JPH07243020A - ＴｉＡｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法 - Google Patents
ＴｉＡｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法Info
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- JPH07243020A JPH07243020A JP3508294A JP3508294A JPH07243020A JP H07243020 A JPH07243020 A JP H07243020A JP 3508294 A JP3508294 A JP 3508294A JP 3508294 A JP3508294 A JP 3508294A JP H07243020 A JPH07243020 A JP H07243020A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 物理蒸着後におけるＴｉＡｌ系金属間化合物
製ピストンリングの変形を極力減少させる。 【構成】 ＴｉＡｌ系金属間化合物よりなるピストンリ
ング７表面に物理蒸着法の適用下で薄膜Ｆを形成するに
当り、その物理蒸着法による薄膜Ｆの形成に先立って、
ピストンリング７に熱処理を施すことにより、そのピス
トンリング７の残留歪を除去する。これにより、その残
留歪に起因した物理蒸着後におけるピストンリング７の
変形を極力減少させることができる。
製ピストンリングの変形を極力減少させる。 【構成】 ＴｉＡｌ系金属間化合物よりなるピストンリ
ング７表面に物理蒸着法の適用下で薄膜Ｆを形成するに
当り、その物理蒸着法による薄膜Ｆの形成に先立って、
ピストンリング７に熱処理を施すことにより、そのピス
トンリング７の残留歪を除去する。これにより、その残
留歪に起因した物理蒸着後におけるピストンリング７の
変形を極力減少させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＴｉＡｌ系金属間化合
物製構造部材の表面処理方法、特に構造部材表面に物理
蒸着法の適用下で薄膜を形成する方法の改良に関する。
物製構造部材の表面処理方法、特に構造部材表面に物理
蒸着法の適用下で薄膜を形成する方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、内燃機関用鋼製ピストンリング表
面に物理蒸着法の一種であるイオンプレーティングを施
して窒化チタンよりなる薄膜を形成する表面処理方法が
知られている（例えば、特開昭５７−５７８６８号公報
参照）。
面に物理蒸着法の一種であるイオンプレーティングを施
して窒化チタンよりなる薄膜を形成する表面処理方法が
知られている（例えば、特開昭５７−５７８６８号公報
参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記鋼製
構造部材に対する物理蒸着法による表面処理技術を、Ｔ
ｉＡｌ系金属間化合物よりなる構造部材に直接適用する
と、その構造部材には鋳造、機械加工等に起因して残留
歪が生じていることが多いため、その残留歪に起因して
物理蒸着後における構造部材の変形が著しくなる、とい
う問題がある。
構造部材に対する物理蒸着法による表面処理技術を、Ｔ
ｉＡｌ系金属間化合物よりなる構造部材に直接適用する
と、その構造部材には鋳造、機械加工等に起因して残留
歪が生じていることが多いため、その残留歪に起因して
物理蒸着後における構造部材の変形が著しくなる、とい
う問題がある。
【０００４】本発明は前記問題を解決することのできる
前記表面処理方法を提供することを目的とする。
前記表面処理方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＴｉＡｌ系金
属間化合物よりなる構造部材表面に物理蒸着法の適用下
で薄膜を形成するに当り、前記物理蒸着法による薄膜の
