JPH0719869A - 構築物の変位検出方法及びこれに用いるターゲットプレート - Google Patents

構築物の変位検出方法及びこれに用いるターゲットプレート

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JPH0719869A JP18766993A JP18766993A JPH0719869A JP H0719869 A JPH0719869 A JP H0719869A JP 18766993 A JP18766993 A JP 18766993A JP 18766993 A JP18766993 A JP 18766993A JP H0719869 A JPH0719869 A JP H0719869A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 基準光をターゲットプレートに照射して構築
物の変位を検出する方法において、簡単な手順でセット
アップを行うことができるとともに、ターゲットプレー
トを適当な位置からカメラで撮像して画像処理するだけ
で構造物の変位量を実寸法で算出することができる構築
物の変位検出方法及びこれに用いるターゲットプレート
を提供する。 【構成】 ターゲットプレート11に複数の参照マーク
12,13を所定間隔で設けるとともに、該ターゲット
プレート11を撮像して画像処理を行い、前記複数の参
照マーク12,13と前記基準光の受光点16との位置
関係から、構築物の変位検出し、変位量をX−Y直角座
標系における実寸法で算出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、構築物の変位検出方法
及びこれに用いるターゲットプレートに関し、詳しく
は、各種構築物の基準位置に取り付けたターゲットプレ
ートに、所定位置からレーザー光のような基準光を照射
し、該基準光の受光点とターゲットプレートに設けた基
準点との位置関係から構築物の変位を検出する方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来から、各種構築物の建設、トンネル
工事、構築物の耐久試験、既存建築物の老朽検査、地盤
沈下の検査、橋梁の沈下等における構築物の変位を測定
するために、レーザー光を基準光とした検出方法が行わ
れている。例えば、図9及び図10はビルを建設する際
の上層部の変位を検出する例を示している。この方法
は、建築物の鉛直線上の基準部、例えば鉄骨柱等を上下
に接続する際に行われるもので、上部構造物1の外面所
定位置に、半透明の平板状のターゲットプレート2を取
り付けるとともに、下部構造物3の外面部所定位置、例
えば基礎上の所定位置にレーザー発光器4を配置する。
ターゲットプレート2には、図11に示すように、レー
ザー発光器4の光軸が照射されるようにする。
【0003】そして、前記ターゲットプレート2上に照
射されたレーザー光RをCCDカメラ6等で撮影し、最
初にスポットされたレーザー光Rの受光点(レーザース
ポット)を仮想原点5とし、メモリ上に記憶させること
とする。さらに、上部に配設される構造物3に支持され
たターゲットプレート2に照射されたレーザー光Rのレ
ーザースポット7をメモリされた仮想原点5に対応させ
るべく構造物3の位置調整を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のターゲットプレート2は、レーザースポット7との
位置関係から上部構造物1が下部構造物3に対して変位
していることは検出することができるが、上下構造物1
の変位量を実際の変位寸法として取り出すことはできな
かった。このため、上部構造物1の位置調整を行う際に
は、最初にターゲットプレート2に当たっているレーザ
ー光Rの位置を原点とし、位置調整により上部構造物1
を移動した際のターゲットプレート2の面におけるレー
ザースポット7の移動量を上部構造物1の移動量として
画像処理により算出していた。
【0005】このため、従来の方法では、撮像のための
カメラ6が少しでもぶれると原点の位置が変わってしま
い、これが誤差となるため、カメラ6を構造物に強固に
固定しておく必要があった。また、カメラ6のぶれの影
響を最小にするため、カメラ6はできるだけターゲット
プレート2の近くに設置する必要があった。さらに、撮
像の倍率により画像処理上での変位量を実変位寸法に換
算するためのスケール調整を行う必要があり、セットア
ップ完了後、ターゲットプレート2にスケール8を当て
てこれを撮像し、画像処理上の参照寸法とするための作
業が必要であった。しかも、上部構造物1の位置調整時
の移動方向と撮像されたものとの方向性を一致させるた
