JPH07211687A - 蒸気洗浄方法とその装置 - Google Patents

蒸気洗浄方法とその装置

Info

Publication number
JPH07211687A
JPH07211687A JP6032799A JP3279994A JPH07211687A JP H07211687 A JPH07211687 A JP H07211687A JP 6032799 A JP6032799 A JP 6032799A JP 3279994 A JP3279994 A JP 3279994A JP H07211687 A JPH07211687 A JP H07211687A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
tank
cleaned
valve
steam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6032799A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsunehisa Kajiyama
恒久 梶山
Sadami Fujii
定美 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP6032799A priority Critical patent/JPH07211687A/ja
Publication of JPH07211687A publication Critical patent/JPH07211687A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被洗浄物に設けられている小穴や溝等まで充
分に洗浄し、乾燥をする。 【構成】 乾燥室2に被洗浄物を入れ、乾燥室2を真空
にした後、真空にされ、洗浄剤の蒸気流が発生している
蒸気洗浄槽1に移動し、蒸気流によって洗浄する。洗浄
が終了した被洗浄物を乾燥室2にもどし、真空乾燥す
る。洗浄に使われた蒸気はコンデンサ20を通して、回
収槽3に入る。回収槽3内の洗浄剤は蒸気洗浄槽にもど
り再使用される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は精密機械部品、電気部品
等の洗浄と乾燥および洗浄用流体の再生のための方法お
よび装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に精密機械部品、電気部品を洗浄す
る場合に、洗浄液中に部品を浸漬し、超音波等を加え
て、あるいは大気圧状態において蒸気を部品に当てて洗
浄する方法が使われている。また洗浄後の乾燥は熱風に
よる、あるいは熱風と真空による乾燥が使われている。
しかし、これらの方法では部品等(以降被洗浄物とよ
ぶ)に設けられた小さな穴や細い溝等を充分に洗浄でき
ないし、また乾燥も不充分なものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は被洗浄
物に設けられている穴や細い溝までも洗浄剤が行きわた
り、高い洗浄効果が得られ、なおかつ被洗浄物に残る洗
浄剤の乾燥が容易な方法と装置を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の方法は被洗浄物を入れた槽内を真空になる
ように排気することによって、高速多量の洗浄剤蒸気を
被洗浄物に当てる。
【0005】
【作用】被洗浄物の表面は無論、小穴や細い溝等も減圧
されているために気体に邪魔されずに蒸気が到達する。
そのためあらゆる部分が洗浄される。分子量の小さい洗
浄剤を使うことにより、真空中に置くことによって被洗
浄物に付着している蒸気は容易に乾燥される。
【0006】本発明による装置はこの方法を行なうのに
便利な構造をもち、また蒸気洗浄と乾燥室を弁を介して
分けることにより、乾燥作業の操作性を高めている。さ
らに本装置では洗浄剤の回収再生部を設けることによっ
て閉回路系としており、作業性と安全性を高めている。
【0007】
【実施例】図1において1は密閉式の蒸気洗浄槽。2は
乾燥室、3は洗浄剤の回収槽である。4は蒸気洗浄槽1
と乾燥室2との間に設けられたゲート弁である。5は被
洗浄物に付着している蒸気を排気するための真空ポンプ
で、弁6、トラップ7を介して蒸気洗浄槽1に配管接続
されている。8はトラップ7に設けられたドレン弁で、
トラップ7に溜った液を排出するためのものである。9
は乾燥室2の蓋で、大気開放弁10、圧力調整弁11が
設けられている。
【0008】蒸気洗浄槽1の下部及び低部を囲むよう
に、加熱液体を入れる加熱ジャケット12が設けられて
いる。加熱ジャケット12内の熱媒体油はシーズ型の電
気加熱器13によって加熱される。蒸気洗浄槽1の上部
は冷却液体を入れる冷却ジャケット14が設けられてい
る。15は冷却ジャケット14に冷却水を導入するため
の弁。16は冷却水の排水口である。蒸気洗浄槽1には
洗浄剤17が、注入口18から注入されている。注入さ
れる量は、被洗浄物を蒸気洗浄するのに充分であり、な
おかつ被洗浄物が置かれている位置以下の液面に制限さ
れる。19は効力を失った洗浄剤を抜く弁である。蒸気
洗浄槽1の上部と回収槽3の上部は洗浄剤の蒸気を冷却
し液体にもどすためのコンデンサ20たとえば水を使っ
た熱交換器方式のものを介して配管接続されている。加
熱ジャケットは一般的な電気加熱法に置き換えることが
できる。
【0009】乾燥室2内には被洗浄物を乗せるためのベ
ルトコンベア21が設けられており、また蒸気洗浄槽1
にはベルトコンベア21と同様のベルトコンベア22が
設けられている。これらのベルトコンベアは網状あるい
はスリット状のものでできており、被洗浄物が入れられ
た槽や室が真空にされ、あるいは蒸気が発生している時
に、被洗浄物の表面部、穴部、溝部などが真空にならな
かったり、蒸気が入らなかったりすることのないように
考慮されている。2つのベルトコンベア21と22は片
方が、あるいは両方が同時に動作して、ベルトコンベア
に乗せられた被洗浄物がゲート弁4を通って、ベルトコ
ンベア間を移動できるようになっている。ベルトコンベ
ア21の駆動源(図示せず)は乾燥室2の外周部に、ベ
ルトコンベア22の駆動源(図示せず)は蒸気洗浄室1
の外周部に設けられている。
【0010】23は回収槽3内コンデンサ20、蒸気洗
浄槽1を排気するための真空ポンプで、弁24、トラッ
プ25を介して回収槽3に配管接続されている。真空ポ
ンプ23はコンデンサ20を介して蒸気洗浄槽1を排気
する役目もしている。26はトラップ25に設けられた
ドレン弁である。回収槽3の周囲には回収槽に入ってき
た蒸気の液化と、再蒸発を防止するための冷却ジャケッ
ト27が設けられている。28は冷却ジャケット27に
冷却水を導入するための弁。29は冷却水の排水口であ
る。蒸気洗浄槽1の低部と回収槽3の低部は弁30を介
して配管接続されている。31は加熱ジャケット12に
設けられた開放弁である。
【0011】以上の構成において被洗浄物は蓋9を開い
てベルトコンベア21の上に乗せられ、蓋9は閉じられ
る。またゲート弁4は閉じられ、弁8は閉じられ、弁6
は開かれ、真空ポンプ5が運転されて乾燥室2は排気さ
れる。
【0012】次に弁26は閉じられ、弁24は開かれ、
真空ポンプが運転されて、回収槽3内と蒸発洗浄室1内
は排気される。蒸発洗浄室1内の洗浄剤17は、加熱器
13によって加熱される熱媒体油によって間接的に加熱
され蒸気となる。蒸気量は加熱温度(0〜250℃)に
よって変えることができる。蒸気となった洗浄剤はベル
トコンベア22を通過してコンデンサ20によって冷却
され、液体となって回収槽3に入る。回収された洗浄剤
は弁30を通って、蒸発洗浄室1に入る。洗浄剤が回収
槽3から蒸気洗浄室1に移るのは、本実施例では、回収
槽3内での液面を、蒸気洗浄槽1内での液面より高くし
た高低差によるものであるが、ポンプによる強制移送も
可能である。
【0013】いったんベルトコンベア21に乗せられた
被洗浄物は、ゲート弁4を開き、ベルトコンベア21と
22を運転することによって、ベルトコンベア21か
ら、22の方へ移動させる。移動した後、ゲート弁4を
閉じ、被洗浄物はベルトコンベア22上で、洗浄剤の蒸
気によって洗浄される。
【0014】蒸気洗浄槽1において蒸気洗浄を完了した
被洗浄物は、ゲート弁4を開き、ベルトコンベア21と
22を運転して、ベルトコンベア22から、21の方へ
移動させる。次にゲート弁4を閉じる。ベルトコンベア
21に乗った被洗浄物に付着している洗浄剤蒸気は真空
ポンプ5によって外部に排出され、乾燥する。乾燥が完
了すると、弁6は閉じられ、弁10は開かれ、乾燥室内
は大気圧状態になったら、蓋9を開いて、被洗浄物を外
部に取り出す。洗浄剤は常時回収再使用される。
【0015】真空ポンプの系統に設けられたトラップ7
および25は、機械的あるいは物理吸着などを使ったも
ので、洗浄剤が真空ポンプに入る事を防止し、真空ポン
プを保護する役目を有する。
【0016】乾燥室2に設けられた圧力調整弁11の役
目は、乾燥室2内の圧力を、乾燥室内や内部構造物(た
とえばベルトコンベア)、被洗浄物に付着している水分
が、真空排気することによって降温されて結露し、洗浄
や乾燥の障害となることを防止するために、真空排気中
に必要に応じて一定量の空気を導入し、必要以上の低圧
力になることを防止する役目をもつ。さらに被洗浄物が
蒸気洗浄槽1と乾燥室2間を移動する。本実施例におい
ては全閉可能な圧力調整弁が使われているが、最小限の
開度が保持される方式のものでは、全閉可能な一般的な
弁を直列に配置して使用することもできる。
【0017】
【発明の効果】本発明は、以上に説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果をもつ。
【0018】被洗浄物は最初に乾燥室2において真空に
曝され、穴部や溝部からも空気が抜かれ、蒸気洗浄槽1
内における蒸気洗浄において、穴部や溝部の細部まで蒸
気に行きわたり、完全に近い洗浄が可能である。
【0019】洗浄剤は非水系であれば、減圧状態での蒸
発を利用するため、アルコール系、炭化水素系、代替フ
ロン系、塩素系、炭火水素系、フッ素系等、多くの種類
のものが使える。
【0020】洗浄、乾燥だけでなく洗浄剤の回収再使用
までが閉回路システムとして扱われるため、排ガスの処
理が不用であり、安全である。
【図面の簡単な説明】
【図1】全体の構成図である。
【符号の説明】
1 蒸気洗浄槽 2 乾燥室 3 回収室 4 ゲート弁 5,23 真空ポンプ 6,15,19,24,28,30 弁 7,25 トラップ 8,26 ドレン弁 9 蓋 10 大気開放弁 11 圧力調整弁 12 加熱ジャケット 13 電気加熱器 14,27 冷却ジャケット 17 洗浄剤 20 コンデンサ 21,22 ベルトコンベア 31 開放弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 蒸気洗浄槽1において真空排気しながら
    洗浄剤を蒸発させることによって生じる蒸気流を利用し
    た洗浄法。
  2. 【請求項2】 低部に加熱部を有し、上部に冷却部をも
    ち、真空排気ポンプ系を有する蒸気洗浄槽。
  3. 【請求項3】 蒸気洗浄槽において蒸気洗浄する前に、
    あらかじめ、被洗浄物を真空中に置いた後、その状態の
    ままで蒸気洗浄槽に移動させて洗浄する方法。
  4. 【請求項4】 蒸気洗浄槽1と回収槽3をコンデンサ2
    0を介して配管接続し、回収槽3に真空ポンプ23を設
    け、蒸気洗浄槽1と回収槽の低部に洗浄剤の帰還回路を
    設けた蒸気洗浄装置。
JP6032799A 1994-01-20 1994-01-20 蒸気洗浄方法とその装置 Pending JPH07211687A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6032799A JPH07211687A (ja) 1994-01-20 1994-01-20 蒸気洗浄方法とその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6032799A JPH07211687A (ja) 1994-01-20 1994-01-20 蒸気洗浄方法とその装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07211687A true JPH07211687A (ja) 1995-08-11