形成に先立って、前記構造部材に熱処理を施すことによ
り、その構造部材の残留歪を除去することを特徴とす
る。
属間化合物よりなる構造部材表面に物理蒸着法の適用下
で薄膜を形成するに当り、前記物理蒸着法による薄膜の
形成に先立って、前記構造部材に熱処理を施すことによ
り、その構造部材の残留歪を除去することを特徴とす
る。
【０００６】
【作用】前記のように構造部材に、その残留歪を除去し
た後物理蒸着法によって薄膜を形成すると、その残留歪
に起因した物理蒸着後における構造部材の変形を極力減
少させることができる。
た後物理蒸着法によって薄膜を形成すると、その残留歪
に起因した物理蒸着後における構造部材の変形を極力減
少させることができる。
【０００７】
〔実施例１〕ＴｉＡｌ45Ｖ2 Ｎｂ2 Ｂ1.4 （数値は原子
％）といったＴｉＡｌ系金属間化合物組成の溶湯を、真
空チャンバ内で水冷Ｃｕるつぼを用いた高周波誘導溶解
により調製し、次いで遠心鋳造法を適用して、外径９０
mm、一端部側の内径７０mm、他端部側の内径７８mm、長
さ１５０mmの、テーパ孔を有する円筒状インゴットを製
造した。
％）といったＴｉＡｌ系金属間化合物組成の溶湯を、真
空チャンバ内で水冷Ｃｕるつぼを用いた高周波誘導溶解
により調製し、次いで遠心鋳造法を適用して、外径９０
mm、一端部側の内径７０mm、他端部側の内径７８mm、長
さ１５０mmの、テーパ孔を有する円筒状インゴットを製
造した。
【０００８】インゴットに、１３００℃、３時間、２０
００気圧の条件でＨＩＰ処理（熱間静水圧プレス処理）
を施し、次いで１２００℃、３時間の条件で溶体化処理
を施し、その後９００℃、８時間の時効処理を施した。
００気圧の条件でＨＩＰ処理（熱間静水圧プレス処理）
を施し、次いで１２００℃、３時間の条件で溶体化処理
を施し、その後９００℃、８時間の時効処理を施した。
【０００９】インゴットにフライス加工等の機械加工を
施して、図１に示す複数の薄板状テストピースＴｐ１を
作製し、次いで各テストピースＴｐ１の一方の平面１に
研削仕上げ加工を施して、その平面１の１０点平均粗さ
ＲｚをＲｚ＝０．８μｍに調整した。各テストピースＴ
ｐ１の寸法は長さａ1 ＝５０mm、幅ａ2 ＝１０mm、厚さ
ａ3 ＝３mmである。
施して、図１に示す複数の薄板状テストピースＴｐ１を
作製し、次いで各テストピースＴｐ１の一方の平面１に
研削仕上げ加工を施して、その平面１の１０点平均粗さ
ＲｚをＲｚ＝０．８μｍに調整した。各テストピースＴ
ｐ１の寸法は長さａ1 ＝５０mm、幅ａ2 ＝１０mm、厚さ
ａ3 ＝３mmである。
【００１０】各テストピースＴｐ１に、残留歪の除去を
目的とした熱処理を真空下で施した。この場合、熱処理
温度Ｔは３００℃≦Ｔ≦１０００℃に、また熱処理時間
は８時間にそれぞれ設定された。
目的とした熱処理を真空下で施した。この場合、熱処理
温度Ｔは３００℃≦Ｔ≦１０００℃に、また熱処理時間
は８時間にそれぞれ設定された。
【００１１】各テストピースＴｐ１における一方の平面
１の面粗さＲmax をＲmax ＝０．６Ｓに調整し、次い
で、ボンバード処理を１０分間行い、その後、図２に示
すように前記平面１に、物理蒸着法であるイオンプレー
ティングを施して厚さ１０μｍの窒化チタン（ＴｉＮ）
よりなる硬質薄膜Ｆを形成した。イオンプレーティング
条件は、雰囲気ガス 窒素ガス、蒸発源 Ｔｉ、アーク
電流 １５０Ａ、バイアス電圧 １２０Ｖ、処理時間
６０分間である。
１の面粗さＲmax をＲmax ＝０．６Ｓに調整し、次い
で、ボンバード処理を１０分間行い、その後、図２に示
すように前記平面１に、物理蒸着法であるイオンプレー
ティングを施して厚さ１０μｍの窒化チタン（ＴｉＮ）
よりなる硬質薄膜Ｆを形成した。イオンプレーティング
条件は、雰囲気ガス 窒素ガス、蒸発源 Ｔｉ、アーク
電流 １５０Ａ、バイアス電圧 １２０Ｖ、処理時間
６０分間である。
【００１２】各テストピースＴｐ１のイオンプレーティ
ング後における歪を次のような方法で測定した。即ち、
図３に示すように、イオンプレーティング後のテストピ
ースＴｐ１の薄膜Ｆ側を上方（または下方）に向け、且
つ一端面２を鉛直面３に当接させて固定する。そしてテ
ストピースＴｐ１の固定端を厚さ方向に２等分する基準
水平線Ｌ1 と、テストピースＴｐ１の自由端を厚さ方向
に２等分する水平線Ｌ 2 との間隙を歪Ｓとする。
ング後における歪を次のような方法で測定した。即ち、
図３に示すように、イオンプレーティング後のテストピ
ースＴｐ１の薄膜Ｆ側を上方（または下方）に向け、且
つ一端面２を鉛直面３に当接させて固定する。そしてテ
ストピースＴｐ１の固定端を厚さ方向に２等分する基準
水平線Ｌ1 と、テストピースＴｐ１の自由端を厚さ方向
に２等分する水平線Ｌ 2 との間隙を歪Ｓとする。
【００１３】表１は、テストピースＴｐ１の例（１）〜
（８）における熱処理温度Ｔとイオンプレーティング後
の歪Ｓとの関係を示す。表１において、例（１）は機械
加工後、残留歪除去のための熱処理を施されていない。
（８）における熱処理温度Ｔとイオンプレーティング後
の歪Ｓとの関係を示す。表１において、例（１）は機械
加工後、残留歪除去のための熱処理を施されていない。
【００１４】
【表１】
【００１５】表１から明らかなように熱処理温度Ｔを５
００℃≦Ｔ≦８００℃に設定すると、例（４）〜（７）
のようにイオンプレーティング後の歪ＳをＳ≦０．２mm
と小さくすることができる。特に、熱処理温度ＴをＴ＝
６００℃に設定すると前記歪Ｓは最小となる。
００℃≦Ｔ≦８００℃に設定すると、例（４）〜（７）
のようにイオンプレーティング後の歪ＳをＳ≦０．２mm
と小さくすることができる。特に、熱処理温度ＴをＴ＝
６００℃に設定すると前記歪Ｓは最小となる。
【００１６】次に、イオンプレーティング後の歪Ｓと摺
動特性との関係を調べるため、前記時効処理（９００
℃、８時間）後のインゴットに機械加工を施して、図４
に示す複数の小片状テストピースＴｐ２を作製した。各
テストピースＴｐ２は一方の平面４の面積が他方の平面
５の面積よりも小になるように一方の平面４側における
一側縁に斜面６が形成されている。一方の平面４に研削
仕上げ加工を施して、その平面４の１０点平均粗さＲｚ
をＲｚ＝０．８μｍに調整した。各テストピースＴｐ２
の一方の平面４において、縦ｂ1 ＝１０mm、横ｂ2 ＝１
０mmであり、また他方の平面５において、横ｂ3 ＝１
１．５mm、縦ｂ4 ＝１０mmである。さらに斜面６の角度
θ＝４５°、厚さｂ5 ＝５mmである。
動特性との関係を調べるため、前記時効処理（９００
℃、８時間）後のインゴットに機械加工を施して、図４
に示す複数の小片状テストピースＴｐ２を作製した。各
テストピースＴｐ２は一方の平面４の面積が他方の平面
５の面積よりも小になるように一方の平面４側における
一側縁に斜面６が形成されている。一方の平面４に研削
仕上げ加工を施して、その平面４の１０点平均粗さＲｚ
をＲｚ＝０．８μｍに調整した。各テストピースＴｐ２
の一方の平面４において、縦ｂ1 ＝１０mm、横ｂ2 ＝１
０mmであり、また他方の平面５において、横ｂ3 ＝１
１．５mm、縦ｂ4 ＝１０mmである。さらに斜面６の角度
θ＝４５°、厚さｂ5 ＝５mmである。
【００１７】各テストピースＴｐ２に、残留歪の除去を
目的とした熱処理を真空下で施した。この場合、前記同
様に熱処理温度Ｔは３００℃≦Ｔ≦１０００℃に、また
熱処理時間は８時間にそれぞれ設定された。
目的とした熱処理を真空下で施した。この場合、前記同
様に熱処理温度Ｔは３００℃≦Ｔ≦１０００℃に、また
熱処理時間は８時間にそれぞれ設定された。
【００１８】各テストピースＴｐ２における一方の平面
４の面粗さＲmax をＲmax ＝０．６Ｓに調整し、次い
で、ボンバード処理を１０分間行い、その後、前記平面
４に、イオンプレーティングを施して厚さ１０μｍの窒
化チタンよりなる薄膜Ｆを形成した。イオンプレーティ
ング条件は、前記同様に、雰囲気ガス 窒素ガス、蒸発
源 Ｔｉ、アーク電流 １５０Ａ、バイアス電圧 １２
０Ｖ、処理時間 ６０分間である。
４の面粗さＲmax をＲmax ＝０．６Ｓに調整し、次い
で、ボンバード処理を１０分間行い、その後、前記平面
４に、イオンプレーティングを施して厚さ１０μｍの窒
化チタンよりなる薄膜Ｆを形成した。イオンプレーティ
ング条件は、前記同様に、雰囲気ガス 窒素ガス、蒸発
源 Ｔｉ、アーク電流 １５０Ａ、バイアス電圧 １２
０Ｖ、処理時間 ６０分間である。
【００１９】各テストピースＴｐ２を用い、潤滑下でチ
ップオンディスク方式による摺動テストを行い、各テス
トピースＴｐ２における熱処理温度Ｔと焼付き発生荷重
との関係を求めたところ、表２の結果を得た。
ップオンディスク方式による摺動テストを行い、各テス
トピースＴｐ２における熱処理温度Ｔと焼付き発生荷重
との関係を求めたところ、表２の結果を得た。
【００２０】摺動テストは、各テストピースＴｐ２を、
その斜面６が鋳鉄製ディスクの回転方向に対向するよう
に配置して窒化チタンよりなる薄膜Ｆをディスクに押圧
し、ディスク回転速度 ５ｍ／sec 、オイル供給量 ２
cc／min 、オイルの温度 ８０℃の条件で行われた。前
記のように斜面６を配置する理由は、薄膜Ｆとディスク
間にオイルを導入し易くするためである。ディスクは、
Ｓｉ、Ｍｎ、ＶおよびＰを含む。表２において、例
（９）は残留歪除去のための熱処理を施されていない。
その斜面６が鋳鉄製ディスクの回転方向に対向するよう
に配置して窒化チタンよりなる薄膜Ｆをディスクに押圧
し、ディスク回転速度 ５ｍ／sec 、オイル供給量 ２
cc／min 、オイルの温度 ８０℃の条件で行われた。前
記のように斜面６を配置する理由は、薄膜Ｆとディスク
間にオイルを導入し易くするためである。ディスクは、
Ｓｉ、Ｍｎ、ＶおよびＰを含む。表２において、例
（９）は残留歪除去のための熱処理を施されていない。
【００２１】
【表２】
【００２２】表２から明らかなように、熱処理温度Ｔを
５００℃≦Ｔ≦８００℃に設定すると、表１の例（４）
〜（７）のように例（１２）〜（１５）におけるイオン
プレーティング後の歪Ｓが小さくなるので、薄膜Ｆの全
面がディスクに均一に摺擦し、その結果、焼付き発生荷
重が大幅に向上する。特に、熱処理温度ＴをＴ＝６００
℃に設定すると、前記のように歪Ｓが最小となることか
ら焼付き発生荷重は最大となる。例（９）〜（１１），
（１６）においては、前記歪Ｓが大きいため、局部的に
高面圧となり、その結果、焼付き発生荷重が極端に低下
する。
５００℃≦Ｔ≦８００℃に設定すると、表１の例（４）
〜（７）のように例（１２）〜（１５）におけるイオン
プレーティング後の歪Ｓが小さくなるので、薄膜Ｆの全
面がディスクに均一に摺擦し、その結果、焼付き発生荷
重が大幅に向上する。特に、熱処理温度ＴをＴ＝６００
℃に設定すると、前記のように歪Ｓが最小となることか
ら焼付き発生荷重は最大となる。例（９）〜（１１），
（１６）においては、前記歪Ｓが大きいため、局部的に
高面圧となり、その結果、焼付き発生荷重が極端に低下
する。
【００２３】他の例として、イオンプレーティング処理
により窒化クロム（Ｃｒ−Ｎ）よりなる薄膜を形成され
たテストピースの例（１７）および窒化チタンアルミニ
ウム（ＴｉＡｌＮ）よりなる薄膜を形成されたテストピ
ースの例（１８）を作製した。両テストピースの例（１
７），（１８）の材質は前記と同じである。窒化クロム
薄膜の場合、蒸発源としてＣｒが用いられ、また窒化チ
タンアルミニウム薄膜の場合、蒸発源としてＴｉ50Ａｌ
50（数値は原子％）が用いられた。
により窒化クロム（Ｃｒ−Ｎ）よりなる薄膜を形成され
たテストピースの例（１７）および窒化チタンアルミニ
ウム（ＴｉＡｌＮ）よりなる薄膜を形成されたテストピ
ースの例（１８）を作製した。両テストピースの例（１
７），（１８）の材質は前記と同じである。窒化クロム
薄膜の場合、蒸発源としてＣｒが用いられ、また窒化チ
タンアルミニウム薄膜の場合、蒸発源としてＴｉ50Ａｌ
50（数値は原子％）が用いられた。
【００２４】表３は、例（１７），（１８）に関する熱
処理温度Ｔ、イオンプレーティング後の歪Ｓおよび焼付
発生荷重を示す。その歪Ｓの測定条件および摺動テスト
条件は前記と同じである。
処理温度Ｔ、イオンプレーティング後の歪Ｓおよび焼付
発生荷重を示す。その歪Ｓの測定条件および摺動テスト
条件は前記と同じである。
【００２５】
【表３】
【００２６】表１，２と表３とを比較すると明らかなよ
うに、薄膜の材質を変更すると、前記歪Ｓが変化するこ
とがあり、また焼付き発生荷重は薄膜の材質に応じて変
化する。
うに、薄膜の材質を変更すると、前記歪Ｓが変化するこ
とがあり、また焼付き発生荷重は薄膜の材質に応じて変
化する。
【００２７】〔実施例２〕実施例１における前記時効処
理（９００℃、８時間）後のインゴットに機械加工を施
して、図５に示す構造部材としてのガソリンエンジン用
ピストンリング７を作製した。ピストンリング７の寸法
は、呼び径Ｄ＝８１mm、幅Ｂ＝１mm、厚さＴ＝３．１m
m、合い口すきまＣ＝０．２〜０．３５mm（自由合い口
すきま １１．５mm）である。
理（９００℃、８時間）後のインゴットに機械加工を施
して、図５に示す構造部材としてのガソリンエンジン用
ピストンリング７を作製した。ピストンリング７の寸法
は、呼び径Ｄ＝８１mm、幅Ｂ＝１mm、厚さＴ＝３．１m
m、合い口すきまＣ＝０．２〜０．３５mm（自由合い口
すきま １１．５mm）である。
【００２８】ピストンリング７に、残留歪の除去を目的
として、熱処理温度Ｔ＝６００℃、熱処理時間８時間の
条件で熱処理を施した。
として、熱処理温度Ｔ＝６００℃、熱処理時間８時間の
条件で熱処理を施した。
【００２９】ピストンリング７の面粗さＲmax をＲmax
＝０．６Ｓに調整し、次いで、ボンバード処理を１０分
間行い、その後、ピストンリング７に、イオンプレーテ
ィングを施してその表面に窒化チタンよりなる薄膜Ｆを
形成した。薄膜Ｆの厚さはピストンリング７の外周面に
おいて１０μｍであり、また合い口の両対向面、両環状
端面および内周面において３μｍであった。イオンプレ
ーティング条件は、前記同様に、雰囲気ガス 窒素ガ
ス、蒸発源 Ｔｉ、アーク電流 １５０Ａ、バイアス電
圧 １２０Ｖ、処理時間 ６０分間である。
＝０．６Ｓに調整し、次いで、ボンバード処理を１０分
間行い、その後、ピストンリング７に、イオンプレーテ
ィングを施してその表面に窒化チタンよりなる薄膜Ｆを
形成した。薄膜Ｆの厚さはピストンリング７の外周面に
おいて１０μｍであり、また合い口の両対向面、両環状
端面および内周面において３μｍであった。イオンプレ
ーティング条件は、前記同様に、雰囲気ガス 窒素ガ
ス、蒸発源 Ｔｉ、アーク電流 １５０Ａ、バイアス電
圧 １２０Ｖ、処理時間 ６０分間である。
【００３０】このようにして得られたピストンリング７
をトップリングとして、１６００cc、４気筒ガソリンエ
ンジンに組込んだ。この場合、シリンダスリーブは、前
記ディスクと同材質の鋳鉄（Ｆｅ−Ｃ−Ｓｉ−Ｍｎ−Ｖ
−Ｐ）より構成され、またピストンはＡｌ合金（ＪＩＳ
ＡＣ８Ｈ）より構成されている。
をトップリングとして、１６００cc、４気筒ガソリンエ
ンジンに組込んだ。この場合、シリンダスリーブは、前
記ディスクと同材質の鋳鉄（Ｆｅ−Ｃ−Ｓｉ−Ｍｎ−Ｖ
−Ｐ）より構成され、またピストンはＡｌ合金（ＪＩＳ
ＡＣ８Ｈ）より構成されている。
【００３１】そして、前記ガソリンエンジンを運転して
４００時間の耐久テストを行ったところ、ピストンリン
グ７、シリンダスリーブおよびピストンに異常摩耗は認
められず、またピストンリング７の張力減退はゼロであ
った。
４００時間の耐久テストを行ったところ、ピストンリン
グ７、シリンダスリーブおよびピストンに異常摩耗は認
められず、またピストンリング７の張力減退はゼロであ
った。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、ＴｉＡｌ系金属間化合
物よりなる構造部材に、その残留歪の除去を目的とする
熱処理を施した後物理蒸着法を行う、という手段を採用
することによって、残留歪に起因した物理蒸着後におけ
る構造部材の変形を極力減少させることができる。
物よりなる構造部材に、その残留歪の除去を目的とする
熱処理を施した後物理蒸着法を行う、という手段を採用
することによって、残留歪に起因した物理蒸着後におけ
る構造部材の変形を極力減少させることができる。
【図１】テストピースの一例を示す斜視図である。
【図２】薄膜を有するテストピースの断面図である。
【図３】テストピースの歪測定法を示す説明図である。
【図４】テストピースの他例を示す斜視図である。
【図５】ピストンリングの斜視図である。
７ ピストンリング（構造部材） Ｆ 薄膜
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年４月１０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】各テストピースＴｐ２を用い、潤滑下でチ
ップオンディスク方式による摺動テストを行い、各テス
トピースＴｐ２における熱処理温度Ｔと焼付き発生面圧
との関係を求めたところ、表２の結果を得た。
ップオンディスク方式による摺動テストを行い、各テス
トピースＴｐ２における熱処理温度Ｔと焼付き発生面圧
との関係を求めたところ、表２の結果を得た。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】
【表２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】表２から明らかなように、熱処理温度Ｔを
５００℃≦Ｔ≦８００℃に設定すると、表１の例（４）
〜（７）のように例（１２）〜（１５）におけるイオン
プレーティング後の歪Ｓが小さくなるので、薄膜Ｆの全
面がディスクに均一に摺擦し、その結果、焼付き発生面
圧が大幅に向上する。特に、熱処理温度ＴをＴ＝６００
℃に設定すると、前記のように歪Ｓが最小となることか
ら焼付き発生面圧は最大となる。例（９）〜（１１），
（１６）においては、前記歪Ｓが大きいため、局部的に
高面圧となり、その結果、焼付き発生面圧が極端に低下
する。
５００℃≦Ｔ≦８００℃に設定すると、表１の例（４）
〜（７）のように例（１２）〜（１５）におけるイオン
プレーティング後の歪Ｓが小さくなるので、薄膜Ｆの全
面がディスクに均一に摺擦し、その結果、焼付き発生面
圧が大幅に向上する。特に、熱処理温度ＴをＴ＝６００
℃に設定すると、前記のように歪Ｓが最小となることか
ら焼付き発生面圧は最大となる。例（９）〜（１１），
（１６）においては、前記歪Ｓが大きいため、局部的に
高面圧となり、その結果、焼付き発生面圧が極端に低下
する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】表３は、例（１７），（１８）に関する熱
処理温度Ｔ、イオンプレーティング後の歪Ｓおよび焼付
発生面圧を示す。その歪Ｓの測定条件および摺動テスト
条件は前記と同じである。
処理温度Ｔ、イオンプレーティング後の歪Ｓおよび焼付
発生面圧を示す。その歪Ｓの測定条件および摺動テスト
条件は前記と同じである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】
【表３】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】表１，２と表３とを比較すると明らかなよ
うに、薄膜の材質を変更すると、前記歪Ｓが変化するこ
とがあり、また焼付き発生面圧は薄膜の材質に応じて変
化する。
うに、薄膜の材質を変更すると、前記歪Ｓが変化するこ
とがあり、また焼付き発生面圧は薄膜の材質に応じて変
化する。
Claims (5)
- 【請求項１】 ＴｉＡｌ系金属間化合物よりなる構造部
材（７）表面に物理蒸着法の適用下で薄膜（Ｆ）を形成
するに当り、前記物理蒸着法による薄膜（Ｆ）の形成に
先立って、前記構造部材（７）に熱処理を施すことによ
り、その構造部材（７）の残留歪を除去することを特徴
とするＴｉＡｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方
