JPH07248268A - Ｐｗｍセンサ - Google Patents
ＰｗｍセンサInfo
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- JPH07248268A JPH07248268A JP5056356A JP5635693A JPH07248268A JP H07248268 A JPH07248268 A JP H07248268A JP 5056356 A JP5056356 A JP 5056356A JP 5635693 A JP5635693 A JP 5635693A JP H07248268 A JPH07248268 A JP H07248268A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサ（１２）のパルス幅を変調する回路を
提供すること。 【構成】 本発明による回路は、第１，第２供給電圧端
子間でセンサを交互に結合する第１スイッチ（２２）を
含む。その回路はまた、第１スイッチがクロ−ズ状態に
あるときセンサの出力で生じる差動電圧をサンプルする
第１，第２キャパシタおよび第２，第３スイッチを含
む。
提供すること。 【構成】 本発明による回路は、第１，第２供給電圧端
子間でセンサを交互に結合する第１スイッチ（２２）を
含む。その回路はまた、第１スイッチがクロ−ズ状態に
あるときセンサの出力で生じる差動電圧をサンプルする
第１，第２キャパシタおよび第２，第３スイッチを含
む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセンサに関し、特に、低
電流のパルス幅を変調する（ｐｕｌｓｅ ｗｉｄｔｈ
ｍｏｄｕｌａｔｅｄ）圧力センサに関する。
電流のパルス幅を変調する（ｐｕｌｓｅ ｗｉｄｔｈ
ｍｏｄｕｌａｔｅｄ）圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧力センサは、センサのダイヤフラムの
対抗する側面に同時に印加される圧力間の差を測定する
技術分野でよく知られており、それぞれの出力において
差動出力電圧を提供する。一般に圧力センサは、第１，
第２供給電力端子間に結合され、圧力センサによって検
出される圧力に関連する差動出力電圧を提供する。その
ような圧力センサには、モトロ−ラ・インク製の圧力セ
ンサであるＭＰＸ２０００ファミリがある。
対抗する側面に同時に印加される圧力間の差を測定する
技術分野でよく知られており、それぞれの出力において
差動出力電圧を提供する。一般に圧力センサは、第１，
第２供給電力端子間に結合され、圧力センサによって検
出される圧力に関連する差動出力電圧を提供する。その
ような圧力センサには、モトロ−ラ・インク製の圧力セ
ンサであるＭＰＸ２０００ファミリがある。
【０００３】圧力センサ間に印加される電圧が増加する
と（第１，第２供給電力端子を介して）、圧力センサの
感度もそれに応じて増加するが、その結果電力を損失す
る。さらに、この電力損失はバッテリ製品において使用
される圧力センサに対しては許容されにくいものとな
る。
と（第１，第２供給電力端子を介して）、圧力センサの
感度もそれに応じて増加するが、その結果電力を損失す
る。さらに、この電力損失はバッテリ製品において使用
される圧力センサに対しては許容されにくいものとな
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】したがって、低圧力で
も検出可能であり、かつ電力損失の少ない改良された圧
力センサが望まれている。
も検出可能であり、かつ電力損失の少ない改良された圧
力センサが望まれている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、センサ
のパルス幅を変調する回路が提供される。そのセンサ
は、第１，第２，第３，第４端子を有し、センサの第２
端子は第１供給電圧端子に結合され、その回路は第２供
給電圧端子とセンサの第１端子との間に結合されて交互
にセンサを作動させるパルス幅変調回路，およびセンサ
の第３，第４端子に結合されてパルス幅変調回路がセン
サを作動させるときにセンサの第３，第４端子に生じる
信号レベルをサンプルするサンプル・ホ−ルド回路から
