JPH07252502A - 軟磁性合金粉末、その製造方法および軟磁性合金圧密体 - Google Patents
軟磁性合金粉末、その製造方法および軟磁性合金圧密体Info
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- JPH07252502A JPH07252502A JP6047505A JP4750594A JPH07252502A JP H07252502 A JPH07252502 A JP H07252502A JP 6047505 A JP6047505 A JP 6047505A JP 4750594 A JP4750594 A JP 4750594A JP H07252502 A JPH07252502 A JP H07252502A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 優れた軟磁気特性と、高い飽和磁束密度を兼
ね備えた軟磁性合金粉末。 【構成】 Ｆｅと、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、
６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の金属
またはその混合物と、Ｏとからなり、前記選択された金
属の酸化物を主体とした非晶質相と、ｂｃｃＦｅの結晶
相との混相からなる。 【効果】 本発明の粉末からなる圧密体で構成される各
種の磁性部品もその磁気特性が向上されたものとなる。
ね備えた軟磁性合金粉末。 【構成】 Ｆｅと、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、
６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の金属
またはその混合物と、Ｏとからなり、前記選択された金
属の酸化物を主体とした非晶質相と、ｂｃｃＦｅの結晶
相との混相からなる。 【効果】 本発明の粉末からなる圧密体で構成される各
種の磁性部品もその磁気特性が向上されたものとなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドのコアやパ
ルスモータの磁心、チョークコイルの磁性コアなどに使
用される軟磁性合金圧密体およびその製造方法に関す
る。
ルスモータの磁心、チョークコイルの磁性コアなどに使
用される軟磁性合金圧密体およびその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器に対する小型軽量化なら
びに高性能化の要求はさらに高まっており、このような
要求を満足するために、電源トランス等のインダクター
の駆動周波数はさらに高周波化されつつある。これらの
対応として、従来の軟磁気特性に加えて、より高い固有
抵抗を有する磁性材料が必要とされている。特に、パル
スモータ、トランスやチョークコイルなどの場合、フェ
ライトなどが多用されているが、これは磁化が小さく、
小型化、高周波数化に対応するために、より磁気特性の
優れた材料が望まれている。
びに高性能化の要求はさらに高まっており、このような
要求を満足するために、電源トランス等のインダクター
の駆動周波数はさらに高周波化されつつある。これらの
対応として、従来の軟磁気特性に加えて、より高い固有
抵抗を有する磁性材料が必要とされている。特に、パル
スモータ、トランスやチョークコイルなどの場合、フェ
ライトなどが多用されているが、これは磁化が小さく、
小型化、高周波数化に対応するために、より磁気特性の
優れた材料が望まれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者等
は、Ｆｅ基結晶と、Ｈｆ若しくはＴａの非晶質が混在す
るＦｅ−Ｈｆ−Ｏ系合金もしくはＦｅ−Ｔａ−Ｏ系合金
が高い固有抵抗を有し、優れた磁気特性を有するもので
あることを見い出した。ところが、これらの軟磁性合金
はスパッタリング法により得られるもので、製造した時
は薄膜状のものであるがために、それを磁気ヘッドのコ
アやパルスモータの磁心として利用するためには、加工
が難しい問題がある。
は、Ｆｅ基結晶と、Ｈｆ若しくはＴａの非晶質が混在す
るＦｅ−Ｈｆ−Ｏ系合金もしくはＦｅ−Ｔａ−Ｏ系合金
が高い固有抵抗を有し、優れた磁気特性を有するもので
あることを見い出した。ところが、これらの軟磁性合金
はスパッタリング法により得られるもので、製造した時
は薄膜状のものであるがために、それを磁気ヘッドのコ
アやパルスモータの磁心として利用するためには、加工
が難しい問題がある。
【０００４】そこで本発明者らは、これら磁気特性に優
れた軟磁性合金について、磁気ヘッドのコアやパルスモ
ータの磁心あるいはトランスのコアなどへの適用を考慮
し、これらの軟磁気特性に優れた合金粉末を製造してか
ら加圧成形することによって所望の形状に成形する試み
を行い、本発明に到達した。
れた軟磁性合金について、磁気ヘッドのコアやパルスモ
ータの磁心あるいはトランスのコアなどへの適用を考慮
し、これらの軟磁気特性に優れた合金粉末を製造してか
ら加圧成形することによって所望の形状に成形する試み
を行い、本発明に到達した。
【０００５】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
あり、優れた軟磁気特性と高い飽和磁束密度を兼ね備え
た軟磁性合金粉末、その製造方法、およびその軟磁性合
金粉末からなるバルク状の軟磁性合金圧密体を提供する
ことを目的とする。
あり、優れた軟磁気特性と高い飽和磁束密度を兼ね備え
た軟磁性合金粉末、その製造方法、およびその軟磁性合
金粉末からなるバルク状の軟磁性合金圧密体を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の軟磁性合金粉末
は、Ｆｅと、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族
の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の金属または
その混合物と、Ｏとからなり、前記選択された金属の酸
