JPH07235184A - スタティック型ram - Google Patents

スタティック型ram

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JPH07235184A
JPH07235184A JP6046320A JP4632094A JPH07235184A JP H07235184 A JPH07235184 A JP H07235184A JP 6046320 A JP6046320 A JP 6046320A JP 4632094 A JP4632094 A JP 4632094A JP H07235184 A JPH07235184 A JP H07235184A
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JP
Japan
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read
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JP6046320A
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English (en)
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Satoshi Oguchi
聡 小口
Masahiro Iwamura
將弘 岩村
Hiroaki Ogawa
浩章 小川
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Hitachi Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成により高速化を実現したマルチ・
ポートのスタティック型RAMを提供する。 【構成】 スタティック型記憶部の一対の入出力ノード
に書き込み用の伝送ゲートMOSFETと、読み出し用
の伝送ゲートMOSFETを設けけなるメモリセルを一
対の書き込み用と読み出し用の相補データ線の交点にマ
トリックス配置するとともに、上記書き込み用の相補デ
ータ線又は読み出し用の相補データ線を規則的に交差さ
せて書き込み用の相補データ線から読み出し用の相補デ
ータ線に同様なカップリングノイズが伝えられるように
する。 【効果】 同じ相補データ線に接続されたメモリセルに
対して書き込みと読み出しを同時に行った場合でも、読
み出し用の相補データ線には書き込み用の相補データ線
からのカップリングノイズが半分づつコモンモードでの
るために差動センスアンプにより相殺させることがで
き、読み出し動作の高速化が実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、スタティック型RA
M(ランダム・アクセス・メモリ)に関し、特にスタテ
ィック型記憶部に書き込み用と読みは出し用の伝送ゲー
トMOSFETを設けて、書き込み用データ線と読み出
し用データ線に接続してなるマルチ・ポート構成のもの
に利用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】CMOSラッチ回路からなる記憶部に対
して、書き込み用と読み出し用の伝送ゲートMOSFE
Tを設け、これらの伝送ゲートMOSFETを書き込み
用と読み出し用のワード線及び相補データ線にそれぞれ
接続させることにより、同時に書き込みと読み出しがで
きるマルチ・ポートのスタティック型RAMを得ること
ができる。このようなマルチ・ポートのスタティック型
RAMに関しては、アイ・イー・イー・イー 1988
年 カスタム インテグレーテッド サーキッツコンフ
ァレンス 20.5 .1 〜20.5.4( IEEE 1988 C
ustom IntegratedCircuits Conference 20.5.1 〜20.5.
4) がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】半導体技術の進展に伴
い素子の微細化が進められている。このような素子の微
細化に伴い、書き込み用の相補データ線と読み出し用の
相補データ線の間の寄生容量によるカップリングノイズ
が無視できなくなる。つまり、書き込み用の相補データ
線に伝えられる書き込み信号は、メモリセルの保持情報
を反転させる必要があるために電源電圧のような大振幅
であるのに対して、読み出し用の相補データ線の読み出
