JPH07190827A - 振動式測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はセンサチューブの振動特性を変えず
に精度良く流量又は密度を計測するよう構成した振動式
測定装置に関する。 【構成】 質量流量計１はセンサチューブ７，８を加振
器１８，１９により振動させ、質量流量に比例して発生
するコリオリ力によるセンサチューブ７，８の変位をピ
ックアップ２３，２４及び２８，２９により検出する。
加振器１８，１９及びピックアップ２３，２４，２８，
２９から引き出された信号線１８ｃ，１８ｄ，１９ｃ，
１９ｄ，２３ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ，２８ｃ ，
２８ｄ，２９ｃ，２９ｄは、センサチューブ７，８の中
間位置を中心としてセンサチューブ７，８の長手方向に
対称になるように配設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特にセンサチューブを振動させてコリオリ力による変位
を検出するよう構成した振動式測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体が供給されたセンサチューブを振動
させて流体の物理量を測定する振動式測定装置として、
例えばコリオリ式質量流量計又は振動式密度計がある。

【０００３】流量を計測する場合、被測流体の流量は流
体の種類、物性（密度、粘度など）、プロセス条件（温
度、圧力）によって影響を受けない質量で表わされるこ
とが望ましい。そのため、振動するセンサチューブ内に
流体を流したときに生ずるコリオリの力を利用して質量
流量を直接計測するコリオリ式質量流量計が開発されて
いる。

【０００４】この種の従来の質量流量計の一例として
は、特開昭６３−３０７２１号公報により開示された流
量計がある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過
する際の圧力損失を低減するため直線状に延在するセン
サチューブを半径方向に振動させ、流量に比例したコリ
オリ力によるセンサチューブの変位を検出するよう構成
されている。一対のセンサチューブ間にはセンサチュー
ブを加振する加振器と、加振器の上流側と下流側に配さ
れセンサチューブの変位を検出する一対のピックアップ
とが配設されている。この加振器及びピックアップは電
磁ソレノイドと同様な構成とされており、夫々信号線を
介して制御回路と接続されている。各信号線は、センサ
チューブに沿って引き出され、邪魔にならないように幅
広の粘着テープによりセンサチューブの外周に貼着され
ている。

【０００５】又、振動式密度計の場合、上記コリオリ式
質量流量計と同様な構成とされ、センサチューブの共振
周波数より流体の密度を測定する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記振動式測定装置で
は、加振器及びピックアップに接続される各信号線がセ
ンサチューブの外周に粘着されているため、センサチュ
ーブには各信号線、粘着テープ、接着剤の重さが作用
し、さらに粘着テープや接着剤の粘着力がセンサチュー
ブに作用することになる。しかも、従来は、加振器及び
一対のピックアップから引き出された各信号線が上流側
マニホールド又は下流側マニホールドに設けられたコネ
クタ部に延在するように配設されるため、複数の信号線
が一方向に集合されるようになっている。

【０００７】そのため、センサチューブの上流側部分と
下流側部分との重量差が生じ、これによりセンサチュー
ブの振動特性が影響を受け変化し、センサチューブの上
流側部分と下流側部分とのバランスがとれず固有振動数
が変動することがある。従って、上記従来の構成では、
例えば流体中に気泡が混入したり、センサチューブに外
部振動が伝播した場合、上記各信号線、粘着テープ、接
着剤の片寄りにより計測精度が低下するおそれがある。

