JPH0725463A - 粉体移送プロセス装置の制御装置 - Google Patents
粉体移送プロセス装置の制御装置Info
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- JPH0725463A JPH0725463A JP16767593A JP16767593A JPH0725463A JP H0725463 A JPH0725463 A JP H0725463A JP 16767593 A JP16767593 A JP 16767593A JP 16767593 A JP16767593 A JP 16767593A JP H0725463 A JPH0725463 A JP H0725463A
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- gas
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス抜き時の破損を防止する。
【構成】 リアクター１からガスフィルター２に、粉体
またはミストをガスと共に搬送する配管６には、バルブ
Ｃｖ値がＣｖ1 ，Ｃｖ2 ，Ｃｖ3 となっている遮断弁
３，４，５を並列設置する。圧力計８で検出した圧力を
増幅器１１で増幅して設定流入流量ＦMAX が得られ、圧
力計８，９の信号を関数発生器１０で処理して流入流量
Ｆが得られ、除算器４にてＦMAX をＦで除算してバルブ
Ｃｖ設定値ＣｖMAX を求める。ＣｖMAX とＣｖ1 ，Ｃｖ
2 ，Ｃｖ3 を比較器１３，１４，１５で比較し、論理積
回路１６，１７，１８を介して遮断弁３，４，５の開閉
制御をする。
またはミストをガスと共に搬送する配管６には、バルブ
Ｃｖ値がＣｖ1 ，Ｃｖ2 ，Ｃｖ3 となっている遮断弁
３，４，５を並列設置する。圧力計８で検出した圧力を
増幅器１１で増幅して設定流入流量ＦMAX が得られ、圧
力計８，９の信号を関数発生器１０で処理して流入流量
Ｆが得られ、除算器４にてＦMAX をＦで除算してバルブ
Ｃｖ設定値ＣｖMAX を求める。ＣｖMAX とＣｖ1 ，Ｃｖ
2 ，Ｃｖ3 を比較器１３，１４，１５で比較し、論理積
回路１６，１７，１８を介して遮断弁３，４，５の開閉
制御をする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粉体移送プロセス装置
の制御装置に関し、ガス抜き時の装置の破損を防止する
ようにしたものである。
の制御装置に関し、ガス抜き時の装置の破損を防止する
ようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の粉体移送プロセス装置を、図２を
基に説明する。リアクター１には粉体またはミストがガ
スとともに充填されている。ガスフィルター２は、リア
クター１からガスを抜き出すときに、ガスと同伴して搬
送される粉体またはミストを除去するものである。リア
クター１とガスフィルター２は配管６により連結され、
配管６には流量調節弁２３及び流量計２５が備えられて
いる。流量計２５で検出した信号は流量調節計２４に送
られる。ガスフィルター２を通過してきたガスは配管７
を通して排出されるようになっている。
基に説明する。リアクター１には粉体またはミストがガ
スとともに充填されている。ガスフィルター２は、リア
クター１からガスを抜き出すときに、ガスと同伴して搬
送される粉体またはミストを除去するものである。リア
クター１とガスフィルター２は配管６により連結され、
配管６には流量調節弁２３及び流量計２５が備えられて
いる。流量計２５で検出した信号は流量調節計２４に送
られる。ガスフィルター２を通過してきたガスは配管７
を通して排出されるようになっている。
【０００３】リアクター１からガスを抜くときには、流
量調節計２４は、流量計２５で検出した流量を基に、ガ
スフィルター２に流入するガス流量が一定となるよう
に、流量調節弁２３の開度を調整していた。
量調節計２４は、流量計２５で検出した流量を基に、ガ
スフィルター２に流入するガス流量が一定となるよう
に、流量調節弁２３の開度を調整していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記従来技術
では、ガスフィルター２への流入流量を一定に保つだけ
であるため、ガスフィルターの圧力が大きく変動する場
