JPH07254145A - 記録媒体の製造方法 - Google Patents
記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH07254145A JPH07254145A JP4438394A JP4438394A JPH07254145A JP H07254145 A JPH07254145 A JP H07254145A JP 4438394 A JP4438394 A JP 4438394A JP 4438394 A JP4438394 A JP 4438394A JP H07254145 A JPH07254145 A JP H07254145A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- carbon film
- magnetic
- recording medium
- carbon
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ダイヤモンド結合の割合が多くなったカーボ
ン膜が記録膜（例えば、磁性膜、特に金属薄膜型の磁性
膜）上に設けられた記録媒体を提供することである。 【構成】 支持体上に記録膜を設ける記録膜形成工程
と、前記記録膜上にカーボン膜を成膜する成膜工程とを
具備し、このカーボン膜の成膜工程において活性エネル
ギーを照射する記録媒体の製造方法。
ン膜が記録膜（例えば、磁性膜、特に金属薄膜型の磁性
膜）上に設けられた記録媒体を提供することである。 【構成】 支持体上に記録膜を設ける記録膜形成工程
と、前記記録膜上にカーボン膜を成膜する成膜工程とを
具備し、このカーボン膜の成膜工程において活性エネル
ギーを照射する記録媒体の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特にダイヤモンド状カ
ーボン膜が表面に構成されてなる記録媒体の製造方法に
関するものである。
ーボン膜が表面に構成されてなる記録媒体の製造方法に
関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気ディスク等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性膜として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性膜として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されていることは周知の通りである。
【０００３】すなわち、無電解メッキといった湿式メッ
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性膜を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。ところで、この種の金属薄
膜型磁気記録媒体における金属磁性膜を保護する為に、
従来より各種の保護膜を表面に設けることが提案されて
いる。
キ手段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレ
ーティングといった乾式メッキ手段により磁性膜を構成
した磁気記録媒体が提案されている。そして、この種の
磁気記録媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密
度記録に適したものである。ところで、この種の金属薄
膜型磁気記録媒体における金属磁性膜を保護する為に、
従来より各種の保護膜を表面に設けることが提案されて
いる。
【０００４】例えば、ダイヤモンド状カーボン膜もこれ
らの提案の一つである。このダイヤモンド状カーボン膜
を表面に設ける手段としては各種のものが有り、その一
つとしてＣＶＤ（マイクロ波ＥＣＲプラズマＣＶＤ、あ
るいはマイクロ波ＣＶＤ）手段やスパッタ手段が有る。
すなわち、図２に示す如く、金属磁性膜が支持体上に設
けられた磁気記録媒体１を真空容器２内に配設された供
給側ロール３ａから冷却キャンローラ４を経て巻取側ロ
ール３ｂに走行させ、そしてＣＶＤ装置５を作動させ、
冷却キャンローラ４に添接されている磁気記録媒体１の
金属磁性膜に対して炭化水素ガスのプラズマを吹き付け
ると、金属磁性膜の表面にダイヤモンド状カーボン膜が
形成される。尚、図２中、６はマイクロ波電源、７はバ