し信号は、反転読み出しを高速に行うために小さな信号
振幅とされてセンスアンプに増幅して出力される。
【0004】上記のようなマルチポートのスタティック
型RAMでは、同じ相補データ線に接続されたメモリセ
ルにおいて、書き込み動作と読み出し動作とが同時に行
われることがあり、図7に示した波形図のように書き込
み(Write) 用データ線のロウレベルがハイレベルにあ
るべき読み出し(Read )用データ線の電位を引き下げ
るようなカップリングノイズがのると、センスアンプが
それを増幅して偽データを出力してしまい、もとの正し
いデータが出力されるまでの遅延時間が動作速度を遅く
してしまう。
【0005】この発明の目的は、簡単な構成により高速
化を実現したマルチ・ポートのスタティック型RAMを
提供することにある。この発明の前記ならびにそのほか
の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面
から明らかになるであろう。
【0006】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、スタティック型記憶部の一
対の入出力ノードに書き込み用の伝送ゲートMOSFE
Tと、読み出し用の伝送ゲートMOSFETを設けてな
るメモリセルを一対の書き込み用と読み出し用の相補デ
ータ線の交点にマトリックス配置するとともに、上記書
き込み用の相補データ線又は読み出し用の相補データ線
を規則的に交差させて書き込み用の相補データ線から読
み出し用の相補データ線対に同様なカップンリグノイズ
が伝えられるようにする。
【0007】
【作用】上記した手段によれば、同じ相補データ線に接
続されたメモリセルに対して書き込みと読み出しを同時
に行った場合でも、読み出し用の相補データ線には書き
込み用の相補データ線からのカップリングノイズが半分
づつコモンモードでのるために差動型のセンスアンプに
より相殺させることができ、読み出し動作の高速化が実
現できる。
【0008】
【実施例】図1には、この発明に係るスタティック型R
AMにおけるメモリアレイ部の一実施例の回路図が示さ
れている。同図の各回路素子は、公知の半導体集積回路
の製造技術によって、単結晶シリコンのような1個の半
導体基板上において形成される。
【0009】同図には、同じ相補データ線に接続された
4つのメモリセルが代表として例示的に示されている。
メモリセルMC1は、Pチャンネル型MOSFETQ
1、Q3とNチャンネル型MOSFETQ2、Q4によ
りそれぞれ構成された2つのCMOSインバータ回路の
入力と出力とが互いに交差接続されてなるCMOSラッ
チ回路からなる記憶部と、かかる記憶部の一対の入出力
ノードと書き込み用の相補データ線WDL、/WDLと
の間に設けられたNチャンネル型からなる書き込み用の
伝送ゲートMOSFETQ5、Q6と、上記一対の入出
力ノードと読み出し用の相補データ線RWL、/RWL
との間に設けられたNチャンネル型からなる読み出し用
の伝送ゲートMOSFETQ7とQ8から構成される。
上記書き込み用の伝送ゲートMOSFETQ5とQ6の
ゲートは、書き込み用のワード線WWL1に接続され
る。上記読み出し用の伝送ゲートMOSFETQ7とQ
8のゲートは、読み出し用のワード線RWL1に接続さ
れる。本明細書において、/はロウレベルがアクティブ
レベルを意味するバーを表している。
【0010】他の代表として示されているメモリセルM
C2〜MC4も、上記メモリセルMC1と同様な構成に
され、それぞれの書き込み用伝送ゲートMOSFETの
ゲートは、書き込み用のワード線WWL2〜WWL4に
接続され、それぞれの読み出し用伝送ゲートMOSFE
Tのゲートは、読み出し用のワード線RWL2〜RWL
4に接続される。
【0011】この実施例では、書き込み信号がそれが伝
えるられる書き込み用データ線WDL又は/WDLと隣
接して配置される読み出し用のデータ線RDL又は/R
WLにカップリングノイズとして伝えられることによっ
て、読み出し動作を遅くしてしまうのを防止するため
に、読み出し用のデータ線RDLと/RDLとが、規則
的に交差して配置される。
【0012】上記のように読み出し用のデータ線RDL
と/RDLと複数のメモリセルにまたがった比較的広い
間隔を以て交差させた場合、ワード線のアドレスにより
同じメモリセルに書き込んだ記憶情報がそのまま読み出
し用データ線に出力される場合、反転させられて出力さ
せられる場合に分けられて、センスアンプを通したデー
タ出力回路において、選択アドレスにより読み出し信号