合には、ガスフィルター２内の許容通過速度を越えてし
まい、ガスフィルター２内に備えた濾布の破損を招く恐
れがあるという問題点があった。
では、ガスフィルター２への流入流量を一定に保つだけ
であるため、ガスフィルターの圧力が大きく変動する場
合には、ガスフィルター２内の許容通過速度を越えてし
まい、ガスフィルター２内に備えた濾布の破損を招く恐
れがあるという問題点があった。
【０００５】本発明は、上記従来技術に鑑み、ガスフィ
ルターの圧力が大きく変動してもガスフィルターの濾布
の破損を招くことなく安全に粉体移送プロセス装置を作
動させる制御装置を提供することを目的とする。
ルターの圧力が大きく変動してもガスフィルターの濾布
の破損を招くことなく安全に粉体移送プロセス装置を作
動させる制御装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、バルブ開閉によるバッチ処理により移送さ
れた粉体またはミストが、ガスと共に充填されているリ
アクターと、前記リアクターからガスを抜き出す時にガ
スに同伴して搬送される粉体またはミストを除去するガ
スフィルターを備えた粉体移送プロセス装置において、
リアクター圧力を検出するリアクター圧力計と、ガスフ
ィルター圧力を検出するガスフィルター圧力計と、前記
２つの圧力計の出力信号を入力としてガスフィルタ流入
流量を出力する関数発生器と、前記ガスフィルター圧力
計の出力信号を増幅してガスフィルター設定流入流量を
示す信号を出力する増幅器と、前記増幅器の出力信号を
前記関数発生器の出力信号で割り算してバルブ流量係数
の設定値を出力する除算器と、前記除算器の出力信号を
入力信号とする複数個の比較器と、前記比較器からの出
力信号と粉体移送開始信号を入力信号とする複数個の論
理積回路と、前記リアクターと前記ガスフィルターとを
結ぶ流路に並列に設けられると共にバルブ流量係数の値
が互いに異なっており前記論理回路からの出力信号をＯ
Ｎ／ＯＦＦ開度信号とする複数個の遮断弁と、を具備し
てなることを特徴とする。
明の構成は、バルブ開閉によるバッチ処理により移送さ
れた粉体またはミストが、ガスと共に充填されているリ
アクターと、前記リアクターからガスを抜き出す時にガ
スに同伴して搬送される粉体またはミストを除去するガ
スフィルターを備えた粉体移送プロセス装置において、
リアクター圧力を検出するリアクター圧力計と、ガスフ
ィルター圧力を検出するガスフィルター圧力計と、前記
２つの圧力計の出力信号を入力としてガスフィルタ流入
流量を出力する関数発生器と、前記ガスフィルター圧力
計の出力信号を増幅してガスフィルター設定流入流量を
示す信号を出力する増幅器と、前記増幅器の出力信号を
前記関数発生器の出力信号で割り算してバルブ流量係数
の設定値を出力する除算器と、前記除算器の出力信号を
入力信号とする複数個の比較器と、前記比較器からの出
力信号と粉体移送開始信号を入力信号とする複数個の論
理積回路と、前記リアクターと前記ガスフィルターとを
結ぶ流路に並列に設けられると共にバルブ流量係数の値
が互いに異なっており前記論理回路からの出力信号をＯ
Ｎ／ＯＦＦ開度信号とする複数個の遮断弁と、を具備し
てなることを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明は上記のように構成されるので次の作用
を有する。すなわち、ガスフィルターに付設されたガス
フィルター圧力計の出力信号に応じ増幅器にてガスフィ
ルター濾布許容通過速度を越えないような適正なガスフ
ィルター設定流入流量が求められる。ガスフィルター圧
力計の出力とリアクター圧力計の出力を入力とした関数
発生器からの出力信号で、前記増幅器出力信号を割り算
する除算器によりガスフィルター流入流量に対応したバ
ルブ流量係数の設定値が求められる。バルブ流量係数の
設定値に対応して比較器，論理積回路で算出された出力
信号が遮断弁のＯＮ／ＯＦＦ信号となる。ガスフィルタ
ー圧力変動に伴って、ガスフィルター濾布許容通過速度
以内に抑えるべくバルブ流量係数の設定値が変化するた
め、リアクターからの過剰な流入流量によるガスフィル
ター濾布の破損を生じるという事態を起こさない。
を有する。すなわち、ガスフィルターに付設されたガス
フィルター圧力計の出力信号に応じ増幅器にてガスフィ
ルター濾布許容通過速度を越えないような適正なガスフ
