同時に上記気体供給バルブを切替て当該時点で液体
が入った密閉容器に気体を注入して連続的に液体を移
送、循環させる方法とした。なおここで言う液体とは、
通常液の他に、スラリー液や粘性液をも含むものであ
る。
では、三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器を設け、これ
らの各密閉容器の少なくとも一つは空又はほぼ空にして
おき、他の各容器に移送する液体を入れ、これらの液体
を入れた容器の少なくとも一つは他の容器より液体の挿
入量を少なくしておく。そしてこれらの液体が入った密
閉容器に外部より気体を注入し、この気体の圧力により
各容器から液体を導出させて各パイプのまま又は一本の
パイプに集めて液体を目的箇所に移送する。この移送す
る間に目的箇所から液体を帰還させて上記空の密閉容器
に注入させ、上記容器の一つの容器が空又はほぼ空に成
ると同時に上記気体供給バルブを切替て当該時点で液体
が入った密閉容器に気体を注入して連続的に液体を移
送、循環させる方法とした。なおここで言う液体とは、
通常液の他に、スラリー液や粘性液をも含むものであ
る。
【０００６】また請求項２項の発明では、三個以上のほ
ぼ容積の同じ密閉容器を設け、これらの各密閉容器の少
なくとも一つは空又はほぼ空にしておき、他の各容器に
移送する液体を入れ、これらの液体を入れた容器の少な
くとも一つは他の容器より液体の挿入量を少なくしてお
く。そしてこれらの液体が入った密閉容器に外部より気
体を注入し、この気体の圧力により各容器から液体を導
出させて各パイプのまま又は一本のパイプに集めて液体
を目的箇所に移送する。そしてこの移送する間に上記空
の密閉容器に液体を注入しておき、上記容器の一つの容
器が空又はほぼ空に成ると同時に上記気体供給バルブを
切替て当該時点で液体が入った密閉容器に気体を注入し
て連続的に液体を移送する方法とした。
ぼ容積の同じ密閉容器を設け、これらの各密閉容器の少
なくとも一つは空又はほぼ空にしておき、他の各容器に
移送する液体を入れ、これらの液体を入れた容器の少な
くとも一つは他の容器より液体の挿入量を少なくしてお
く。そしてこれらの液体が入った密閉容器に外部より気
体を注入し、この気体の圧力により各容器から液体を導
出させて各パイプのまま又は一本のパイプに集めて液体
を目的箇所に移送する。そしてこの移送する間に上記空
の密閉容器に液体を注入しておき、上記容器の一つの容
器が空又はほぼ空に成ると同時に上記気体供給バルブを
切替て当該時点で液体が入った密閉容器に気体を注入し
て連続的に液体を移送する方法とした。
【０００７】さらに請求項３項の発明では、移送する液
を入れる三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器を設け、こ
れらの各密閉容器に適宜の気体をパイプを介して供給す
る気体圧送装置を設け、これらの各密閉容器から導出し
た各パイプをそのまま目的箇所まで伸ばすか又はこれら
のパイプを集めて一本の主パイプに接続してこの主パイ
プを目的箇所まで伸ばして適宜のタンクに接続し、この
タンクから上記各密閉容器に帰還させるパイプを設け、
上記各パイプには夫々開閉バルブを設けたものである。
を入れる三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器を設け、こ
れらの各密閉容器に適宜の気体をパイプを介して供給す
る気体圧送装置を設け、これらの各密閉容器から導出し
た各パイプをそのまま目的箇所まで伸ばすか又はこれら
のパイプを集めて一本の主パイプに接続してこの主パイ
プを目的箇所まで伸ばして適宜のタンクに接続し、この
タンクから上記各密閉容器に帰還させるパイプを設け、
上記各パイプには夫々開閉バルブを設けたものである。
【０００８】
【作用】上記請求項１項の発明では、液体の入った密閉
容器に気体を外部より注入すると、この気体の圧力によ
り各容器から液体が導出して各パイプのまま又は一本の