をスルーさせるか、反転させるかのデータ補正を行うこ
とが必要になってしまう。つまり、書き込み用の相補デ
ータ線WDLと/WDLは、上記のような交差を行うこ
と無しに直線的に配置されるのに対し、それとの寄生容
量とが半分ずつに分散させる必要から読み出し側の相補
データ線を交差させると、交差毎に書き込み情報に対し
て読み出し情報が反転してしまうからである。
【0013】このようなメモリアクセスの複雑化を無く
すために、この実施例ではメモリセルが形成される部分
で、読み出し用の相補データ線RDLと/RDLが常に
交差するようにされる。そして、メモリセルMC1とM
C2が1組とされて、伝送ゲートMOSFETの配置が
上下対称的にされる。つまり、メモリセルMC1におい
ては、書き込み用の伝送ゲートMOSFETQ5とQ6
はメモリセルMC1の上側に配置されて書き込みワード
線WWL1に接続される。これに対して、読み出し用の
伝送ゲートMOSFETQ7Q8は、メモリセルMC1
の下側に配置されて読み出し用のワード線RWL1に接
続される。このメモリセルMC1と対とされる下側のメ
モリセルMC2では、上記の場合とは逆に上側に読み出
し用の伝送ゲートMOSFETが配置されて、上記読み
出し用ワード線RWL1に隣接して読み出し用ワード線
RWL2が設けられる。これに応じて、メモリセルMC
2の下側に書き込み用の伝送ゲートMOSFETが配置
されて、書き込み用のワード線WWL2に接続される。
【0014】メモリセルMC3とMC4からなる次の2
つのメモリセルも上記同様な配置に構成される。この結
果、上記メモリセルMC1とMC2からなる組と、メモ
リセルMC3とMC4からなる組とは、組単位で上下対
称的に配置される。これより、組が異なる書き込み用の
ワード線WWL2とWWL3は隣接して配置されること
になる。
【0015】このようなメモリセルの配置は、次のよう
な技術的意図を持つものである。1つの組では、メモリ
セルMC1とMC2(MC3とMC4)のように、2つ
のメモリセルの読み出し用の伝送ゲートMOSFETの
拡散層ないし読み出し用の相補データ線RDLと/RW
Lとの接続部を共通化することができる。また、異なる
組で隣接して配置されるメモリセルMC2とMC3で
は、書き込み用の伝送ゲートMOSFETの拡散層ない
し書き込み用の層データ線WDLと/WDLとの接続部
を共通化することができる。
【0016】この結果、相補の書き込み相補データ線W
DLと/WDLの寄生容量の低減を行うことができる。
同様に、読み出し用の相補データ線RDLと/RDLの
寄生容量の低減を行うことができる。そして、書き込み
用と読み出し用の接続部が1つのメモリセル置きに交互
に設けることができるので、効率のよいメモリセルのレ
イアウトを実現することができる。
【0017】上記のようにメモリセル毎に読み出し用の
相補データ線が交差しているので、書き込み信号との整
合性を採ることができる。例えば、メモリセルMC1に
おいて、書き込み用ワード線WWL1により選択される
伝送ゲートMOSFETQ5とQ6を通して、書き込み
データ線WDLからハイレベルが、書き込みデータ線/
WDLからロウレベルが入力されたとする。この状態
で、同じアドレスが割り当てられた読み出し用のワード
線RWL1により選択される左側の伝送ゲートMOSF
ETQ7を通して上記ハイレベルの信号が読み出しデー
タ線RDLに現れ、右側の伝送ゲートMOSFETQ8
を通し上記ロウレベルの信号が読み出しデータ線/RD
Lに現れる。
【0018】これと隣接して設けられるメモリセルMC
2においてみると、書き込み用ワード線WWL2により
選択される伝送ゲートMOSFETを通して、上記同様
に書き込みデータ線WDLからハイレベルが、書き込み
データ線/WDLからロウレベルが入力されたとする。
この状態で、同じアドレスが割り当てられた読み出し用
のワード線RWL2により選択される左側の伝送ゲート
MOSFETを通して上記ハイレベルの信号が読み出し
データ線RDLに現れ、右側の伝送ゲートMOSFET
を通し上記ロウレベルの信号が読み出しデータ線/RD
Lに現れる。以下、他のメモリセルMC3、MC4にお
いても、上記同様に書き込んだ信号をそのまま読み出す
ことができる。
【0019】上記のようにメモリセルのピッチに合わせ
て、読み出し用の相補データ線RDLと/RDLを交差
させているので、書き込み用のデータ線WDLに対する
読み出し用の相補データ線RDLと/RDLとの寄生容
量を半分ずつに分散させることができる。同様に、書き