【０００８】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
被測流体が流入する流入口と被測流体が流出する流出口
との間に設けられたセンサチューブと、該センサチュー
ブを加振する加振器と、該センサチューブの変位を検出
するピックアップとを有し、該加振器及びピックアップ
と制御回路との間を信号線により接続してなる振動式測
定装置において、前記ピックアップの信号線は前記セン
サチューブの中間位置を中心として前記センサチューブ
の長手方向に対称となるように配設されていることを特
徴とする。又、請求項２の発明は、被測流体が流入する
流入口と被測流体が流出する流出口との間に設けられた
センサチューブと、該センサチューブを加振する加振器
と、該センサチューブの変位を検出するピックアップと
を有し、該加振器及びピックアップと制御回路との間を
信号線により接続してなる振動式測定装置において、前
記加振器の信号線は前記センサチューブの中間位置を中
心として前記センサチューブの長手方向に対称となるよ
うに配設されていることを特徴とする。又、請求項３の
発明は、被測流体が流入する流入口と被測流体が流出す
る流出口との間に設けられたセンサチューブと、該セン
サチューブを加振する加振器と、該センサチューブの変
位を検出するピックアップとを有し、該加振器及びピッ
クアップと制御回路との間を信号線により接続してなる
振動式測定装置において、前記加振器及びピックアップ
の信号線は前記センサチューブの中間位置を中心として
前記センサチューブの長手方向に対称となるように配設
されていることを特徴とする。

【００１０】

【作用】上記請求項１によれば、ピックアップの信号線
がセンサチューブの中間位置を中心としてセンサチュー
ブの長手方向に対称となるように配設されることによ
り、ピックアップの信号線の重量がセンサチューブの流
入側部分と流出側部分とでバランスし、振動特性を安定
させて正確な質量流量又は密度の計測を行いうる。

【００１１】又、請求項２によれば、加振器の信号線が
センサチューブの中間位置を中心としてセンサチューブ
の長手方向に対称となるように配設されることにより、
加振器の信号線の重量がセンサチューブの流入側部分と
流出側部分とでバランスし、振動特性を安定させて正確
な質量流量又は密度の計測を行いうる。

【００１２】又、請求項３によれば、加振器及びピック
アップの信号線がセンサチューブの中間位置を中心とし
てセンサチューブの長手方向に対称となるように配設さ
れることにより、加振器及びピックアップの信号線の重
量がセンサチューブの流入側部分と流出側部分とでバラ
ンスし、振動特性を安定させて正確な質量流量又は密度
の計測を行いうる。

【００１３】

【実施例】図１及び図２に本発明になる振動式測定装置
の一実施例としてのコリオリ式質量流量計を示す。

【００１４】尚、振動式測定装置としてはコリオリ式質
量流量計と振動式密度計がある。コリオリ式質量流量計
は振動式流量計と実質同様な構成であるので、本実施例
では質量流量計について詳細に説明する。

【００１５】両図中、質量流量計１は密閉された箱状の
ケーシング２内に被測流体が通過する管路３と、管路３
の両端部に管路３を軸方向に変位可能に保持するベロー
ズ４Ａ，４Ｂとを設けてなる。管路３は流入口５ａを有
する流入管５と、流入側マニホールド６と、一対のセン
サチューブ７，８と、流出側マニホールド９と、流出口
１０ａを有する流出管１０とより形成されている。

【００１６】流入管５は流入側端部に上流側配管（図示
せず）に連結されるフランジ５ｂを有し、流入管５の他
端はケーシング２の側壁２ａを貫通してケーシング２内
部に形成された室２ｂに延出している。

【００１７】流入側マニホールド６は、上流側のベロー
ズ４Ａが接続固定される上流側接続口６ａと、センサチ
ューブ７，８の上流側端部が接続固定される下流側接続
口６ｂ，６ｃとを有する。上流側接続口６ａと下流側接
続口６ｂ，６ｃとは分流路６ｄ，６ｅを介して連通され
ている。

【００１８】流出側マニホールド９は、センサチューブ
７，８の下流側端部が接続固定される一対の接続口９
ａ，９ｂと、下流側のベローズ４Ｂの上流側端部が接続
される接続口９ｃとを有する。又、流出側マニホールド
９内には一対の接続口９ａ，９ｂと接続口９ｃとを連通
する流路９ｄ，９ｅが穿設されている。