パイプを通して目的箇所に移送される。この移送する間
に液体を目的箇所から帰還させて上記空の密閉容器に注
入、充満させておく。そして上記容器の一つ、即ち他の
容器より液体の挿入量を少なくした容器が空又はほぼ空
に成ると同時に上記気体供給バルブを切替るが、その際
他の密閉容器の液体は残っている。そこでこの液体の残
った密閉容器及び液体を帰還充満させた容器に気体を供
給する。この様にして順次気体の供給バルブ及び各密閉
容器の液体の導出バルブを切り替えて常に複数の密閉容
器から液体を連続して移送、循環させるものである。
容器に気体を外部より注入すると、この気体の圧力によ
り各容器から液体が導出して各パイプのまま又は一本の
パイプを通して目的箇所に移送される。この移送する間
に液体を目的箇所から帰還させて上記空の密閉容器に注
入、充満させておく。そして上記容器の一つ、即ち他の
容器より液体の挿入量を少なくした容器が空又はほぼ空
に成ると同時に上記気体供給バルブを切替るが、その際
他の密閉容器の液体は残っている。そこでこの液体の残
った密閉容器及び液体を帰還充満させた容器に気体を供
給する。この様にして順次気体の供給バルブ及び各密閉
容器の液体の導出バルブを切り替えて常に複数の密閉容
器から液体を連続して移送、循環させるものである。
【０００９】上記請求項２項の発明では、液体の入った
密閉容器に気体を外部より注入すると、この気体の圧力
により各容器から液体が導出して各パイプのまま又は一
本のパイプを通して目的箇所に移送される。この移送す
る間に上記空の密閉容器に液体を注入、充満させてお
く。そして上記容器の一つ、即ち他の容器より液体の挿
入量を少なくした容器が空又はほぼ空に成ると同時に上
記気体供給バルブを切替るが、その際他の密閉容器の液
体は残っている。そこでこの液体の残った密閉容器及び
上記移送する間に液体を充満させた容器に気体を供給す
る。この様にして順次気体の供給バルブ及び各密閉容器
の液体の導出バルブを切り替えて常に複数の密閉容器か
ら液体を連続して移送するものである。
密閉容器に気体を外部より注入すると、この気体の圧力
により各容器から液体が導出して各パイプのまま又は一
本のパイプを通して目的箇所に移送される。この移送す
る間に上記空の密閉容器に液体を注入、充満させてお
く。そして上記容器の一つ、即ち他の容器より液体の挿
入量を少なくした容器が空又はほぼ空に成ると同時に上
記気体供給バルブを切替るが、その際他の密閉容器の液
体は残っている。そこでこの液体の残った密閉容器及び
上記移送する間に液体を充満させた容器に気体を供給す
る。この様にして順次気体の供給バルブ及び各密閉容器
の液体の導出バルブを切り替えて常に複数の密閉容器か
ら液体を連続して移送するものである。
【００１０】上記請求項３項の発明では、まずこれらの
各密閉容器の少なくとも一つは空又はほぼ空にしてお
き、他の各容器に移送する液体を入れ、これらの液体を
入れた容器の少なくとも一つは他の容器より液体の挿入
量を少なくしておく。そして気体圧送装置により気体
を、液体が入った密閉容器に供給する。これにより上記
密閉容器内の気体の圧力により液体が主パイプ又は各パ
イプを通して目的箇所のタンクまで移送される。この間
に目的箇所のタンクの液体を帰還させて上記空の密閉容
器に注入し、充満させておく。そして上記容器の一つ、
即ち他の容器より液体の挿入量を少なくした容器が空又
はほぼ空に成ると同時に上記気体供給バルブを切替て当
該時点で液体が入っている密閉容器に気体を注入する。
この様にして順次気体の供給バルブ及び各密閉容器の液
体の導出バルブを切り替えて常に複数の密閉容器から連
続的に液体を移送、循環させるものである。
各密閉容器の少なくとも一つは空又はほぼ空にしてお
き、他の各容器に移送する液体を入れ、これらの液体を
入れた容器の少なくとも一つは他の容器より液体の挿入
量を少なくしておく。そして気体圧送装置により気体
を、液体が入った密閉容器に供給する。これにより上記
密閉容器内の気体の圧力により液体が主パイプ又は各パ
イプを通して目的箇所のタンクまで移送される。この間
に目的箇所のタンクの液体を帰還させて上記空の密閉容
器に注入し、充満させておく。そして上記容器の一つ、
即ち他の容器より液体の挿入量を少なくした容器が空又
はほぼ空に成ると同時に上記気体供給バルブを切替て当
該時点で液体が入っている密閉容器に気体を注入する。
この様にして順次気体の供給バルブ及び各密閉容器の液
体の導出バルブを切り替えて常に複数の密閉容器から連
続的に液体を移送、循環させるものである。
【００１１】
【実施例】以下この発明を図面を引用して詳細に説明す
る。まず図１はこの発明の第１実施例を示し、三個の相
互に容積のほぼ同じ密閉容器１、２、３を用意する。こ
れらの各密閉容器１、２、３には夫々液体の導出パイプ
４、５、６の一端が接続され、これらの各導出パイプ
４、５、６の他端は主パイプ７の一端に接続され、この
主パイプ７の他端は、液体の移送目的箇所となる開放容
器８に接続されている。この開放容器８には隣接して開
放型のサブタンク９が設けられ、開放容器８からのオー
バフローした液体がこのサブタンク９に入るようになっ
ている。そしてこのサブタンク９から上記各密閉容器
１、２、３に帰還パイプ１０、１１、１２が接続されて
いる。また上記開放容器８及びサブタンク９は上記密閉
容器１、２、３より高所に設けてある。
る。まず図１はこの発明の第１実施例を示し、三個の相
互に容積のほぼ同じ密閉容器１、２、３を用意する。こ
れらの各密閉容器１、２、３には夫々液体の導出パイプ
４、５、６の一端が接続され、これらの各導出パイプ
４、５、６の他端は主パイプ７の一端に接続され、この
主パイプ７の他端は、液体の移送目的箇所となる開放容
器８に接続されている。この開放容器８には隣接して開
放型のサブタンク９が設けられ、開放容器８からのオー
バフローした液体がこのサブタンク９に入るようになっ
ている。そしてこのサブタンク９から上記各密閉容器
１、２、３に帰還パイプ１０、１１、１２が接続されて
いる。また上記開放容器８及びサブタンク９は上記密閉
容器１、２、３より高所に設けてある。
【００１２】また別途用意したボンベ１３から上記各密
閉容器１、２、３に気体供給パイプ１４、１５、１６が
接続され、これらの各気体供給パイプ１４、１５、１６
には夫々開閉バルブ１４ａ、１５ａ、１６ａが設けられ
ている。また上記各密閉容器１、２、３には夫々排気バ
ルブ１７、１８、１９が設けられている。さらに上記各
導出パイプ４、５、６には開閉バルブ４ａ、５ａ、６ａ
が、また上記各帰還パイプ１０、１１、１２には開閉バ
ルブ１０ａ、１１ａ、１２ａが夫々設けられている。
閉容器１、２、３に気体供給パイプ１４、１５、１６が
接続され、これらの各気体供給パイプ１４、１５、１６
には夫々開閉バルブ１４ａ、１５ａ、１６ａが設けられ
ている。また上記各密閉容器１、２、３には夫々排気バ
ルブ１７、１８、１９が設けられている。さらに上記各
導出パイプ４、５、６には開閉バルブ４ａ、５ａ、６ａ
が、また上記各帰還パイプ１０、１１、１２には開閉バ
ルブ１０ａ、１１ａ、１２ａが夫々設けられている。
【００１３】この第１実施例の場合、予め密閉容器１に
は移送する液体を注入、充満させ、密閉容器２には移送
する液体を容器のほぼ半分程注入しておく。また各密閉
容器１、２の排気バルブ１７、１８及び各帰還パイプ１
０、１１の開閉バルブ１０ａ、１１ａを夫々閉じて各密
閉容器１、２を密閉状態にしておく。その際各密閉容器
１、２の導出パイプ４、５の各開閉バルブ４ａ、５ａは
開いておく。そして上記気体供給パイプ１４、１５の各
開閉バルブ１４ａ、１５ａを開くとボンベ１３からガス
が各密閉容器１、２に供給され、各密閉容器１、２内で
ガスの圧力により液体が押圧され、液体は各導出パイプ
４及び５を通り、主パイプ７に移送され、開放容器８に
注入される。図１はこの状態を示している。
は移送する液体を注入、充満させ、密閉容器２には移送