込み用のデータ線/WDLに対する読み出し用の相補デ
ータ線RDLと/RDLとの寄生容量を半分ずつに分散
させることができる。つまり、書き込み動作によって、
一方の書き込みデータ線WDL又は/WDLがハイレベ
ルからロウレベルに変化させられたとき、読み出し用の
相補データ線RDLと/RDLにはカップリングノイズ
が半分ずつコモンモードで分散してのるようになる。
【0020】このようなカップリングノイズは、後述す
るような差動型のセンスアンプにより相殺されるので、
同じアドレスが割り当てられた相補データ線に対して書
き込みと読み出しを同時に行っても偽信号を排除するた
めの読み出しタイミングを遅らせる必要がなく高速読み
出しが可能になる。
【0021】図2には、上記図1の相補データ線の配置
図が示されている。特に制限されないが、書き込み用と
読み出し用の相補データ線は、基本的には第2層目のア
ルミニュウム等からなるメタル層M2により形成され
る。そして、読み出し用の相補データ線において、左側
から右側に入れ換えられる配線は、そのまま延びて形成
され、右側から左側に入れ換えられる配線側が迂回させ
られる。つまり、交差部分で第1層目のアルミニュウム
等のメタル層M1に接続され、このメタル層M1が層間
絶縁膜を介して上記第2層目のメタル層M2の下を迂回
し左側に入れ換えられ、ここで再び2層目のメタル層M
2と接続される。
【0022】この構成では、相補の読み出しデータ線R
DLと/RDLに着目してみると、メモリセル毎の入れ
換え部分で、交互に上記のような迂回が行われるから、
その容量バランスを採ることができるとともに、直線的
に配置される書き込み用データ線WDLと/WDLに対
するカップリング容量もそれぞれC/2のようにバラン
スさせることができる。そして、メモリセルの相補のデ
ータ線とのコンタクトも、前記のように1つのメモリセ
ル毎に交互に整合させて効率よく配置することができる
ようになる。また、外側に書き込み用の相補データ線を
配置することにより、かかる相補データ線が非選択のと
きに隣接した書き込み用の相補データ線に書き込み信号
が入力されたときのカップリングノイズを抑えるシール
ド効果を持たせることができる。
【0023】図3には、この発明が適用されるマルチ・
ポートのスタティック型RAMの一実施例の全体ブロッ
ク図が示されている。同図では、メモリセルアレイAR
RAYが、1つの前記のようなMOSFETQ1〜Q8
からなるメモリセルによって代表されている。
【0024】上記メモリセルの読み出し用の伝送ゲート
(トランスファ)MOSFETQ7とQ8のゲートが接
続された読み出し用ワード線は、読み出し用のXアドレ
ス信号XRを取り込むアドレスバッファX−IBF、そ
の取り込まれたアドレス信号を解読するデコーダX−D
EC及びワードドライバX−WDにより選択される。同
様に、書き込み用の伝送ゲート(トランスファ)MOS
FETQ5とQ6のゲートが接続された書き込み用ワー
ド線は、書込みは用のXアドレス信号XWを取り込むア
ドレスバッファX−IBF、その取り込まれたアドレス
信号を解読するデコーダX−DEC及びワードドライバ
X−WDにより選択される。これにより、読み出し用の
ワード線と書き込み用のワード線とは別々に、独立して
選択動作を行うようにすることができる。
【0025】書き込み用の相補データ線は、書き込み用
のカラムスイッチMOSFETQ11とQ12を介し
て、書き込み用の共通データ線WCDと/WCDに接続
される。この書き込み用の共通データ線WCDと/WC
Dには、書き込みアンプWAの出力が接続される。書き
込みアンプWAには、入力バッファDin−BFを通して
書き込み信号Dinが入力される。後述するように、書き
込み動作は回路の接地電位のようなロウレベルを一方の
書き込み用の相補データ線に供給し、選択されたメモリ
セルにおける記憶部のNチャンネル型MOSFETをオ
フ状態にして実質的なメモリセルの反転書き込みを行
う。このため、カラムスイッチMOSFETは、Nチャ
ンネル型MOSFETにより構成してレベル損失なく上
記ロウレベルの信号を書き込み用の相補データ線に伝え
るようにするものである。なお、同図では、メモリセル
が1つしか描かれてないので、書き込み又は読み出しの
相補データ線のツイスト部は省略されている。
【0026】読み出し用の相補データ線は、読み出し用
のカラムスイッチMOSFETQ9とQ10を介して、
読み出し用の共通データ線RCDと/RCDに接続され
る。この読み出し用の共通データ線RCDと/RCDの
信号は、差動型のセンスアンプSAにより増幅され、出
力バッファDo−BFを通して出力される。後述するよ
うに、読み出し信号は電源電圧側にシフトされた微小信
号からなり、このような微小信号を効率よくセンスアン
プSAに伝えるために、読み出し用のカラムスイッチM
OSFETQ9とQ10は、Pチャンネル型MOSFE
Tにより構成される。
【0027】上記のような読み出し用の共通データ線R
CDと/RDC及び書き込み用の共通データ線WCDと
/WCDは、メモリアレイを構成する他の同様なカラム
スイッチMOSFETを介して相補データ線にも選択的
に接続される。
【0028】上記読み出し用のカラムスイッチMOSF
ETQ9とQ10は、読み出し用のYアドレス信号YR
を取り込むアドレスバッファY−IBF、その取り込ま
れたアドレス信号を解読するデコーダY−DEC及び読
み出しカラムセレクト回路YSRにより選択される。同
様に、書き込み用のカラムスイッチMOSFETQ10
とQ11は、書き込み用のYアドレス信号YWを取り込
むアドレスバッファY−IBF、その取り込まれたアド
レス信号を解読するデコーダY−DEC及び書き込み用
のカラムセレクト回路YSWにより選択される。これに
より、読み出し用の相補データ線と込み用の相補データ
線とは別々に、独立して選択動作を行うようにすること
ができる、つまり、マルチ・ポートのスタティック型R
AMでは、上記のようなワード線の選択動作とも合わせ
て同じアドレスに対して書き込みと読み出しを同時に行
うことさえも可能になる。
【0029】図4には、この発明に係るスタティック型
RAMにおける他の一実施例の相補データ線の配置図が
示されている。同図(A)には、書き込み用と読み出し
用の相補データ線の間に、シールド用の配線が設けられ
る。このシールド用配線は、電源電圧又は回路の接地電
位のように交流的に接地されて、書き込みデータ線から
のカップリングノイズを吸収して、読み出し用の相補デ
ータ線に伝えられるのを防ぐようにするものである。
【0030】同図(B)では、前記図1又は図2の実施
例のような読み出し用の相補データ線に代えて、書き込
み用の相補データ線をメモリセル毎に交差させる。この
構成においても、一方の書き込みデータ線と相補の読み
出しデータ線とのカップリング容量をC/2のように分
散させることができ、それに対応して読み出し用の相補
データ線に発生するカップリングノイズもコモンモード
にすることができる。
【0031】この構成においても、書込みは用の相補デ
ータ線を外側に配置することにより、それが非選択状態
にされとき隣接の書き込みデータ線からのカップリング
ノイズに対するシールド効果を持たせることができる。
【0032】図5には、この発明に係るスタティック型
RAMが搭載された特定用途向の半導体集積回路装置の
一実施例の概略ブロック図が示されている。この実施例
では、論理ゲート部がゲートアレイ(Gate Array)部
により構成される。メモリ回路として4Kビットの比較
的小さな記憶容量を持つRAM1と、64Kビットのよ
うに比較的大きな記憶容量を持つRAM2が搭載され
る。特に制限されないが、メモリコントロール回路は、
ゲートアレイを利用して形成される。また、メモリ回路
RAM1又はRAM2のうち、少なくとも一方が前記の
ようなマルチ・ポート構成とされる。
【0033】図6は、上記メモリ回路の一実施例の全体
ブロック図が示されいてる。同図の各回路ブロックは、
それが形成される半導体チップ上での実際の幾何学的な
配置に合わせて描かれている。
【0034】メモリアレイ(ARRAY)は、Xデコー
ダX−DECを挟んで左右に分けられて設けられる。こ
れにより、物理的な1本のワード線に接続されるメモリ
セルの数を半分に減らすことができるのでワード線の選
択を高速に行えるようにすることができる。マルチ・ポ
ート構成では、ワード線が前記のように読み出し用と書
き込み用に別々に設けられる。
【0035】メモリアレイの下側には、センスアンプや
書き込みアンプ及びYデコーダのような周辺回路が設け
られる。マルチ・ポート構成のときには、Y系の選択回
路が読み出し用と書き込み用に別々に設けられる。これ
らの周辺回路に挟まれたXデコーダX−DECに対応し
た部分には、コントロール回路が設けられる。これらの
メモリアレイを構成するスタティック型メモリセルや、
XデコーダX−DEC、センスアンプ、書き込みアンプ
及びYデコーダやI/Oスイッチは、マクロセル化した
回路が組み合わされて、必要な記憶容量を持つものが形