め、カメラ6のX軸,Y軸と構造物のX軸,Y軸とを合
わせる必要があり、この合わせ作業を精度よく行うため
に、多くの時間と労力を必要としていた。
【0006】そこで本発明は、上述の基準光をターゲッ
トプレートに照射して構築物の変位を検出する方法にお
いて、簡単な手順でセットアップを行うことができると
ともに、ターゲットプレートを適当な位置からカメラで
撮像して画像処理するだけで構造物の変位量を実寸法で
算出することができる構築物の変位検出方法及びこれに
用いるターゲットプレートを提供することを目的として
いる。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の構築物の変位検出方法は、構築物に取着し
たターゲットプレートに基準光を照射し、該ターゲット
プレートに設けた基準点と前記基準光の受光点との位置
関係により構築物の変位を検出する方法において、前記
ターゲットプレートに複数の参照マークを所定間隔で設
けるとともに、該ターゲットプレートを撮像して画像処
理を行い、前記複数の参照マークと前記基準光の受光点
との位置関係から、構築物の変位を検出することを特徴
としている。また、本発明では、前記複数の参照マーク
を、構築物の基準方向、例えば南北方向や東西方向,鉛
直方向,構築物の一側面等に対して平行又は直交する方
向に配置することにより、基準方向に対する変位量とこ
れに直交する方向の変位量、即ち構築物の基準方向をX
軸としたX−Y2次元方向の変位量をX,Yの実寸法で
算出することを特徴とし、さらに、前記ターゲットプレ
ートに前記基準光を2本平行に照射して変位角度を算出
することを特徴としている。
【0008】
【作 用】上記構成によれば、ターゲットプレートにあ
らかじめ複数の参照マークが所定間隔で設けられている
ので、ターゲットプレートを撮像して画像処理を行う際
に、参照マークの間の距離とその位置(方向)から基準
となる寸法及び方向を求めることができる。したがっ
て、ターゲットプレートに照射された基準光の受光点と
参照マークとの位置関係から計画原点に対する受光点の
変位、即ち構築物のズレを実寸法として算出することが
できる。このとき、撮像するカメラがぶれて基準光の受
光点の位置が撮像された画像上で移動しても、同時に参
照マークも画像上で移動するので、各点相互の位置関係
は変化することがなく、変位量の算出には全く影響を与
えることがない。
【0009】また、平行な2本の基準光を上記ターゲッ
トプレートに照射することにより、あらかじめ設定され
た複数の参照マークを通る直線と、2本の基準光の受光
点を通る直線との角度から、構築物の変位角度、例えば
傾きや捩じれなどを知ることができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づい
て、さらに詳細に説明する。まず、図1及び図2は、本
発明のターゲットプレートを示すもので、図1は斜視
図、図2は平面図である。図3は本発明方法の適用対象
の一つであるビル建設の自動化工法の一例を示す説明
図、図4は変位測定時の状態を示す説明図、図5は変位
量を算出する演算処理装置のブロック図、図6は同じく
演算処理装置のフローチャートである。図7及び図8は
2本の基準光により構築物の変位角度を検出する方法の
説明図である。
【0011】まず、ターゲットプレート11は、例えば
透明または半透明の合成樹脂ボードにより形成されるも
ので、図示しない取付け金具を介して構築物の所定位置
に取着される。ターゲットプレート11には、適当な間
隔で2点の参照マーク12,13が設けられている。こ
の参照マーク12,13の位置は任意であるが、取扱い
上はターゲットプレート11の一辺に平行な直線上に設
けることが好ましい。
【0012】上記ターゲットプレート11は、例えば図
3に示すようなビル建設の自動化工法における変位の検
出に用いられる。この自動化工法は、建物の最上階21
部分をまず構築し、コア22部分の構築に伴い最上階2
1をリフトアップしながら、該最上階21に設置された
クレーン23等を使用して順次下層の各階部分24を構
築していくものである。このような工法においては、各
階部分24の構築時に下層階と上層階とを確実に設定さ
れた位置に積み重ねる必要があり、下層階と上層階とを
固定する際には、両者の変位を検出し、クレーン23や
油圧ジャッキ等の構築物移動手段を用いて上層階を設計
位置に移動させるようにしている。
【0013】上記下層階と上層階との変位の検出は、図
4に示すように、上層階25の所定位置に前記ターゲッ
トプレート11を取着するとともに、下層階26にター
ゲットプレート11に対向させてレーザー発光器14を
取着し、最上階21に設けたCCDカメラ15でターゲ
ットプレート11を撮像して行う。ターゲットプレート
11とレーザー発光器14は、それぞれ設計上の同一直
線上にターゲットプレート11の計画原点とレーザー発
光器14の光軸が位置するように設置される。また、C
CDカメラ15も、ターゲットプレート11とレーザー
発光器14とを通る直線上に配置される。
【0014】そして、レーザー発光器14からターゲッ
トプレート11に向けて基準光となるレーザー光を照射
し、図1及び図2に示すように、ターゲットプレート1
1におけるレーザー光の受光点(レーザースポット)1
6と前記2点の参照マーク12,13との位置関係から
上層階25の下層階26に対する変位を検出し、さらに
変位量を実寸法で算出する。
【0015】上記変位量の算出は、図5に示すように、
CCDカメラ15で撮像したターゲットプレート11の
画像を二値化処理する画像処理手段31と、参照マーク
12,13の位置,方向及び参照マーク12,13に対
する計画原点17の位置情報を記憶しているメモリ32
と、画像処理手段31及びメモリ32からの情報に基づ
いてレーザースポット16の変位量を算出するCPU3
3と、該CPU33で算出した変位量に基づいて駆動さ
れる構築物移動手段34とを備えた演算処理装置により
行われる。
【0016】すなわち、図6に示すように、CCDカメ
ラ15で撮像されたターゲットプレート11の画像は、
画像処理手段31でP1,P2,L1(図2参照)とし
て二値化処理され、参照マーク12,13及びレーザー
スポット16の位置が数値化される(S11)。次に、
CPU33は、メモリ32に記憶されている参照マーク
12,13の間隔,方向及び計画原点17の位置情報
と、画像処理手段31から受けた参照マーク12,13
及びレーザースポット16の位置情報とからレーザース
ポット16の座標を決定し(S12)、計画原点17に
対するレーザースポット16の変位量を算出する(S1
3)。この変位量は、図1,図2に示すように、参照マ
ーク12,13を通る直線をX軸、これに面内で直交す
る方向をY軸とし、一方の参照マーク12を原点とする
ことにより、X−Y座標におけるX方向及びY方向とし
て算出される。
【0017】例えば、ターゲットプレート11の両参照
マーク12,13の間隔を300mm、参照マーク12
を原点側とし、計画原点17の座標、即ち基準点を(1
50,150)としたときに、レーザースポット16の
位置が(100,200)であると算出された場合は、
変位量としてX軸方向に−50mm、Y軸方向に+50
mmという結果が得られる。そして、この結果から、上
層階25を所定の位置に移動させるため、CPU33
は、構築物移動手段34に、X軸方向に+50mm、Y
軸方向に−50mmという駆動指令を与える(S1
4)。したがって、上述のようなビル建設の自動化工法
においては、該構築物の基準方向、最上階21に設けら
れたクレーン23の移動方向や、油圧ジャッキの伸縮方
向等に対応させるようにターゲットプレート11におけ
るX軸,Y軸を設定しておくことにより、上層階25の
位置修正を確実かつ容易に行うことができる。また、変
位量が実寸法で得られるので、位置修正のための移動装
置、例えばクレーン23や油圧ジャッキを自動制御する
ことも可能になる。なお、計画原点17の座標は任意で
あり、参照マーク12,13の一方を計画原点としても
よい。
【0018】このとき、2点の参照マーク12,13の
間隔が既知であることから、撮像倍率が変化して撮像さ
れた画像上での参照マーク12,13の間隔が変化して
も、簡単な演算処理で換算することができ、参照マーク
12,13とレーザースポット16との相対的な位置関
係は、撮影倍率が異なっても変化することはないので、
レーザースポット16と計画原点17との変位を容易に
実寸法で算出することができる。また、ターゲットプレ
ート11上の原点(0,0)を、一方の参照マークに設
定することにより、撮像時にCCDカメラ15がぶれて
も原点とレーザースポット16との位置関係は変化しな
いので、計画原点17に対するレーザースポット16の
変位量の算出に影響を与えることがない。したがって、
CCDカメラ15の設置位置の自由度が大きくなり、離
れた位置から望遠レンズで撮影することも可能なので、
本実施例に示すように、CCDカメラ15をターゲット
プレート11から離れた最上階21部分に設置したり、
構築物から離れた位置に設置することができ、施工完了
までそのままの位置に設置しておくこともできる。さら
に、CCDカメラ15の設置に際して該CCDカメラ1
5のX軸,Y軸と構造物のX軸,Y軸とを合わせる必要
がなく、ターゲットプレート11及びレーザー発光器1
4を所定位置に取着すれば、ターゲットプレート11の
参照マーク12,13からX軸,Y軸を読み取ることが