する液体を容器のほぼ半分程注入しておく。また各密閉
容器１、２の排気バルブ１７、１８及び各帰還パイプ１
０、１１の開閉バルブ１０ａ、１１ａを夫々閉じて各密
閉容器１、２を密閉状態にしておく。その際各密閉容器
１、２の導出パイプ４、５の各開閉バルブ４ａ、５ａは
開いておく。そして上記気体供給パイプ１４、１５の各
開閉バルブ１４ａ、１５ａを開くとボンベ１３からガス
が各密閉容器１、２に供給され、各密閉容器１、２内で
ガスの圧力により液体が押圧され、液体は各導出パイプ
４及び５を通り、主パイプ７に移送され、開放容器８に
注入される。図１はこの状態を示している。
【００１４】そして開放容器８の液体がいっぱいになる
とオーバーフローによりサブタンク９に流出する。そこ
でこのサブタンク９と各密閉容器１、２、３とは高低差
があるため、サブタンク９から、予め開閉バルブ１２ａ
を開けてある帰還パイプ１２を通って密閉容器３に落
下、注入させる。そして容器のほぼ半分程液体を入れて
いた密閉容器２が最初に空になる。その際始めに液体を
充満させておいた密閉容器１の液体は約半分となってお
り、一方密閉容器３はほぼ満杯となっている。そこで密
閉容器３の排気バルブ１９及び帰還パイプ１２の開閉バ
ルブ１２を閉め導出パイプ６の開閉バルブ６ａを開け、
そして開閉バルブ１５ａを閉じ、開閉バルブ１６ａを開
き、ボンベ１３のガスを密閉容器１及び３に供給する。
とオーバーフローによりサブタンク９に流出する。そこ
でこのサブタンク９と各密閉容器１、２、３とは高低差
があるため、サブタンク９から、予め開閉バルブ１２ａ
を開けてある帰還パイプ１２を通って密閉容器３に落
下、注入させる。そして容器のほぼ半分程液体を入れて
いた密閉容器２が最初に空になる。その際始めに液体を
充満させておいた密閉容器１の液体は約半分となってお
り、一方密閉容器３はほぼ満杯となっている。そこで密
閉容器３の排気バルブ１９及び帰還パイプ１２の開閉バ
ルブ１２を閉め導出パイプ６の開閉バルブ６ａを開け、
そして開閉バルブ１５ａを閉じ、開閉バルブ１６ａを開
き、ボンベ１３のガスを密閉容器１及び３に供給する。
【００１５】これにより密閉容器１及び３から液体が移
送され、開放容器８に液体が注入される。この間にサブ
タンク９から密閉容器２に液体が注入される。そして次
に密閉容器１が空になり、その際密閉容器３は液体が半
分、密閉容器２は液体が満杯となっている。そこで上述
と同様に開閉バルブを切替てボンベ１３からこれらの密
閉容器２及び３にガスを供給すると、液体が開放容器８
に注入される。そして以降順に密閉容器３、２、１が空
になり、上記の工程が繰り返され、液体は開閉容器８に
連続的に供給される。
送され、開放容器８に液体が注入される。この間にサブ
タンク９から密閉容器２に液体が注入される。そして次
に密閉容器１が空になり、その際密閉容器３は液体が半
分、密閉容器２は液体が満杯となっている。そこで上述
と同様に開閉バルブを切替てボンベ１３からこれらの密
閉容器２及び３にガスを供給すると、液体が開放容器８
に注入される。そして以降順に密閉容器３、２、１が空
になり、上記の工程が繰り返され、液体は開閉容器８に
連続的に供給される。
【００１６】次に図２はこの発明の第２実施例を示し、
主パイプ７の先端は適宜の目的箇所（図示省略）に向か
っており、各密閉容器１、２、３への液体の供給は別途
用意した開放容器２０から液供給パイプ２１、２２、２
３を介して行う。これらの各液供給パイプ２１、２２、
２３には夫々開閉バルブ２１ａ、２２ａ、２３ａが設け
られている。他の構成は上記第１実施例と同じである。
主パイプ７の先端は適宜の目的箇所（図示省略）に向か
っており、各密閉容器１、２、３への液体の供給は別途
用意した開放容器２０から液供給パイプ２１、２２、２
３を介して行う。これらの各液供給パイプ２１、２２、
２３には夫々開閉バルブ２１ａ、２２ａ、２３ａが設け
られている。他の構成は上記第１実施例と同じである。
【００１７】この第２実施例の場合、予め上記開放容器
２０から密閉容器１に移送する液体を注入、充満させ、
密閉容器２には移送する液体を容器のほぼ半分注入して
おく。また各密閉容器１、２の排気バルブ１７、１８及
び各液供給パイプ２１、２２の開閉バルブ２１ａ、２２
ａを夫々閉じて各密閉容器１、２を密閉状態にしてお
く。その際各密閉容器１、２の導出パイプ４、５の各開
閉バルブ４ａ、５ａは開いておく。そして図２に示すよ
うに上記気体供給パイプ１４、１５の各開閉バルブ１４
ａ、１５ａを開くとボンベ１３からガスが各密閉容器
１、２に供給され、各密閉容器１、２内でガスの圧力に
より液体が押圧され、液体は各導出パイプ４及び５を通
り、主パイプ７に集められて目的箇所に移送される。
２０から密閉容器１に移送する液体を注入、充満させ、
密閉容器２には移送する液体を容器のほぼ半分注入して
おく。また各密閉容器１、２の排気バルブ１７、１８及
び各液供給パイプ２１、２２の開閉バルブ２１ａ、２２
ａを夫々閉じて各密閉容器１、２を密閉状態にしてお
く。その際各密閉容器１、２の導出パイプ４、５の各開
閉バルブ４ａ、５ａは開いておく。そして図２に示すよ
うに上記気体供給パイプ１４、１５の各開閉バルブ１４
ａ、１５ａを開くとボンベ１３からガスが各密閉容器
１、２に供給され、各密閉容器１、２内でガスの圧力に
より液体が押圧され、液体は各導出パイプ４及び５を通
り、主パイプ７に集められて目的箇所に移送される。
【００１８】この間に予め開閉バルブ２３ａを開けてあ
る液供給パイプ２３を介して開放容器２０から液体を密
閉容器３に落下、注入させる。そして上記液体の移送に
より当初容器のほぼ半分程液体を入れていた密閉容器２
が最初に空になる。その際始めに液体を充満させておい
た密閉容器１の液体は約半分となっており、一方密閉容
器３はほぼ満杯となっている。そこで密閉容器３の排気
バルブ１９及び液供給パイプ２３の開閉バルブ２３ａを
閉め、導出パイプ６の開閉バルブ６ａを開け、そして開
閉バルブ１５ａを閉じ、開閉バルブ１６ａを開き、ボン
ベ１３のガスを密閉容器１及び３に供給する。
る液供給パイプ２３を介して開放容器２０から液体を密
閉容器３に落下、注入させる。そして上記液体の移送に
より当初容器のほぼ半分程液体を入れていた密閉容器２
が最初に空になる。その際始めに液体を充満させておい
た密閉容器１の液体は約半分となっており、一方密閉容
器３はほぼ満杯となっている。そこで密閉容器３の排気
バルブ１９及び液供給パイプ２３の開閉バルブ２３ａを
閉め、導出パイプ６の開閉バルブ６ａを開け、そして開
閉バルブ１５ａを閉じ、開閉バルブ１６ａを開き、ボン
ベ１３のガスを密閉容器１及び３に供給する。
【００１９】これにより密閉容器１及び３から液体が主
パイプ７を通して目的箇所に移送される。そして次に密
閉容器１が空になり、その際密閉容器３は液体が半分、
密閉容器２は液体が満杯となっている。そこで上述と同
様に開閉バルブを切替てボンベ１３からこれらの密閉容
器２及び３にガスを供給すると、液体が目的箇所に移送
される。そして以降順に密閉容器３、２、１が空にな
り、上記の工程が繰り返され、液体は連続的に移送され
る。
パイプ７を通して目的箇所に移送される。そして次に密
閉容器１が空になり、その際密閉容器３は液体が半分、
密閉容器２は液体が満杯となっている。そこで上述と同
様に開閉バルブを切替てボンベ１３からこれらの密閉容
器２及び３にガスを供給すると、液体が目的箇所に移送
される。そして以降順に密閉容器３、２、１が空にな
り、上記の工程が繰り返され、液体は連続的に移送され
る。
【００２０】また上記実施例における開閉バルブの具体
例としては、ダイヤフラム型バルブ、ベローブ型バル
ブ、ピンチコックバルブ等が挙げられる。特に移送する
液が多数の固形物が混ざったスラリー液の場合は、ダイ
ヤフラム型バルブを使用するとバルブの開閉の際も固形
物が壊れにくく、適している。またこの発明に使用する
圧力気体は、移送する液体と化学反応しないものであれ
ば適宜の気体でよい。また上記実施例ではガス又は気体
圧送装置にボンベを使用したが、これに限らず適宜の気
体圧送装置を用いることができる。なお上記実施例で
は、開放容器８、２０としたが、これらの容器は開放型
でなく、密閉型でもよい。またこれらの開放容器８、２
０を密閉容器１、２、３より高所に置き、落差を利用し
て液を各密閉容器１、２、３に供給しているが、これら
に限らず吸引ポンプを用いる等適宜の手段で供給でき
る。また上記各実施例では各導出パイプ４、５、６を一
本の主パイプ７に接続して目的箇所まで伸ばしたが、こ
れに限らず、各導出パイプ４、５、６のまま目的箇所ま
で伸ばしてもよい。
例としては、ダイヤフラム型バルブ、ベローブ型バル
ブ、ピンチコックバルブ等が挙げられる。特に移送する
液が多数の固形物が混ざったスラリー液の場合は、ダイ
ヤフラム型バルブを使用するとバルブの開閉の際も固形
物が壊れにくく、適している。またこの発明に使用する
圧力気体は、移送する液体と化学反応しないものであれ
ば適宜の気体でよい。また上記実施例ではガス又は気体
圧送装置にボンベを使用したが、これに限らず適宜の気
体圧送装置を用いることができる。なお上記実施例で
は、開放容器８、２０としたが、これらの容器は開放型
でなく、密閉型でもよい。またこれらの開放容器８、２
０を密閉容器１、２、３より高所に置き、落差を利用し
て液を各密閉容器１、２、３に供給しているが、これら
に限らず吸引ポンプを用いる等適宜の手段で供給でき
る。また上記各実施例では各導出パイプ４、５、６を一
本の主パイプ７に接続して目的箇所まで伸ばしたが、こ
れに限らず、各導出パイプ４、５、６のまま目的箇所ま
で伸ばしてもよい。
【００２１】さらに上記の各実施例では、密閉容器を三
個用意したが、これに限らず三個以上であればよく、数
が多ければ多いほど液の目的箇所への移送、供給は液を
移送する密閉容器の切替時にも流量の変化が極めて小さ
くなり、安定した移送供給が行える。またこれらの三個
以上の密閉容器の内の一つを空又はほぼ空にしておき、
他の容器に液を入れるが、これらの液を挿入した密閉容
器の内少なくとも一つの容器の挿入量と他の容器の挿入
量とに差を設けておけば良く、他の容器の液を満杯にさ
せておく必要はない。
個用意したが、これに限らず三個以上であればよく、数
が多ければ多いほど液の目的箇所への移送、供給は液を
移送する密閉容器の切替時にも流量の変化が極めて小さ
くなり、安定した移送供給が行える。またこれらの三個
以上の密閉容器の内の一つを空又はほぼ空にしておき、
他の容器に液を入れるが、これらの液を挿入した密閉容
器の内少なくとも一つの容器の挿入量と他の容器の挿入
量とに差を設けておけば良く、他の容器の液を満杯にさ
せておく必要はない。
【００２２】
【発明の効果】請求項１項及び請求項２項の発明は、気
体の圧力により液を移送するため従来のポンプ作用によ
るものと異なり、移送される液の流れに脈動が生じな
い。しかも常に複数の密閉容器から液を導出し、移送す
るため、液を導出する密閉容器の切替時にバルブの開閉
を同期させることにより流量の変化が極めて小さく、液
の流れや圧力に影響がなく、一定の流量で一定の圧力で
液を常に安定して移送、供給できる。従って当該移送路
にフィルターを設けても、いったん捕集された不純物等
が圧力変化によりフィルターを通過してしまうおそれが
ない。また移送される液がスラリー状で、固形物が壊れ
易い物でも、機械的力の加わるのはバルブの箇所だけで
あるため固形物を損傷することなく移送することができ
る。
体の圧力により液を移送するため従来のポンプ作用によ
るものと異なり、移送される液の流れに脈動が生じな
い。しかも常に複数の密閉容器から液を導出し、移送す
るため、液を導出する密閉容器の切替時にバルブの開閉
を同期させることにより流量の変化が極めて小さく、液
の流れや圧力に影響がなく、一定の流量で一定の圧力で
液を常に安定して移送、供給できる。従って当該移送路