成される。アドレスバッファやデータバッファのような
周辺回路は、メモリコントロール回路としてゲートアレ
イにより構成される。
【0036】図7には、この発明に係るマルチ・ポート
のスタティック型RAMの動作を説明するための波形図
が示されている。同図には、発明の理解を容易にするた
めに、前記のように従来のマルチ・ポートのスタティッ
ク型RAMの波形図も合わせて描かれている。
【0037】正常動作のときには、読みだ用のワード線
の選択動作に対応して読み出し用の相補データ線には小
さな信号振幅の読み出し信号が出力される。ハイレベル
は記憶部のハイレベルや電源電圧のようなハイレベルで
あることから、読み出し用の相補データ線に設けられる
プルアップMOSFETにより電源電圧のようなハイレ
ベルにされる。これに対して、ロウレベルは記憶部のN
チャンネル型MOSFET、伝送ゲートMOSFET及
びプルアップMOSFETのコンダクタンス比に従て形
成されたレベルにされる。同じ読み出し用の相補データ
線から次々にメモリセルの記憶情報を読み出すために、
言い換えるならば、反転情報の読み出しを高速に行うた
めに、読み出し用の相補データ線の信号振幅は、センス
アンプの時間時間との兼ね合いで可能な限り小さく設定
される。
【0038】書き込み用のデータ線は、メモリセルの記
憶部の状態を反転させるために、回路の接地電位のよう
なロウレベルが入力される。つまり、書き込み用の相補
データ線のうち、一方は電源電圧のようなハイレベルの
ままとなり、他方が電源電圧から回路の接地電位のよう
なロウレベルに引下げられる。
【0039】このような書き込み信号の入力により、カ
ップリングノイズが発生した従来回路では、ハイレベル
に維持すべき読み出し用の相補データ線が一時的にロウ
レベルに引下げられて、センスアンプがそれに応答して
偽データを出力させるために、読み出しタイミングを遅
くさせる必要がある。
【0040】これに対して、前記のような読み出しデー
タ線(又は書き込みデータ線)ツイストのような対策を
施した場合には、読み出し信号のハイレベルとロウレベ
ル側の双方に同様なカップリングノイズがのるが、差動
のセンスアンプにより相殺させられるので、直ちに有効
データを出力させることができるので、高速読み出しが
可能になる。
【0041】上記の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1) スタティック型記憶部の一対の入出力ノードに
書き込み用の伝送ゲートMOSFETと、読み出し用の
伝送ゲートMOSFETを設けてなるメモリセルを一対
の書き込み用と読み出し用の相補データ線の交点にマト
リックス配置するとともに、上記書き込み用の相補デー
タ線又は読み出し用の相補データ線を規則的に交差させ
て書き込み用の相補データ線から読み出し用の相補デー
タ線に同様なカップリングノイズが伝えられるようにす
ることにより、差動型のセンスアンプにより相殺させる
ことができるから、読み出し動作の高速化が実現できる
という効果が得られる。
【0042】(2) 上記書き込み用の相補データ線
を、メモリセルに対して外側に直線的に配置し、読み出
し用の相補データ線をメモリセル側に対して内側に配置
するとともに1つのメモリセル毎に交差させることによ
り、書き込み用の相補データ線を隣接する書き込み用の
相補データ線からのノイズに対してシールド効果を持た
せることができるとともに、書き込んだ信号をそのまま
読み出すようにすることができるという効果が得られ
る。
【0043】(3) 上記相補データ線の交差のうち一
方から他方に交差する部分はそのまま同じ第1の配線層
により他方側に延びてて入れ換え、それと交差するよう
他方から一方に入れ換えられる部分が上記第1の配線層
に対して絶縁膜を介して形成される他の配線層により迂
回させられて他方から一方に延びて入れ換えて上記第1
の配線層によるデータ線に接続することにより、交差さ
せられる相補データ線の容量バランスを採ることがで
き、これによってカップリングノイズの整合性を採るこ
とができるという効果が得られる。
【0044】(4) スタティック型記憶部の一対の入
出力ノードに書き込み用の伝送ゲートMOSFETと、
読み出し用の伝送ゲートMOSFETを設けてなるメモ
リセルを一対の書き込み用と読み出し用の相補データ線
の交点にマトリックス配置するとともに、上記書き込み
用の相補データ線と読み出し用の相補データ線との間に
交流的接地電位が与えられたシールド用配線を設けるこ
とにより、書き込みデータ線からのカップリングノイズ
