JPH06331406A - 振動式測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はセンサチューブの肉厚を厚くするこ
となく加圧された被測流体を計測できるよう構成した振
動式測定装置を提供することを目的とする。 【構成】 質量流量計１は、被測流体が通過するセンサ
チューブ２，３と、センサチューブ２，３を加振する加
振器５，６と、加振器５，６の駆動コイルに接続された
制御装置１４とよりなる。センサチューブ３には流入側
直管３ａの流入側端部近傍に、センサチューブ２，３内
の圧力と収納ケース１Ａ内の圧力とが平衡状態を保つよ
うに収納ケース１Ａ内を加圧する圧力供給孔１７が設け
られている。圧力供給孔１７から収納ケース１Ａ内に被
測流体が供給されることにより、センサチューブ２，３
の内部と外部の圧力がバランスすることになり、センサ
チューブ２，３の耐圧強度を高めなくても高圧流体を計
測することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特に加圧された被測流体を計測するのに適した振動式測
定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】被測流体を直接計測する振動式測定装置
としては、例えば振動するセンサチューブ内に流体を流
したときに生ずるコリオリの力を利用して質量流量を計
測するコリオリ式質量流量計と、被測流体が流れるセン
サチューブの振動数を計測して密度を計測する振動式密
度計とがある。

【０００３】例えばコリオリ式質量流量計の場合、一対
のセンサチューブに流体を流し、加振器（駆動コイル）
の駆動力により一対のセンサチューブを互いに近接、離
間する方向に振動させる構成とされている。コリオリの
力はセンサチューブの振動方向に働き、かつ入口側と出
口側とで逆向きであるのでセンサチューブに捩れが生
じ、この捩れ角が質量流量に比例する。従って、一対の
センサチューブの入口側及び出口側夫々の捩れる位置に
振動を検出するピックアップ（振動センサ）を設け、両
センサの出力検出信号の時間差を計測して上記センサチ
ューブの捩れ、つまり質量流量を計測している。１又、
上記構成とされた質量流量計においては、センサチュー
ブ、ピックアップ及び加振器等が箱状の収納ケース内に
収納されており、これらの流量計測部分を保護する構成
となっている。そして、収納ケース内には、不活性ガス
（例えばアルゴンガス等）が大気圧に充填されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】例えば自動車の燃料と
して使用されるＣＮＧ（Compressed Naturel Gas）等の
圧縮性天然ガスを給送する系路に上記質量流量計を設け
て流量を計測する場合、高圧に加圧された被測流体が流
れるセンサチューブの寿命を延ばすため、センサチュー
ブの耐圧強度を高める必要がある。ところが、センサチ
ューブの耐圧強度を高めるため、肉厚を厚くすると、セ
ンサチューブの剛性が高まり加工が難しくなる。さら
に、センサチューブを振動させる加振器の駆動力を大き
くしなければならず、加振器の駆動コイルに流れる電流
値が大きくなって制御回路を本質安全防爆構造にするこ
とが難しくなる。しかも、センサチューブの剛性が高く
なった分、計測時の共振振幅が小さくなって外乱の影響
を受けやすくなったり、流量計測時、流入側及び流出側
の振動センサの位相差（ねじれ角）が小さくなったりし
て、計測精度が低下するといった課題がある。

【０００５】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
被測流体が通過するセンサチューブと、該センサチュー
ブを収納するよう密閉された収納ケースと、該センサチ
ューブを加振する加振器と、該センサチューブの振動部
分に設けられ該センサチューブの振動による変位を検出
する振動センサと、よりなる振動式測定器において、前
記センサチューブ内の圧力と前記収納ケース内の圧力と
が平衡状態を保つように前記収納ケース内を加圧する圧
力平衡手段を備えてなることを特徴とする。

【０００７】又、請求項２の発明は、前記圧力平衡手段
が、前記センサチューブ内と前記収納ケース内とを連通
することを特徴とする。

【０００８】又、請求項３の発明は、前記圧力平衡手段
が、前記被測流体の供給圧力を検出する圧力検出手段
と、該圧力検出手段からの圧力検出信号により前記収納
ケース内に圧縮気体を供給し、前記被測流体の供給圧力
と前記収納ケース内の圧力とが平衡状態を保つように該
圧縮気体の圧力を調整する圧縮気体供給手段と、を有す
ることを特徴とする。

【０００９】又、請求項４の発明は、前記圧力平衡手段
が、前記センサチューブを保持するとともに前記収納ケ
ース内を二室に画成する壁部と、前記センサチューブの
流入側開口と前記壁部に画成された上流側の室とを連通
するとともに前記センサチューブの流入側開口と上流側
に配される流入管とを離間させる流入側の隙間と、前記
センサチューブの流出側開口と前記壁部に画成された下
流側の室とを連通するとともに前記センサチューブの流
出側開口と下流側に配される流出管とを離間させる流出
側の隙間と、よりなることを特徴とする。

【００１０】

【作用】請求項１によれば、センサチューブ内の圧力と
収納ケース内の圧力とが平衡状態を保つように収納ケー
ス内を加圧することにより、センサチューブの耐圧強度
を上げる必要がなく、センサチューブの肉厚を厚くしな
くても高圧流体を計測することができる。

【００１１】請求項２によれば、センサチューブ内と収
納ケース内とを連通することにより簡単な構成でセンサ
チューブ内の圧力と収納ケース内の圧力とが平衡状態を
保つように収納ケース内を加圧することができる。

【００１２】請求項３によれば、被測流体の供給圧力を
検出して収納ケース内の圧力が同圧となるように圧力制
御を行うため、被測流体の圧力変動に対して応答性が高
く、しかも収納ケース内に被測流体を供給しないので、
腐食性流体を計測したり爆発性流体を安全に計測するこ
とも可能になる。

【００１３】請求項４によれば、センサチューブと流入
管，流出管との間に隙間を設けて収納ケース内の圧力が
センサチューブ内の圧力と同圧にできるため、被測流体
の圧力変動が大きい場合でも、上記隙間が充分に大きい
ので常に収納ケース内の圧力とセンサチューブ内の圧力
とを同圧に保つことができ、圧力変動による影響が少な
い。