イアス電源、８はガス導入管である。
らの提案の一つである。このダイヤモンド状カーボン膜
を表面に設ける手段としては各種のものが有り、その一
つとしてＣＶＤ（マイクロ波ＥＣＲプラズマＣＶＤ、あ
るいはマイクロ波ＣＶＤ）手段やスパッタ手段が有る。
すなわち、図２に示す如く、金属磁性膜が支持体上に設
けられた磁気記録媒体１を真空容器２内に配設された供
給側ロール３ａから冷却キャンローラ４を経て巻取側ロ
ール３ｂに走行させ、そしてＣＶＤ装置５を作動させ、
冷却キャンローラ４に添接されている磁気記録媒体１の
金属磁性膜に対して炭化水素ガスのプラズマを吹き付け
ると、金属磁性膜の表面にダイヤモンド状カーボン膜が
形成される。尚、図２中、６はマイクロ波電源、７はバ
イアス電源、８はガス導入管である。
【０００５】ところで、このようなＣＶＤ手段を用いて
カーボン膜を形成していると、成膜されたカーボン膜に
おけるカーボン結合には確かにダイヤモンド結合が存在
しており、ダイヤモンド状カーボンが生じていることは
間違いがない。しかしながら、各種の測定手段でカーボ
ン膜を調べていると、成膜されたカーボン膜中にはグラ
ファイト結合が存在していることも判って来た。例え
ば、ラマンスペクトルを調べてみると、図３に示される
如く、グラファイト結合は約１６００ｃｍ-1の位置に、
ダイヤモンド結合は約１３００ｃｍ-1の位置にピークが
あるのに対して、成膜されたカーボン膜のラマンスペク
トルは図４に示される如くのものであり、グラファイト
結合の方がダイヤモンド結合より多く存在している。従
って、これまでの成膜されたカーボン膜はダイヤモンド
状カーボン膜であると言うよりも、グラファイト状カー
ボン膜であると言う方が妥当なものと思われる。
カーボン膜を形成していると、成膜されたカーボン膜に
おけるカーボン結合には確かにダイヤモンド結合が存在
しており、ダイヤモンド状カーボンが生じていることは
間違いがない。しかしながら、各種の測定手段でカーボ
ン膜を調べていると、成膜されたカーボン膜中にはグラ
ファイト結合が存在していることも判って来た。例え
ば、ラマンスペクトルを調べてみると、図３に示される
如く、グラファイト結合は約１６００ｃｍ-1の位置に、
ダイヤモンド結合は約１３００ｃｍ-1の位置にピークが
あるのに対して、成膜されたカーボン膜のラマンスペク
トルは図４に示される如くのものであり、グラファイト
結合の方がダイヤモンド結合より多く存在している。従
って、これまでの成膜されたカーボン膜はダイヤモンド
状カーボン膜であると言うよりも、グラファイト状カー
ボン膜であると言う方が妥当なものと思われる。
【０００６】ところで、ダイヤモンド結合の割合が少な
いとは言え、多少なりともダイヤモンド結合があるカー
ボン膜は、磁性膜の保護層として極めて優れた機能を発
揮していた。よって、ダイヤモンド結合の割合がさらに
多くなったカーボン膜は、磁性膜の保護層として一層好
ましいものとなるであろうと予想される。
いとは言え、多少なりともダイヤモンド結合があるカー
ボン膜は、磁性膜の保護層として極めて優れた機能を発
揮していた。よって、ダイヤモンド結合の割合がさらに
多くなったカーボン膜は、磁性膜の保護層として一層好
ましいものとなるであろうと予想される。
【０００７】
【発明の開示】本発明の目的は、ダイヤモンド結合の割
合が多くなったカーボン膜が記録膜（例えば、磁性膜、
特に金属薄膜型の磁性膜）上に設けられた記録媒体を提
供することである。この本発明の目的は、支持体上に記
録膜を設ける記録膜形成工程と、前記記録膜上にカーボ
ン膜を成膜する成膜工程とを具備し、このカーボン膜の
成膜工程において活性エネルギーを照射することを特徴
とする記録媒体の製造方法によって達成される。
合が多くなったカーボン膜が記録膜（例えば、磁性膜、
特に金属薄膜型の磁性膜）上に設けられた記録媒体を提
供することである。この本発明の目的は、支持体上に記
録膜を設ける記録膜形成工程と、前記記録膜上にカーボ
ン膜を成膜する成膜工程とを具備し、このカーボン膜の
成膜工程において活性エネルギーを照射することを特徴
とする記録媒体の製造方法によって達成される。
【０００８】尚、照射される活性エネルギーとしては、
各種のものが考えられるが、代表的なものとして波長が
４〜４００ｎｍ程度の紫外線を挙げることが出来る。例
えば、記録膜上にカーボン膜を成膜するに際して、紫外
線を照射すると、成膜されたカーボン膜におけるダイヤ