を防ぐことができるという効果が得られる。
【0045】以上本発明者よりなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、本願発明は前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種
々変更可能であることはいうまでもない。例えば、スタ
ティック型メモリセルの記憶部は、CMOSラッチ回路
の他、Pチャンネル型MOSFETを高ポリシリコン抵
抗に置き換えたものであってもよい。
【0046】読み出し用又は書き込み用の相補データ線
の入れ換えは、上位X系の上位ビットのアドレスに指定
されるブロック単位で行うようにし、そのアドレス信号
を用いて書き込み信号と読み出し信号が逆レベルになる
ものは、出力回路で反転させて出力させるて整合させる
ものであってもよい。この構成では、交差部分が少なく
できるから回路のレイアウトがより簡単にできる。逆
に、1つのメモリセルの部分で2回交差させてメモリセ
ル毎に交差を基に戻して、書き込み信号と読み跣信号と
の整合性を採るものであってもよい。
【0047】この発明は、前記のようなゲートアレイの
ような半導体集積回路装置に内蔵されるものの他、アド
レス端子及びデータ端子が書き込み用と読み出し用の2
系統を持つ単体の2ポート・メモリとしても利用でき
る。
【0048】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、スタティック型記憶部の一
対の入出力ノードに書き込み用の伝送ゲートMOSFE
Tと、読み出し用の伝送ゲートMOSFETを設けてな
るメモリセルを一対の書き込み用と読み出し用の相補デ
ータ線の交点にマトリックス配置するとともに、上記書
き込み用の相補データ線又は読み出し用の相補データ線
を規則的に交差させて書き込み用の相補データ線から読
み出し用の相補データ線に同様なカップリングノイズが
伝えられるようにすることにより、差動型のセンスアン
プにより相殺させることができるから、読み出し動作の
高速化が実現できる。
【0049】上記書き込み用の相補データ線を、メモリ
セルに対して外側に直線的に配置し、読み出し用の相補
データ線をメモリセル側に対して内側に配置するととも
に1つのメモリセル毎に交差させることにより、書き込
み用の相補データ線を隣接する書き込み用の相補データ
線からのノイズに対してシールド効果を持たせることが
できるとともに、書き込んだ信号をそのまま読み出すよ
うにすることができる。
【0050】上記相補データ線の交差のうち一方から他
方に交差する部分はそのまま同じ第1の配線層により他
方側に延びてて入れ換え、それと交差するよう他方から
一方に入れ換えられる部分が上記第1の配線層に対して
絶縁膜を介して形成される他の配線層により迂回させら
れて他方から一方に延びて入れ換えて上記第1の配線層
によるデータ線に接続することにより、交差させられる
相補データ線の容量バランスを採ることができ、これに
よってカップリングノイズの整合性を採ることができ
る。
【0051】スタティック型記憶部の一対の入出力ノー
ドに書き込み用の伝送ゲートMOSFETと、読み出し
用の伝送ゲートMOSFETを設けてなるメモリセルを
一対の書き込み用と読み出し用の相補データ線の交点に
マトリックス配置するとともに、上記書き込み用の相補
データ線と読み出し用の相補データ線との間に交流的接
地電位が与えられたシールド用配線を設けることによ
り、書き込みデータ線からのカップリングノイズを防ぐ
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係るスタティック型RAMにおける
メモリアレイ部の一実施例を示す回路図である。
【図2】図1の相補データ線の配置図である。
【図3】この発明が適用されるマルチ・ポートのスタテ
ィック型RAMの一実施例を示す全体ブロック図であ
る。
【図4】この発明に係るスタティック型RAMおける他
の一実施例を示す相補データ線の配置図である。
【図5】この発明に係るスタティック型RAMが搭載さ
れた特定用途向の半導体集積回路装置の一実施例を示す
概略ブロック図である。
【図6】図5のメモリ回路の一実施例を示す全体ブロッ
ク図である。
【図7】この発明に係るマルチ・ポートのスタティック
型RAMの動作を説明するための波形図である。
【符号の説明】
MC1〜MC4…メモリセル、WWL1〜WWL4…書
き込み用ワード線、RWL1〜RWL4…読み出し用ワ
ード線、RDL,/RDL…読み出し用相補データ線、
WDL,/WDL…書き込み用データ線、X−IBF…
Xアドレスバッファ、X−DEC…Xデコーダ、X−W
D…ワードドライバ、Y−IBF…Yアドレスバッフ
ァ、Y−DEC…Yデコーダ、YSR…読み出し用Yセ
レクト回路、YSW…書き込み用セレクト回路、WA…
ライトアンプ、SA…センスアンプ、Din−BF…入力
バッファ、Do−BF…出力バッファ、RCD,/RC
D…読み出し用共通データ線、WCD,/WCD…書き
込み用共通データ線、RAM1,RAM2…メモリ回
路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 浩章 茨城県日立市幸町3丁目2番1号 日立エ ンジニアリング株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スタティック型記憶部の一対の入出力ノ
    ードと書き込み用の相補データ線との間に設けられ、ゲ
    ートが書き込み用ワード線に接続された書き込み用伝送
    ゲートMOSFETと、上記一対の入出力ノードと読み
    出し用の相補データ線との間に設けられ、ゲートが読み
    出し用ワード線に接続された読み出し用伝送ゲートMO
    SFETとからなるメモリセルが上記一対の書き込み用
    と読み出し用ワード線と、上記一対の書き込み用と読み
    出し用の相補データ線の交点にマトリックス配置されて
    なるメモリアレイを備え、上記書き込み用の相補データ
    線又は読み出し用の相補データ線を規則的に交差させて
    書き込み用の相補データ線から読み出し用の相補データ
    線に同様なカップリングノイズが伝えられるようにして
    なることを特徴とするスタティック型RAM。
  2. 【請求項2】 上記書き込み用の相補データ線は、メモ
    リセルに対して外側に直線的に配置され、読み出し用の
    相補データ線をメモリセル側に対して内側に配置すると
    ともに1つのメモリセル毎に交差させることを特徴とす
    る請求項1のスタティック型RAM。
  3. 【請求項3】 上記相補データ線の交差のうち一方から
    他方に交差する部分はそのまま同じ第1の配線層により
    他方側に延びてて入れ換えられ、それと交差するよう他
    方から一方に入れ換えられる部分が上記第1の配線層に
    対して絶縁膜を介して形成される他の配線層により迂回
    させられて他方から一方に延びて入れ換えられ、上記第
    1の配線層によるデータ線に接続されるものであること
    を特徴とする請求項2のスタティック型RAM。
  4. 【請求項4】 スタティック型記憶部の一対の入出力ノ
    ードと書き込み用の相補データ線との間に設けられ、ゲ
    ートが書き込み用ワード線に接続された書き込み用伝送
    ゲートMOSFETと、上記一対の入出力ノードと読み
    出し用の相補データ線との間に設けられ、ゲートが読み
    出し用ワード線に接続された読み出し用伝送ゲートMO
    SFETとからなるメモリセルが上記一対の書き込み用
    と読み出し用ワード線と、上記一対の書き込み用と読み
    出し用の相補データ線の交点にマトリックス配置されて
    なるメモリアレイを備え、上記書き込み用の相補データ
    線と読み出し用の相補データ線との間に交流的接地電位
    が与えられたシールド用配線を設けてなることを特徴と
    するスタティック型RAM。
JP6046320A 1994-02-21 1994-02-21 スタティック型ram Pending JPH07235184A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100326105B1 (ko) * 1998-05-14 2002-08-13 후지쯔 가부시끼가이샤 반도체기억장치
US6665204B2 (en) 2000-02-04 2003-12-16 Nec Corporation Semiconductor memory device for decreasing a coupling capacitance
JP2006173643A (ja) * 2006-01-12 2006-06-29 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置

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