ィルター設定流入流量が求められる。ガスフィルター圧
力計の出力とリアクター圧力計の出力を入力とした関数
発生器からの出力信号で、前記増幅器出力信号を割り算
する除算器によりガスフィルター流入流量に対応したバ
ルブ流量係数の設定値が求められる。バルブ流量係数の
設定値に対応して比較器，論理積回路で算出された出力
信号が遮断弁のＯＮ／ＯＦＦ信号となる。ガスフィルタ
ー圧力変動に伴って、ガスフィルター濾布許容通過速度
以内に抑えるべくバルブ流量係数の設定値が変化するた
め、リアクターからの過剰な流入流量によるガスフィル
ター濾布の破損を生じるという事態を起こさない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明をその実施例に基づき説明す
る。なお従来技術と同一部分には同一符号を示す。図１
に示すように本発明では、従来装置の流量調整弁の替わ
りに、遮断弁３，４，５を有し、リアクター１の圧力を
検出するリアクター圧力計９と、ガスフィルター２の圧
力を検出するガスフィルター圧力計８と、関数発生器１
０、増幅器１１、除算器１２、比較器１３，１４，１５
及び論理積回路１６，１７，１８を備えている。そして
遮断弁３，４，５は並列になって配管６に設置されてお
り、これらのバルブ流量係数（Ｃｖ）の値はＣｖ1 ，Ｃ
ｖ2 ，Ｃｖ3 となっている。
る。なお従来技術と同一部分には同一符号を示す。図１
に示すように本発明では、従来装置の流量調整弁の替わ
りに、遮断弁３，４，５を有し、リアクター１の圧力を
検出するリアクター圧力計９と、ガスフィルター２の圧
力を検出するガスフィルター圧力計８と、関数発生器１
０、増幅器１１、除算器１２、比較器１３，１４，１５
及び論理積回路１６，１７，１８を備えている。そして
遮断弁３，４，５は並列になって配管６に設置されてお
り、これらのバルブ流量係数（Ｃｖ）の値はＣｖ1 ，Ｃ
ｖ2 ，Ｃｖ3 となっている。
【０００９】ガスフィルター設定流入流量とガスフィル
ター圧力の関係式は次式（１）で表される。ここでＦ
MAX は濾布通過速度を許容範囲内に抑えることができる
ガスフィルター設定流入流量である。
ター圧力の関係式は次式（１）で表される。ここでＦ
MAX は濾布通過速度を許容範囲内に抑えることができる
ガスフィルター設定流入流量である。
【００１０】
【数１】
【００１１】一方、ガスフィルター流入流量Ｆは次式
（２）で示すように、リアクター圧力Ｐ1 、ガスフィル
ター圧力Ｐ2 、バルブＣｖ値から決まる。
（２）で示すように、リアクター圧力Ｐ1 、ガスフィル
ター圧力Ｐ2 、バルブＣｖ値から決まる。
【００１２】
【数２】
【００１３】上式においてＦ＝ＦMAX とすれば、濾布通
過速度を許容範囲内に抑えることが保障できる。
過速度を許容範囲内に抑えることが保障できる。
【００１４】すなわちＦ＝ＦMAX となるようなバルブＣ
ｖ値（ＣｖMAX ＝ＦMAX ／ｆ（Ｐ1，Ｐ2 ））で制御す
る事で、濾布通過速度を許容範囲内に抑えて安定した運
転が可能となる。
ｖ値（ＣｖMAX ＝ＦMAX ／ｆ（Ｐ1，Ｐ2 ））で制御す
る事で、濾布通過速度を許容範囲内に抑えて安定した運
転が可能となる。
【００１５】上記の制御方法を次に示す。増幅器１１に
おいてガスフィルター圧力計８の出力信号を入力として
定数ｋを掛け算した結果が、ガスフィルター濾布通過速
度が一定となる設定流入流量ＦMA X となる。
おいてガスフィルター圧力計８の出力信号を入力として
定数ｋを掛け算した結果が、ガスフィルター濾布通過速
度が一定となる設定流入流量ＦMA X となる。
【００１６】次に関数発生器１０においてリアクター圧
力計９、ガスフィルター圧力計８の出力信号を入力とし
た関数ｆ（Ｐ1 ，Ｐ2 ）を求める。前記増幅器１１の出
力信号のＦMAX を、前記関数発生器１０の出力信号ｆ
（Ｐ1 ，Ｐ2 ）で割り算する除算器１２で、バルブＣｖ
の設定値ＣｖMAX を算出する。 ＣｖMAX ＝ＦMAX ／ｆ（Ｐ1 ，Ｐ2 ）
力計９、ガスフィルター圧力計８の出力信号を入力とし
た関数ｆ（Ｐ1 ，Ｐ2 ）を求める。前記増幅器１１の出
力信号のＦMAX を、前記関数発生器１０の出力信号ｆ
（Ｐ1 ，Ｐ2 ）で割り算する除算器１２で、バルブＣｖ
の設定値ＣｖMAX を算出する。 ＣｖMAX ＝ＦMAX ／ｆ（Ｐ1 ，Ｐ2 ）
【００１７】各比較器１３，１４，１５においてバルブ