モンド結合の割合は高いものとなっている。磁性膜の保
護層としてカーボン膜が好ましい特性を示すことは知ら
れている。そして、これまで各種の研究がなされて来
た。すなわち、カーボン膜におけるダイヤモンド結合の
割合を高める為、印加電圧の制御、ＲＦ電力の制御と言
った研究が行われて来たものの、これらの技術思想では
満足できないものであった。
各種のものが考えられるが、代表的なものとして波長が
４〜４００ｎｍ程度の紫外線を挙げることが出来る。例
えば、記録膜上にカーボン膜を成膜するに際して、紫外
線を照射すると、成膜されたカーボン膜におけるダイヤ
モンド結合の割合は高いものとなっている。磁性膜の保
護層としてカーボン膜が好ましい特性を示すことは知ら
れている。そして、これまで各種の研究がなされて来
た。すなわち、カーボン膜におけるダイヤモンド結合の
割合を高める為、印加電圧の制御、ＲＦ電力の制御と言
った研究が行われて来たものの、これらの技術思想では
満足できないものであった。
【０００９】ところで、これまで、カーボン膜における
ダイヤモンド結合の割合を高める為、成膜されたカーボ
ン膜に紫外線を照射し、カーボン膜中のグラファイト結
合（Ｃ＝Ｃ結合）のエネルギー凖位を高めておけば、こ
こに飛翔して来た炭素ラディカルや炭素イオンが衝突す
ると、グラファイト結合がダイヤモンド結合に変換され
るであろうと言った発想は全く考えられていなかった。
すなわち、紫外線を照射し、カーボン膜のエネルギー凖
位を高めておき、これに炭素ラディカルや炭素イオンを
衝突させれば、成膜されるカーボン膜におけるグラファ
イト結合がダイヤモンド結合に変換されるであろうとの
発想は全くなかったのである。
ダイヤモンド結合の割合を高める為、成膜されたカーボ
ン膜に紫外線を照射し、カーボン膜中のグラファイト結
合（Ｃ＝Ｃ結合）のエネルギー凖位を高めておけば、こ
こに飛翔して来た炭素ラディカルや炭素イオンが衝突す
ると、グラファイト結合がダイヤモンド結合に変換され
るであろうと言った発想は全く考えられていなかった。
すなわち、紫外線を照射し、カーボン膜のエネルギー凖
位を高めておき、これに炭素ラディカルや炭素イオンを
衝突させれば、成膜されるカーボン膜におけるグラファ
イト結合がダイヤモンド結合に変換されるであろうとの
発想は全くなかったのである。
【００１０】そして、このような発想を基に研究が押し
進められて行った結果、成膜されたカーボン膜に紫外線
を照射し、これに炭素ラディカルや炭素イオンを衝突さ
せれば、カーボン膜におけるグラファイト結合がダイヤ
モンド結合に変換され、カーボン膜におけるダイヤモン
ド結合の割合は増加し、このようにして得られた記録媒
体、特に磁気記録媒体は、表面に構成されたカーボン膜
がダイヤモンド結合の多いものとなっているから、保護
膜としての機能がより大きく発揮され、磁気ヘッドとの
摺動によっても記録膜（磁性膜）に損傷を起こし難いも
のであり、耐久性に富むものとなる。
進められて行った結果、成膜されたカーボン膜に紫外線
を照射し、これに炭素ラディカルや炭素イオンを衝突さ
せれば、カーボン膜におけるグラファイト結合がダイヤ
モンド結合に変換され、カーボン膜におけるダイヤモン
ド結合の割合は増加し、このようにして得られた記録媒
体、特に磁気記録媒体は、表面に構成されたカーボン膜
がダイヤモンド結合の多いものとなっているから、保護
膜としての機能がより大きく発揮され、磁気ヘッドとの
摺動によっても記録膜（磁性膜）に損傷を起こし難いも
のであり、耐久性に富むものとなる。
【００１１】以下、具体的な実施例を挙げて本発明を説
明する。
明する。
【００１２】
【実施例】先ず、通常の斜め蒸着装置を用いて１０μｍ
厚さのポリイミドフィルムにＣｏ粒子を堆積させ、２０
００Å厚さのＣｏ磁性膜を設けた。この後、図２に示さ
れた如くのマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に装填し、Ｃ
Ｈ 4 とＨ2 との混合ガスを用いて表面にカーボン膜を１
００Å厚さ設け、磁気記録媒体を得た。
厚さのポリイミドフィルムにＣｏ粒子を堆積させ、２０
００Å厚さのＣｏ磁性膜を設けた。この後、図２に示さ
れた如くのマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に装填し、Ｃ
Ｈ 4 とＨ2 との混合ガスを用いて表面にカーボン膜を１
００Å厚さ設け、磁気記録媒体を得た。