化物を主体とした非晶質相と、ｂｃｃＦｅの結晶相との
混相からなることを特徴とするものである。
は、Ｆｅと、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族
の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の金属または
その混合物と、Ｏとからなり、前記選択された金属の酸
化物を主体とした非晶質相と、ｂｃｃＦｅの結晶相との
混相からなることを特徴とするものである。
【０００７】さらには、組成式が、ＦｅaＭbＯcで表わ
され、ここでＭが周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６
Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素またはそ
の混合物を示し、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５以
上かつ３０以下、ｃは１５以上かつ５５以下であること
を特徴とするものである。
され、ここでＭが周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６
Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素またはそ
の混合物を示し、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５以
上かつ３０以下、ｃは１５以上かつ５５以下であること
を特徴とするものである。
【０００８】中でも、ＭがＨｆであって、ａは５０以上
かつ７５以下、ｂは８以上かつ１６以下、ｃは１６以上
かつ３４以下であるものが好ましい。
かつ７５以下、ｂは８以上かつ１６以下、ｃは１６以上
かつ３４以下であるものが好ましい。
【０００９】または、ＭがＴａであって、ａは３５以上
かつ８０以下、ｂは５以上かつ２０以下、ｃは１５以上
かつ４６以下であるものが好ましい。
かつ８０以下、ｂは５以上かつ２０以下、ｃは１５以上
かつ４６以下であるものが好ましい。
【００１０】本発明の軟磁性合金粉末の製造方法は、Ｆ
ｅの粉末と、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族
の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の酸化物の粉
末を混合し、粉砕、攪拌し、組成式が次式で示される粉
末を製造することを特徴とするものである。 ＦｅaＭbＯc 但し、Ｍは周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下である。
ｅの粉末と、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族
の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の酸化物の粉
末を混合し、粉砕、攪拌し、組成式が次式で示される粉
末を製造することを特徴とするものである。 ＦｅaＭbＯc 但し、Ｍは周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下である。
【００１１】または、Ｆｅの粉末と、周期表の３Ａ族、
４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも
一種の元素の粉末を酸素ガス雰囲気中で混合し、粉砕、
攪拌し、組成式が次式で示される粉末を製造することを
特徴とする軟磁性合金粉末の製造方法。 ＦｅaＭbＯｃ 但し、Ｍは周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下である。
４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも
一種の元素の粉末を酸素ガス雰囲気中で混合し、粉砕、
攪拌し、組成式が次式で示される粉末を製造することを
特徴とする軟磁性合金粉末の製造方法。 ＦｅaＭbＯｃ 但し、Ｍは周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下である。
【００１２】この際には、攪拌に、遊星式ボールミルを
用いることが好ましい。
用いることが好ましい。
【００１３】また、Ｆｅの粉末が７０〜９５％、周期表
の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる
少なくとも一種の元素の酸化物の粉末が５〜３０％とな
るように混合することが好ましい。
の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる
少なくとも一種の元素の酸化物の粉末が５〜３０％とな
るように混合することが好ましい。
【００１４】または、Ｆｅの粉末が７０〜９５％、周期
表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれ
る少なくとも一種の元素の粉末が５〜３０％となるよう
に混合することが好ましい。
表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれ
る少なくとも一種の元素の粉末が５〜３０％となるよう
に混合することが好ましい。
【００１５】この際には、ＭがＨｆ又はＴａであるこが
より好ましい。
より好ましい。
【００１６】本発明の軟磁性合金圧密体は、組成式が、
ＦｅａＭbＯcで表わされ、ここでＭが周期表の３Ａ族、
４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも
一種の元素であり、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５
以上かつ３０以下、ｃは１５以上かつ５５以下の粉末が
加圧成形されてなるものであることを特徴とする。
ＦｅａＭbＯcで表わされ、ここでＭが周期表の３Ａ族、
４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも
一種の元素であり、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５
以上かつ３０以下、ｃは１５以上かつ５５以下の粉末が
加圧成形されてなるものであることを特徴とする。
【００１７】この際、ＭがＨｆ若しくはＴａであり、ａ
は３５以上かつ８０以下、ｂは５以上かつ２０以下、ｃ
は１５以上かつ４６以下の粉末が加圧成形されてなるも
のであることが好ましい。
は３５以上かつ８０以下、ｂは５以上かつ２０以下、ｃ
は１５以上かつ４６以下の粉末が加圧成形されてなるも
のであることが好ましい。
【００１８】
【作用】本発明での軟磁性合金粉末の組成は、ＦｅaＭb
Ｏc で表わされるものである。 本発明の軟磁性合金
において、Ｆｅは主成分であり、磁性を担う元素であ
る。高飽和磁束密度を得るためにＦｅは多いほど好まし
いが、８５原子％以上あると比抵抗が小さくなってしま
う。一方、Ｆｅが本発明の範囲未満であると比抵抗を大
きくすることはできるものの、飽和磁束密度が小さくな
ってしまう。
Ｏc で表わされるものである。 本発明の軟磁性合金
において、Ｆｅは主成分であり、磁性を担う元素であ
る。高飽和磁束密度を得るためにＦｅは多いほど好まし
いが、８５原子％以上あると比抵抗が小さくなってしま
う。一方、Ｆｅが本発明の範囲未満であると比抵抗を大
きくすることはできるものの、飽和磁束密度が小さくな
ってしまう。
【００１９】Ｍで表わされる元素は、希土類元素（すな
わち、周期表の３Ａ族に属するＳｃ，Ｙ，あるいは、Ｌ
ａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｄ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕなどのランタ
ノイド）、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｗをは
じめとする周期表の４Ａ族，５Ａ族，６Ａ族の元素から
選ばれる少なくとも一種の元素またはその混合物であ
る。このＭで表わされる元素は、軟磁気特性を得るため
に必要なものである。これらは酸素と結合し易く、結合
することで酸化物を形成する。この酸化物の含有量を調
整することによって比抵抗を高めることができる。中で
も、Ｈｆ若しくはＴａが軟磁性合金粉末として好適であ
る。また、ＭがＨｆの場合は、組成式 ＦｅaＨｆbＯc
において、５０≦ａ≦７５、８≦ｂ≦１６、１６≦ｃ
≦３４ とすることがより好ましい。また、ＭがＴａの
場合は、組成式 ＦｅaＴａbＯc において、３５≦ａ
≦８０、５≦ｂ≦２０、１５≦ｃ≦４６ とすることが
より好ましい。
わち、周期表の３Ａ族に属するＳｃ，Ｙ，あるいは、Ｌ
ａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔ
ｄ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕなどのランタ
ノイド）、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｗをは
じめとする周期表の４Ａ族，５Ａ族，６Ａ族の元素から
選ばれる少なくとも一種の元素またはその混合物であ
る。このＭで表わされる元素は、軟磁気特性を得るため
に必要なものである。これらは酸素と結合し易く、結合
することで酸化物を形成する。この酸化物の含有量を調
整することによって比抵抗を高めることができる。中で
も、Ｈｆ若しくはＴａが軟磁性合金粉末として好適であ
る。また、ＭがＨｆの場合は、組成式 ＦｅaＨｆbＯc
において、５０≦ａ≦７５、８≦ｂ≦１６、１６≦ｃ
≦３４ とすることがより好ましい。また、ＭがＴａの
場合は、組成式 ＦｅaＴａbＯc において、３５≦ａ
≦８０、５≦ｂ≦２０、１５≦ｃ≦４６ とすることが
より好ましい。
【００２０】本発明の軟磁性合金粉末は、Ｆｅの粉末
と、上記Ｍで示される金属もしくは金属酸化物の粉末を
混合し、粉砕、攪拌するメカニカルアロイング法を用い
ることで製造される。この方法によれば、極めて簡便
に、しかも一度に多量の合金粉末を製造することができ
る。本発明の軟磁性合金粉末は、プラズマ焼結、押出成
型、ホットプレス等の加工を経て、各用途に適した形状
の圧密体として使用される。
と、上記Ｍで示される金属もしくは金属酸化物の粉末を
混合し、粉砕、攪拌するメカニカルアロイング法を用い
ることで製造される。この方法によれば、極めて簡便
に、しかも一度に多量の合金粉末を製造することができ
る。本発明の軟磁性合金粉末は、プラズマ焼結、押出成
型、ホットプレス等の加工を経て、各用途に適した形状
の圧密体として使用される。
【００２１】
【実施例】本発明の軟磁性合金粉末の製造方法の一例を
以下に示す。まず、本発明での軟磁性合金粉末の組成に
なるように各原料を秤量する。この際、鉄粉は粒径が１
００μm以下、ＨｆＯ2粉末もしくはＴａ2Ｏ3粉末は粒径
が２μm以下のものが望ましい。次に、これらをステン
レス鋼（SUS304）製ポット（内容量１７０ml）中に、ポ
ットと同材質のステンレス球（直径４mm）と共に封入す
る。尚、ステンレス球は、その総体積がポットの内容積
の３０％（体積比）とした。
以下に示す。まず、本発明での軟磁性合金粉末の組成に
なるように各原料を秤量する。この際、鉄粉は粒径が１
００μm以下、ＨｆＯ2粉末もしくはＴａ2Ｏ3粉末は粒径
が２μm以下のものが望ましい。次に、これらをステン
レス鋼（SUS304）製ポット（内容量１７０ml）中に、ポ
ットと同材質のステンレス球（直径４mm）と共に封入す
る。尚、ステンレス球は、その総体積がポットの内容積
の３０％（体積比）とした。
【００２２】そして、高エネルギ型遊星式ボールミルを
用いて約１００Ｇの遠心加速度で、所定時間、粉砕、混
合する。こうして、Ｆｅ−Ｈｆ−Ｏ系合金もしくはＦｅ
−Ｔａ−Ｏ系合金を得た。尚、粉砕には遊星型ボールミ
ルの他、ロータースピードミルなどの粉砕機械を用いて
も良い。また、上記方法においては、鉄粉と、ＨｆＯ2
粉末もしくはＴａ2Ｏ3粉末の混合、粉砕をＯ2雰囲気下
で行なっているが、Ａｒガス等の不活性ガス中で行なう
ことにより、材料中の酸素量を調整することができる。
また、所定量の鉄粉と、Ｈｆ粉末もしくはＴａ粉末を混
合、粉砕することで本発明の軟磁性合金粉末を製造する
こともできる。この際には、混合、粉砕を酸素ガス雰囲
気中で行なう必要がある。酸素ガス雰囲気中で行なうこ
とにより、Ｆｅ−Ｈｆ−ＯもしくはＦｅ−Ｔａ−Ｏは酸
化物となって軟磁性合金粉末が生成される。この場合、
酸素ガスはその雰囲気中において、２０％以上あること
が必要とされる。
用いて約１００Ｇの遠心加速度で、所定時間、粉砕、混
合する。こうして、Ｆｅ−Ｈｆ−Ｏ系合金もしくはＦｅ
−Ｔａ−Ｏ系合金を得た。尚、粉砕には遊星型ボールミ
ルの他、ロータースピードミルなどの粉砕機械を用いて
も良い。また、上記方法においては、鉄粉と、ＨｆＯ2
粉末もしくはＴａ2Ｏ3粉末の混合、粉砕をＯ2雰囲気下
で行なっているが、Ａｒガス等の不活性ガス中で行なう
ことにより、材料中の酸素量を調整することができる。
また、所定量の鉄粉と、Ｈｆ粉末もしくはＴａ粉末を混
合、粉砕することで本発明の軟磁性合金粉末を製造する
こともできる。この際には、混合、粉砕を酸素ガス雰囲
気中で行なう必要がある。酸素ガス雰囲気中で行なうこ
とにより、Ｆｅ−Ｈｆ−ＯもしくはＦｅ−Ｔａ−Ｏは酸
化物となって軟磁性合金粉末が生成される。この場合、
酸素ガスはその雰囲気中において、２０％以上あること
が必要とされる。
【００２３】ＦｅとＨｆＯ2を７８：２２の配合比で混
合し、上記のようにして製造した合金粉末において、製
造した際の粉砕時間をそれぞれ、０（ｇ）、１８００
（ｆ）、３６００（ｅ）、９０００（ｄ）、１８０００
（ｃ）、２８８００（ｂ）、３６０００（ａ）秒とした
７種の合金粉末のＸ線回折試験を行なった。試験結果を
図１に示す。またＦｅ54.9Ｈｆ11Ｏ34.1の合金膜のＸ線
回折試験結果（ｈ）も同図に示した。このＦｅ54.9Ｈｆ
11Ｏ34.1の合金膜は、Ｆｅ基結晶と非晶質とが混在し、
高い飽和磁束密度Ｂｓ（１．２６（Ｔ））、低い保磁力
Ｈｃ（０．７８（Ｏｅ））、高い透磁率μ（２１９９
（１０ＭＨｚ））を有するもので、優れた軟磁気特性を
有する合金膜である。したがって、このＦｅ54.9Ｈｆ11
Ｏ34.1合金膜のＸ線回折パターンと類似したＸ線回折パ
ターンを示す合金粉末が、ｂｃｃＦｅの結晶相と、Ｈｆ
Ｏの非晶質相が生成されおり、優れた軟磁気特性を有し
た軟磁性合金粉末であるものと解される。
合し、上記のようにして製造した合金粉末において、製
造した際の粉砕時間をそれぞれ、０（ｇ）、１８００
（ｆ）、３６００（ｅ）、９０００（ｄ）、１８０００
（ｃ）、２８８００（ｂ）、３６０００（ａ）秒とした
７種の合金粉末のＸ線回折試験を行なった。試験結果を
図１に示す。またＦｅ54.9Ｈｆ11Ｏ34.1の合金膜のＸ線
回折試験結果（ｈ）も同図に示した。このＦｅ54.9Ｈｆ
11Ｏ34.1の合金膜は、Ｆｅ基結晶と非晶質とが混在し、
高い飽和磁束密度Ｂｓ（１．２６（Ｔ））、低い保磁力
Ｈｃ（０．７８（Ｏｅ））、高い透磁率μ（２１９９
（１０ＭＨｚ））を有するもので、優れた軟磁気特性を
有する合金膜である。したがって、このＦｅ54.9Ｈｆ11
Ｏ34.1合金膜のＸ線回折パターンと類似したＸ線回折パ
ターンを示す合金粉末が、ｂｃｃＦｅの結晶相と、Ｈｆ
Ｏの非晶質相が生成されおり、優れた軟磁気特性を有し
た軟磁性合金粉末であるものと解される。
【００２４】図１から、粉砕時間が１８０００秒よりも
長くなる（（ｃ），（ｂ），（ａ））と、回折線の強度
は低下するものの、ＨｆＯ2の（１１１），（２００）
面の回折線やｂｃｃＦｅに帰属する回折線が現れてい
る。さらに粉砕を行なうと、これらの回折線強度は徐々
に低下し、２８８００秒の粉砕では２θ＝４０゜付近に
非晶質状態を示すハローなピークと、Ｆｅの（１１０）
に帰属すると考えられるブロードなピークのみが観測さ
れる。このような回折パターンは、高抵抗で優れた軟磁
気特性を示すＦｅ−Ｈｆ−Ｏ膜の回折パターン（ｈ）と
同様であり、したがって、粉砕によりＦｅ−Ｈｆ−Ｏ膜
と同様な構造を有する粉末が得られたものと考えられ
る。
長くなる（（ｃ），（ｂ），（ａ））と、回折線の強度
は低下するものの、ＨｆＯ2の（１１１），（２００）
面の回折線やｂｃｃＦｅに帰属する回折線が現れてい
る。さらに粉砕を行なうと、これらの回折線強度は徐々
に低下し、２８８００秒の粉砕では２θ＝４０゜付近に
非晶質状態を示すハローなピークと、Ｆｅの（１１０）
に帰属すると考えられるブロードなピークのみが観測さ
れる。このような回折パターンは、高抵抗で優れた軟磁
気特性を示すＦｅ−Ｈｆ−Ｏ膜の回折パターン（ｈ）と
同様であり、したがって、粉砕によりＦｅ−Ｈｆ−Ｏ膜
と同様な構造を有する粉末が得られたものと考えられ
る。
【００２５】また、同様に、Ｆｅ90（Ｔａ2Ｏ5）10粉末
を粉砕した場合にも、粉砕時間の経過と共にＦｅ−Ｈｆ
−Ｏ膜と類似したＸ線回折パターンを示した。従って、
Ｆｅ90（Ｔａ2Ｏ5）10も粉砕によってＦｅ−Ｈｆ−Ｏ膜
と同様な非晶質相とｂｃｃ相との混相状態に移行するも
のと考えられる。しかしながら、粉砕時間は、７２００
０秒以下とすることが望まれる。あまり長いと、ボール
ミル等の材料が混入（例えば、Ｃｒ、Ｎｉなど）するお
それがあるからである。
を粉砕した場合にも、粉砕時間の経過と共にＦｅ−Ｈｆ
−Ｏ膜と類似したＸ線回折パターンを示した。従って、
Ｆｅ90（Ｔａ2Ｏ5）10も粉砕によってＦｅ−Ｈｆ−Ｏ膜
と同様な非晶質相とｂｃｃ相との混相状態に移行するも
のと考えられる。しかしながら、粉砕時間は、７２００
０秒以下とすることが望まれる。あまり長いと、ボール
ミル等の材料が混入（例えば、Ｃｒ、Ｎｉなど）するお
それがあるからである。
【００２６】Ｆｅ−Ｈｆ−Ｏ系合金粉末を製造するにお
いて、Ｆｅ粉末とＨｆＯ2粉末の配合比を変えて混合、
粉砕（粉砕時間は１８０００秒）し、得られた各合金粉
末のＸ線回折試験を上記同様に測定した。測定結果を図
２に示す。尚、添加したＦｅ粉末とＨｆＯ2粉末の配合
比は、表１に示す７種類とした。
いて、Ｆｅ粉末とＨｆＯ2粉末の配合比を変えて混合、
粉砕（粉砕時間は１８０００秒）し、得られた各合金粉
末のＸ線回折試験を上記同様に測定した。測定結果を図
２に示す。尚、添加したＦｅ粉末とＨｆＯ2粉末の配合