Ｃｖの設定値ＣｖMAX と各遮断弁３，４，５のバルブＣ
ｖ値の大小を次に示すように比較し条件が成立すれば出
力信号＝１を発生する。 Ｃｖ1 ＜ＣｖMAX の時、比較器Ａの出
力＝１ Ｃｖ2 ＜ＣｖMAX −Ｃｖ1 の時、比較器Ｂの出
力＝１ Ｃｖ3 ＜ＣｖMAX −Ｃｖ1 −Ｃｖ2 の時、比較器Ｃの出
力＝１ ここでＣｖ1 ，Ｃｖ2 ，Ｃｖ3 は遮断弁３，４，５のバ
ルブＣｖ値である。
Ｃｖの設定値ＣｖMAX と各遮断弁３，４，５のバルブＣ
ｖ値の大小を次に示すように比較し条件が成立すれば出
力信号＝１を発生する。 Ｃｖ1 ＜ＣｖMAX の時、比較器Ａの出
力＝１ Ｃｖ2 ＜ＣｖMAX −Ｃｖ1 の時、比較器Ｂの出
力＝１ Ｃｖ3 ＜ＣｖMAX −Ｃｖ1 −Ｃｖ2 の時、比較器Ｃの出
力＝１ ここでＣｖ1 ，Ｃｖ2 ，Ｃｖ3 は遮断弁３，４，５のバ
ルブＣｖ値である。
【００１８】各比較器１３，１４，１５から出力信号と
粉体移送開始信号１９（移送開始の時、開始信号＝１）
で論理積回路１６，１７，１８において論理積をとる。
各論理積出力信号の出力信号＝１の時ＯＮ信号になり遮
断弁３，４，５は全開になる。各論理積出力信号の出力
信号＝０の時ＯＦＦ信号になり遮断弁３，４，５は全閉
となる。
粉体移送開始信号１９（移送開始の時、開始信号＝１）
で論理積回路１６，１７，１８において論理積をとる。
各論理積出力信号の出力信号＝１の時ＯＮ信号になり遮
断弁３，４，５は全開になる。各論理積出力信号の出力
信号＝０の時ＯＦＦ信号になり遮断弁３，４，５は全閉
となる。
【００１９】上記に示すようにガスフィルター２の仕様
から決まっている濾布通過許容速度ｖとガスフィルター
断面積Ａが与えられると、ガスフィルター設定流入流量
ＦMA X はガスフィルター圧力Ｐ2 に比例して求められ
る。
から決まっている濾布通過許容速度ｖとガスフィルター
断面積Ａが与えられると、ガスフィルター設定流入流量
ＦMA X はガスフィルター圧力Ｐ2 に比例して求められ
る。
【００２０】これにより圧力計８からの出力信号である
ガスフィルター圧力が時時刻々と変動するに伴って、ガ
スフィルター設定流入流量ＦMAX も時間的に変化させる
事ができる。ガスフィルター２の圧力が低いときは設定
流入流量ＦMAX は小さくなり関数発生器１０からの出力
であるｆ（Ｐ1 ，Ｐ2 ）は大きくなるため除算器１２か
ら出力されるＣｖ設定値ＣｖMAX は小さくなる。
ガスフィルター圧力が時時刻々と変動するに伴って、ガ
スフィルター設定流入流量ＦMAX も時間的に変化させる
事ができる。ガスフィルター２の圧力が低いときは設定
流入流量ＦMAX は小さくなり関数発生器１０からの出力
であるｆ（Ｐ1 ，Ｐ2 ）は大きくなるため除算器１２か
ら出力されるＣｖ設定値ＣｖMAX は小さくなる。
【００２１】例えば、移送開始信号がＯＮで遮断弁３が
ＯＮ、遮断弁４，遮断弁５がＯＦＦの状態においてガス
フィルター圧力Ｐ2 が大きくなると、Ｃｖ設定値（Ｃｖ
MAX）が大きくなってＣｖ2 ＜ＣｖMAX −Ｃｖ1 となり
遮断弁４はＯＦＦ→ＯＮとなる。
ＯＮ、遮断弁４，遮断弁５がＯＦＦの状態においてガス
フィルター圧力Ｐ2 が大きくなると、Ｃｖ設定値（Ｃｖ
MAX）が大きくなってＣｖ2 ＜ＣｖMAX −Ｃｖ1 となり
遮断弁４はＯＦＦ→ＯＮとなる。
【００２２】このように、バルブＣｖ設定値以下で遮断
弁３，４，５のＯＮ／ＯＦＦ信号を切り替えていく事が
できるため過剰なガスフィルター流入流量になることを
防止し、濾布通過速度を許容範囲内に抑える事ができ
る。
弁３，４，５のＯＮ／ＯＦＦ信号を切り替えていく事が
できるため過剰なガスフィルター流入流量になることを
防止し、濾布通過速度を許容範囲内に抑える事ができ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、本発明の制御装置を適用
することにより、リアクター圧力の変化に応じたガスフ
ィルター圧力を設定する事で、ガスフィルター設定流入
流量とバルブ流量係数（Ｃｖ）の設定値の変化が可能と
なり、ガスフィルターの濾布通過速度を許容範囲内に抑
える事が可能となり、ガスフィルターの破損を招く恐れ
があるという問題点が解決できた。
することにより、リアクター圧力の変化に応じたガスフ
ィルター圧力を設定する事で、ガスフィルター設定流入
流量とバルブ流量係数（Ｃｖ）の設定値の変化が可能と
なり、ガスフィルターの濾布通過速度を許容範囲内に抑
