JPH07231156A - 配線基板の製造装置 - Google Patents
配線基板の製造装置Info
- Publication number
- JPH07231156A JPH07231156A JP4189994A JP4189994A JPH07231156A JP H07231156 A JPH07231156 A JP H07231156A JP 4189994 A JP4189994 A JP 4189994A JP 4189994 A JP4189994 A JP 4189994A JP H07231156 A JPH07231156 A JP H07231156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- wiring board
- film substrate
- shaft
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルム基板等の配線基板の製造装置におい
て、搬送ローラによる配線基板表面の傷付きを防止す
る。 【構成】 搬送されるフィルム基板１の表裏両面にそれ
ぞれ接触してフィルム基板１の搬送をガイドする回転自
在な上下対をなす搬送ローラ１１，１１を備えた配線基
板の製造装置において、ローラ支持部１０に軸受１６を
介して支持した回転自在な軸部１３と、この軸部１３に
対しさらに回転自在に組み付けたローラ部１２とから構
成して、例えば、軸部１３が多少回転しにくくなって
も、その軸部１３上をローラ部１２が回転する二重構造
の搬送ローラ１１を備える。
て、搬送ローラによる配線基板表面の傷付きを防止す
る。 【構成】 搬送されるフィルム基板１の表裏両面にそれ
ぞれ接触してフィルム基板１の搬送をガイドする回転自
在な上下対をなす搬送ローラ１１，１１を備えた配線基
板の製造装置において、ローラ支持部１０に軸受１６を
介して支持した回転自在な軸部１３と、この軸部１３に
対しさらに回転自在に組み付けたローラ部１２とから構
成して、例えば、軸部１３が多少回転しにくくなって
も、その軸部１３上をローラ部１２が回転する二重構造
の搬送ローラ１１を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルム配線基板等の
配線基板の製造装置に関するものである。
配線基板の製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、フィルム配線基板を製造する方
法として、銅等の金属からなる導電膜をポリイミド等の
樹脂からなるベースフィルムの片面または両面に被着し
てなる長尺状のフィルム基板に、液状またはフィルム状
のフォトレジストを塗布またはラミネートし、次いで、
露光装置によって露光し、次いで、現像装置によって現
像し、次いで、エッチング装置によってエッチングし、
次いで、剥離装置によってフォトレジストを剥離してな
るフォトリソグラフィーと呼ばれる方法がある。
法として、銅等の金属からなる導電膜をポリイミド等の
樹脂からなるベースフィルムの片面または両面に被着し
てなる長尺状のフィルム基板に、液状またはフィルム状
のフォトレジストを塗布またはラミネートし、次いで、
露光装置によって露光し、次いで、現像装置によって現
像し、次いで、エッチング装置によってエッチングし、
次いで、剥離装置によってフォトレジストを剥離してな
るフォトリソグラフィーと呼ばれる方法がある。
【０００３】また、上述したフィルム基板にメッキを施
すためのメッキ装置があり、このメッキ装置で、フィル
ム基板をメッキ槽内のメッキ液中を通過させて、導電膜
上にメッキ膜を形成する場合もある。
すためのメッキ装置があり、このメッキ装置で、フィル
ム基板をメッキ槽内のメッキ液中を通過させて、導電膜
上にメッキ膜を形成する場合もある。
【０００４】そして、これらの各製造プロセスにおいて
フィルム基板はリールツーリールの状態で処理され、処
理前のフィルム基板はリールに巻かれており、処理後の
フィルム基板もリールに巻き取られる。
フィルム基板はリールツーリールの状態で処理され、処
理前のフィルム基板はリールに巻かれており、処理後の
フィルム基板もリールに巻き取られる。
【０００５】ところで、現像装置では、フィルム基板を
一定の速度で搬送しながらスプレーノズルで現像液を噴
霧している。また、エッチング装置では、フィルム基板
を一定の速度で搬送しながらスプレーノズルでエッチン
グ液を噴霧している。さらに、剥離装置では、フィルム
基板を一定の速度で搬送しながらスプレーノズルで剥離
液を噴霧している。また、メッキ装置では、フィルム基
板を一定の速度で搬送しながらメッキ槽内のメッキ液中
を通過させている。このため、このような薬液噴霧装置
もしくは薬液浸漬装置では、フィルム基板を一定の速度
で搬送するための基板搬送装置が備えられている。
一定の速度で搬送しながらスプレーノズルで現像液を噴
霧している。また、エッチング装置では、フィルム基板