構成され、そのサンプル・ホ−ルド回路はセンサによっ
て検出された圧力に応じた作動出力信号を提供する。
のパルス幅を変調する回路が提供される。そのセンサ
は、第１，第２，第３，第４端子を有し、センサの第２
端子は第１供給電圧端子に結合され、その回路は第２供
給電圧端子とセンサの第１端子との間に結合されて交互
にセンサを作動させるパルス幅変調回路，およびセンサ
の第３，第４端子に結合されてパルス幅変調回路がセン
サを作動させるときにセンサの第３，第４端子に生じる
信号レベルをサンプルするサンプル・ホ−ルド回路から
構成され、そのサンプル・ホ−ルド回路はセンサによっ
て検出された圧力に応じた作動出力信号を提供する。
【０００６】
【実施例】図１は、センサ１２のパルス幅を変調する回
路の部分概略／ブロック図である。センサ１２は、シリ
コン圧力センサであることも可能であり、端子１４，１
６に結合する入力端子を含み、端子１６は例えばグラン
ド基準である第１供給電圧端子に結合する。センサ１２
はまた、端子１８，２０に結合する端子を含む。
路の部分概略／ブロック図である。センサ１２は、シリ
コン圧力センサであることも可能であり、端子１４，１
６に結合する入力端子を含み、端子１６は例えばグラン
ド基準である第１供給電圧端子に結合する。センサ１２
はまた、端子１８，２０に結合する端子を含む。
【０００７】スイッチ２２は、端子１４に結合する第１
端子，および電圧ポテンシャルＶ＋が印加される第２供
給電圧端子に結合する第２端子を有する。スイッチ２４
は、端子１８に結合する第１端子，および端子２５に結
合する第２端子を有し、端子２５は差動増幅器２６の第
１入力に結合する。スイッチ２８は、端子２０に結合す
る第１入力端子，および端子２９に結合する第２端子を
有し、端子２９は差動増幅器２６の第２入力に結合す
る。差動電圧は、センサ１２によって検出される圧力に
応じて端子２５，２９間に生じる。
端子，および電圧ポテンシャルＶ＋が印加される第２供
給電圧端子に結合する第２端子を有する。スイッチ２４
は、端子１８に結合する第１端子，および端子２５に結
合する第２端子を有し、端子２５は差動増幅器２６の第
１入力に結合する。スイッチ２８は、端子２０に結合す
る第１入力端子，および端子２９に結合する第２端子を
有し、端子２９は差動増幅器２６の第２入力に結合す
る。差動電圧は、センサ１２によって検出される圧力に
応じて端子２５，２９間に生じる。
【０００８】キャパシタ３０はスイッチ２４の第２端子
とグランド基準との間に結合される。同様に、キャパシ
タ３２はスイッチ２８の第２端子とグランド基準との間
に結合される。
とグランド基準との間に結合される。同様に、キャパシ
タ３２はスイッチ２８の第２端子とグランド基準との間
に結合される。
【０００９】タイミング発生器３４は、信号ＳＩＧ１，
ＳＩＧ２，ＳＩＧ３を発生する複数の出力を有し、それ
ぞれスイッチ２２，２４，２８の制御入力に印加され
る。また、差動増幅器２６の出力は端子３６に結合され
る。
ＳＩＧ２，ＳＩＧ３を発生する複数の出力を有し、それ
ぞれスイッチ２２，２４，２８の制御入力に印加され
る。また、差動増幅器２６の出力は端子３６に結合され
る。
【００１０】動作時にあっては、信号ＳＩＧ１が論理ハ
イであるときスイッチ２２がクロ−ズ（ｃｌｏｓｅ）
し、入力が電圧Ｖ＋とグランド基準との間に結合される
ことによってセンサ１２がパワ−アップ（ｐｏｗｅｒ
ｕｐ）するように、スイッチ２２はセンサ１２のパルス
幅を変調するために使用される。さらに、スイッチ２２
がクロ−ズする所定の期間の後、スイッチ２４，２８は
クロ−ズし、ＳＩＧ２，ＳＩＧ３を介して論理ハイに向
かう。スイッチ２４，２８がクロ−ズすると、キャパシ
タ３０，３２は端子１８，２０で生じる電圧をそれぞれ
チャ−ジ・アップさせ、実質的にセンサ１２の差動出力
電圧となる。言い換えれば、スイッチ２４，２８および
キャパシタ３０，３２は、センサ１２の出力で生じる差
動電圧の値をサンプルするサンプル・ホ−ルド回路を形
成するように機能し、この電圧を端子２５，２９に与え
る。
イであるときスイッチ２２がクロ−ズ（ｃｌｏｓｅ）
し、入力が電圧Ｖ＋とグランド基準との間に結合される
ことによってセンサ１２がパワ−アップ（ｐｏｗｅｒ
ｕｐ）するように、スイッチ２２はセンサ１２のパルス