える事が可能となり、ガスフィルターの破損を招く恐れ
があるという問題点が解決できた。
【図１】本発明の実施例を示す構成図である。
【図２】従来例を示す構成図である。
１ リアクター ２ ガスフィルター ３，４，５ 遮断弁 ６，７ 配管 ８ 圧力計 ９ 圧力計 １０ 関数発生器 １１ 増幅器 １２ 除算器 １３，１４，１５ 比較器 １６，１７，１８ 論理積回路
Claims (1)
- 【請求項１】 バルブ開閉によるバッチ処理により移送
された粉体またはミストが、ガスと共に充填されている
リアクターと、前記リアクターからガスを抜き出す時に
ガスに同伴して搬送される粉体またはミストを除去する
ガスフィルターを備えた粉体移送プロセス装置におい
て、 リアクター圧力を検出するリアクター圧力計と、 ガスフィルター圧力を検出するガスフィルター圧力計
と、 前記２つの圧力計の出力信号を入力としてガスフィルタ
流入流量を出力する関数発生器と、 前記ガスフィルター圧力計の出力信号を増幅してガスフ
ィルター設定流入流量を示す信号を出力する増幅器と、 前記増幅器の出力信号を前記関数発生器の出力信号で割
り算してバルブ流量係数の設定値を出力する除算器と、 前記除算器の出力信号を入力信号とする複数個の比較器
と、 前記比較器からの出力信号と粉体移送開始信号を入力信
号とする複数個の論理積回路と、 前記リアクターと前記ガスフィルターとを結ぶ流路に並
列に設けられると共にバルブ流量係数の値が互いに異な
っており前記論理回路からの出力信号をＯＮ／ＯＦＦ開
度信号とする複数個の遮断弁と、 を具備してなることを特徴とする粉体移送プロセス装置
の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16767593A JPH0725463A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 粉体移送プロセス装置の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16767593A JPH0725463A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 粉体移送プロセス装置の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0725463A true JPH0725463A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15854141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16767593A Withdrawn JPH0725463A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 粉体移送プロセス装置の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725463A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7563343B2 (en) | 2002-11-29 | 2009-07-21 | Fujitsu Microelectronics Limited | Film lamination apparatus and method and a manufacturing method of a semiconductor apparatus |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP16767593A patent/JPH0725463A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7563343B2 (en) | 2002-11-29 | 2009-07-21 | Fujitsu Microelectronics Limited | Film lamination apparatus and method and a manufacturing method of a semiconductor apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |