JPH07192622A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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Publication number
JPH07192622A
JPH07192622A JP33120093A JP33120093A JPH07192622A JP H07192622 A JPH07192622 A JP H07192622A JP 33120093 A JP33120093 A JP 33120093A JP 33120093 A JP33120093 A JP 33120093A JP H07192622 A JPH07192622 A JP H07192622A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
plate glass
panel
center
exposure
Prior art date
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Pending
Application number
JP33120093A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayoshi Okiyama
昌由 沖山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to JP33120093A priority Critical patent/JPH07192622A/ja
Publication of JPH07192622A publication Critical patent/JPH07192622A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転パターンのミスライディングを補正でき
る露光装置を提供する。 【構成】 パネル1内面に形成された感光性樹脂または
蛍光体スラリーの被膜をシャドウマスク2を介して露光
する光源8と、上記被膜に対する露光領域を規制しつつ
回転する板ガラス7と、この板ガラス7の回転と同期し
て上記光源がパネル1の中心軸を中心に円運動させる駆
動装置10Aにより、光18aを板ガラス7の扇形透過
部12で屈折させ、露光部11で光18aをパネル1の
外周部側に移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はカラー受像管に関し、
特に蛍光面の形成に使用される露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にカラー受像管は、図5に示すよう
に、パネル1およびファンネル15からなり、そのパネ
ル1内側にフレーム3に挿着されて装着されたシャドウ
マスク2に対向してパネル1内面に蛍光面14が形成さ
れている。この蛍光面14は赤,緑,青に発光するスト
ライプ状またはドット状の3色蛍光体層からなる。ま
た、画面のコントラストを向上させるために、この3色
蛍光体層の間隙部にカーボンなどを主成分とする非発光
層を設けている。
【0003】この蛍光面14へ、電子銃17から各色蛍
光体層に放出される電子ビーム18R,18G,18B
をファンネル15外側に装着された偏向ヨーク16の形
成する磁界により、水平方向および垂直方向に偏向し
て、蛍光面14を走査することにより発光させる。した
がって、この蛍光面14上に色純度良好な画像を表示す
るためには、図6に示すように、シャドウマスク2に対
して、そのマスク穴22を通過した各電子ビーム18
R,18G,18Bが対応する蛍光体層19R,19
G,19Bに正しく射突するようにすることが必要であ
る。
【0004】一方、従来より蛍光面14は、パネル1内
面に蛍光体と感光性樹脂を主成分とする蛍光体スラリー
を塗布,乾燥し、その被膜をシャドウマスク2を介して
露光することにより、シャドウマスク2のマスク孔22
に対応するパターンを焼付けた後、現像し未感光部を除
去することにより任意の1色の例えば蛍光体層19Rを
形成する。そしてその各工程を3色蛍光体層19R,1
9G,19Bについて繰り返すことにより形成してい
る。
【0005】特に、非発光層を有する蛍光面について
は、上記3色蛍光体層19R,19G,19Bの形成に
先立って、感光性樹脂を塗布し、類似の方法により3色
蛍光体層19R,19G,19B形成位置に、シャドウ
マスク2のマスク孔22に対応する感光性樹脂のパター
ンを形成した後、非発光性塗料を塗布し、その後、この
非発光性塗料を感光性樹脂のパターンとともに剥離して
3色蛍光体層19R,19G,19Bの塗料を感光性樹
脂のパターンとともに剥離して3色蛍光体層19R,1
9G,19Bの形成位置に空隙部をもつ非発光層を形成
することにより製造される。
【0006】この蛍光体層19R,19G,19B、非
発光層のいずれの場合でも、パネル1内面に形成した被
膜を露光する光は直進するため、この露光工程では、図
7に示すように、シャドウマスク2を装着して支持台4
上に配設したパネル1と、光源テーブル9A上の露光光
源8との間に、光源8から放射される光18aの軌道を
上記電子ビーム18R,18G,18Bの軌道に近似さ
せる補正レンズ6を調光フィルタ5と共に配置した露光
装置が用いられている。
【0007】このような補正レンズ6としては、レンズ
の底面の中心を原点とするx,yの直行座標で表すと、
任意点における高さzは、次に示すようなx,yの多項
式で表れる。
【0008】z=f(x,y) このような式で表される連続な補正レンズ6の曲面で
は、蛍光面上14のすべての点において蛍光面ドットと
電子ビームのズレ(以後ミスランディング)を、満足で
きる程度に補正することは不可能であり、特開平3−4
425号公報のように、露光領域を規制するシャッタを
光源から光の軌道を変更するための光学系を設け、それ
ぞれを同期させながら動かせてミスランディングを小さ
くする方法も考案されているが、それでも、図8に示す
ような、パネル1の蛍光面14の画面中心を中心とした
回転パターンのミスライディング(図面矢印で示す)を
補正することはできなかった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、カラー
受像管の蛍光面は、パネル1の内面に形成された蛍光体
スラリーや感光樹脂などの被覆に、シャドウマスク2の
マスク22に対応するパターンを焼付けるとき、露光光
源9から放射される光18aの軌道を、偏向ヨーク16
の形成する磁界により偏向される電子ビーム18R,1
8G,18Bの軌道に近似させる補正レンズ6が用いら
れる。
【0010】しかし、この補正レンズ6の表面形状は複
雑で、蛍光面14上のすべての点において良好なランデ
ィングが得られるように設計することが困難であり、特
に、表示画面中心を中心としたミスランディングの回転
パターンは従来の方法では補正不可能であった。
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明は、カラー受像
管の蛍光面形成に使用される露光装置にいて、パネル内
面に形成された感光性樹脂または蛍光体スラリーの被覆
をシャドウマスクを介して露光する光源と、上記被覆に
対する露光領域を規制しつつ回転する板ガラスと、この
板ガラスの回転と同期して上記光源をパネルの中心軸を
中心に円運動させる駆動装置とを具備する。
【0012】
【作用】上記の構成によると、露光領域を規制しつつ回
転する板ガラスと、この板ガラスの回転と同期して光源
がパネルの中心軸を中心に円運動させる駆動装置とを具
備しているので、光源から出た光が板ガラスを通過する
際に光の屈折を起こし、結果として、パネル内面に形成
された感光性樹脂または蛍光体スラリーの被覆への到達
位置がパネルの外周側へと移動し、ドット焼付け位置が
移動する。この時、光源を円運動させているので、パネ
ルの表示画面中心を中心とした回転パターンのミスラン
ディングを補正することができる。
【0013】
【実施例】以下、この発明について図面を参照して説明
する。
【0014】図1は、この発明の一実施例の露光装置の
断面図である。なお、従来図7と同一箇所には同一参照
符号を附し、説明は省略する。図において、光源8を出
た光18aは板ガラス7、補正レンズ6、調光フィルタ
5を通過後、シャドウマスク2の多数のドット又はスト
ライプのパターンをパネル1の内面に焼き付ける。
【0015】なお板ガラス7と光源8を配設した回転光
源テーブル9は、駆動装置10Aのモータ10の動力に
よりパネルの中心軸を中心にして、同期して回転できる
ようにされている。
【0016】すなわち、図2の露光装置の概略斜視図で
示すように、光源8および板ガラス7は同周期で回転さ
せる。
【0017】また、板ガラス7は中心角θの扇形透過部
12のみ光18aを通し、露光部11に達し、板ガラス
7の残りの部分は遮蔽部13となる。この時、図3の露
光装置の光学系を示す概念図に示すように、板ガラス7
を通過する際、光20は屈折し、同一のマスク孔22に
対するドット又はストライプの焼き付け位置が板ガラス
11のない場合の光21に比して、寸法tだけパネル1
の外周側へと移動する。
【0018】このようにして、パネル1の表示画面全体
を露光した場合、図4のA〜Dに示すように、光源9か
ら発せられた光20は、板ガラス7の扇形透過部12を
通過する時に屈折し、その光20のパネル1の内面にお
ける移動量は、図面矢印い示すように、パネル1の外周
になる程大きくなり、図8で示したような回転パターン
のミスランディングを改善することができる。
【0019】
【発明の効果】以上に説明したように、パネル内面に形
成された感光性樹脂または蛍光体スラリーの被覆を、シ
ャドウマスクを介して露光する光源と、上記被覆に対す
る露光領域を規制しつつ回転する板ガラスと、この板ガ
ラスの回転と同期して上記光源がパネルの中心軸を中心
に円運動させる駆動装置とを具備しているので、光源か
ら出た光が板ガラスを通過する際に光の屈折を起こし、
結果として、パネル内面に形成された感光性樹脂または
蛍光体スラリーの被膜への到達位置がパネルの外周側へ
と移動し、ドット焼付け位置が移動する。この時、光源
を円運動させているので、パネルの表示画面中心を中心
とした回転パターンのミスランディングを補正すること
ができ、今では補正ができなかった回転パターンのミス
ランディングを改善できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例である露光装置の断面図
【図2】 この発明の一実施例である露光装置の概略斜
視図
【図3】 この発明の一実施例である露光装置の光学系
を示す概略図
【図4】 本発明の効果の一例を表すパネル面、板ガラ
スおよび光源の位置関係を示す図
【図5】 一般的なカラー受像管の断面図
【図6】 一般的なカラー受像管のパネル、マスク付近
の拡大図
【図7】 従来の露光装置の断面図
【図8】 回転パターンのミスランディングを示すパネ
ル面の図 A 光源が第4象限、板ガラスの透過部が第1象限にあ
る時 B 光源が第1象限、板ガラスの透過部が第2象限にあ
る時 C 光源が第2象限、板ガラスの透過部が第3象限にあ
る時 D 光源が第3象限、板ガラスの透過部が第4象限にあ
る時
【符号の説明】
1 パネル 2 シャドウマウス 3 フレーム 4 支持台 5 調光フィルタ 6 補正レンズ 7 板ガラス 8 光源 9 回転光源テーブル 10 モータ 10A 駆動装置 11 露光部 12 扇形透過部 13 遮蔽部 14 蛍光面 15 ファンネル 16 偏向ヨーク 17 電子銃 18 電子ビーム 18a 光 19 蛍光体層 20 板ガラスにより屈折した光 21 板ガラスが無い場合の光 22 マスク孔

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】パネル内面に形成された感光性樹脂または
    蛍光体スラリーの被膜をシャドウマスクを介して露光す
    る光源と、上記被覆に対する露光領域を規制しつつ回転
    する板ガラスと、この板ガラスの回転と同期して上記光
    源をパネルの中心軸を中心に円運動させる駆動装置とを
    具備することを特徴とする露光装置。
  2. 【請求項2】上記露光領域を規制しつつ回転する板ガラ
    スが円形で、扇状透過部と遮蔽部からなることを特徴と
    する請求項1記載の露光装置。
  3. 【請求項3】上記光源を回転光源テーブルの回転軸より
    偏心して配設したことを特徴とする請求項1記載の露光
    装置。
JP33120093A 1993-12-27 1993-12-27 露光装置 Pending JPH07192622A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33120093A JPH07192622A (ja) 1993-12-27 1993-12-27 露光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33120093A JPH07192622A (ja) 1993-12-27 1993-12-27 露光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07192622A true JPH07192622A (ja) 1995-07-28

Family

ID=18241017

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33120093A Pending JPH07192622A (ja) 1993-12-27 1993-12-27 露光装置

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JP (1) JPH07192622A (ja)

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