法。 - 【請求項２】 前記熱処理における熱処理温度Ｔは５０
０℃≦Ｔ≦８００℃に設定される、請求項１記載のＴｉ
Ａｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法。 - 【請求項３】 前記物理蒸着法はイオンプレーティング
である、請求項１または２記載のＴｉＡｌ系金属間化合
物製構造部材の表面処理方法。 - 【請求項４】 前記薄膜（Ｆ）は窒化チタン、窒化クロ
ムおよび窒化チタンアルミニウムから選択される一種で
ある、請求項１，２または３記載のＴｉＡｌ系金属間化
合物製構造部材の表面処理方法。 - 【請求項５】 前記構造部材は内燃機関用ピストンリン
グ（７）である、請求項１，２，３または４記載のＴｉ
Ａｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3508294A JPH07243020A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | ＴｉＡｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法 |
| DE1994607525 DE69407525T2 (de) | 1993-09-17 | 1994-09-19 | Kolbenring aus TiAl basierender intermetallischer Verbindung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung |
| EP19940114746 EP0645463B1 (en) | 1993-09-17 | 1994-09-19 | TiAl-based intermetallic compound piston ring and process for treating the surfaces thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3508294A JPH07243020A (ja) | 1994-03-04 | 1994-03-04 | ＴｉＡｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243020A true JPH07243020A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12432064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3508294A Pending JPH07243020A (ja) | 1993-09-17 | 1994-03-04 | ＴｉＡｌ系金属間化合物製構造部材の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07243020A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150064167A (ko) * | 2012-10-11 | 2015-06-10 | 페더럴-모걸 코오포레이숀 | 1회의 코팅 주행으로 피스톤 링 주행면, 측면 및 내경면 상에 내마모성 코팅을 화학적 증착하는 방법 |
-
1994
- 1994-03-04 JP JP3508294A patent/JPH07243020A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150064167A (ko) * | 2012-10-11 | 2015-06-10 | 페더럴-모걸 코오포레이숀 | 1회의 코팅 주행으로 피스톤 링 주행면, 측면 및 내경면 상에 내마모성 코팅을 화학적 증착하는 방법 |
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