【００１９】一対のセンサチューブ７，８は流体の流れ
方向（Ｘ方向）に直線状に延在する直管よりなり、上記
流入側マニホールド６と流出側マニホールド９との間で
平行に設けられている。直管よりなるセンサチューブ
７，８は被測流体が通過する際の圧力損失が少ないばか
りか複雑な形状に加工する必要もないので製作が容易で
ある。尚、センサチューブ７，８の両端近傍には、セン
サチューブ７，８が貫通して固定される支持板１１，１
２が横架されている。

【００２０】流出管１０は上流側端部が流出側マニホー
ルド９の接続口９ｃに接続固定され、下流側端部がケー
シング２の側壁２ｃを貫通して下流側（Ｘ方向）へ突出
している。尚、流出管１０の下流側端部には流出口１０
ａが開口し、その外周には下流側配管（図示せず）に連
結されるフランジ１０ｂが設けられている。

【００２１】上流側のベローズ４Ａは伸縮自在な構造で
センサチューブ７，８が熱膨張あるいは収縮した場合、
センサチューブ７，８の長手方向の伸縮を吸収する。そ
のため、ケーシング２の側壁２ａと流入側マニホールド
６との間には、流入側マニホールド６が振動しないよう
に支持する防振機構１３が設けられている。

【００２２】この防振機構１３は、一端が側壁２ａに固
定され他端がケーシング２内に延在する複数の支柱１３
ａと、複数の支柱１３ａの他端間に横架されて流入側マ
ニホールド６に結合された金属ダイヤフラム１３ｂとよ
りなる。従って、流入側マニホールド６は、防振機構１
３により軸方向に移動可能に支持されるとともに、横方
向への移動を規制される。

【００２３】又、下流側のベローズ４Ｂも上記上流側の
ベローズ４Ａと同様に伸縮自在な構造でセンサチューブ
７，８が熱膨張あるいは収縮した場合、センサチューブ
７，８の長手方向の伸縮を吸収する。そのため、ケーシ
ング２の側壁２ｃと流出側マニホールド９との間には、
流入側マニホールド９が振動しないように支持する防振
機構１４が設けられている。

【００２４】この防振機構１４は、一端が側壁２ｃに固
定され他端がケーシング２内に延在する複数の支柱１４
ａと、複数の支柱１４ａの他端間に横架されて流出側マ
ニホールド９に結合された金属ダイヤフラム１４ｂとよ
りなる。従って、流出側マニホールド９は、防振機構１
４により軸方向に移動可能に支持されるとともに、横方
向への移動を規制される。

【００２５】１５は加振部で、センサチューブ７，８に
固定されたブラケット１６，１７間に支持された一対の
加振器１８，１９を有する。一対の加振器１８，１９
は、実質電磁ソレノイドと同様な構成であり、一対のセ
ンサチューブ７，８の略中間部間に設けられている。

【００２６】図３に示すように、加振部１３は、上下方
向に延在して互いに対向するブラケット１６，１７の上
端間及び下端間に加振器１８，１９を横架させてなる。
上方に配設された加振器１８は、ブラケット１７に支持
された駆動コイル部１８ａと、ブラケット１６に支持さ
れ駆動コイル部１８ａの中空部に挿入されたマグネット
部１８ｂとよりなる。又、下方に配設された加振器１９
は、ブラケット１６に支持された駆動コイル部１９ａ
と、ブラケット１７に支持され駆動コイル部１９ａの中
空部に挿入されたマグネット部１９ｂとよりなる。

【００２７】このように、ブラケット１６，１７の上端
間及び下端間に設けられた一対の加振器１８，１９は、
夫々同期して駆動されるため、ブラケット１６，１７は
一対の加振器１８，１９の駆動力によりＹ方向に平行移
動する。そのため、ブラケット１６，１７を貫通して固
定されたセンサチューブ７，８は、ブラケット１６，１
７の往復移動により長手方向の中間部分が近接又は離間
方向に振動する。

【００２８】２０は上流側ピックアップ部で、上記加振
部１５より上流側に位置するように配設されている。上
流側ピックアップ部２０は、センサチューブ７，８に固
定されたブラケット２１，２２と、このブラケット２
１，２２間に支持された一対のピックアップ２３，２４
とを有する。

【００２９】２５は下流側ピックアップ部で、上記加振
部１５より下流側に位置するように配設されている。下
流側ピックアップ部２５は、センサチューブ７，８に固
定されたブラケット２６，２７と、このブラケット２
６，２７間に支持された一対のピックアップ２８，２９
とを有する。

【００３０】上記各ピックアップ２３，２４及び２８，
２９は夫々後述するように電磁ソレノイドと同様な構成
とされた２組のピックアップを組み合わせた構成であ
り、加振器１８，１９により加振されたセンサチューブ
７，８の変位を検出する。

【００３１】流量計測時、一対のセンサチューブ７，８
は加振器１８，１９により近接、離間する方向（Ｙ方
向）に加振される。上流側配管（図示せず）から供給さ
れた被測流体は流入口５ａより上流側のベローズ４Ａを
通ってマニホールド６に至り、さらにマニホールド６の
流路６ｄ，６ｅを通過して振動するセンサチューブ７，
８内に流入する。そして、センサチューブ７，８を通過
した流体はマニホールド９の流路９ａ，９ｂより下流側
のベローズ４Ｂを通って流出口１０ａより下流側配管
（図示せず）に流出する。

【００３２】このように、振動するセンサチューブ７，
８に流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオ
リ力が発生する。そのため、直管状のセンサチューブ
７，８の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これにより
上流側のピックアップ２３，２４の出力信号と下流側の
ピックアップ２８，２９下流側の出力信号とでは位相差
があらわれる。

【００３３】このように流入側と流出側との位相差が流
量に比例するため、流量計測制御回路３０は、ピックア
ップ２３，２４からの出力信号とピックアップ２８，２
９からの出力信号の位相差に基づいて流量を演算する。

【００３４】ここで、上記下流側ピックアップ部２５の
構成について説明する。尚、上流側ピックアップ部２０
は下流側ピックアップ部２５と同様な構成であるので、
ここではその説明を省略する。

【００３５】図４に示すように、下流側ピックアップ部
２５は、センサチューブ７，８の夫々に設けられ上下方
向に延在するブラケット２６，２７に支持された第１の
ピックアップ２８と第２のピックアップ２９とよりな
る。図４中、左側のブラケット２７には第１のセンサコ
イル２８ａ，第２の磁石２９ｂが支持され、右側のブラ
ケット２６には第１の磁石２８ｂと第２のセンサコイル
２９ａが支持されている。従って、互いに対向する位置
に設けられた第１のセンサコイル２８ａと第１の磁石２
８ｂとにより第１のピックアップ２８が構成され、第２
のセンサコイル２９ａと第２の磁石２９ｂとにより第２
のピックアップ２９が構成されている。

【００３６】第１のセンサコイル２８ａ及び第２のセン
サコイル２９ａは夫々銅線が環状に巻回されており、棒
状に形成された第１の磁石２８ｂ及び第２の磁石２９ｂ
は夫々上記第１のセンサコイル２８ａ及び第２のセンサ
コイル２９ａの中空部に挿通される。そのため、センサ
チューブ７，８が上記加振器１８，１９により近接、離
間方向に振動すると、第１の磁石２８ｂ，第２の磁石２
９ｂは第１のセンサコイル２８ａ，第２のセンサコイル
２９ａに対して相対的に逆方向に変位する。

【００３７】第１の磁石２８ｂはその先端部分が第１の
センサコイル２８ａの右側から左側へ挿入されている。
第２の磁石２９ｂは、上記第１の磁石２８ｂとは逆に第
２のセンサコイル２９ａの左側から右側に挿入されてい
る。