比は、表１に示す７種類とした。
【００２７】
【表１】
【００２８】図２から、Ｆｅ粉末とＨｆＯ2粉末の配合
比が、９０：１０（ｋ）又は７８：２２（ｌ）のものだ
けが、ｂｃｃＦｅの結晶と、Ａ部にＨｆＯの非晶質相を
示すＸ線回折パターンが示されている。
比が、９０：１０（ｋ）又は７８：２２（ｌ）のものだ
けが、ｂｃｃＦｅの結晶と、Ａ部にＨｆＯの非晶質相を
示すＸ線回折パターンが示されている。
【００２９】同様の測定をＦｅ−Ｔａ−Ｏ系合金粉末に
ついて行なった。尚、添加したＦｅ粉末とＴａ2Ｏ5粉末
の配合比を表２に示す。測定結果は図３に示す。
ついて行なった。尚、添加したＦｅ粉末とＴａ2Ｏ5粉末
の配合比を表２に示す。測定結果は図３に示す。
【００３０】
【表２】
【００３１】図３から、Ｆｅ粉末とＴａ2Ｏ5粉末の配合
比が、９０：１０（ｑ）又は８０：２０（ｒ）のものだ
けが、ｂｃｃＦｅの結晶と、Ｂ部にＴａ2Ｏ5の非晶質相
を示すＸ線回折パターンが示されている。
比が、９０：１０（ｑ）又は８０：２０（ｒ）のものだ
けが、ｂｃｃＦｅの結晶と、Ｂ部にＴａ2Ｏ5の非晶質相
を示すＸ線回折パターンが示されている。
【００３２】また、本実施例の合金粉末は、たとえば図
４に示すような押出装置１により押し出されて圧密体と
される。この例の押出装置１は、筒状のコンテナ２と、
コンテナ２の出口部に装着されるダイス３と、このダイ
ス３を押さえるダイス押さえ４とを備え、コンテナ２の
内部に押し棒５によりビレット６を押し込むことができ
るようになっており、これによりダイス３を介してビレ
ット６を押し出して、押出ビレット６’とすることがで
き、ビレット６に収容した粉末を押出成形できるように
なっている。前記ビレット６は、例えば図５に示すよう
に、先端を閉じた筒状のケース１０の内部にコア１１が
設けられ、ケース１０の内部に圧密しようとする粉末１
２を充填できるように構成されたもので、ケース１０の
後端部は内部キャップ１３と外部キャップ１４とにより
閉じられている。なおここで、コア１１を特に用いなく
とも成形はできるが、良好な押出成形材を得るためには
コア１１を用いた方が望ましい。
４に示すような押出装置１により押し出されて圧密体と
される。この例の押出装置１は、筒状のコンテナ２と、
コンテナ２の出口部に装着されるダイス３と、このダイ
ス３を押さえるダイス押さえ４とを備え、コンテナ２の
内部に押し棒５によりビレット６を押し込むことができ
るようになっており、これによりダイス３を介してビレ
ット６を押し出して、押出ビレット６’とすることがで
き、ビレット６に収容した粉末を押出成形できるように
なっている。前記ビレット６は、例えば図５に示すよう
に、先端を閉じた筒状のケース１０の内部にコア１１が
設けられ、ケース１０の内部に圧密しようとする粉末１
２を充填できるように構成されたもので、ケース１０の
後端部は内部キャップ１３と外部キャップ１４とにより
閉じられている。なおここで、コア１１を特に用いなく
とも成形はできるが、良好な押出成形材を得るためには
コア１１を用いた方が望ましい。
【００３３】図４に示す押出装置１を用いて押し出しを
行う場合は、コンテナ２の温度を調節して押出温度が前
記各組成の合金の結晶化温度よりも若干低い温度になる
ように設定することが好ましい。具体的には、３００〜
６００℃の範囲が好ましい。この軟化点近傍の温度で押
し出すことにより、合金粉末の押し出しを円滑に行うこ
とができる。また、押出圧力は５００〜１３００ＭＰａ
とすることが好ましい。４９５ＭＰａ未満の圧力である
と成形困難であり、また、１３００ＭＰａを超える圧力
を付加すると成型機に負担がかかりすぎるからである。
行う場合は、コンテナ２の温度を調節して押出温度が前
記各組成の合金の結晶化温度よりも若干低い温度になる
ように設定することが好ましい。具体的には、３００〜
６００℃の範囲が好ましい。この軟化点近傍の温度で押
し出すことにより、合金粉末の押し出しを円滑に行うこ
とができる。また、押出圧力は５００〜１３００ＭＰａ
とすることが好ましい。４９５ＭＰａ未満の圧力である
と成形困難であり、また、１３００ＭＰａを超える圧力
を付加すると成型機に負担がかかりすぎるからである。
【００３４】合金粉末を圧密する手段として、他に、Ｈ
ＩＰ（熱間静水圧プレス）法も考えられるが、この方法
では通常、８００℃以上の高温で処理する必要があるの
で、このような高温で前記組成の粉粒体を処理すると、
非晶質相の内部に微細結晶相が析出する場合に結晶粒径
の粗大化が生じ、磁気特性が劣化する可能性がある。従
って圧密の手段としては、押出成形の方が好ましい。
ＩＰ（熱間静水圧プレス）法も考えられるが、この方法
では通常、８００℃以上の高温で処理する必要があるの
で、このような高温で前記組成の粉粒体を処理すると、
非晶質相の内部に微細結晶相が析出する場合に結晶粒径
の粗大化が生じ、磁気特性が劣化する可能性がある。従
って圧密の手段としては、押出成形の方が好ましい。
【００３５】押出加工が終了したならば、前記ビレット
６から圧密体を取り出し、圧密体に対して熱処理を施
す。押出加工直後の圧密体は、非晶質相を主体とし、そ
の内部にｂｃｃ構造の微細な結晶相が一部析出した混相
状態になっている。
６から圧密体を取り出し、圧密体に対して熱処理を施
す。押出加工直後の圧密体は、非晶質相を主体とし、そ
の内部にｂｃｃ構造の微細な結晶相が一部析出した混相
状態になっている。
【００３６】また、本実施例の合金粉末は、例えば図９
に示すような放電プラズマ焼結装置４４により焼結さ
れ、圧密体となる。この例の放電プラズマ装置は、焼結
ダイ４６、上パンチ４８、下パンチ５０で構成される金
型が、水冷真空チャンバー５２内の上部パンチ電極５４
と下部パンチ電極５６との間に配置されており、上部パ
ンチ電極５４と下部パンチ電極５６には通電させるため
に直流パルス電源装置５８及び加圧機構装置６０が付随
している。図９に示す放電プラズマ焼結装置４４を用い
て焼結体を作製する場合には、焼結ダイ４６、上パンチ
４８、下パンチ５０で構成される金型に、本発明の粉体
材料６２を充填し、直流パルス電源装置５８により上部
パンチ電極５４と下部パンチ電極５６を通じて粉体材料
６２に直流パルス電流を通電する。これにより、粉体表