【００１４】

【実施例】図１乃至図３に本発明になる振動式測定装置
の第１実施例を示す。尚、本実施例では、振動式測定装
置を質量流量計に適用した場合を一例として説明する。

【００１５】両図中、質量流量計１は、円筒状の密閉構
造とされた収納ケース（筺体）１Ａ内に被測流体が流れ
る一対のセンサチューブ２，３を収納してなる。

【００１６】この質量流量計１は共振状態で振動する一
対のセンサチューブ２，３に流体を流したときに生ずる
コリオリ力によるセンサチューブ２，３の変位を検出し
て流量を計測するコリオリ式の流量計である。そのた
め、センサチューブ２，３は収納ケース１Ａにより結
露、塵埃あるいは外力等から保護されている。

【００１７】センサチューブ２，３は、側面図上はＵ字
状に、平面図上はＪ字状に屈曲されて、流出管４に対し
て対称に取り付けてある。

【００１８】５，６は加振器であり、夫々センサチュー
ブ２，３の流入側、流出側の直管部分間に介在し、夫々
センサチューブ２，３をＸ方向に振動させる。加振器
５，６は実質電磁ソレノイドと同様な構成であり、駆動
コイル５ａ，６ａと磁石５ｂ，６ｂとを組み合わせたも
のである（但し、図３中加振器６は隠れて見えない）。
即ち、駆動コイル５ａ，６ａが励磁されると駆動コイル
５ａ，６ａと磁石５ｂ，６ｂとの反発力によりセンサチ
ューブ２，３の流入側、流出側の直管２ａ，２ｂ，３
ａ，３ｂが離間方向に変位し、駆動コイル５ａ，６ａが
消磁されるとセンサチューブ２，３が近接方向に復帰す
る。

【００１９】尚、加振器５と６とは夫々１８０度の位相
差で交互に励磁され、例えば一方のセンサチューブ２の
流入側、流出側の直管２ａ，２ｂが離間方向に変位した
とき、他方のセンサチューブ３の流入側、流出側の直管
３ａ，３ｂが近接方向に変位する。

【００２０】８，９はピックアップであり、夫々センサ
チューブ２，３の流入側、流出側の直管２ａ，３ａ間及
び、２ｂ，３ｂ間に介在し、センサチューブ２，３のＸ
方向の振動を検出する振動センサである。ピックアップ
８，９はセンサチューブ２，３の流入側、流出側の直管
部分の相対変位（位相差）を検出し易い位置、即ち上記
加振器５，６とセンサチューブ２，３が接続されたマニ
ホールド１０との間に設けられ、且つ一方のピックアッ
プ８がセンサチューブ２，３の流入側直管２ａ，３ａ間
に介在し、他方のピックアップ９がセンサチューブ２，
３の流出側直管２ｂ，３ｂ間に介在している。

【００２１】ピックアップ８，９は上記加振器５，６と
同様センサコイルと磁石（共に図示せず）とが対向する
ようにセンサチューブ２，３の流入側、流出側の直管２
ａ，２ｂ，３ａ，３ｂに取り付けられている。即ち、一
対のセンサチューブ２，３が加振器５，６により交互に
加振されると、一方のピックアップ８はセンサチューブ
２，３の流入側直管２ａ，３ａ間の相対変位量を検出
し、他方のピックアップ９はセンサチューブ２，３の流
出側直管２ｂ，３ｂ間の相対変位量を検出する。

【００２２】又、一方のセンサチューブ３は流入側直管
３ａの流入側端部近傍に、センサチューブ２，３内の圧
力と収納ケース１Ａ内の圧力とが平衡状態を保つように
収納ケース１Ａ内を加圧する圧力平衡手段としての圧力
供給孔１７が設けられている。従って、密閉構造とされ
た収納ケース１Ａ内には、この圧力供給孔１７から流出
した被測流体が充満している。尚、圧力供給孔１７はセ
ンサチューブ３の直管３ａを支持する支持板１８とセン
サチューブ２，３の端部が接続固定されたマニホールド
１０との間に穿設されている。即ち、流量計測時はセン
サチューブ２，３が固着された支持板１８を支点にして
振動するため、圧力供給孔１７はセンサチューブ３の振
動特性に影響を与えない位置に設けられている。

【００２３】従って、流量計測時、上流側配管（図示せ
ず）を通って供給された流体は、流入管１１よりマニホ
ールド１０に流入し、マニホールド１０内で矢印で示
すように分岐して夫々センサチューブ２，３の流入側直
管部２ａ，３ａ内を矢印で示すように流れるととも
に、その一部が上記圧力供給孔１７から収納ケース１Ａ
内に流入する。そして、直管部２ａ，３ａ内を流れた流
体は、流出側直管２ｂ，３ｂ内を矢印で示すように流
れてマニホールド１０内で合流されて流出管４内に入
り、流出管４内を矢印で示すように流れて下流側配管
（図示せず）に到る。

【００２４】このように、流量計測時、被測流体がセン
サチューブ２，３を流れるとき、センサチューブ３内の
圧力が圧力供給孔１７より収納ケース１Ａ内に供給され
て収納ケース１Ａ内の圧力が瞬時にセンサチューブ２，
３内の圧力と同圧となってセンサチューブ２，３の内部
と外部との圧力差がなくなる。そのため、センサチュー
ブ２，３の内部と外部の圧力がバランスすることにな
り、センサチューブ２，３の耐圧強度を高めなくても高
圧流体を計測することができる。例えば、ＣＮＧ等の圧
縮性天然ガスを給送する系路に上記質量流量計が設けら
れても、センサチューブ２，３の肉厚を厚くする必要が
ない。

【００２５】よって、センサチューブ２，３の肉厚を従
来と同様あるいはそれよりも薄くすることが可能にな
り、その分センサチューブ２，３の加工が容易に行え
る。さらに、センサチューブ２，３を振動させる加振器
５，６の駆動力を小さくすることが可能になり、加振器
５，６の駆動コイル５ａ，６ａに流れる電流値を小さく
して消費電力を節約することができる。しかも、センサ
チューブ２，３の肉厚を従来よりも薄くしてセンサチュ
ーブ２，３の剛性が小さくなった分、コリオリ力が大き
く働くことになり、ピックアップ８，９より大きな出力
が得られ、ＳＮ比を改善することができる。又、流量計
測時、流入側及び流出側の位相差が大きくなり、計測精
度が向上する。

【００２６】又、センサチューブ２，３の振動が上記の
ようにピックアップ８，９により検出され、上記センサ
チューブ２，３の振動の位相差が制御装置１４により質
量流量に変換される。制御装置１４はマニホールド１０
のコネクタ１５から引き出されたケーブル１６を介して
ピックアップ８，９のセンサコイル（図示せず）、加振
器５，６の駆動コイル５ａ，６ａと接続されている。