できるので、CCDカメラ15の設置作業も容易にな
り、簡単な手順でセットアップを行うことができる。
【0019】図7及び図8は、基準光を2本用いて構築
物の変位角度を検出する例を示すものである。ターゲッ
トプレート11は、前記同様に形成されたものであり、
変位角度を検出する構築物51の所定位置に取着され
る。そして、該ターゲットプレート11に基準光となる
2本のレーザー光を照射し、ターゲットプレート11に
設けられた2点の参照マーク12,13を通る直線と、
2本のレーザー光による2点のレーザースポット52,
53を通る直線との相対的な角度から構築物の変位角度
を算出する。
【0020】変位角度の算出は、前記同様にターゲット
プレート11を撮像して画像処理手段で二値化処理を行
い、あらかじめ設定されている参照マーク12,13の
位置と、レーザースポット52,53の位置とをX−Y
座標上の数値として算出することにより行うことができ
る。すなわち、図7に示すように、参照マーク12,1
3を通る直線とレーザースポット52,53を通る直線
とが平行なときに変位角度α=0、すなわち構築物が所
定の位置にあるようにセッティングしておくことによ
り、図8に示すように両直線が平行でなければ、両直線
の交わる角度α1に構築物が変位していることが判る。
しかも、2本のレーザー光の位置関係を、水平方向,鉛
直方向,構築物の基準線方向等の基準となる方向にセッ
トすることにより、構築物の水平度等を容易に確認する
ことができる。
【0021】したがって、前述のビル建設の自動化工法
に本実施例を適用することにより、参照マーク12,1
3といずれか一方のレーザースポットとにより上層階2
4のX−Y方向の変位(ズレ)を検出することができ、
参照マーク12,13と両レーザースポット52,53
とにより上層階24の角度変位(ネジレ)を検出するこ
とができる。
【0022】なお、本実施例では、ターゲットプレート
に2点の参照マークを設けたが、3点以上の参照マーク
を設けてもよい。また、本発明は、ビル建設以外に、各
種構築物の変位の検出に利用することが可能である。例
えば、上記実施例とは逆に、最初にターゲットプレート
にレーザー光が当たっている状態を基準状態としてメモ
リさせておくことにより、試験後,経年変化,地盤沈下
等、その後の変位や歪みを検出したり、揺れ,振幅等を
検出したりすることもできる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
各種構築物の変位を確実に検出できるとともに、変位量
を実寸法で得ることができるので、構築物工事中の位置
修正を容易に行うことができ、試験,検査等の際にも変
位量を正確な数値で表すことができる。また、ターゲッ
トプレートを撮像するカメラの設置位置の自由度が大き
くなり、カメラの設置作業も容易になる。さらに、参照
マークの設置方向と構築物の基準方向とを一致させた
り、所定の角度にセットしておくことにより、構築物の
基準方向(X軸)に対するX−Y直角座標系で変位量を
求めることができる。加えて、2本の基準光を用いるこ
とにより、変位角度も容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のターゲットプレートの一実施例を示す
斜視図である。
【図2】同じく平面図である。
【図3】ビル建設の自動化工法の一例を示す説明図であ
る。
【図4】変位測定時の状態を示す説明図である。
【図5】変位量を算出する演算処理装置のブロック図で
ある。
【図6】同じく演算処理装置のフローチャートである。
【図7】2本の基準光により構築物の変位角度を検出す
る方法の説明図である。
【図8】同じく変位角度を検出する方法の説明図であ
る。
【図9】構築物の変位検出方法の一例を示す説明図であ
る。
【図10】同じく構築物の変位検出方法を説明するため
の斜視図である。
【図11】従来のターゲットプレートの平面図である。
【符号の説明】
11 ターゲットプレート 12,13 参照マーク 14 レーザー発光器 15 CCDカメラ 16,52,53 レーザースポット 17 計画原点 21 最上階 22 コア 23 クレーン 24 各階部分 25 上層階 26 下層階 31 画像処理手段 32 メモリ 33 CPU 34 構築物移動手段 51 構築物

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 構築物に取着したターゲットプレートに
    基準光を照射し、該ターゲットプレートに設けた基準点
    と前記基準光の受光点との位置関係により構築物の変位
    を検出する方法において、前記ターゲットプレートに複