Family

ID=12368901

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6032799A Pending JPH07211687A (ja) 1994-01-20 1994-01-20 蒸気洗浄方法とその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07211687A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100787408B1 (ko) * 2007-07-06 2007-12-21 (주)진공플랜트 진공세척건조장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100787408B1 (ko) * 2007-07-06 2007-12-21 (주)진공플랜트 진공세척건조장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN208444821U (zh) 晶圆传送装置及半导体工艺设备
JPH07211687A (ja) 蒸気洗浄方法とその装置
JPH0611435B2 (ja) 真空洗浄装置
JP3788588B2 (ja) 部品洗浄乾燥方法
JP2535466B2 (ja) 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄装置
JPH0682647B2 (ja) 処理装置
JPH1060676A (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
JP3052103B2 (ja) 真空脱脂洗浄装置
JPS62149137A (ja) 乾燥装置
JPH0745574A (ja) ワークの洗浄及び乾燥方法とその装置
JPH10328630A (ja) 蒸気洗浄装置
JP3383861B2 (ja) クライオポンプ及びその運転方法
JPS63301528A (ja) 基板乾燥装置
JPH04354128A (ja) 基板の薬液処理方法及びその装置並びに基板の薬液処理、洗浄及び乾燥方法及びその装置
JP2990635B2 (ja) 圧電素子の分極装置
JP2515329Y2 (ja) 溶剤回収装置
JPH03229681A (ja) 洗浄方法及び装置
JPH03127673A (ja) 洗浄方法
JP2813454B2 (ja) ドライクリーニング方法
JP2590729Y2 (ja) 熱風脱着活性炭式溶剤回収装置
JP3708322B2 (ja) トラップシステム
JP3328460B2 (ja) 真空脱脂洗浄方法
JPH11507584A (ja) フィルタの再生およびドライ・クリーニング・システム
JPH0146162B2 (ja)
JPS6297337A (ja) 乾燥装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040413

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040426

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080514

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120514

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees