JPH07214069A - 廃液等の被処理液の処理方法とその装置 - Google Patents

廃液等の被処理液の処理方法とその装置

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JPH07214069A
JPH07214069A JP6013754A JP1375494A JPH07214069A JP H07214069 A JPH07214069 A JP H07214069A JP 6013754 A JP6013754 A JP 6013754A JP 1375494 A JP1375494 A JP 1375494A JP H07214069 A JPH07214069 A JP H07214069A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 酸を含有する廃液中から、その酸を回収する
とともに、アルカリを原液供給ラインに戻して循環させ
る廃液等の被処理液の処理方法と、その処理装置に関
し、その使用電力の削減を図るとともに装置全体の電気
設備を縮小させる。 【構成】 廃液等の被処理液を、必要に応じて中和した
後、第一電気透析装置3の脱塩室5を通過させて脱塩液
と濃縮液とに分離させた後、該脱塩水を、第二電気透析
装置6の酸ライン6a及びアルカリライン6bを通過させる
ことにより酸とアルカリ溶液として濃縮し、しかも前記
濃縮液を、第二電気透析装置の脱塩室6cを通過させた
後、再度第一電気透析装置の濃縮室4を通過させて第一
電気透析装置の濃縮室と第二電気透析装置の脱塩室とを
循環して通過させることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は廃液等の被処理液の処理
方法とその装置、さらに詳しくは、たとえば硝酸等の酸
を含有する廃液中から、その酸を回収するとともに、水
酸化ナトリウム等のアルカリを原液供給ラインに戻して
循環させる廃液等の被処理液の処理方法と、その処理装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の処理装置としては、図2
に示すような装置が用いられている。
【0003】すなわち、従来のこの種の装置は、同図に
示すように、廃液を貯留した原液貯留槽1dと、該原液貯
留槽1dから供給される原液のpHを調整するためのpH
調整槽2d,2e と、該pH調整槽2dでpHが中性に調整さ
れた被処理液を電気透析すべく、脱塩室5dと濃縮室4dと
に区画された第一電気透析装置3dと、該第一電気透析装
置3dの濃縮室4dを通過して濃縮された濃縮液を脱塩する
とともに、前記第一電気透析装置3dの脱塩室5d側を通過
する脱塩水を通過させて酸とアルカリ溶液に分離するた
めの第二電気透析装置6dと、該第二電気透析装置6dで回
収された酸を貯留するための酸貯留槽7dとを備えた構成
からなるものである。
【0004】そして、原液としての廃液は、原液貯留槽
1dから流路8d,8e を経てpH調整槽2d,2e に供給されて
pHが調整され、pHが調整された被処理液は、中性塩
を含む溶液として流路9dを介して第一電気透析装置3dの
濃縮室4dに供給される。
【0005】また、その第一電気透析装置3dの濃縮室4d
を通過した中性塩は濃縮されて流路10d を介して第二電
気透析装置6dの脱塩室6gへ供給され、該第二電気透析装
置6dの脱塩室6gを通過した中性塩を含む溶液は脱塩され
て流路11d を介して前記第一電気透析装置3dの脱塩室5d
へ供給され、該第一電気透析装置3dの脱塩室5dを通過し
た中性塩は、さらに脱塩されて脱塩水となって流路12d
を介して前記第二電気透析装置6dの酸ライン6e及びアル
カリライン6fに供給される。
【0006】このようにして第二電気透析装置6dに供給
された脱塩水は、その第二電気透析装置6dで酸又はアル
カリ溶液として濃縮され、濃縮された酸は酸貯留槽7dに
回収され、また濃縮されたアルカリ溶液は、前記pH調
整槽2dに戻すべく供給されることとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記のような
処理装置において、たとえばpH調整槽2dでのpH調整
後の中性塩溶液の濃度が4%の場合には、第一電気透析
装置3dを通過すると6%まで濃縮され、その後に第二電
気透析装置6dを通過した中性塩は5%に希釈される。
【0008】しかるに、このような4%の中性塩を6%
まで濃縮した後に5%に希釈するのは必ずしも効率の良
いものではなく、特に濃度を4%から6%まで濃縮する
に際して通過させる第一電気透析装置3dでは、濃度の変
化に関連するイオンの移動量が、該第一電気透析装置3d
で消費される電気量に比例するため、濃度を2%分濃縮
させるに要する電気量は必ずしも無視することができ
ず、従って第一電気透析装置4dにかかる負荷も必ずしも
無視できないものとなっていた。
【0009】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、上記のような第一電気透析装置
での濃縮に要する電気量を削減することによってその第
一電気透析装置にかかる負荷を減少させ、また使用電力
の削減を図るとともに装置全体の電気設備を縮小させる
ことを課題とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために、廃液等の被処理液の処理方法とそ
の装置としてなされたもので、廃液等の被処理液の処理
方法としての特徴は、廃液等の被処理液を、必要に応じ
て中和した後、陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、濃縮
室4及び脱塩室5を備えた第一電気透析装置3の脱塩室
5を通過させて脱塩液と濃縮液とに分離させた後、該第
一電気透析装置3の脱塩室5を通過する脱塩水を、バイ
ポーラ膜、陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、酸濃縮用
の酸ライン6a及びアルカリ濃縮用のアルカリライン6bを
備えた第二電気透析装置6の前記酸ライン6a及びアルカ
リライン6bを通過させることにより酸とアルカリ溶液と
して濃縮し、しかも前記第一電気透析装置3の濃縮室4
を通過させて濃縮させた濃縮液を、前記第二電気透析装
置6の脱塩室6cを通過させた後、再度前記第一電気透析
装置3の濃縮室4を通過させて該第一電気透析装置3の
濃縮室4と第二電気透析装置6の脱塩室6cとを循環して
通過させることにある。
【0011】また、被処理液の処理装置としての特徴
は、原液としての廃液等の被処理液を通過させるべく、
陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、濃縮室4、及び脱塩
室5を備えた第一電気透析装置3と、該第一電気透析装
置3の通過後の被処理液を脱塩するとともに酸及びアル
カリとして濃縮すべく、バイポーラ膜、陽イオン交換
膜、陰イオン交換膜、酸ライン6a、及びアルカリライン
6bを備えた第二電気透析装置6とを具備した廃液等の被
処理液の処理装置において、原液としての被処理液を供
給する流路9は前記第一電気透析装置3の脱塩室5の入
口部に接続されてなるとともに、該第一電気透析装置3
の脱塩室5の出口部は前記第二電気透析装置6の酸ライ
ン6a及びアルカリライン6bに接続され、且つ前記第一電
気透析装置3の濃縮室4の出口部は、該第一電気透析装
置3の濃縮室4を通過する濃縮液の流路10を介して前記
第二電気透析装置6の脱塩室6cの入口部に接続され、し
かも前記第二電気透析装置6の脱塩室6cの出口部は流路
11を介して該第一電気透析装置3の濃縮室4の入口部に
接続されてなることにある。
【0012】
【作用】そして、上記のような処理装置を稼働すると、
先ず廃液等の被処理液は、必要に応じて中和された後、
第一電気透析装置3の脱塩室5に供給され、その脱塩室
5を通過した後、第二電気透析装置6の酸ライン6a及び
アルカリライン6bに供給される。
【0013】このようにして第一電気透析装置3の脱塩
室5を通過した液は、その第二電気透析装置6で酸とア
ルカリ溶液として濃縮され、酸は回収され、アルカリ溶
液は前記第一電気透析装置3の手前側に戻すべく供給さ
れる。
【0014】一方、上記のように第一電気透析装置3の
脱塩室5に供給された被処理液中の中性塩は、濃縮室4
に移動し、その濃縮室4を経て第二電気透析装置6の脱
塩室6cに供給される。
【0015】そして第二電気透析装置6の脱塩室6cに供
給された濃縮液は、該第二電気透析装置6の脱塩室6cを
通過した後、再度第一電気透析装置3の濃縮室4に供給