    数の参照マークを所定間隔で設けるとともに、該ターゲ
    ットプレートを撮像して画像処理を行い、前記複数の参
    照マークと前記基準光の受光点との位置関係から構築物
    の変位を検出することを特徴とする構築物の変位検出方
    法。
  2. 【請求項2】 前記参照マークを、構築物の基準方向に
    対して平行又は直交する方向に配置し、該参照マークと
    前記基準光の受光点との位置関係から、構築物の基準方
    向に対する変位量及びこれに直交する方向に対する変位
    量をそれぞれ実寸法で算出することを特徴とする請求項
    1記載の構築物の変位検出方法。
  3. 【請求項3】 前記ターゲットプレートに2本の基準光
    を平行に照射し、該2本の基準光の受光点と前記複数の
    参照マークとの位置関係から、構築物の変位角度を算出
    することを特徴とする請求項1記載の構築物の変位検出
    方法。
  4. 【請求項4】 構築物に取着したターゲットプレートに
    基準光を照射し、該ターゲットプレートに設けた基準点
    と前記基準光の受光点との位置関係により構築物の変位
    を検出する方法に用いられる前記ターゲットプレートに
    おいて、該ターゲットプレートに複数の参照点を所定間
    隔で設けたことを特徴とするターゲットプレート。
JP18766993A 1993-06-30 1993-06-30 構築物の変位検出方法及びこれに用いるターゲットプレート Expired - Lifetime JPH07111346B2 (ja)

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100383027B1 (ko) * 2000-03-06 2003-05-09 한국표준과학연구원 레이저를 이용한 3차원 거동 계측장치.
KR100437259B1 (ko) * 2002-01-19 2004-06-23 한국표준과학연구원 대형 구조물의 진동 측정장치 및 측정방법
KR100458290B1 (ko) * 2001-12-27 2004-12-03 고속도로관리공단 이미지 프로세싱을 이용한 구조물의 변위량 측정방법
KR100549297B1 (ko) * 2003-11-20 2006-02-03 비앤티엔지니어링(주) 광학적 감시수단을 갖는 교량 안전진단장치
KR100564329B1 (ko) * 2002-08-17 2006-03-27 김남호 아스팔트 혼합물의 소성변형거동 분석을 위한 화상처리기법
JP2018072257A (ja) * 2016-11-02 2018-05-10 三菱重工業株式会社 検査システム、及び画像処理装置、並びに検査システムの画像処理方法
CN113237459A (zh) * 2021-04-12 2021-08-10 机械工业第九设计研究院有限公司 一种建筑物沉降长期监测方法及监测系统
CN115507757A (zh) * 2022-11-23 2022-12-23 四川省亚通工程咨询有限公司 一种桥梁状态监测装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100383027B1 (ko) * 2000-03-06 2003-05-09 한국표준과학연구원 레이저를 이용한 3차원 거동 계측장치.
KR100458290B1 (ko) * 2001-12-27 2004-12-03 고속도로관리공단 이미지 프로세싱을 이용한 구조물의 변위량 측정방법
KR100437259B1 (ko) * 2002-01-19 2004-06-23 한국표준과학연구원 대형 구조물의 진동 측정장치 및 측정방법
KR100564329B1 (ko) * 2002-08-17 2006-03-27 김남호 아스팔트 혼합물의 소성변형거동 분석을 위한 화상처리기법
KR100549297B1 (ko) * 2003-11-20 2006-02-03 비앤티엔지니어링(주) 광학적 감시수단을 갖는 교량 안전진단장치
JP2018072257A (ja) * 2016-11-02 2018-05-10 三菱重工業株式会社 検査システム、及び画像処理装置、並びに検査システムの画像処理方法
CN113237459A (zh) * 2021-04-12 2021-08-10 机械工业第九设计研究院有限公司 一种建筑物沉降长期监测方法及监测系统
CN115507757A (zh) * 2022-11-23 2022-12-23 四川省亚通工程咨询有限公司 一种桥梁状态监测装置

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