【００３８】従って、一対のセンサチューブ７，８の振
動に伴い２組のピックアップ２８，２９は互いに逆方向
に動作する。即ち、一対のセンサチューブ７，８が近接
方向に変位すると、第１のセンサコイル２８ａと第１の
磁石２８ｂとが近接方向に変位するとともに、第２の磁
石２９ｂと第２のセンサコイル２９ａとが離間方向に変
位する。又、一対のセンサチューブ７，８が離間方向に
変位すると、第１のセンサコイル２８ａと第１の磁石２
８ｂとが離間方向に変位するとともに、第２の磁石２９
ｂと第２のセンサコイル２９ａとが近接方向に変位す
る。

【００３９】これにより、第１のセンサコイル２８ａ，
第２のセンサコイル２９ａからは、第１の磁石２８ｂ，
第２の磁石２９ｂとの相対位置に応じた電圧値の検出信
号が逆位相で出力される。この２組のコイル２８ｂ，２
９ｂから得られる１８０°の位相差の検出信号の合成に
より、検出信号にノイズとして生ずる高調波をキャンセ
ルして上流側ピックアップ部２０のリニアリティ（直線
性）を改善することができる。

【００４０】図１及び図３に示すように、加振器１８，
１９の駆動コイル部１８ａ，１９ａから引き出された信
号線１８ｃ，１８ｄ及び１９ｃ，１９ｄは、センサチュ
ーブ７の長手方向に沿うように配設されている。そし
て、図５に示すように、各信号線１８ｃ，１８ｄ及び１
９ｃ，１９ｄは、粘着テープ４１によりセンサチューブ
７の外周に密着するように張り付けられている。

【００４１】−側の信号線１８ｃ，１９ｃは、センサチ
ューブ７，８の流入側に沿うように加振器１８，１９よ
り上流方向に引き出され、＋側の信号線１８ｄ，１９ｄ
は、センサチューブ７，８の流出側に沿うように加振器
１８，１９より下流方向に引き出されている。尚、図１
では、センサチューブ７の外周に沿って配設された信号
線１９ｃ，１９ｄと、センサチューブ８の外周に沿って
配設された信号線２４ｃ，２４ｄ，２９ｃ，２９ｄと、
は反対側に隠れて見えない。

【００４２】従って、−側の信号線１８ｃ，１９ｃと＋
側の信号線１８ｄ，１９ｄとは、センサチューブ７の中
間位置を中心に左右対称となるように配設されている。
よって、信号線１８ｃ，１８ｄ及び１９ｃ，１９ｄは流
入側と流出側とで均等になるように配設されており、信
号線１８ｃ，１８ｄ及び１９ｃ，１９ｄ及び粘着テープ
４１の重量が片寄らない。これにより、センサチューブ
７は信号線１８ｃ，１８ｄ及び１９ｃ，１９ｄによりバ
ランスがくずれることがなく安定した振動特性を有す
る。

【００４３】又、図１及び図６，図７に示すように、各
ピックアップ２３，２４及び２８，２９から引き出され
た信号線２３ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ及び２８ｃ，
２８ｄ，２９ｃ，２９ｄは、センサチューブ７，８の長
手方向に沿うように配設されている。各信号線２３ｃ，
２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ及び２８ｃ，２８ｄ，２９ｃ，
２９ｄは、前述した図４のように粘着テープ４１により
センサチューブ７，８の外周に密着するように張り付け
られている。

【００４４】流入側に配設されたピックアップ２３の信
号線２３ｃ，２３ｄは、センサチューブ８に沿うように
ピックアップ２３より上流方向に引き出され、ピックア
ップ２４の信号線２４ｃ，２４ｄは、センサチューブ７
に沿うようにピックアップ２４より上流方向に引き出さ
れる。又、流出側に配設されたピックアップ２８の信号
線２８ｃ，２８ｄは、センサチューブ８に沿うようにピ
ックアップ２８より下流方向に引き出され、ピックアッ
プ２９の信号線２９ｃ，２９ｄは、センサチューブ７に
沿うようにピックアップ２９より下流方向に引き出され
ている。