【００１３】尚、カーボン成膜時におけるＣＨ4 の流量
は１０ｓｃｃｍ、Ｈ2 の流量は１００ｓｃｃｍ、真空度
が３×１０-3Ｔｏｒｒ、マイクロ波出力は４００ｗであ
り、そしてカーボン成膜時に波長が５０ｎｍの紫外線を
カーボン膜に照射した。又、比較の為に、カーボン成膜
時に紫外線を照射しないものを用意した。このようにし
て得られたカーボン膜について、ＥＥＬＳスペクトルを
調べた処、これは図１に示される通りのものであった。
これによれば、本発明のようにして得られたものは、カ
ーボン膜におけるダイヤモンド結合の割合が多いものと
なっていることが判る。
は１０ｓｃｃｍ、Ｈ2 の流量は１００ｓｃｃｍ、真空度
が３×１０-3Ｔｏｒｒ、マイクロ波出力は４００ｗであ
り、そしてカーボン成膜時に波長が５０ｎｍの紫外線を
カーボン膜に照射した。又、比較の為に、カーボン成膜
時に紫外線を照射しないものを用意した。このようにし
て得られたカーボン膜について、ＥＥＬＳスペクトルを
調べた処、これは図１に示される通りのものであった。
これによれば、本発明のようにして得られたものは、カ
ーボン膜におけるダイヤモンド結合の割合が多いものと
なっていることが判る。
【００１４】因みに、上記各々の磁気記録媒体につい
て、ＣＳＳテストを行うと、比較例の磁気記録媒体は本
発明の磁気記録媒体に比べて耐久性が１／２０であっ
た。これは、本発明の磁気記録媒体は、表面のカーボン
膜におけるダイヤモンド結合の割合が多いことに寄るも
のと考えられる。
て、ＣＳＳテストを行うと、比較例の磁気記録媒体は本
発明の磁気記録媒体に比べて耐久性が１／２０であっ
た。これは、本発明の磁気記録媒体は、表面のカーボン
膜におけるダイヤモンド結合の割合が多いことに寄るも
のと考えられる。
【００１５】
【効果】本発明によれば、ダイヤモンド状カーボン薄膜
が良好に形成され、耐久性に富む記録媒体が得られる。
が良好に形成され、耐久性に富む記録媒体が得られる。
【図１】カーボン膜のＥＥＬＳスペクトル図
【図２】カーボン膜形成装置の概略図
【図３】カーボン膜のラマンスペクトル図
【図４】カーボン膜のラマンスペクトル図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 支持体上に記録膜を設ける記録膜形成工
程と、前記記録膜上にカーボン膜を成膜する成膜工程と
を具備し、このカーボン膜の成膜工程において活性エネ
ルギーを照射することを特徴とする記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4438394A JPH07254145A (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4438394A JPH07254145A (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07254145A true JPH07254145A (ja) | 1995-10-03 |
Family
ID=12689989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4438394A Pending JPH07254145A (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07254145A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017134071A (ja) * | 2017-01-24 | 2017-08-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 金属化ポリイミドフィルム基板の製造方法 |
-
1994
- 1994-03-15 JP JP4438394A patent/JPH07254145A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017134071A (ja) * | 2017-01-24 | 2017-08-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 金属化ポリイミドフィルム基板の製造方法 |
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