幅を変調するために使用される。さらに、スイッチ２２
がクロ−ズする所定の期間の後、スイッチ２４，２８は
クロ−ズし、ＳＩＧ２，ＳＩＧ３を介して論理ハイに向
かう。スイッチ２４，２８がクロ−ズすると、キャパシ
タ３０，３２は端子１８，２０で生じる電圧をそれぞれ
チャ−ジ・アップさせ、実質的にセンサ１２の差動出力
電圧となる。言い換えれば、スイッチ２４，２８および
キャパシタ３０，３２は、センサ１２の出力で生じる差
動電圧の値をサンプルするサンプル・ホ−ルド回路を形
成するように機能し、この電圧を端子２５，２９に与え
る。
【００１１】端子２５，２９で生じる差動電圧は、それ
ぞれ差動増幅器２６の第１，第２入力となり、端子３６
で出力を提供する。差動増幅器２６は、端子２５，２９
間で生じる差動電圧を、所定の範囲内の対応する電圧に
変換するために使用される。
ぞれ差動増幅器２６の第１，第２入力となり、端子３６
で出力を提供する。差動増幅器２６は、端子２５，２９
間で生じる差動電圧を、所定の範囲内の対応する電圧に
変換するために使用される。
【００１２】スイッチ２４，２８は、論理信号ＳＩＧ
２，ＳＩＧ３を論理ロ−電圧レベルに引き出す（ｐｕｌ
ｌｉｎｇ）ことによってオ−プン（ｏｐｅｎ）する。そ
の結果所定の期間の後、スイッチ２２は論理ロ−電圧レ
ベルに引き出された信号ＳＩＧ１を介してオ−プンす
る。
２，ＳＩＧ３を論理ロ−電圧レベルに引き出す（ｐｕｌ
ｌｉｎｇ）ことによってオ−プン（ｏｐｅｎ）する。そ
の結果所定の期間の後、スイッチ２２は論理ロ−電圧レ
ベルに引き出された信号ＳＩＧ１を介してオ−プンす
る。
【００１３】論理信号ＳＩＧ１，ＳＩＧ２，ＳＩＧ３の
タイミング関係は、図２に示されている。上述したよう
に明らかに、信号ＳＩＧ２，ＳＩＧ３は、信号ＳＩＧ１
が論理ロ−から論理ハイに遷移して論理ロ−に戻る間
に、論理ロ−から論理ハイに遷移して論理ロ−に戻って
いる。このことは、スイッチ２２もクロ−ズしなければ
スイッチ２４，２８は決してクロ−ズされないことを保
証する。さらに、スイッチ２２がオ−プンであるとき、
センサ１２は電圧Ｖ＋とグランド基準との間では結合さ
れず、従って実質的に電力損失はゼロである。その結果
従来の技術に比較して実質的な電力の節約になる。さら
に、本発明は電力消費を最少にしつつ電圧Ｖ＋を増加さ
せている（センサの感度を増加させるため）。
タイミング関係は、図２に示されている。上述したよう
に明らかに、信号ＳＩＧ２，ＳＩＧ３は、信号ＳＩＧ１
が論理ロ−から論理ハイに遷移して論理ロ−に戻る間
に、論理ロ−から論理ハイに遷移して論理ロ−に戻って
いる。このことは、スイッチ２２もクロ−ズしなければ
スイッチ２４，２８は決してクロ−ズされないことを保
証する。さらに、スイッチ２２がオ−プンであるとき、
センサ１２は電圧Ｖ＋とグランド基準との間では結合さ
れず、従って実質的に電力損失はゼロである。その結果
従来の技術に比較して実質的な電力の節約になる。さら
に、本発明は電力消費を最少にしつつ電圧Ｖ＋を増加さ
せている（センサの感度を増加させるため）。
【００１４】図３は、図１に示すタイミング回路３４の
少なくとも１つの実施例を示す詳細なブロック図であ
る。タイミング回路３４は、ワン・ショット・タイマ４
２の＋Ｔ入力に結合するクロック出力を有する発振回路
４０を含む。ワン・ショット・タイマ４２の出力は信号
ＳＩＧ１を提供し、ワン・ショット・タイマ４４の＋Ｔ
入力にも結合する。ワン・ショット・タイマ４４の出力
は、ワン・ショット・タイマ４６の−Ｔ入力に結合し、
ワン・ショット・タイマ４６の出力は信号ＳＩＧ２，Ｓ
ＩＧ３を提供する。
少なくとも１つの実施例を示す詳細なブロック図であ
る。タイミング回路３４は、ワン・ショット・タイマ４
２の＋Ｔ入力に結合するクロック出力を有する発振回路
４０を含む。ワン・ショット・タイマ４２の出力は信号
ＳＩＧ１を提供し、ワン・ショット・タイマ４４の＋Ｔ
入力にも結合する。ワン・ショット・タイマ４４の出力
は、ワン・ショット・タイマ４６の−Ｔ入力に結合し、
ワン・ショット・タイマ４６の出力は信号ＳＩＧ２，Ｓ
ＩＧ３を提供する。
【００１５】発振回路４０は出力ＯＳＣＯＵＴ１および
ＯＳＣＯＵＴ２を含み、オン・チップ参照発振器（ｏｎ
−ｃｈｉｐ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｏｓｃｉｌｌａｔｏ
ｒ）を形成するために入力ＯＳＣＩＮと共に使用するこ
とが可能である。特に、出力ＯＳＣＯＵＴ１は抵抗器４
８を介して回路ノ−ド５０に結合し、出力ＯＳＣＯＵＴ
２はキャパシタ５２を介して回路ノ−ド５０に結合す
る。さらに、回路の−度５０は、抵抗器５４を介して入
力ＯＳＣＩＮに結合する。発振回路４０の出力で生じる
信号の発振周波数は、抵抗器４８およびキャパシタ５２
の値を変化させることによって調整することが可能であ
る。発振回路４０の機能を実現するためには、例えばモ
トロ−ラ製のＭＣ１４５３６がある。
ＯＳＣＯＵＴ２を含み、オン・チップ参照発振器（ｏｎ
−ｃｈｉｐ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｏｓｃｉｌｌａｔｏ
ｒ）を形成するために入力ＯＳＣＩＮと共に使用するこ
とが可能である。特に、出力ＯＳＣＯＵＴ１は抵抗器４
８を介して回路ノ−ド５０に結合し、出力ＯＳＣＯＵＴ
２はキャパシタ５２を介して回路ノ−ド５０に結合す
る。さらに、回路の−度５０は、抵抗器５４を介して入
力ＯＳＣＩＮに結合する。発振回路４０の出力で生じる
信号の発振周波数は、抵抗器４８およびキャパシタ５２
の値を変化させることによって調整することが可能であ
る。発振回路４０の機能を実現するためには、例えばモ
トロ−ラ製のＭＣ１４５３６がある。
【００１６】ワン・ショット・タイマ４２はＣX／ＲX入
力を含み、これは抵抗器５６を介して動作ポテンシャル
Ｖ＋に結合し、キャパシタ５８を介してグランドに戻さ
れる。ワン・ショット・タイマ４２の出力パルス幅は抵
抗器５６およびキャパシタ５８の値によって決定され
る。
力を含み、これは抵抗器５６を介して動作ポテンシャル
Ｖ＋に結合し、キャパシタ５８を介してグランドに戻さ
れる。ワン・ショット・タイマ４２の出力パルス幅は抵
抗器５６およびキャパシタ５８の値によって決定され
る。
【００１７】同様に、ワン・ショット・タイマ４４はＣ
X／ＲX入力を含み、これは抵抗器６０を介して動作ポテ
ンシャルＶ＋に結合し、キャパシタ６２を介してグラン
ドに戻される。ワン・ショット・タイマ４４の出力パル
ス幅は外部素子抵抗器６０およびキャパシタ６２の値に
よって決定される。
X／ＲX入力を含み、これは抵抗器６０を介して動作ポテ
ンシャルＶ＋に結合し、キャパシタ６２を介してグラン
ドに戻される。ワン・ショット・タイマ４４の出力パル
ス幅は外部素子抵抗器６０およびキャパシタ６２の値に
よって決定される。
【００１８】さらに、ワン・ショット・タイマ４６はＣ
X／ＲX入力を含み、これは抵抗器６４を介して動作ポテ
ンシャルＶ＋に結合し、キャパシタ６６を介してグラン
ドに戻される。同様にワン・ショット・タイマ４６の出
力パルス幅は外部素子抵抗器６４およびキャパシタ６６
の値によって決定される。ロ−からハイへの遷移がその
＋Ｔ入力で生じるとき、ワン・ショット・タイマ４２，
４４は、所定幅のパルス出力を提供するように機能す
る。しかし、ハイからロ−への遷移がその−Ｔ入力で生
じるとき、ワン・ショット・タイマ４６は、所定幅のパ
ルス出力を提供するように機能する。ワン・ショット・
タイマ４２，４４，４６の機能を実現するには、例えば
モトロ−ラ製のＭＣ１４５３８がある。
X／ＲX入力を含み、これは抵抗器６４を介して動作ポテ
ンシャルＶ＋に結合し、キャパシタ６６を介してグラン
ドに戻される。同様にワン・ショット・タイマ４６の出
力パルス幅は外部素子抵抗器６４およびキャパシタ６６
の値によって決定される。ロ−からハイへの遷移がその
＋Ｔ入力で生じるとき、ワン・ショット・タイマ４２，
４４は、所定幅のパルス出力を提供するように機能す
る。しかし、ハイからロ−への遷移がその−Ｔ入力で生
じるとき、ワン・ショット・タイマ４６は、所定幅のパ
ルス出力を提供するように機能する。ワン・ショット・
タイマ４２，４４，４６の機能を実現するには、例えば
モトロ−ラ製のＭＣ１４５３８がある。
【００１９】図４ないし図７は、タイマ回路３４内で生
じる種々の信号を示すタイミング図である。とくに、発
振回路４０の出力は信号ＣＬＫとして図４に示されてい
る。状態遷移７０のような立ち上がり遷移では、ワン・
ショット・タイマ４２は作動し、その出力で所定のパル