にフィルターを設けても、いったん捕集された不純物等
が圧力変化によりフィルターを通過してしまうおそれが
ない。また移送される液がスラリー状で、固形物が壊れ
易い物でも、機械的力の加わるのはバルブの箇所だけで
あるため固形物を損傷することなく移送することができ
る。
【００２３】またこれらの発明は、脈動がないため装置
内での液の流れ方を一定に保つことができる。従って被
処理物の装置内での反応等をバッチ式で行っても反応条
件を一定にし易いので各被処理物間のバラツキを最小限
に抑えることができる。
内での液の流れ方を一定に保つことができる。従って被
処理物の装置内での反応等をバッチ式で行っても反応条
件を一定にし易いので各被処理物間のバラツキを最小限
に抑えることができる。
【００２４】請求項３項の発明は、気体の圧力により液
を移送するため従来のポンプ作用によるものと異なり、
移送される液の流れに脈動が生じない。しかも常に複数
の密閉容器から液を導出し、移送するため、液を導出す
る密閉容器の切替時にも流量の変化が極めて小さく、液
の流れや圧力に影響がなく、一定の流量で一定の圧力で
液を常に安定して移送、供給できる。また一般的に機械
的駆動源を用いると、故障の頻度が高いが、この装置で
は気体の圧力で液を直接圧送しているため、装置の構成
が簡素で、それだけ故障が少ない。また液接面を同一の
材質のもので使用でき、移送する液の品質を液接面で変
えてしまう、といったおそれがない。
を移送するため従来のポンプ作用によるものと異なり、
移送される液の流れに脈動が生じない。しかも常に複数
の密閉容器から液を導出し、移送するため、液を導出す
る密閉容器の切替時にも流量の変化が極めて小さく、液
の流れや圧力に影響がなく、一定の流量で一定の圧力で
液を常に安定して移送、供給できる。また一般的に機械
的駆動源を用いると、故障の頻度が高いが、この装置で
は気体の圧力で液を直接圧送しているため、装置の構成
が簡素で、それだけ故障が少ない。また液接面を同一の
材質のもので使用でき、移送する液の品質を液接面で変
えてしまう、といったおそれがない。
【図１】この発明の第１実施例の装置及び方法を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】この発明の第２実施例の装置及び方法を示す概
略構成図である。
略構成図である。
１ 密閉容器 ２ 密閉容器 ３ 密閉容器 ４ 導出パイプ ５ 導出パイプ ６ 導出パイプ ７ 主パイプ ８ 開放容器 ９ サブタンク １０ 帰還パイプ １１ 帰還パイプ １２ 帰還パイプ １３ ボンベ １４ 気体供給パイ
プ １５ 気体供給パイプ １６ 気体供給パイ
プ
プ １５ 気体供給パイプ １６ 気体供給パイ
プ
Claims (3)
- 【請求項１】 三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器を設
け、これらの各密閉容器の少なくとも一つは空又はほぼ
空にしておき、他の各容器に移送する液体を入れ、これ
らの液体を入れた容器の少なくとも一つは他の容器より
液体の挿入量を少なくしておき、これらの液体が入った
密閉容器に外部より気体を注入し、この気体の圧力によ
り各容器から液体を導出させて各パイプのまま又は一本
のパイプに集めて液体を目的箇所に移送し、この移送す
る間に目的箇所から液体を帰還させて上記空の密閉容器
に注入させ、上記容器の一つの容器が空又はほぼ空に成
ると同時に上記気体供給バルブを切替て当該時点で液体
が入った密閉容器に気体を注入して連続的に液体を移
送、循環させることを特徴とする、液体連続移送方法。 - 【請求項２】 三個以上のほぼ容積の同じ密閉容器を設
け、これらの各密閉容器の少なくとも一つは空又はほぼ
空にしておき、他の各容器に移送する液体を入れ、これ
らの液体を入れた容器の少なくとも一つは他の容器より
液体の挿入量を少なくしておき、これらの液体が入った
密閉容器に外部より気体を注入し、この気体の圧力によ