【００４５】従って、流入側に配設された信号線２３
ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄと、流出側に配設された信
号線２８ｃ，２８ｄ，２９ｃ，２９ｄとは、センサチュ
ーブ７，８の中間位置を中心に左右対称となるように配
設されている。よって、信号線２３ｃ，２３ｄ，２４
ｃ，２４ｄ及び２８ｃ，２８ｄ，２９ｃ，２９ｄは流入
側と流出側とで均等になるように配設されており、信号
線２３ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ及び２８ｃ，２８
ｄ，２９ｃ，２９ｄ及び粘着テープ４１の重量が片寄ら
ないようになっている。これにより、センサチューブ
７，８は信号線２３ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ及び２
８ｃ，２８ｄ，２９ｃ，２９ｄによりバランスがくずれ
ることがなく安定した振動特性を有する。

【００４６】図８に示すように、ケーシング２の両端上
面には、上記信号線を外部に引き出すためのコネクタ部
３１，３２が配設されている。流入側のコネクタ部３１
には、加振器１６，１７からの信号線１８ｃ，１９ｃ及
びピックアップ２３，２４からの信号線２３ｃ，２３
ｄ，２４ｃ，２４ｄが接続され、流出側のコネクタ部３
２には、加振器１６，１７からの信号線１８ｄ，１９ｄ
及びピックアップ２８，２９からの信号線２８ｃ，２８
ｄ，２９ｃ，２９ｄが接続されている。そして、各信号
線はコネクタ部３１，３２を介して流量計測制御回路３
０に接続される。

【００４７】図９に示すように、コネクタ部３１と３２
とは、同様な構成であるので、ここでは、流入側のコネ
クタ部３１について説明する。

【００４８】コネクタ部３１は、ケーシング２の上面に
穿設された取り付け孔２ｄに嵌合して固定された固定台
３３と、固定台３３上にボルト３４により締結されたコ
ネクタ本体３５と、コネクタ本体３５の上部開口を閉蓋
する蓋３６とよりなる。固定台３３の内部には、上下方
向に貫通する貫通孔３３ａが穿設されており、この貫通
孔３３ａ内にはケーシング２内に充填された保護気体が
漏れるのを防止するための閉塞部材３７が圧入されてい
る。閉塞部材３７の下面には、上記各信号線が接続され
る複数の端子３８が設けられている。

【００４９】又、閉塞部材３７の上面には、流量計測制
御回路３０からの各信号線３９（３９₁ …３９_n ）が接
続される複数の端子４０が設けられている。尚、下面側
の端子３８と上面側の端子４０とは、閉塞部材３７の内
部を貫通する複数のコネクタピン（図示せず）を介して
接続されている。尚、閉塞部材３７の外周には、貫通孔
３３ａ内壁との間をシールするＯリングが嵌合してい
る。

【００５０】図１０に本発明の変形例を示す。

【００５１】同図中、加振器１６，１７からの信号線１
８ｃ，１９ｃ及び１８ｄ，１９ｄは上記図１と同様に配
設されている。又、各ピックアップ２３，２４及び２
８，２９から引き出された信号線２３ｃ，２３ｄ，２４
ｃ，２４ｄ及び２８ｃ，２８ｄ，２９ｃ，２９ｄは、夫
々−側と＋側に分散配置されている。

【００５２】即ち、ピックアップ２３，２４，２８，２
９から引き出された−側の信号線２３ｃ，２４ｃ，２８
ｃ，２９ｃは、夫々流入側に延在するように配設され、
＋側の信号線２３ｄ，２４ｄ，２８ｄ，２９ｄは夫々流
出側に延在するように配設される。