ス幅ｔW1を有するパルスを提供し、これは外部素子抵抗
器５６およびキャパシタ５８によって決定される。この
信号は図５においてＳＩＧ１として描かれている。さら
に、ロ−からハイへの状態遷移７２によって示されるＳ
ＩＧ１の立ち上がり遷移では、ワン・ショット・タイマ
４４は所定のパルス幅ｔW2を有するパルスを提供し、こ
れは外部素子抵抗器６０およびキャパシタ６２によって
決定される。タイマ４４の出力パルスは図６においてＯ
ＵＴ＿４４で示される。さらに、ハイからロ−への状態
遷移７４によって示される信号ＯＵＴ＿４４のたち下が
り遷移では、ワン・ショット・タイマ４６は図７に示す
ような所定のパルス幅ｔW3を有するパルスを提供する。
パルス幅ｔW1，ｔW2，ｔW3は、信号ＳＩＧ２，ＳＩＧ３
のパルス幅が図５，図７に示されるようなＳＩＧ１のパ
ルス幅の範囲内であるように、選ばれる。さらに、図４
ないし図７に示される波形は、ワン・ショット・タイマ
４２，４４，４６の内部遅延を無視していることに留意
されたい。
じる種々の信号を示すタイミング図である。とくに、発
振回路４０の出力は信号ＣＬＫとして図４に示されてい
る。状態遷移７０のような立ち上がり遷移では、ワン・
ショット・タイマ４２は作動し、その出力で所定のパル
ス幅ｔW1を有するパルスを提供し、これは外部素子抵抗
器５６およびキャパシタ５８によって決定される。この
信号は図５においてＳＩＧ１として描かれている。さら
に、ロ−からハイへの状態遷移７２によって示されるＳ
ＩＧ１の立ち上がり遷移では、ワン・ショット・タイマ
４４は所定のパルス幅ｔW2を有するパルスを提供し、こ
れは外部素子抵抗器６０およびキャパシタ６２によって
決定される。タイマ４４の出力パルスは図６においてＯ
ＵＴ＿４４で示される。さらに、ハイからロ−への状態
遷移７４によって示される信号ＯＵＴ＿４４のたち下が
り遷移では、ワン・ショット・タイマ４６は図７に示す
ような所定のパルス幅ｔW3を有するパルスを提供する。
パルス幅ｔW1，ｔW2，ｔW3は、信号ＳＩＧ２，ＳＩＧ３
のパルス幅が図５，図７に示されるようなＳＩＧ１のパ
ルス幅の範囲内であるように、選ばれる。さらに、図４
ないし図７に示される波形は、ワン・ショット・タイマ
４２，４４，４６の内部遅延を無視していることに留意
されたい。
【００２０】
【発明の効果】以上本発明によれば、センサのパルス幅
を変調する新規な回路が提供される。その回路は第１，
第２供給電圧端子間でセンサを交互に結合する第１スイ
ッチを含む。更にその回路は、センサが第１，第２供給
電圧端子間に結合されるように、第１スイッチがクロ−
ズ状態にあるときセンサの出力で生じる差動電圧をサン
プルする第２，第３スイッチを含む。
を変調する新規な回路が提供される。その回路は第１，
第２供給電圧端子間でセンサを交互に結合する第１スイ
ッチを含む。更にその回路は、センサが第１，第２供給
電圧端子間に結合されるように、第１スイッチがクロ−
ズ状態にあるときセンサの出力で生じる差動電圧をサン
プルする第２，第３スイッチを含む。
【００２１】本発明は特例の実施例について述べられて
きたが、当業者にとって、多くの変更、改良および変形
が可能であることは上述の説明から明らかであろう。す
なわち、そのような変更、改良および変形の全てを請求
の範囲内に含むことを意図する。
きたが、当業者にとって、多くの変更、改良および変形
が可能であることは上述の説明から明らかであろう。す
なわち、そのような変更、改良および変形の全てを請求
の範囲内に含むことを意図する。
【図１】センサのパルス幅を変調する回路の部分概略／
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】図１に示す回路内で生じる信号変化を示すグラ
フである。
フである。
【図３】図１に示すタイミング回路の少なくとも１つの
実施例を示す詳細なブロック図である。
実施例を示す詳細なブロック図である。
【図４】図３に示されるタイマ回路内で生じる種々の信
号を描いたタイミング図である。
号を描いたタイミング図である。