面に放電が起こる。同時に、加圧機構装置６０により上
部パンチ電極５４と下部パンチ電極５６を通じて粉体材
料６２を加圧する。通電により発生するジュール熱と加
圧による材料の塑性流動を利用して焼結を行なう。具体
的には通電電流は、粉体材料６２が３００〜６５０℃と
なる温度範囲を保てる通電量が好ましい。また加圧力
は、３５０ＭＰａ〜１０００ＭＰａとすることが好まし
い。３００ＭＰａ未満の圧力であると、成形困難であ
り、また１０００ＭＰａを超える圧力を付加すると、成
形機に負担がかかり過ぎるからである。
に示すような放電プラズマ焼結装置４４により焼結さ
れ、圧密体となる。この例の放電プラズマ装置は、焼結
ダイ４６、上パンチ４８、下パンチ５０で構成される金
型が、水冷真空チャンバー５２内の上部パンチ電極５４
と下部パンチ電極５６との間に配置されており、上部パ
ンチ電極５４と下部パンチ電極５６には通電させるため
に直流パルス電源装置５８及び加圧機構装置６０が付随
している。図９に示す放電プラズマ焼結装置４４を用い
て焼結体を作製する場合には、焼結ダイ４６、上パンチ
４８、下パンチ５０で構成される金型に、本発明の粉体
材料６２を充填し、直流パルス電源装置５８により上部
パンチ電極５４と下部パンチ電極５６を通じて粉体材料
６２に直流パルス電流を通電する。これにより、粉体表
面に放電が起こる。同時に、加圧機構装置６０により上
部パンチ電極５４と下部パンチ電極５６を通じて粉体材
料６２を加圧する。通電により発生するジュール熱と加
圧による材料の塑性流動を利用して焼結を行なう。具体
的には通電電流は、粉体材料６２が３００〜６５０℃と
なる温度範囲を保てる通電量が好ましい。また加圧力
は、３５０ＭＰａ〜１０００ＭＰａとすることが好まし
い。３００ＭＰａ未満の圧力であると、成形困難であ
り、また１０００ＭＰａを超える圧力を付加すると、成
形機に負担がかかり過ぎるからである。
【００３７】以上説明したように製造した圧密体にあっ
ては、優れた飽和磁束密度と高い透磁率を有し、保磁力
が低いものである。よってこの圧密体を磁気ヘッドのコ
アとして、あるいは、トランスのコアとして、更には、
パルスモータの磁針等のような磁気部品として広く適用
することができ、従来材に比べて優れた特性の磁気部品
を得ることができる。
ては、優れた飽和磁束密度と高い透磁率を有し、保磁力
が低いものである。よってこの圧密体を磁気ヘッドのコ
アとして、あるいは、トランスのコアとして、更には、
パルスモータの磁針等のような磁気部品として広く適用
することができ、従来材に比べて優れた特性の磁気部品
を得ることができる。
【００３８】本発明の軟磁性合金粉末を用いてチョーク
コイルを製造した一実施例を示す。チョークコイルは図
６に示されるようなもので、略コ字状の２つの軟磁性体
１６，１６を組み合わせてなる磁性コア１８と、巻線２
０が巻回されると共に、磁性コア１８に装着されたボビ
ン２２とからなる。このような磁性コア１８は、軟磁性
合金粉末に、上記したような加圧成形を行なうことで製
造され得る。この本発明の軟磁性合金粉末からなる磁性
コア１８を有するチョークコイルであれば、小型化ない
し高周波数化を図ることができる。
コイルを製造した一実施例を示す。チョークコイルは図
６に示されるようなもので、略コ字状の２つの軟磁性体
１６，１６を組み合わせてなる磁性コア１８と、巻線２
０が巻回されると共に、磁性コア１８に装着されたボビ
ン２２とからなる。このような磁性コア１８は、軟磁性
合金粉末に、上記したような加圧成形を行なうことで製
造され得る。この本発明の軟磁性合金粉末からなる磁性
コア１８を有するチョークコイルであれば、小型化ない
し高周波数化を図ることができる。
【００３９】本発明の軟磁性合金粉末を用いて可飽和リ
アクトルを製造した一実施例を示す。可飽和リアクトル
は、電子銃やクライストロンなどに高電圧矩形波パルス
を供給するパルス発生装置用の磁気スイッチを構成する
もので、概略は図７に示されるようなものである。図７
に示す可飽和リアクトル２４は、軟磁性材料からなる磁
気コア２６に主巻線２８が巻回され、主巻線２８の端部
が接続端子３０，３２に接続され、さらに磁気コア２６
にはリセット巻線３４が巻回されて概略構成されるもの
である。この可飽和リアクトル２４においても、磁性コ
ア２６を本発明の軟磁性合金粉末を圧密して成形したも
のであれば、小型化ないし高周波数化を図ることができ
る。
アクトルを製造した一実施例を示す。可飽和リアクトル
は、電子銃やクライストロンなどに高電圧矩形波パルス
を供給するパルス発生装置用の磁気スイッチを構成する
もので、概略は図７に示されるようなものである。図７
に示す可飽和リアクトル２４は、軟磁性材料からなる磁
気コア２６に主巻線２８が巻回され、主巻線２８の端部
が接続端子３０，３２に接続され、さらに磁気コア２６
にはリセット巻線３４が巻回されて概略構成されるもの
である。この可飽和リアクトル２４においても、磁性コ
ア２６を本発明の軟磁性合金粉末を圧密して成形したも
のであれば、小型化ないし高周波数化を図ることができ
る。
【００４０】次に、本発明の軟磁性合金粉末を車載用ア
ンテナに適用する一例を示す。近年の列車や自動車等の
車両においては、車外から様々な情報を送受信してい
る。例えば、列車であれば、速度制御や停止制御など、
自動車であれば、ラジオの他に現在地把握データや目的
地誘導システム等を走行中に送受信することが行なわれ
ている。これらの情報の送受信には車両にアンテナを設
けることが必要であるが、従来の車載用アンテナであっ
ては、送受信レベルが低く、その為、車載アンテナを大
型化することが行なわれていたが、これでは特に車載用
として不適当で小型化が切望されていた。本発明は、磁
気特性に優れた軟磁性合金粉末を用いて車載用アンテナ
の磁心に用いることで、送受信レベルを向上し、もって
車載用アンテナの小型化を図ることができた。即ち、図
８に示す車載用アンテナの一例においては、車載用アン
テナ３６は、本発明の軟磁性合金粉末を加圧成形してな
るバルク状のアンテナ用磁心３８に、発信器（受信器）
４０に接続されたコイル４２を巻回することで概略構成
される。
ンテナに適用する一例を示す。近年の列車や自動車等の
車両においては、車外から様々な情報を送受信してい