【００２７】制御装置１４は、本質安全防爆バリア回
路，励振・時間差検出回路，ヤング率・Ｖ／Ｆ変換回
路，出力回路，電源回路，減衰率検出回路，判別回路，
制御回路（夫々図示せず）等を有する。

【００２８】通常の流量計測動作は、上記励振回路から
加振器５，６に一定周期のパルスが出力され、センサチ
ューブ２，３が共振状態で振動する。このように、振動
しているセンサチューブ２，３内を流体が流れるときコ
リオリの力が生じ、センサチューブ２，３の流入側の直
管部２ａ，３ａと流出側の直管部２ｂ，３ｂとでは逆方
向のコリオリ力が作用する。これにより、流入側の直管
部２ａ，３ａと流出側の直管部２ｂ，３ｂとで振動に位
相差を生じる。

【００２９】このセンサチューブ２，３の位相差は上記
ピックアップ８，９により検出されて上記時間差検出回
路により時間差Δｔの信号に変換され、さらに上記Ｖ／
Ｆ変換回路，係数補正回路，分周回路，パルス出力回路
を介して流量パルスとなる。

【００３０】即ち、制御装置１４は、次式の演算を行っ
て質量流量Ｑｍを算出する。 Ｑｍ＝ＡΔｔ … （１） 但し、Ａは質量流量計固有の定数である。

【００３１】尚、上記第１実施例では、センサチューブ
３に圧力供給孔１７を設けたが、これに限らず、例えば
マニホールド１０に設けても良い。

【００３２】又、上記実施例では、一方のセンサチュー
ブ３に圧力供給孔１７を設けたが、他方のセンサチュー
ブ２に圧力供給孔１７を設けても良いし、あるいはセン
サチューブ２，３の両方に圧力供給孔１７を設ける構成
としても良いのは勿論である。

【００３３】図４に本発明の第２実施例を示す。

【００３４】同図中、上記質量流量計１において、上記
圧力供給孔１７の代わりにセンサチューブ３を切断して
隙間１９を形成する構成としてなる。

【００３５】従って、センサチューブ３は流入側端部近
傍で隙間１９を介して対向する上流側の開口２０ａと下
流側の開口２０ｂとを有し、この開口２０ａ，２０ｂが
センサチューブ２，３内の圧力と収納ケース１Ａ内の圧
力とが平衡状態を保つように収納ケース１Ａ内を加圧す
る圧力平衡手段として機能する。センサチューブ３を流
れる被測流体は、開口２０ａ，２０ｂが近接して対向し
ているため、その殆どが上流側の開口２０ａから下流側
の開口２０ｂに流入するが、一部の流体は隙間１９から
収納ケース１Ａ内に流出して収納ケース１Ａ内を流体圧
力に加圧する。

【００３６】よって、流量計測時、被測流体がセンサチ
ューブ２，３を流れるとき、センサチューブ３内の圧力
が上記隙間１９より収納ケース１Ａ内に供給されて収納
ケース１Ａ内の圧力が瞬時にセンサチューブ２，３内の
圧力と同圧となってセンサチューブ２，３の内部と外部
との圧力差がなくなる。そのため、センサチューブ２，
３の内部と外部の圧力がバランスすることになり、セン
サチューブ２，３の耐圧強度を高めなくても高圧流体を
計測することができる。

【００３７】図５に本発明の第３実施例を示す。

【００３８】同図中、質量流量計２１は密閉された収納
ケース２２内に被測流体が通過する管路２３が設けら
れ、管路２３の途中には後述の一対のセンサチューブ２
７，２８を軸方向に変位可能に保持するベローズ２４
Ａ，２４Ｂが設けられている。管路２３は流入口２５ａ
を有する流入管２５と、前記ベローズ２４Ａと、流入側
マニホールド２６と、直管を平行に配された一対のセン
サチューブ２７，２８と、流出側マニホールド２９と、
前記ベローズ２４Ｂと、流出口３０ａを有する流出管３
０とより形成されている。

【００３９】一対のセンサチューブ２７，２８の流入側
端部近傍には、センサチューブ２７，２８内の圧力と収
納ケース２２内の圧力とが平衡状態を保つように収納ケ
ース２２内を加圧する圧力平衡手段としての圧力供給孔
２７ａ，２８ｂが設けられている。従って、密閉構造と
された収納ケース２２内には、この圧力供給孔２７ａ，
２８ｂから流出した被測流体が充満している。尚、圧力
供給孔２７ａ，２８ｂはセンサチューブ２７，２８を支
持する上流側の支持板３１Ａとセンサチューブ２７，２
８の上流側端部が接続固定された流入側マニホールド２
６との間に穿設されている。即ち、流量計測時はセンサ
チューブ２７，２８が固着された支持板３１Ａ，３１Ｂ
を支点にして振動するため、圧力供給孔２７ａ，２８ｂ
はセンサチューブ２７，２８の振動特性に影響を与えな
い位置に設けられている。

【００４０】従って、流量計測時、被測流体がセンサチ
ューブ２７，２８を流れるとき、センサチューブ２７，
２８内の圧力が圧力供給孔２７ａ，２８ｂより収納ケー
ス２２内に供給されて収納ケース２２内の圧力がセンサ
チューブ２７，２８内の圧力と同圧になる。そのため、
センサチューブ２７，２８の内部と外部の圧力がバラン
スすることになり、センサチューブ２７，２８の耐圧強
度を高めなくても高圧流体を計測することができる。例
えばＣＮＧ等の圧縮性天然ガスを給送する系路に上記質
量流量計が設けられても、センサチューブ２７，２８の
肉厚を厚くする必要がない。

【００４１】又、流入側マニホールド２６は、上流側の
ベローズ２４Ａが接続固定される上流側接続口２６ａ
と、センサチューブ２７，２８の上流側端部が接続固定
される下流側接続口２６ｂ，２６ｃとを有する。上流側
接続口２６ａと下流側接続口２６ｂ，２６ｃとは分流路
２６ｄ，２６ｅを介して連通されている。

【００４２】流出側マニホールド２９は、センサチュー
ブ２７，２８の下流側端部が接続固定される一対の接続
口２９ａ，２９ｂと、下流側のベローズ２４Ｂの上流側
端部が接続される接続口２９ｃとを有する。又、流出側
マニホールド２９内には一対の接続口２９ａ，２９ｂと
接続口２９ｃとを連通する流路２９ｄ，２９ｅが穿設さ
れている。

【００４３】一対のセンサチューブ２７，２８は流体の
流れ方向（Ｘ方向）に直線状に延在する直管よりなり、
上記流入側マニホールド２６と流出側マニホールド２９
との間で平行に設けられている。直管よりなるセンサチ
ューブ２７，２８は被測流体が通過する際の圧力損失が
少ないばかりか複雑な形状に加工する必要もないので製
作が容易である。

【００４４】又、センサチューブ２７，２８は支持板３
１Ａ，３１Ｂを貫通し、且つ溶接されており、平行とな
るように支持されている。そして、センサチューブ２
７，２８の両端部は夫々円筒状のスリーブ３２を介して
流入側、流出側マニホールド２６，２９に接続されてい
る。

【００４５】流出管３０は上流側端部が上流側のベロー
ズ２４Ｂに接続固定され、下流側端部がケーシング２２
の側壁２２ｃを貫通して下流側（Ｘ方向）へ突出してい
る。尚、流出管３０の下流側端部には流出口３０ａが開
口し、その外周には下流側配管（図示せず）に連結され
るフランジ３０ｂが設けられている。

【００４６】上流側のベローズ２４Ａは流入管２５と流
入側マニホールド２６との間に介在するよう管路２３途
中に設けられている。即ち、ベローズ２４Ａの上流側端
部が流入管２５の端部２５ｃの内周に溶接等により固着
され、下流側端部が流入側マニホールド２６の接続口２
６ａの内周に溶接等により固着されている。

【００４７】ベローズ２４Ａは例えばステンレス製パイ
プを蛇腹状に形成したものであり、円弧状の複数の谷部
と山部とが交互に連続形成されてなる。この谷部及び山
部は例えばセンサチューブ２７，２８の熱膨張による軸
方向の力が作用すると軸方向に伸縮して、熱膨張による
応力を吸収し、軸方向の配管振動が伝達された場合もこ
れを吸収する。

【００４８】尚、下流側のベローズ４Ｂは上記ベローズ
４Ａと同様な構成であるので、その説明は省略する。

【００４９】３３は加振器で、実質電磁ソレノイドと同
様な構成であり、一対のセンサチューブ２７，２８の略
中央部の間に設けられている。

【００５０】３４は上流側のピックアップで、加振器３
３より上流側のセンサチューブ２７，２８間に設けられ
ている。

【００５１】３５は下流側のピックアップで、加振器３
３より下流側のセンサチューブ２７，２８間に設けられ
ている。ピックアップ１４，１５は夫々電磁ソレノイド
と同様な構成であり、加振器３３により加振されたセン
サチューブ２７，２８の変位を検出する。

【００５２】加振器３３、ピックアップ３４，３５は、
制御装置３７に接続されており、この制御装置３７は、
センサチューブ２７，２８を共振周波数で振動するよう
に加振器３３を駆動するとともに、ピックアップ３４，
３５の検出信号に基づいて質量流量を演算する。

【００５３】流量計測時、一対のセンサチューブ２７，
２８は加振器３３により近接、離間する方向（Ｙ方向）
に加振される。上流側配管（図示せず）から供給された
被測流体は流入口２５ａよりベローズ２４Ａを通ってマ
ニホールド２６に至り、さらにマニホールド２６の流路
２６ｄ，２６ｅを通過して振動するセンサチューブ２
７，２８内に流入する。そして、センサチューブ２７，
２８を通過した流体はマニホールド２９の流路２９ｄ，
２９ｅより下流側のベローズ２４Ｂを通って流出口３０
ａより下流側配管（図示せず）に流出する。

【００５４】このように、振動するセンサチューブ２
７，２８に流体が流れると、その流量に応じたコリオリ
力が発生する。そのため、直管状のセンサチューブ２
７，２８の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これによ
りピックアップ２４と２５との出力信号に位相差があら
われる。この位相差が質量流量に比例するため、ピック
アップ２４，２５からの出力信号の位相差に基づいて質
量流量が求まる。

【００５５】尚、上記第３実施例では、センサチューブ
２７，２８に圧力供給孔２７ａ，２８ｂを設けたが、こ
れに限らず、例えばマニホールド２６又はベローズ２４
Ａに設けても良い。

【００５６】図６，図７に本発明の第４実施例を示す。

【００５７】両図中、質量流量計４０は密閉された収納
ケース４１内に被測流体が通過するセンサチューブ４
２，４３が設けられ、収納ケース４１は質量流量計４０
の本体４４の上部に取り付け固定されている。本体４４
は両端部にフランジ４４ａ，４４ｂを有し、一方のフラ
ンジ４４ａは上流側配管（図示せず）に接続され、他方
のフランジ４４ｂは下流側配管（図示せず）に接続され
ている。

【００５８】又、本体４４の両端部には、流入路４５と
流出路４６とが設けられており、流入路４５及び流出路
４６は本体４４の上面４４ｃに開口するようにＬ字状に
形成されている。上記センサチューブ４２，４３は夫々
Ｕ字状に形成され、一端が流入路４５に連通し、他端が
流出路４６に連通するように本体４４の上面４４ｃに接
続されている。

【００５９】一対のセンサチューブ４２，４３には、セ
ンサチューブ４２，４３内の圧力と収納ケース４１内の
圧力とが平衡状態を保つように収納ケース４１内を加圧
する圧力平衡手段としての圧力供給孔４２ａ，４３ａが
設けられている。従って、密閉構造とされた収納ケース
４１内には、この圧力供給孔４２ａ，４３ａから流出し
た被測流体が充満している。尚、圧力供給孔４２ａ，４
３ａはセンサチューブ４２，４３を支持する上流側の支
持板４７ａとセンサチューブ４２，４３の端部が接続固
定された本体４４との間に穿設されている。即ち、流量
計測時はセンサチューブ４２，４３が固着された支持板
４７ａ，４７ｂを支点にして振動するため、圧力供給孔
４２ａ，４３ａはセンサチューブ４２，４３の振動特性
に影響を与えない位置に設けられている。

【００６０】従って、流量計測時、被測流体がセンサチ
ューブ４２，４３を流れるとき、センサチューブ４２，
４３内の圧力が圧力供給孔４２ａ，４ａｂより収納ケー
ス４１内に供給されて収納ケース４１内の圧力がセンサ
チューブ４２，４３内の圧力と同圧になる。そのため、
センサチューブ４２，４３の内部と外部の圧力がバラン
スすることになり、センサチューブ４２，４３の耐圧強
度を高めなくても高圧流体を計測することができる。