され、第一電気透析装置3と第二電気透析装置6とを循
環する。
【0016】このようにして被処理液が第一電気透析装
置3及び第二電気透析装置6を通過して循環する場合に
おいて、原液としての被処理液がたとえば4%の場合、
先ず第一電気透析装置3の脱塩室5を通過した後は0.5
%に脱塩され、脱塩液として第二電気透析装置6の酸ラ
イン,アルカリラインに供給される。
【0017】一方、第一電気透析装置3の濃縮室4と第
二電気透析装置6の脱塩室6cの流路10間では中性塩溶液
の濃度は6%となり、また第二電気透析装置6の脱塩室
6cと第一電気透析装置3の濃縮室4との流路11間では中
性塩溶液の濃度は5%となる。
【0018】従って、第二電気透析装置6の脱塩室6cを
通過した後に第一電気透析装置3の濃縮室4に流入する
脱塩液の濃度は5%であり、その5%の濃度の脱塩液が
該第一電気透析装置3の濃縮室4を通過した後には6%
に濃縮されることとなる。
【0019】よって、第一電気透析装置3の濃縮室5を
通過する場合に濃度が1%しか濃縮されないために、該
第一電気透析装置3にかかる負荷も少なくなるのであ
る。
【0020】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。先
ず、一実施例としての廃液の処理装置の構成について説
明する。
【0021】図1において、1は原液としての廃液を貯
留するための原液貯留槽で、その廃液が供給されてpH
を調整するためのpH調整槽2aに流路8aを介して接続さ
れており、さらにそのpH調整槽2aは流路8bを介して補
助的なpH調整槽2bに接続されている。
【0022】3は、前記pH調整槽2a,2b を通過してp
Hが調整された被処理液を電気透析すべく、脱塩室5と
濃縮室4とに区画された第一電気透析装置で、バイポー
ラ膜,アニオン交換膜,カチオン交換膜を備えた構成か
らなり、該第一電気透析装置3の脱塩室5に流路9を介
して前記pH調整槽2bに接続されている。
【0023】6は、前記第一電気透析装置3を通過した
被処理液を通過させて酸とアルカリ溶液に分離するため
の第二電気透析装置で、バイポーラ膜,アニオン交換
膜,カチオン交換膜を備えた構成からなり、その脱塩室
6cの入口部が流路10を介して前記第一電気透析装置3の
濃縮室4の出口部に接続されているとともに脱塩室6cの
出口部が流路11を介して該第一電気透析装置3の濃縮室
4の入口部に接続されており、また酸ライン6aとアルカ
リライン6bは、流路12を介して該第一電気透析装置3の
脱塩室5の出口部にも接続されている。
【0024】7は、前記第二電気透析装置6で回収され
た酸を貯留するための酸貯留槽である。
【0025】次に、上記のような構成からなる廃液の処
理装置で、廃液を処理する方法について説明する。
【0026】そして、上記のような処理装置を稼働する
と、先ず原液貯留槽1に貯留された被処理液(原液)と
しての廃液は、流路8を介してpH調整槽2aへ供給さ
れ、該pH調整槽2aで苛性ソーダが添加されて中和され
る。
【0027】さらにpH調整槽2bでは硝酸が添加され、
このpH調整槽2bでpHが補助的に調整されることとな
る。
【0028】中和された被処理液(NaNO3,濃度4
%)は、第一電気透析装置3の脱塩室5に供給され、そ
の脱塩室5を通過した後、濃度0.5 %に脱塩されて脱塩
液として第二電気透析装置6の酸ライン6a及びアルカリ
ライン6bに供給される。すなわち、脱塩室5に投入され
たNaNO3溶液の中からNa+とNO3 -が膜を通って脱
塩室外へ移動していくため、Na+とNO3 -の量が減少
し、その結果、NaNO3が脱塩されるのである。
【0029】第一電気透析装置6を通過した脱塩液は、
その第二電気透析装置6で酸とアルカリ溶液として濃縮
され、酸(HNO3)は酸貯留槽7に回収される。すな
わち酸ライン6aに投入された脱塩液の中に膜を通ってH
+とNO3 -が移動してくるため、H+とNO3 -の量が増加
し、その結果、HNO3の濃度が高くなる。一方、アル
カリライン6bに投入された脱塩液の中に膜を通って、N
+,OH-が移動してくるため、Na+とOH-の量が増
加し、その結果、NaOHの濃度が高くなるのである。
【0030】また、濃縮されたアルカリ溶液(NaO
H)は、前記pH調整槽2aに戻すべく供給される。
【0031】一方、上記のように第一電気透析装置3の
脱塩室5に供給された被処理液中の中性塩は、濃縮室4
に移動し、その濃縮室4を経て流路10を介して第二電気
透析装置6の脱塩室6cに中性塩溶液として供給される。
【0032】そして第二電気透析装置6に供給された濃
縮液は、該第二電気透析装置6を通過した後、流路11を
介して再度第一電気透析装置3の濃縮室4に供給され、
第一電気透析装置3と第二電気透析装置6とを循環す
る。
【0033】そして第二電気透析装置6の脱塩室6cを通
過した被処理液(中性塩としてのNaNO3)は、5%
の濃度で第一電気透析装置3の濃縮室4側に供給され、
第一電気透析装置3の濃縮室4を通過した後には6%に
濃縮されることとなる。第一電気透析装置3の濃縮室4
には、膜を通ってNa+とNO3 -が移動してくるため、
Na+とNO3 -の量が増加し、その結果、NaNO3の濃
度が高くなるのである。
【0034】従って、第一電気透析装置3の濃縮室4を
通過する場合に濃度が1%しか濃縮されないために、該
第一電気透析装置3で消費される電気量も軽減され、そ
の第一電気透析装置3にかかる負荷も少なくなるのであ
る。
【0035】尚、上記実施例では、被処理液としてNa
NO3を含有する廃液を処理する場合について説明した
が、廃液中に含有される中性塩の種類はこれに限定され
るものではなく、これ以外の中性塩を含有する廃液の処
理に適用することも可能である。
【0036】また、本発明は、主として上記のような廃
液を処理することを主眼とするものではあるが、被処理
液の種類はこれに限定されるものではなく、廃液以外の
被処理液に本発明を適用することも可能である。
【0037】さらに、上記実施例では、原液貯留槽1に
原液を一旦貯留し、その原液をpH調整槽2へ供給した
が、このような原液貯留槽1を設けることは本発明に必
須の条件ではなく、たとえば工場排水等から供給される
原水を原水貯留槽1に貯留せずに直接pH調整槽2a,2b
に供給することも可能である。
【0038】さらに、上記実施例ではアルカリ溶液を上
記のようなpH調整槽2a,2b に戻して、被処理液の中和
をすることが必要となるが、流路8a,8b で供給される被
処理液が中性であれば、このようなpH調整は行う必要
はなく、従って上記のようなpH調整槽2a,2b を設ける
ことも本発明に必須の条件ではない。
【0039】尚、被処理液の濃度も上記実施例に限定さ
れるものではなく、適宜変更可能である。
【0040】
【発明の効果】叙上のように、本発明においては、被処
理液を第一電気透析装置の濃縮室側ではなく先ず脱塩室
側を通過させ、その後に第二電気透析装置の酸ライン,
アルカリラインを通過させることにより酸とアルカリ溶
液として濃縮し、一方第二電気透析装置の脱塩室を通過
させた脱塩液は、再度前記第一電気透析装置の濃縮室を
通過させて該第一電気透析装置と第二電気透析装置とを
循環して通過させるものであるため、このような循環経
路で第二電気透析装置を通過して濃縮された被処理水を
第一電気透析装置の脱塩室への供給水として使用するこ
とができる。
【0041】従って、原液としての被処理液がたとえば
4%の場合、上記のように第一電気透析装置と第二電気
透析装置との流路間では6%となり、また第二電気透析
装置と第一電気透析装置との流路間では5%となり、第
一電気透析装置の濃縮室を通過する場合に濃度が1%し
か濃縮されないために、従来に比べると第一電気透析装
置にかかる負荷を著しく減少することができるという効
果がある。すなわち、電気透析装置での消費電力は、そ
の電気透析装置内でのイオンの移動量に比例するため、
従来では4%の液を6%まで濃縮するのに2%濃縮する
必要があったところ、本発明では1%の濃縮ですむた
め、全体としてのイオンの移動量は理論上半分となり、
消費電力も半減しうることになる。ちなみに、本発明で
は、電気的ロス等により半減とまでいかなくとも、1/3
以上の電力節減を実現しうるに至った。
【0042】この結果、上記電気透析装置に用いられる
膜の面積を小さくすることができ、ひいては装置全体を
小型化することができる利点がある。
【0043】また、電気透析装置で使用される電力も削
減でき、電気設備を小型化することもできる利点があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例の廃液等の被処理液の処理装置の概略
ブロック図。
【図2】従来の廃液等の被処理液の処理装置の概略ブロ
ック図。
【符号の説明】
3…第一電気透析装置 4…濃縮室 5…脱塩室 6…第二電気透析装

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 廃液等の被処理液を、必要に応じて中和
    した後、陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、濃縮室(4)
    及び脱塩室(5) を備えた第一電気透析装置(3)の脱塩室
    (5) を通過させて脱塩液と濃縮液とに分離させた後、該
    第一電気透析装置(3) の脱塩室(5) を通過する脱塩水
    を、バイポーラ膜、陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、
    酸濃縮用の酸ライン(6a)及びアルカリ濃縮用のアルカリ
    ライン(6b)を備えた第二電気透析装置(6) の前記酸ライ
    ン(6a)及びアルカリライン(6b)を通過させることにより
    酸とアルカリ溶液として濃縮し、しかも前記第一電気透
    析装置(3) の濃縮室(4) を通過させて濃縮させた濃縮液
    を、前記第二電気透析装置(6) の脱塩室(6c)を通過させ
    た後、再度前記第一電気透析装置(3) の濃縮室(4) を通
    過させて該第一電気透析装置(3) の濃縮室(4) と第二電
    気透析装置(6) の脱塩室(6c)とを循環して通過させるこ
    とを特徴とする廃液等の被処理液の処理方法。
  2. 【請求項2】 原液としての廃液等の被処理液を通過さ
    せるべく、陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、濃縮室
    (4) 、及び脱塩室(5) を備えた第一電気透析装置(3)
    と、該第一電気透析装置(3) の通過後の被処理液を脱塩
    するとともに酸及びアルカリとして濃縮すべく、バイポ
    ーラ膜、陽イオン交換膜、陰イオン交換膜、酸ライン(6
    a)、及びアルカリライン(6b)を備えた第二電気透析装置
    (6) とを具備した廃液等の被処理液の処理装置におい
    て、原液としての被処理液を供給する流路(9) は前記第
    一電気透析装置(3) の脱塩室(5) の入口部に接続されて
    なるとともに、該第一電気透析装置(3) の脱塩室(5) の
    出口部は前記第二電気透析装置(6) の酸ライン(6a)及び
    アルカリライン(6b)に接続され、且つ前記第一電気透析
    装置(3) の濃縮室(4) の出口部は、該第一電気透析装置
    (3) の濃縮室(4) を通過する濃縮液の流路(10)を介して
    前記第二電気透析装置(6) の脱塩室(6c)の入口部に接続
    され、しかも前記第二電気透析装置(6) の脱塩室(6c)の
    出口部は流路(11)を介して該第一電気透析装置(3) の濃
    縮室(4) の入口部に接続されてなることを特徴とする廃
    液等の被処理液の処理装置。
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JP2010059521A (ja) * 2008-09-05 2010-03-18 Ebara Engineering Service Co Ltd 銅含有酸性廃液からの銅の除去回収方法及び装置
WO2012157448A1 (ja) 2011-05-17 2012-11-22 オルガノ株式会社 イオン交換装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010059521A (ja) * 2008-09-05 2010-03-18 Ebara Engineering Service Co Ltd 銅含有酸性廃液からの銅の除去回収方法及び装置
WO2012157448A1 (ja) 2011-05-17 2012-11-22 オルガノ株式会社 イオン交換装置
KR20140007939A (ko) 2011-05-17 2014-01-20 오르가노 가부시키가이샤 이온 교환 장치

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