１２ 圧力センサ １４，１６，１８，２０ 端子 ２２，２４，２８ スイッチ ２６ 差動増幅器 ３０，３２ キャパシタ ３４ タイミング発生器 ３６ 出力端子 ４０ 発振回路 ４２，４４，４６ ワン・ショット・タイマ ４８，５４，５６，６０，６４ 抵抗器 ５８，６２，６６ キャパシタ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１２月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
Claims (5)
- 【請求項１】 センサ（１２）のパルス幅を変調する回
路であって、前記センサは第１（１４），第２（１
６），第３（１８）および第４（２０）端子を有し、前
記センサの第２端子は第１供給電圧端子に結合され、前
記回路は：第２供給電圧端子とセンサの第１端子との間
に結合され、交互に前記センサを差動させるパルス幅変
調回路；および前記センサの前記第３，第４端子に結合
され、前記パルス幅変調回路が前記センサを作動させた
とき前記センサの前記第３，第４端子に生じる前記信号
レベルをサンプルするサンプル・ホ−ルド回路であっ
て、前記サンプル・ホ−ルド回路は前記センサによって
検出された圧力に応じて差動出力信号を提供するサンプ
ル・ホ−ルド回路；から構成されることを特徴とするセ
ンサ（１２）のパルス幅を変調する回路。 - 【請求項２】 第１，第２入力および出力を有する差動
増幅器（２６）をさらに含む請求項１記載の回路であっ
て、前記差動増幅器の前記第１，第２入力は前記サンプ
ル・ホ−ルド回路の前記差動出力信号を受信するために
それぞれ結合し、前記差動増幅器の前記出力は前記回路
の出力（３６）に結合することを特徴とする請求項１記
載の回路。 - 【請求項３】 請求項２記載の回路であって、前記パル
ス幅変調回路は：第１，第２および制御端子を有する第
１スイッチ（２２）であって、前記第１スイッチの前記
第１端子は前記センサの前記第１端子に結合され、前記
第１スイッチの前記第２端子は前記第２供給電圧端子に
結合され、前記第１スイッチの前記制御端子は第１制御
信号を受信するために結合される第１スイッチ（２
２）；を含むことを特徴とする請求項２記載の回路。 - 【請求項４】請求項３記載の回路であって、前記サンプ
ル・ホ−ルド回路は：第１，第２および制御端子を有す
る第２スイッチ（２４）であって、前記第２スイッチの
前記第１端子は前記センサの前記第３端子に結合され、
前記第２スイッチの前記制御端子は第２制御信号を受信
するために結合される第２スイッチ（２４）；第１，第
２および制御端子を有する第３スイッチ（２８）であっ
て、前記第３スイッチの前記第１端子は前記センサの前
記第４端子に結合され、前記第３スイッチの前記制御端
子は第３制御信号を受信するために結合される第３スイ
ッチ（２８）；第１，第２端子を有する第１キャパシタ
（３０）であって、前記第１キャパシタの前記第１端子
は前記第２スイッチの前記第２端子に結合され、前記第
１キャパシタの前記第２端子は前記第１供給電圧端子に
結合される第１キャパシタ（３０）；および第１，第２
端子を有する第２キャパシタ（３２）であって、前記第
２キャパシタの前記第１端子は前記第３スイッチの前記
第２端子に結合され、前記第２キャパシタの前記第２端
子は前記第１供給電圧端子に結合され、前記第１，第２
キャパシタの前記第１端子は前記サンプル・ホ−ルド回
路の前記差動出力信号を提供するためにそれぞれ結合さ
れる第２キャパシタ（３２）；を含むことを特徴とする
請求項３記載の回路。 - 【請求項５】 センサのパルス幅を変調する方法であっ
て、前記センサは第１，第２入力端子を有し、第１，第
２出力信号を提供し、前記方法は：（ａ） 第１，第２
供給電圧端子間で前記センサの前記第１，第２入力端子
に交互に結合し、交互に前記センサを作動させる段階；
および（ｂ） 前記センサが作動されたときに前記セン
サの前記第１，第２出力信号をサンプルする段階；から
構成されることを特徴とするセンサのパルス幅を変調す
る方法。
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|---|---|---|---|
| US07/840,472 US5299460A (en) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | Pressure sensor |