【００６１】又、センサチューブ４２，４３間のＵ字状
湾曲部の両端位置の横架されたブラケット４８ａ，４８
ｂの中央には、センサチューブ４２，４３をＹ方向に加
振するための加振器４９が取り付けられている。加振器
４９の駆動コイル（図示せず）は一方のブラケット４８
ａに支持され、磁石（図示せず）は他方のブラケット４
８ｂに支持されている。又、ブラケット４８ａ，４８ｂ
の両端位置にはピックアップ５０，５１が設けられてい
る。このピックアップ５０，５１も上記加振器４９と同
様にセンサコイル（図示せず）は一方のブラケット４８
ａに支持され、磁石（図示せず）は他方のブラケット４
８ｂに支持されている。

【００６２】制御装置５２は、センサチューブ４２，４
３を共振周波数で振動するように加振器４９を駆動する
とともに、ピックアップ５０，５１の検出信号に基づい
て質量流量を演算する。

【００６３】流量計測時、一対のセンサチューブ４２，
４３は加振器４９により近接、離間する方向（Ｙ方向）
に加振される。上流側配管（図示せず）から供給された
被測流体は流入路４５より一対のセンサチューブ４２，
４３を通って流出路４６より下流側配管（図示せず）に
流出する。

【００６４】このように、振動するセンサチューブ４
２，４３に流体が流れると、その流量に応じたコリオリ
力が発生する。そのため、Ｕ字状のセンサチューブ４
２，４３の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これによ
りピックアップ５０と５１との出力信号に位相差があら
われる。この位相差が質量流量に比例するため、ピック
アップ５０，５１からの出力信号の位相差に基づいて質
量流量が求まる。

【００６５】尚、上記第４実施例では、センサチューブ
４２，４３に圧力供給孔４２ａ，４３ｂを設けたが、こ
れに限らず、例えば圧力供給孔を流入路４５に連通する
ように本体４４に設けても良い。

【００６６】図８に本発明の第５実施例を示す。

【００６７】同図中、質量流量計６１は、前述した第２
実施例の質量流量計２１（図５参照）の収納ケース２２
内をＸ方向に摺動するピストン６２と、収納ケース２２
内に圧縮気体（アルゴンガスなどの不活性ガス）を充填
してなる加圧室６３と、ピストン６２が摺動する予圧室
６６とを設けてなる。このピストン６２，加圧室６３，
予圧室６６は、前述した圧力供給孔２７ａ，２８ａとと
もに圧力平衡手段を構成する。

【００６８】ピストン６２は外周が収納ケース２２の内
壁に摺接するとともに、センサチューブ２７，２８が貫
通する貫通孔６２ａ，６２ｂを有する。又、ピストン６
２外周には収納ケース２２の内壁との間をシールするＯ
リング６９が設けられ、貫通孔６２ａ，６２ｂに内壁に
はセンサチューブ２７，２８外周との間をシールするＯ
リング６４が設けられている。

【００６９】６５は環状に形成されたストッパで、ピス
トン６２が圧力供給孔２７ａ，２８ａを塞がないように
ピストン６２の上流側への摺動位置を規制している。
又、支持板３１Ａは、センサチューブ２７，２８を支持
するとともに収納ケース２２内をピストン６２が摺動す
る予圧室６６と、センサチューブ２７，２８の振動部分
が収納される加圧室６３とに画成している。さらに、支
持板３１Ａは、ピストン６２の下流側への摺動位置を規
制するストッパとしても機能している。

【００７０】又、支持板３１Ａには予圧室６６と加圧室
６３とを連通する連通孔６７が穿設されており、ピスト
ン６２は予圧室６６の圧力と加圧室６３の圧力とがバラ
ンスする位置で停止する。

【００７１】加圧室６３を形成する収納ケース２２の壁
部には、吸排気口６８が設けられており、この吸排気口
６８は通常閉塞されている。そして、組立時に吸排気口
６８から加圧室６３内に圧縮気体が充填される。従っ
て、センサチューブ２７，２８の振動部分が収納される
加圧室６３内は圧縮気体により所定圧力に保たれてい
る。

【００７２】流量計測時、被測流体がセンサチューブ２
７，２８を流れるとき、センサチューブ２７，２８内の
圧力が圧力供給孔２７ａ，２８ｂより収納ケース２２の
予圧室６６に導入される。そのため、ピストン６２は予
圧室６６の圧力と加圧室６３の圧力とがバランスする方
向に摺動する。これにより、加圧室６３の圧力はピスト
ン６２の摺動動作とともに加圧され、ピストン６２は予
圧室６６の圧力と加圧室６３の圧力とが同圧になった位
置で停止する。

【００７３】従って、加圧室６３の圧力はセンサチュー
ブ２７，２８の内部圧力（流体圧力）と同圧となる。そ
のため、センサチューブ２７，２８の内部と外部の圧力
がバランスすることになり、センサチューブ２７，２８
の耐圧強度を高めなくても高圧流体を計測することがで
きる。例えばＣＮＧ等の圧縮性天然ガスを給送する系路
に上記質量流量計が設けられても、センサチューブ２
７，２８の肉厚を厚くする必要がない。

【００７４】又、加振器３３，ピックアップ３４，３５
のコイル部分が被測流体にさらされることがないため、
腐食性流体（例えば硫酸等の化学薬品等）や爆発性流体
（例えばガソリン等に引火性の高い燃料等）も安全に測
定することができる。

【００７５】図９乃至図１１に本発明の第６実施例を示
す。

【００７６】各図中、質量流量計７１は、前述した第１
実施例の質量流量計１（図１参照）に被測流体の圧力を
検出する圧力センサ（圧力検出手段）７２と、収納ケー
ス１Ａ内がこの圧力センサ７２により測定された圧力と
同圧となるように収納ケース１Ａ内に不活性ガスを供給
する圧力供給ユニット（圧縮気体供給手段）７３とを設
けてなる。この圧力センサ７２及び圧力供給ユニット７
３は、前述した圧力供給孔２７ａ，２８ａに変わって圧
力平衡手段を構成する。