る。例えば、列車であれば、速度制御や停止制御など、
自動車であれば、ラジオの他に現在地把握データや目的
地誘導システム等を走行中に送受信することが行なわれ
ている。これらの情報の送受信には車両にアンテナを設
けることが必要であるが、従来の車載用アンテナであっ
ては、送受信レベルが低く、その為、車載アンテナを大
型化することが行なわれていたが、これでは特に車載用
として不適当で小型化が切望されていた。本発明は、磁
気特性に優れた軟磁性合金粉末を用いて車載用アンテナ
の磁心に用いることで、送受信レベルを向上し、もって
車載用アンテナの小型化を図ることができた。即ち、図
８に示す車載用アンテナの一例においては、車載用アン
テナ３６は、本発明の軟磁性合金粉末を加圧成形してな
るバルク状のアンテナ用磁心３８に、発信器（受信器）
４０に接続されたコイル４２を巻回することで概略構成
される。
【００４１】
【発明の効果】本発明の軟磁性合金粉末は、Ｆｅと、周
期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ば
れる少なくとも一種の元素の金属またはその混合物と、
Ｏとからなり、前記選択された金属の酸化物を主体とし
た非晶質相と、ｂｃｃＦｅの結晶相との混相からなるこ
とを特徴とするものである。
期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ば
れる少なくとも一種の元素の金属またはその混合物と、
Ｏとからなり、前記選択された金属の酸化物を主体とし
た非晶質相と、ｂｃｃＦｅの結晶相との混相からなるこ
とを特徴とするものである。
【００４２】さらには、組成式が、ＦｅaＭbＯcで表わ
され、ここでＭが周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６
Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素またはそ
の混合物を示し、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５以
上かつ３０以下、ｃは１５以上かつ５５以下のものであ
る。
され、ここでＭが周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６
Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素またはそ
の混合物を示し、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５以
上かつ３０以下、ｃは１５以上かつ５５以下のものであ
る。
【００４３】この軟磁性合金粉末は、Ｆｅの粉末と、周
期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ば
れる少なくとも一種の元素の酸化物の粉末、または、こ
れらの元素を酸素ガス雰囲気中で混合し、所定時間、粉
砕、攪拌することにより製造される。
期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ば
れる少なくとも一種の元素の酸化物の粉末、または、こ
れらの元素を酸素ガス雰囲気中で混合し、所定時間、粉
砕、攪拌することにより製造される。
【００４４】この本発明の方法により製造された軟磁性
合金粉末は、さらに加圧成形されることにより、各種の
用途に応じた形状の圧密体となる。
合金粉末は、さらに加圧成形されることにより、各種の
用途に応じた形状の圧密体となる。
【００４５】本発明の軟磁性合金粉末は、優れた軟磁気
特性を発現するもので、この粉末からなる圧密体で構成
される各種の磁性部品もその磁気特性が向上されたもの
となる。したがって、薄膜状以外の磁性部品であっても
従来にない磁気特性を発現し得るものとなる。本発明に
おいては、上記組成式において、ＭがＨｆ若しくはＴａ
であることが好ましく、このときに適用される磁性部品
の性能をより向上させることができる。
特性を発現するもので、この粉末からなる圧密体で構成
される各種の磁性部品もその磁気特性が向上されたもの
となる。したがって、薄膜状以外の磁性部品であっても
従来にない磁気特性を発現し得るものとなる。本発明に
おいては、上記組成式において、ＭがＨｆ若しくはＴａ
であることが好ましく、このときに適用される磁性部品
の性能をより向上させることができる。
【図１】各粉砕時間の合金粉末のＸ線回折試験の結果を
示す図である。
示す図である。
【図２】ＦｅとＨｆＯ2の配合比別の合金粉末のＸ線回
折試験結果を示す図である。
折試験結果を示す図である。
【図３】ＦｅとＴａ2Ｏ5の配合比別の合金粉末のＸ線回
折試験結果を示す図である。
折試験結果を示す図である。
【図４】本実施例に使用する押出装置の一例を示す断面
図である。
図である。
【図５】図４に示す押出装置に使用されるビレットの断
面図である。
面図である。
【図６】本実施例のチョークコイルの斜視図である。
【図７】本実施例の可飽和リアクトルの斜視図である。
【図８】本実施例の車載用アンテナの概略構成図であ
る。
る。
【図９】放電プラズマ焼結装置の概略構成図である。
１ 押出装置 １８ 磁性コア ２４ 可飽和リアクトル ２６ 磁気コア ３６ 車載用アンテナ ３８ アンテナ用磁心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２２Ｃ 45/02 Ａ Ｈ０１Ｆ 1/20
Claims (12)
- 【請求項１】 Ｆｅと、周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ
族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種の元素の
金属またはその混合物と、Ｏとからなり、前記選択され
た金属の酸化物を主体とした非晶質相と、ｂｃｃＦｅの
結晶相との混相からなることを特徴とする軟磁性合金粉
末。 - 【請求項２】 組成式が、ＦｅaＭbＯcで表わされ、こ
こでＭが周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元
素から選ばれる少なくとも一種の元素またはその混合物
を示し、ａは２０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３
０以下、ｃは１５以上かつ５５以下であることを特徴と
する軟磁性合金粉末。 - 【請求項３】 請求項２記載の軟磁性合金粉末におい
て、前記ＭがＨｆ、ａは５０以上かつ７５以下、ｂは８
以上かつ１６以下、ｃは１６以上かつ３４以下であるこ
とを特徴とする軟磁性合金粉末。 - 【請求項４】 請求項２記載の軟磁性合金粉末におい
て、前記ＭがＴａ、ａは３５以上かつ８０以下、ｂは５
以上かつ２０以下、ｃは１５以上かつ４６以下であるこ
とを特徴とする軟磁性合金粉末。 - 【請求項５】 Ｆｅの粉末と、周期表の３Ａ族、４Ａ
族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種
の元素の酸化物の粉末を混合し、粉砕、攪拌し、組成式
が次式で示される粉末を製造することを特徴とする軟磁
性合金粉末の製造方法。 ＦｅaＭbＯc 但し、Ｍは周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下である。 - 【請求項６】 Ｆｅの粉末と、周期表の３Ａ族、４Ａ
族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少なくとも一種
の元素の粉末を酸素ガス雰囲気中で混合し、粉砕、攪拌
し、組成式が次式で示される粉末を製造することを特徴
とする軟磁性合金粉末の製造方法。 ＦｅaＭbＯc 但し、Ｍは周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下である。 - 【請求項７】 攪拌に遊星式ボールミルを用いることを
特徴とする請求項５または６記載の軟磁性合金粉末の製
造方法。 - 【請求項８】 Ｆｅの粉末が７０〜９５％、周期表の３
Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少な
くとも一種の元素の酸化物の粉末が５〜３０％となるよ
うに混合することを特徴とする請求項５記載の軟磁性合
金粉末の製造方法。 - 【請求項９】 Ｆｅの粉末が７０〜９５％、周期表の３
Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素から選ばれる少な
くとも一種の元素の粉末が５〜３０％となるように混合
することを特徴とする請求項６記載の軟磁性合金粉末の
製造方法。 - 【請求項１０】 前記ＭがＨｆ又はＴａであることを特
徴とする請求項５または６記載の軟磁性合金粉末の製造
方法。 - 【請求項１１】 組成式が、ＦｅaＭbＯcで表わされ、
ここでＭが周期表の３Ａ族、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の
元素から選ばれる少なくとも一種の元素であり、ａは２
０以上かつ８５以下、ｂは５以上かつ３０以下、ｃは１
５以上かつ５５以下の粉末が加圧成形されてなるもので
あることを特徴とする軟磁性合金圧密体。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の軟磁性合金圧密体に
おいて、ＭがＨｆ若しくはＴａであり、ａは３５以上か
つ８０以下、ｂは５以上かつ２０以下、ｃは１５以上か
つ４６以下の粉末が加圧成形されてなるものであること
を特徴とする軟磁性合金圧密体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04750594A JP3262669B2 (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 軟磁性合金粉末、その製造方法および軟磁性合金圧密体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04750594A JP3262669B2 (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 軟磁性合金粉末、その製造方法および軟磁性合金圧密体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07252502A true JPH07252502A (ja) | 1995-10-03 |
| JP3262669B2 JP3262669B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=12776975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04750594A Expired - Fee Related JP3262669B2 (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 軟磁性合金粉末、その製造方法および軟磁性合金圧密体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3262669B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199378A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線フィルタ及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-03-17 JP JP04750594A patent/JP3262669B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007199378A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線フィルタ及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3262669B2 (ja) | 2002-03-04 |
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