を一定の速度で搬送しながらスプレーノズルでエッチン
グ液を噴霧している。さらに、剥離装置では、フィルム
基板を一定の速度で搬送しながらスプレーノズルで剥離
液を噴霧している。また、メッキ装置では、フィルム基
板を一定の速度で搬送しながらメッキ槽内のメッキ液中
を通過させている。このため、このような薬液噴霧装置
もしくは薬液浸漬装置では、フィルム基板を一定の速度
で搬送するための基板搬送装置が備えられている。
【０００６】図４および図５はこのような基板搬送装置
に用いられる従来の搬送ローラ部分の一例を示したもの
で、フィルム基板４１は、図示しない駆動スプロケット
により一定の速度で搬送され、このため、左右両側部に
沿ってスプロケットホール４１ａ，４１ａ，４１ａ，
…，４１ａ，４１ａ，４１ａ，…を有している。そし
て、このフィルム基板４１を挟むようにして上下対をな
す回転自在な搬送ローラ４２，４２が設けられており、
この搬送ローラ４２は、両端の軸部４２ａ，４２ａで軸
受４３，４３を介してそれぞれ回転自在に固定壁４４，
４４に組み付けられている。
に用いられる従来の搬送ローラ部分の一例を示したもの
で、フィルム基板４１は、図示しない駆動スプロケット
により一定の速度で搬送され、このため、左右両側部に
沿ってスプロケットホール４１ａ，４１ａ，４１ａ，
…，４１ａ，４１ａ，４１ａ，…を有している。そし
て、このフィルム基板４１を挟むようにして上下対をな
す回転自在な搬送ローラ４２，４２が設けられており、
この搬送ローラ４２は、両端の軸部４２ａ，４２ａで軸
受４３，４３を介してそれぞれ回転自在に固定壁４４，
４４に組み付けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送ローラ４２では、軸受４３の滑りが悪い
と、フィルム基板４１の搬送速度と搬送ローラ４２の回
転速度に差が生じ、搬送ローラ４２がフィルム基板４１
の表面をこする現象が起こる。特に、エッチング工程や
メッキ工程など、乾燥すると結晶化するような薬液を使
う工程の場合、軸受４３の回転が渋りやすく、フォトレ
ジスト表面や導電膜やメッキ膜に傷を付けてしまう欠点
があった。
うな従来の搬送ローラ４２では、軸受４３の滑りが悪い
と、フィルム基板４１の搬送速度と搬送ローラ４２の回
転速度に差が生じ、搬送ローラ４２がフィルム基板４１
の表面をこする現象が起こる。特に、エッチング工程や
メッキ工程など、乾燥すると結晶化するような薬液を使
う工程の場合、軸受４３の回転が渋りやすく、フォトレ
ジスト表面や導電膜やメッキ膜に傷を付けてしまう欠点
があった。
【０００８】そこで、本発明の目的は、搬送ローラによ
るフィルム基板等の配線基板表面の傷付きを防止するよ
うにした配線基板の製造装置を提供することにある。
るフィルム基板等の配線基板表面の傷付きを防止するよ
うにした配線基板の製造装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
本発明は、搬送される配線基板の表面に接触して配線基
板の搬送をガイドする回転自在な搬送ローラを備えた配
線基板の製造装置において、回転自在な軸部と、この軸
部に対しさらに回転自在に組み付けたローラ部とからな
る前記搬送ローラの構成を特徴としている。
本発明は、搬送される配線基板の表面に接触して配線基
板の搬送をガイドする回転自在な搬送ローラを備えた配
線基板の製造装置において、回転自在な軸部と、この軸
部に対しさらに回転自在に組み付けたローラ部とからな
る前記搬送ローラの構成を特徴としている。
【００１０】
【作用】回転自在な軸部に対しさらにローラ部を回転自
在に組み付けてなる搬送ローラなので、例えば、軸部が
多少回転しにくくなっても、その軸部上をローラ部が自
在に回転するため、配線基板表面と搬送ローラとの間に
こすれが生じることはない。従って、配線基板の表面の
傷付きを防止できる。
在に組み付けてなる搬送ローラなので、例えば、軸部が
多少回転しにくくなっても、その軸部上をローラ部が自
在に回転するため、配線基板表面と搬送ローラとの間に
こすれが生じることはない。従って、配線基板の表面の
傷付きを防止できる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明に係る配線基板の製造装置の
実施例を図１乃至図３に基づいて説明する。
実施例を図１乃至図３に基づいて説明する。
【００１２】先ず、図１は本発明を適用した配線基板の
製造装置の一例としての薬液噴霧装置の要部構成を示す
もので、１は配線基板であるフィルム基板、２はスプレ
ーノズル、３は薬液、４は送り出しリール、５，６は駆
動スプロケット、７は巻き取りリール、１１は搬送ロー
ラである。
製造装置の一例としての薬液噴霧装置の要部構成を示す
もので、１は配線基板であるフィルム基板、２はスプレ
ーノズル、３は薬液、４は送り出しリール、５，６は駆
動スプロケット、７は巻き取りリール、１１は搬送ロー
ラである。
【００１３】この薬液噴霧装置では、基板搬送装置によ
ってフィルム基板１を一定の速度で搬送しながら上下の
スプレーノズル２，２、２，２で現像液等の薬液３，
３，３，３をそれぞれ噴霧するようになっている。この
基板搬送装置は、処理前のフィルム基板１を巻き付けた
送り出しリール４と、処理後のフィルム基板１を巻き取
る巻き取りリール７との間に構成されるもので、送り出
しリール４の後側に配置した駆動スプロケット５と、巻
き取りリール７の手前側に配置した駆動スプロケット６
と、薬液噴霧装置内に配置した上下対（図示例では３
組）をなす搬送ローラ１１，１１、１１，１１、１１，
１１からなる。
ってフィルム基板１を一定の速度で搬送しながら上下の
スプレーノズル２，２、２，２で現像液等の薬液３，
３，３，３をそれぞれ噴霧するようになっている。この
基板搬送装置は、処理前のフィルム基板１を巻き付けた
送り出しリール４と、処理後のフィルム基板１を巻き取
る巻き取りリール７との間に構成されるもので、送り出
しリール４の後側に配置した駆動スプロケット５と、巻
き取りリール７の手前側に配置した駆動スプロケット６
と、薬液噴霧装置内に配置した上下対（図示例では３
組）をなす搬送ローラ１１，１１、１１，１１、１１，
１１からなる。
【００１４】駆動スプロケット５，６は、図示しないモ
ータの駆動により矢印で示す時計廻りに同期してそれぞ
れ回転するもので、そのそれぞれのスプロケット歯５
ａ，５ａ，５ａ，…、６ａ，６ａ，６ａ，…が、図２に
示すフィルム基板１の幅方向両側部に沿って形成したス
プロケットホール１ａ，１ａ，１ａ，…，１ａ，１ａ，
１ａ，…にそれぞれ係合して、フィルム基板１を一定の
速度で搬送する。このフィルム基板１の搬送の際、上側
の搬送ローラ１１，１１，１１と下側の搬送ローラ１
１，１１，１１との間にフィルム基板１を挟んでガイド
する。
ータの駆動により矢印で示す時計廻りに同期してそれぞ
れ回転するもので、そのそれぞれのスプロケット歯５
ａ，５ａ，５ａ，…、６ａ，６ａ，６ａ，…が、図２に
示すフィルム基板１の幅方向両側部に沿って形成したス
プロケットホール１ａ，１ａ，１ａ，…，１ａ，１ａ，
１ａ，…にそれぞれ係合して、フィルム基板１を一定の
速度で搬送する。このフィルム基板１の搬送の際、上側
の搬送ローラ１１，１１，１１と下側の搬送ローラ１
１，１１，１１との間にフィルム基板１を挟んでガイド
する。
【００１５】搬送ローラ１１は、図２および図３に示す
ように、ローラ部１２と軸部１３との二重構造からな
る。即ち、ローラ１２部は円筒状のもので、軸部１３は
このローラ部１３を回転自在に支持する円柱状のもので
ある。これらローラ部１２および軸部１３は、ともに薬
液に溶解しない樹脂製のものであり、例えば、自己潤滑
性を有するものである。
ように、ローラ部１２と軸部１３との二重構造からな
る。即ち、ローラ１２部は円筒状のもので、軸部１３は
このローラ部１３を回転自在に支持する円柱状のもので
ある。これらローラ部１２および軸部１３は、ともに薬
液に溶解しない樹脂製のものであり、例えば、自己潤滑
性を有するものである。
【００１６】また、軸部１３は、両端側にフランジ部１
４，１４を備えて、このフランジ部１４端面から突出す
る軸端部１５，１５を有している。フランジ部１４，１
４間の軸部１３上にローラ部１２を回転自在に組み付け
た状態で、ローラ部１２の両端面とフランジ部１４，１
４との間にはクリアランスがそれぞれ確保されている。
そして、軸端部１５，１５が、ローラ支持部１０，１０
に対し軸受１６，１６を介してそれぞれ組み付けられて
おり、これにより軸部１３が回転自在となっている。
４，１４を備えて、このフランジ部１４端面から突出す
る軸端部１５，１５を有している。フランジ部１４，１
４間の軸部１３上にローラ部１２を回転自在に組み付け
た状態で、ローラ部１２の両端面とフランジ部１４，１
４との間にはクリアランスがそれぞれ確保されている。
そして、軸端部１５，１５が、ローラ支持部１０，１０
に対し軸受１６，１６を介してそれぞれ組み付けられて
おり、これにより軸部１３が回転自在となっている。
【００１７】このような二重構造の搬送ローラ１１を配
置した基板搬送装置を備える薬液噴霧装置によれば、モ
ータの駆動により駆動スプロケット５，６が図１に矢印
で示す時計廻りに同期してそれぞれ回転し、これにより
送り出しロール４からフィルム基板１が送り出されて一
定の速度で搬送され、上側の搬送ローラ１１，１１，１
１と下側の搬送ローラ１１，１１，１１との間でガイド
され、上下それぞれのスプレーノズル２，２、２，２に
よって現像液等の薬液３，３，３，３が噴霧されて、そ
の処理後のフィルム基板１が巻き取りリール７に巻き取
られていく。
置した基板搬送装置を備える薬液噴霧装置によれば、モ
ータの駆動により駆動スプロケット５，６が図１に矢印
で示す時計廻りに同期してそれぞれ回転し、これにより
送り出しロール４からフィルム基板１が送り出されて一
定の速度で搬送され、上側の搬送ローラ１１，１１，１
１と下側の搬送ローラ１１，１１，１１との間でガイド
され、上下それぞれのスプレーノズル２，２、２，２に
よって現像液等の薬液３，３，３，３が噴霧されて、そ
の処理後のフィルム基板１が巻き取りリール７に巻き取
られていく。
【００１８】以上において、搬送ローラ１１は、ローラ
支持部１０，１０に対し軸受１６，１６を介して支持し
た回転自在な軸部１３と、この軸部１３上にさらに円筒
状のローラ部１２を回転自在に組み付けた二重構造のも
のであるため、例えば、薬液３の影響により軸受１６の
回転が渋くなって、軸部１３が多少回転しにくくなった
場合であっても、フィルム基板１の表面と接触するロー
ラ部１２が軸部１３上を空転するように自在に回転する
ため、フィルム基板１の表面と搬送ローラ１１との間に
こすれが生じることはない。従って、フィルム基板１の
表面、例えば、フォトレジスト表面や導電膜やメッキ膜
に対する傷付きを防止することができる。
支持部１０，１０に対し軸受１６，１６を介して支持し
た回転自在な軸部１３と、この軸部１３上にさらに円筒
状のローラ部１２を回転自在に組み付けた二重構造のも
のであるため、例えば、薬液３の影響により軸受１６の
回転が渋くなって、軸部１３が多少回転しにくくなった
場合であっても、フィルム基板１の表面と接触するロー
ラ部１２が軸部１３上を空転するように自在に回転する
ため、フィルム基板１の表面と搬送ローラ１１との間に
こすれが生じることはない。従って、フィルム基板１の
表面、例えば、フォトレジスト表面や導電膜やメッキ膜
に対する傷付きを防止することができる。
【００１９】なお、以上の実施例においては、搬送する
配線基板をフィルム基板としたが、本発明はこれに限定
されるものではなく、ハード基板に適用してもよい。ま
た、搬送ローラの二重式の回転自在な構造についても、
実施例のみに限らず、同様の機能を奏するものであれば
他の構成のものでもよく、任意であり、その他、具体的
な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿
論である。
配線基板をフィルム基板としたが、本発明はこれに限定
されるものではなく、ハード基板に適用してもよい。ま
た、搬送ローラの二重式の回転自在な構造についても、
実施例のみに限らず、同様の機能を奏するものであれば
他の構成のものでもよく、任意であり、その他、具体的
な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿
論である。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る配線基板の
製造装置によれば、回転自在な軸部に対しさらにローラ
部を回転自在に組み付けてなる搬送ローラを備えている
ため、例えば、軸部が多少回転しにくくなっても、その
軸部上をローラ部が自在に回転して、配線基板表面と搬
送ローラとの間のこすれの発生を防止することができ
る。従って、表面に傷付きのない配線基板を製造するこ
とができる。
製造装置によれば、回転自在な軸部に対しさらにローラ
部を回転自在に組み付けてなる搬送ローラを備えている
ため、例えば、軸部が多少回転しにくくなっても、その
軸部上をローラ部が自在に回転して、配線基板表面と搬
送ローラとの間のこすれの発生を防止することができ
る。従って、表面に傷付きのない配線基板を製造するこ
とができる。
【図１】本発明を適用した配線基板の製造装置の一例と
しての薬液噴霧装置の要部構成を示す概略側面図であ
る。
しての薬液噴霧装置の要部構成を示す概略側面図であ
る。
【図２】図１の搬送ローラ部分の拡大平面図である。
【図３】図２の搬送ローラ部分の縦断正面図である。
【図４】従来の搬送ローラ部分の一例を示した平面図で
ある。
ある。
【図５】図４の搬送ローラ部分の縦断正面図である。
１ フィルム基板 ２ スプレーノズル ３ 薬液 ４ 送り出しリール ５，６ 駆動スプロケット ７ 巻き取りリール １０ ローラ支持部 １１ 搬送ローラ １２ ローラ部 １３ 軸部 １４ フランジ部 １５ 軸端部 １６ 軸受
Claims (1)
- 【請求項１】 搬送される配線基板の表面に接触して配
線基板の搬送をガイドする回転自在な搬送ローラを備え
た配線基板の製造装置において、 前記搬送ローラを、回転自在な軸部と、この軸部に対し
さらに回転自在に組み付けたローラ部とから構成したこ
とを特徴とする配線基板の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189994A JPH07231156A (ja) | 1994-02-15 | 1994-02-15 | 配線基板の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189994A JPH07231156A (ja) | 1994-02-15 | 1994-02-15 | 配線基板の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07231156A true JPH07231156A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=12621141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4189994A Abandoned JPH07231156A (ja) | 1994-02-15 | 1994-02-15 | 配線基板の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07231156A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008274341A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Automax Technologies Co Ltd | 薄板エッチング輸送装置 |
-
1994
- 1994-02-15 JP JP4189994A patent/JPH07231156A/ja not_active Abandoned
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008274341A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Automax Technologies Co Ltd | 薄板エッチング輸送装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20090277983A1 (en) | Method and apparatus for producing film roll, and film roll | |
| JP3175908B2 (ja) | 液処理装置の基板搬送装置 | |
| JP4486373B2 (ja) | ラミネート方法およびその方法を用いたラミネート装置 | |
| JPH03107478A (ja) | 基板の片面噴霧処理装置及び方法 | |
| JPH07231156A (ja) | 配線基板の製造装置 | |
| JP2004265943A (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置および搬送方法 | |
| JPH08244930A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP4268187B2 (ja) | 表面処理装置のコンベア | |
| JP2006222117A (ja) | 基板材の搬送装置 | |
| US3712735A (en) | Apparatus for photo etching | |
| JP2000177841A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2003055779A (ja) | 基板のエッチング方法、およびエッチング装置 | |
| TW457133B (en) | A conveying mechanism for printed wiring substrates | |
| JPH02128493A (ja) | プリント配線基板の搬送装置 | |
| JP2003198097A (ja) | 配線基板の製造方法及び製造装置 | |
| JPS6016913Y2 (ja) | フィルム搬送装置 | |
| JPH03255694A (ja) | エッチング装置 | |
| JP2546440B2 (ja) | プリント基板のエッチング装置 | |
| JP3576467B2 (ja) | プリント配線基板材の搬送機構 | |
| JP2004073925A (ja) | 基板への処理液の塗布方法及び塗布装置 | |
| JP2008126220A (ja) | 表面処理装置のコンベア | |
| JP2002014308A (ja) | 基板製造装置および基板洗浄装置および基板エッチング装置 | |
| JP3389321B2 (ja) | 基板搬送装置およびそれを用いた混成集積回路装置の製造方法 | |
| KR101319338B1 (ko) | 인쇄장치 및 이를 이용한 패턴형성방법 | |
| JPH04313544A (ja) | 基板搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040427 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Effective date: 20040625 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 |