り各容器から液体を導出させて各パイプのまま又は一本
のパイプに集めて液体を目的箇所に移送し、この移送す
る間に上記空の密閉容器に液体を注入しておき、上記容
器の一つの容器が空又はほぼ空に成ると同時に上記気体
供給バルブを切替て当該時点で液体が入った密閉容器に
気体を注入して連続的に液体を移送することを特徴とす
る、液体連続移送方法。 - 【請求項３】 移送する液を入れる三個以上のほぼ容積
の同じ密閉容器を設け、これらの各密閉容器に適宜の気
体をパイプを介して供給する気体圧送装置を設け、これ
らの各密閉容器から導出した各パイプをそのまま目的箇
所まで伸ばすか又はこれらのパイプを集めて一本の主パ
イプに接続してこの主パイプを目的箇所まで伸ばして適
宜のタンクに接続し、このタンクから上記各密閉容器に
帰還させるパイプを設け、上記各パイプには夫々開閉バ
ルブを設けたことを特徴とする、液体連続移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7924894A JPH07257692A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 液体連続移送方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7924894A JPH07257692A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 液体連続移送方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07257692A true JPH07257692A (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13684565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7924894A Pending JPH07257692A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 液体連続移送方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07257692A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108117033A (zh) * | 2017-11-04 | 2018-06-05 | 程晋军 | 一种用于催化剂浆料输送换向装置 |
| WO2018110649A1 (ja) * | 2016-12-15 | 2018-06-21 | 株式会社堀場エステック | 液体材料供給装置、液体材料供給方法、液体供給管のパージ方法、及び、材料ガス供給システム |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP7924894A patent/JPH07257692A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018110649A1 (ja) * | 2016-12-15 | 2018-06-21 | 株式会社堀場エステック | 液体材料供給装置、液体材料供給方法、液体供給管のパージ方法、及び、材料ガス供給システム |
| JPWO2018110649A1 (ja) * | 2016-12-15 | 2019-10-24 | 株式会社堀場エステック | 液体材料供給装置、液体材料供給方法、液体供給管のパージ方法、及び、材料ガス供給システム |
| CN108117033A (zh) * | 2017-11-04 | 2018-06-05 | 程晋军 | 一种用于催化剂浆料输送换向装置 |
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