【００５３】従って、−側の信号線２３ｃ，２４ｃ，２
８ｃ，２９ｃと＋側の信号線２３ｄ，２４ｄ，２８ｄ，
２９ｄとは、センサチューブ７，８の中間位置を中心に
左右対称となるように配設されている。よって、信号線
２３ｃ，２４ｃ，２８ｃ，２９ｃ及び２３ｄ，２４ｄ，
２８ｄ，２９ｄは流入側と流出側とで均等になるように
配設されており、信号線２３ｃ，２４ｃ，２８ｃ，２９
ｃ及び２３ｄ，２４ｄ，２８ｄ，２９ｄ及び粘着テープ
４１の重量が片寄らないようになっている。これによ
り、センサチューブ７，８は信号線２３ｃ，２４ｃ，２
８ｃ，２９ｃ及び２３ｄ，２４ｄ，２８ｄ，２９ｄによ
りバランスがくずれることがなく安定した振動特性を有
する。

【００５４】又、図８に示す流入側のコネクタ部３１に
は、−側の信号線１８ｃ，１９ｃ，２３ｃ，２４ｃ，２
８ｃ，２９ｃが接続され、流出側のコネクタ部３２に
は、＋側の信号線１８ｄ，１９ｄ，２３ｄ，２４ｄ，２
８ｄ，２９ｄが接続されている。そして、各信号線はコ
ネクタ部３１，３２を介して流量計測制御回路３０に接
続される。この場合、各信号線の−側と＋側とをコネク
タ部３１，３２毎に分けることができるので、各信号線
を流量計測制御回路３０に接続する際の接続作業が容易
に行える。

【００５５】上記実施例では、前述したようにケーシン
グ２の両端にコネクタ部３１，３２を設けたが、これに
限らず、ケーシング２の一方の端部に一方のコネクタ部
を設ける構成としても良いのは勿論である。

【００５６】その場合、図１１に示すように、ケーシン
グ２の流入側端部にコネクタ部３１を設ける。そして、
例えば図１０のように各信号線を配設した場合、−側の
信号線１８ｃ，１９ｃ，２３ｃ，２４ｃ，２８ｃ，２９
ｃは、上記図１の場合と同様に流入側マニホールド６か
らＵ字状に曲げられて端子３８に接続される。

【００５７】しかし、＋側の信号線１８ｄ，１９ｄ，２
３ｄ，２４ｄ，２８ｄ，２９ｄは、流出側マニホールド
９からＵ字状に曲げられた後、ケーシング２の天井内壁
に沿って流入側に延在するように配設される。そして、
＋側の信号線は、粘着テープ等によりケーシング２の内
壁に固定されてセンサチューブ７，８及び加振部１３，
上流側ピックアップ部２０，下流側ピックアップ部２５
に接触しないように装架される。

【００５８】又、上記実施例では、加振部１３，上流側
ピックアップ部２０，下流側ピックアップ部２５からの
各信号線がセンサチューブ７，８の中間位置を中心に対
称となるように配設したが、例えば加振部１３からの信
号線のみがセンサチューブ７，８の長手方向で対称にな
るようにしても良いし、あるいは上流側ピックアップ部
２０，下流側ピックアップ部２５からの信号線のみがセ
ンサチューブ７，８の長手方向で対称になるようにして
も良い。

【００５９】又、本発明は、上記以外のセンサチュー
ブ、例えばＵ字状に曲げたセンサチューブ、Ｓ字状に曲
げたセンサチューブ、あるいはＪ字状に形成したセンサ
チューブにも適用できるのは勿論である。その場合、各
信号線をＵ字状、Ｓ字状、Ｊ字状に沿って対称となるよ
うにセンサチューブの外周に配設するようにすれば良
い。

【００６０】

【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１によれ
ば、ピックアップの信号線がセンサチューブの中間位置
を中心としてセンサチューブの長手方向に対称となるよ
うに配設されているため、ピックアップの信号線の重量
がセンサチューブの流入側部分と流出側部分とでバラン
スし、振動特性が安定する。そのため、センサチューブ
の振動特性が影響を受けて変化し、センサチューブの固
有振動数が変動することを防止できる。従って、ピック
アップの信号線の配設による計測精度の低下を防止で
き、正確な質量流量又は密度の計測を行うことができ
る。

【００６１】又、請求項２によれば、加振器の信号線が
センサチューブの中間位置を中心としてセンサチューブ
の長手方向に対称となるように配設されているため、加
振器の信号線の重量がセンサチューブの流入側部分と流
出側部分とでバランスし、振動特性を安定させて正確な
質量流量又は密度の計測を行うことができる。

【００６２】又、請求項３によれば、加振器及びピック
アップの信号線がセンサチューブの中間位置を中心とし
てセンサチューブの長手方向に対称となるように配設さ
れているため、加振器及びピックアップの信号線の重量
がセンサチューブの流入側部分と流出側部分とでバラン
スし、振動特性を安定させて正確な質量流量又は密度の
計測を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例の縦断
面図である。

【図２】質量流量計の縦断面図である。

【図３】加振器の取り付け構造を示す縦断面図である。

【図４】ピックアップの取り付け構造を示す縦断面図で
ある。

【図５】信号線を粘着テープで固定している状態を拡大
して示す縦断面図である。

【図６】図１中Ｖ−Ｖ線に沿う縦断面図である。

【図７】図１中ＶＩ−ＶＩ線に沿う縦断面図である。

【図８】コネクタ部を説明するための縦断面図である。

【図９】コネクタ部を拡大して示す縦断面図である。

【図１０】本発明の変形例の縦断面図である。

【図１１】コネクタ部の変形例を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ 質量流量計 ６ 流入側マニホールド ７，８ センサチューブ ９ 流出側マニホールド １５ 加振部 １８，１９ 加振器 １８ｃ，１８ｄ，１９ｃ，１９ｄ，２３ｃ，２３ｄ，２
４ｃ，２４ｄ，２８ｃ，２８ｄ，２９ｃ，２９ｄ 信号
線 ２３，２４，２８，２９ ピックアップ ２５ 下流側ピックアップ部 ３０ 流量計測制御回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測流体が流入する流入口と被測流体が
   流出する流出口との間に設けられたセンサチューブと、
   該センサチューブを加振する加振器と、該センサチュー
   ブの変位を検出するピックアップとを有し、該加振器及
   びピックアップと制御回路との間を信号線により接続し
   てなる振動式測定装置において、 前記ピックアップの信号線は前記センサチューブの中間
   位置を中心として前記センサチューブの長手方向に対称
   となるように配設されていることを特徴とする振動式測
   定装置。
2. 【請求項２】 被測流体が流入する流入口と被測流体が
   流出する流出口との間に設けられたセンサチューブと、
   該センサチューブを加振する加振器と、該センサチュー
   ブの変位を検出するピックアップとを有し、該加振器及
   びピックアップと制御回路との間を信号線により接続し
   てなる振動式測定装置において、 前記加振器の信号線は前記センサチューブの中間位置を
   中心として前記センサチューブの長手方向に対称となる
   ように配設されていることを特徴とする振動式測定装
   置。
3. 【請求項３】 被測流体が流入する流入口と被測流体が
   流出する流出口との間に設けられたセンサチューブと、
   該センサチューブを加振する加振器と、該センサチュー
   ブの変位を検出するピックアップとを有し、該加振器及
   びピックアップと制御回路との間を信号線により接続し
   てなる振動式測定装置において、 前記加振器及びピックアップの信号線は前記センサチュ
   ーブの中間位置を中心として前記センサチューブの長手
   方向に対称となるように配設されていることを特徴とす
   る振動式測定装置。