| US840472 | 1992-02-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07248268A true JPH07248268A (ja) | 1995-09-26 |
| JP3066215B2 JP3066215B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
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|---|---|---|---|
| JP5056356A Expired - Fee Related JP3066215B2 (ja) | 1992-02-24 | 1993-02-23 | Ｐｗｍセンサ |
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|---|---|
| US (1) | US5299460A (ja) |
| EP (1) | EP0557885B1 (ja) |
| JP (1) | JP3066215B2 (ja) |
| DE (1) | DE69313319T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013242285A (ja) * | 2012-05-21 | 2013-12-05 | Kohshin Electric Corp | 不揮発性メモリを用いた調整回路及びこれを備えた物理量センサ |
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|---|---|---|---|---|
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| DE19513022C1 (de) * | 1995-04-06 | 1996-08-14 | Siemens Ag | Schaltungsanordnung und Verfahren zur Bestimmung von Kapazitätsdifferenzen |
| IT1285025B1 (it) * | 1996-03-22 | 1998-06-03 | Bitron Spa | Sensore di pressione e procedimento per la sua fabbricazione. |
| CN109613073A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-04-12 | 电子科技大学 | 一种新型压力和湿度传感器读出电路 |
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1992
- 1992-02-24 US US07/840,472 patent/US5299460A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-02-18 DE DE69313319T patent/DE69313319T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-02-18 EP EP93102515A patent/EP0557885B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-02-23 JP JP5056356A patent/JP3066215B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| DE69313319T2 (de) | 1998-02-19 |
| EP0557885A2 (en) | 1993-09-01 |
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| US5299460A (en) | 1994-04-05 |
| DE69313319D1 (de) | 1997-10-02 |
| EP0557885B1 (en) | 1997-08-27 |
| EP0557885A3 (en) | 1993-11-10 |
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