【００７７】圧力センサ７２は取付パイプ７２ａを介し
て流入管１１に接続され、流入管１１内を流れる被測流
体の圧力を検出する。

【００７８】図１１に示すように、圧力供給ユニット７
３は、圧力センサ７２からの検出信号がケーブル７４ａ
を介して供給されるコントローラ７５と、コントローラ
７５からの信号を増幅するアンプ７６と、高圧ガスを発
生させるガス供給源７７と、収納ケース１Ａとガス供給
源７７とを接続する配管７８に配設され所定圧力を調整
するレギュレータ７９とよりなる。

【００７９】レギュレータ７９は配管７８の圧力を検出
する圧力センサ部７９ａと、ガス供給源７７から供給さ
れた不活性ガスの圧力を目標圧力値（被測流体の圧力）
に制御するレギュレーション部７９ｂとよりなる。

【００８０】コントローラ７５は、ケーブル７４ｂを介
して圧力センサ部７９ａから出力された被測流体の圧力
信号が入力されると、配管７８を介して収納ケース１Ａ
に供給されるガス圧力が圧力センサ７２により検出され
た圧力と同圧になるようレギュレーション部７９ｂを作
動させる。従って、コントローラ７５は、ケーブル７４
ｃを介して接続されたアンプ７６より圧力制御信号をレ
ギュレーション部７９ｂに出力する。

【００８１】このように、収納ケース１Ａ内には、レギ
ュレータ７９により常にセンサチューブ２，３内を流れ
る流体圧力と同圧に制御された不活性ガスが配管７８を
介して収納ケース１Ａに充填されている。本実施例で
は、圧力センサ７２により検出された被測流体の圧力に
基づいてレギュレータ７９が収納ケース１Ａへの供給圧
力を調整するため、被測流体の圧力変動が生じたとき収
納ケース１Ａ内の圧力を応答性良く被測流体の圧力に調
整することが可能になる。

【００８２】そのため、センサチューブ２，３の内部と
外部の圧力がバランスすることになり、センサチューブ
２，３の耐圧強度を高めなくても高圧流体を計測するこ
とができる。さらに、本実施例では、収納ケース１Ａ内
に被測流体を充填させずに不活性ガスを充填させる構成
であるので、例えば腐食性流体を計測する場合、腐食性
流体が収納ケース１Ａ内に充填されずに済み、質量流量
計１の耐蝕性を向上して寿命を延ばすことが可能にな
る。

【００８３】図１２は上記圧力供給ユニット７３の変形
例である。

【００８４】同図中、上記収納ケース１Ａとガス供給源
７７とを接続する配管７８には、エアセパレート形のレ
ギュレータ８０が配設されている。このレギュレータ８
０は配管８１を介して質量流量計１より被測流体の圧力
が導入されており、収納ケース１Ａへ供給される不活性
ガスの圧力が被測流体の流体圧力と同圧になるように圧
力制御を行う。

【００８５】図１３に本発明の第７実施例を示す。

【００８６】同図中、質量流量計８２は、前述した第２
実施例の質量流量計２１（図５参照）に上記第６実施例
の質量流量計７１（図９乃至図１１参照）で説明した圧
力センサ７２と、収納ケース２２内がこの圧力センサ７
２により測定された圧力と同圧となるように収納ケース
２２内に不活性ガスを供給する圧力供給ユニット７３と
を設けてなる。

【００８７】従って、本実施例の質量流量計８２におい
ても、センサチューブ２７，２８の内部と外部の圧力が
バランスすることになり、センサチューブ２７，２８の
耐圧強度を高めなくても高圧流体を計測することができ
る。さらに、収納ケース２２内に被測流体を充填させず
に不活性ガスを充填させる構成であるので、例えば腐食
性流体を計測する場合、腐食性流体が収納ケース２２内
に充填されずに済み、質量流量計８２の耐蝕性を向上し
て寿命を延ばすことが可能になる。

【００８８】又、図１１に示す上記圧力供給ユニット７
３の代わりに図１２に示すエアオペレート形のレギュレ
ータ８０を設ける構成としても良い。

【００８９】図１４，図１５に本発明の第８実施例を示
す。

【００９０】両図中、質量流量計９１は、密閉された収
納ケース９２内に被測流体が通過する一対のセンサチュ
ーブ９３，９４が設けられている。収納ケース９２は右
側面９２ａに流入管９５が接続され、左側面９２ｂに流
出管９６が接続されている。尚、流入管９５のフランジ
９５ａは上流配管（図示せず）に接続され、流出管９６
のフランジ９６ａは下流配管（図示せず）に接続されて
いる。

【００９１】又、収納ケース９２の内部中央には、一対
のセンサチューブ９３，９４が貫通する貫通孔９８ａ，
９８ｂを有する仕切壁（壁部）９８が設けられている。
この仕切壁９８は一対のセンサチューブ９３，９４を保
持するとともに、収納ケース９２の内部を流入室９９
と、流出室１００とに画成する。

【００９２】直管を平行に配された一対のセンサチュー
ブ９３，９４は、上記仕切壁９８の貫通孔９８ａ，９８
ｂに嵌合固定されており、後述するように仕切壁９８を
支点にして両端部分が振動して計測が行われる。又、一
対のセンサチューブ９３，９４の両端は隙間１０１，１
０２を介して流入管９５の流入路９５ｂ，流出管９６の
流出路９６ｂに対向している。従って、センサチューブ
９３，９４の流入側開口９３ａ，９４ａは流入路９５ｂ
及び流入室９９に連通しており、流出側開口９３ｂ，９
４ｂは流出路９６ｂ及び流出室１００に連通している。

【００９３】図１５に示すように、被測流体は流入管９
５の流入路９５ｂから収納ケース９２の流入室９９内に
流入する。このように、流入室９９内に流入した被測流
体は、直接センサチューブ９３，９４の流入側開口９３
ａ，９４ａに流入する流れＡと、センサチューブ９３，
９４に流入せずに流入室９９の奥部である仕切壁９８に
向かう流れＢとに分かれる。

【００９４】この仕切壁９８に向かう流れＢは、矢印Ｃ
で示すように仕切壁９８により流れ方向を反転させてセ
ンサチューブ９３，９４の流入側開口９３ａ，９４ａに
向かう流れとなる。従って、仕切壁９８に画成された流
入室９９内では、一部の被測流体が流入側開口９３ａ，
９４ａに流入する流れＤとなり、他の被測流体が上記流
れＢに戻り流入室９９内を循環する流れとなる。

【００９５】又、センサチューブ９３，９４に流入した
被測流体は、流出側開口９３ｂ，９４ｂより流出管９６
の流出路９６ｂに向かって流出する流れＥとなる。さら
に、流出室１００内に充填された被測流体は、流出管９
６の流出路９６ｂに向かって流出する流れＥに合流する
流れＦと、流出室１００内に戻る流れＧとに分かれる。
尚、流れＧは仕切壁９８により流出路９６ｂに向かう流
れＨとなって流出室１００内を循環する。

【００９６】このように、被測流体は上記隙間１０１，
１０２を通過する際にセンサチューブ９３，９４を流れ
るだけでなく収納ケース９２内の流入室９９，流出室１
００にも流入するため、センサチューブ９３，９４の内
部の圧力と外部（流入室９９，流出室１００）の圧力と
が同圧となる。従って、収納ケース９２の内部を流入室
９９と、流出室１００とに画成する仕切壁９８、及びセ
ンサチューブ９３，９４の両端と流入管９５，流出管９
６との間に介在する隙間１０１，１０２は、センサチュ
ーブ９３，９４内の圧力と収納ケース９２内の圧力とが
平衡状態を保つように収納ケース９２内を加圧する圧力
平衡手段として機能する。

【００９７】従って、流量計測時、被測流体の圧力が上
記隙間１０１，１０２より収納ケース９２内に供給され
て収納ケース９２内の圧力がセンサチューブ９３，９４
内の圧力と同圧になるため、センサチューブ９３，９４
の内部と外部の圧力がバランスすることになり、センサ
チューブ９３，９４の耐圧強度を高めなくても高圧流体
を計測することができる。例えばＣＮＧ等の圧縮性天然
ガスを給送する系路に上記質量流量計が設けられても、
センサチューブ９３，９４の肉厚を厚くする必要がな
い。

【００９８】１０３は上流側の加振器で、流入側開口９
３ａ，９４ａ近傍のセンサチューブ９３，９４間に設け
られている。

【００９９】１０４は上流側のピックアップで、加振器
１０３より上流側のセンサチューブ９３，９４間に設け
られている。

【０１００】１０５は下流側の加振器で、流出側開口９
３ｂ，９４ｂ近傍のセンサチューブ９３，９４間に設け
られている。

【０１０１】１０６は下流側のピックアップで、加振器
１０５より下流側のセンサチューブ２７，２８間に設け
られている。

【０１０２】上記加振器１０３，１０５及びピックアッ
プ１０４，１０６は、実質電磁ソレノイドと同様な構成
であり、夫々コイル１０３ａ〜１０６ａと磁石１０３ｂ
〜１０６ｂとよりなる。従って、加振器１０３，１０５
はコイル１０３ａ，１０５ａに通電されると、磁石１０
３ｂ，１０５ｂに対して吸引力又は反発力を発生させて
センサチューブ９３，９４の両端部をＹ方向に振動させ
る。

【０１０３】そして、ピックアップ１０４，１０６はセ
ンサチューブ９３，９４の両端部がＹ方向に振動するこ
とにより、磁石１０４ｂ，１０６ｂに対して相対変位す
るコイル１０４ａ，１０６ａに起電力が発生し、その変
位に応じた電圧を出力する。

【０１０４】上記加振器１０３，１０５及びピックアッ
プ１０４，１０６は、制御装置１０７に接続されてお
り、この制御装置１０７は、センサチューブ９３，９４
を共振周波数で振動するように加振器１０３，１０５を
駆動するとともに、ピックアップ１０４，１０６の検出
信号に基づいて質量流量を演算する。

【０１０５】流量計測時、一対のセンサチューブ９３，
９４は加振器１０３，１０５により近接、離間する方向
（Ｙ方向）に加振される。流入管９５の流入路９５ｂか
ら流入した被測流体は、前述したようにセンサチューブ
９３，９４を流れて流出管９６の流出路９６ｂより流出
する。

【０１０６】このように、振動するセンサチューブ９
３，９４に流体が流れると、その流量に応じたコリオリ
力が発生する。そのため、直管状のセンサチューブ９
３，９４の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これによ
りピックアップ１０４と１０６との出力信号に位相差が
あらわれる。この位相差が質量流量に比例するため、ピ
ックアップ１０４，１０６からの出力信号の位相差に基
づいて質量流量が求まる。

【０１０７】又、被測流体の圧力変動が大きい場合で
も、上記隙間１０１，１０２が充分に大きいので常に収
納ケース９２内の圧力とセンサチューブ９３，９４内の
圧力とを同圧に保つことができ、圧力変動による計測誤
差を大幅に低減することができる。特に密度を計測する
場合、センサチューブ９３，９４に共振周波数が圧力変
動による影響を受けにくくなり、被測流体の密度を高精
度に計測することができる。

【０１０８】又、センサチューブ９３，９４が上記隙間
１０１，１０２を介して流入管９５，流出管９６と離間
しているので、高温流体を計測する場合に熱膨張に影響
を受けることなく計測することが可能になり、前述した
第３実施例のベローズが不要になる。本実施例では、流
入側と流出側とが対称な構成であるので、流体の流れ方
向が上記実施例と逆になる場合でも、支障なく計測する
ことができる。

【０１０９】図１６に本発明の第９実施例を示す。

【０１１０】同図中、質量流量計１１１は、上記第８実
施例の変形例であり、一対のセンサチューブ９３，９４
が貫通する貫通孔９８ａ，９８ｂを有する仕切壁（壁
部）９８は、センサチューブ９３，９４の下流側端部を
支持するように収納ケース９２の左端近傍に設けられて
いる。この仕切壁９８は一対のセンサチューブ９３，９
４を保持するとともに、収納ケース９２の内部を流入室
９９と、流出室１００とに画成する。本実施例では、セ
ンサチューブ９３，９４を囲む仕切壁９８より上流側の
空間が流入室９９を形成し、センサチューブ９３，９４
の下流側端部と流出管９６との間の隙間１０２の空間が
流出室１００を形成する。

【０１１１】直管を平行に配された一対のセンサチュー
ブ９３，９４は、下流側端部が上記仕切壁９８の貫通孔
９８ａ，９８ｂに嵌合固定されており、上流側端部が支
持板１１２により支持されている。尚、支持板１１２に
は、センサチューブ９３，９４が貫通する貫通孔１１２
ａ，１１２ｂ及び上記流入室９９に流体を流入させるた
めの孔１１２ｃが複数個穿設されている。

【０１１２】本実施例では、センサチューブ９３，９４
の両端部分が仕切壁９８，支持板１１２により支持され
ているので、前述した第３実施例（図５参照）のように
加振器１１３はセンサチューブ９３，９４の長手方向の
中間位置に配設され、ピックアップ１１４，１１５は加
振器より所定距離離間した上流，下流位置に配設されて
いる。

【０１１３】従って、流量計測時、センサチューブ９
３，９４は中間位置が加振されて両端部分を支持する仕
切壁９８，支持板１１２を支点にして振動して計測が行
われる。

【０１１４】被測流体は流入管９５の流入路９５ｂから
収納ケース９２の流入室９９内に流入する。このよう
に、流入室９９内に流入した被測流体は、直接センサチ
ューブ９３，９４の流入側開口９３ａ，９４ａに流入す
る流れＡと、センサチューブ９３，９４に流入せずに支
持板１１２の孔１１２ｃを通過して流入室９９の奥部で
ある仕切壁９８に向かう流れＢとに分かれる。

【０１１５】この仕切壁９８に向かう流れＢは、矢印Ｃ
で示すように仕切壁９８により流れ方向を反転させてセ
ンサチューブ９３，９４の流入側開口９３ａ，９４ａに
向かう流れとなる。従って、仕切壁９８に画成された流
入室９９内では、流体が支持板１１２に戻る流れＤとな
り、そして上記流れＢとなって流入室９９内を循環する
流れとなる。

【０１１６】又、センサチューブ９３，９４に流入した
被測流体は、流出側開口９３ｂ，９４ｂより流出管９６
の流出路９６ｂに向かって流出する流れＥとなる。

【０１１７】このように、被測流体は上記隙間１０１を
通過する際にセンサチューブ９３，９４を流れるだけで
なく収納ケース９２内の流入室９９にも流入するため、
センサチューブ９３，９４の内部の圧力と外部（流入室
９９）の圧力とが同圧となる。従って、収納ケース９２
の内部に流入室９９を形成する仕切壁９８、及びセンサ
チューブ９３，９４の上流側端部と流入管９５との間に
介在する隙間１０１は、センサチューブ９３，９４内の
圧力と流入室９９内の圧力とが平衡状態を保つように収
納ケース９２内を加圧する圧力平衡手段として機能す
る。

【０１１８】従って、流量計測時、被測流体の圧力が上
記隙間１０１，支持板１１２の孔１１２ｃより流入室９
９内に供給されて流入室９９内の圧力がセンサチューブ
９３，９４内の圧力と同圧になるため、センサチューブ
９３，９４の内部と外部の圧力がバランスすることにな
り、センサチューブ９３，９４の耐圧強度を高めなくて
も高圧流体を計測することができる。例えばＣＮＧ等の
圧縮性天然ガスを給送する系路に上記質量流量計が設け
られても、センサチューブ９３，９４の肉厚を厚くする
必要がない。

【０１１９】尚、上記実施例では、質量流量計を例に挙
げて説明したが、これに限らず、例えば振動式の密度計
にも適用できるのは勿論である。

【０１２０】

【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１によれ
ば、センサチューブ内の圧力と収納ケース内の圧力とが
平衡状態を保つように収納ケース内を加圧することがで
きるので、センサチューブの耐圧強度を上げる必要がな
く、センサチューブの肉厚を厚くしなくても高圧流体を
計測することができる。さらに、センサチューブの肉厚
を従来よりも薄くすることが可能になり、その分センサ
チューブの加工が容易に行えるとともに、センサチュー
ブを振動させる加振器の駆動力を小さくすることが可能
になり、加振器の駆動コイルに流れる電流値を小さくし
て消費電力を節約することができる。しかも、センサチ
ューブの肉厚を従来よりも薄くしてセンサチューブの剛
性が小さくなった分、コリオリ力が大きく働くことにな
り、ピックアップより大きな出力が得られ、ＳＮ比を改
善することができる。又、流量計測時、流入側及び流出
側の位相差が大きくなり、計測精度を向上させることが
できる。

【０１２１】又、請求項２によれば、センサチューブ内
と収納ケース内とを連通することにより簡単な構成でセ
ンサチューブ内の圧力と収納ケース内の圧力とが平衡状
態を保つように収納ケース内を加圧することができる。

【０１２２】又、請求項３によれば、被測流体の供給圧
力を検出して収納ケース内の圧力が同圧となるように圧
力制御を行うため、被測流体の圧力変動に対して応答性
が高く、しかも収納ケース内に被測流体を供給しないの
で、腐食性流体を計測することができる。

【０１２３】請求項４によれば、センサチューブと流入
管，流出管との間に隙間を設けて収納ケース内の圧力が
センサチューブ内の圧力と同圧にできるため、被測流体
の圧力変動が大きい場合でも、上記隙間が充分に大きい
ので常に収納ケース内の圧力とセンサチューブ内の圧力
とを同圧に保つことができ、圧力変動による計測誤差を
大幅に低減することができる。特に密度を計測する場
合、センサチューブに共振周波数が圧力変動による影響
を受けにくくなり、被測流体の密度を高精度に計測する
ことができる。又、センサチューブが上記隙間を介して
流入管，流出管と離間しているので、高温流体を計測す
る場合に熱膨張に影響を受けることなく計測することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の第１実施例の斜
視図である。

【図２】振動式測定装置の上方から見た横断面図であ
る。

【図３】振動式測定装置の一部断面とした底面図であ
る。

【図４】本発明の第２実施例の底面図である。

【図５】本発明の第３実施例の縦断面図である。

【図６】本発明の第４実施例の縦断面図である。

【図７】第４実施例のセンサチューブの側面図である。

【図８】本発明の第５実施例の縦断面図である。

【図９】本発明の第６実施例の斜視図である。

【図１０】第６実施例の装置を上方から見た横断面図で
ある。

【図１１】第６実施例のガス供給ユニットの回路図であ
る。

【図１２】ガス供給ユニットの変形例の回路図である。

【図１３】本発明の第７実施例の縦断面図である。

【図１４】本発明の第８実施例の縦断面図である。

【図１５】第８実施例の横断面図である。

【図１６】第９実施例の横断面図である。

【符号の説明】

１，２１，４０，６１，７１，８２ 質量流量計 １Ａ，２２，４１ 収納ケース ２，３，２７，２８，４２，４３，９３，９４ センサ
チューブ ５，６，３３，４９，１０３，１０５ 加振器 ８，９，３４，３５５０，５１，１０４，１０６ ピッ
クアップ １４，３７，５２，１０７ 制御装置 １７，２７ａ，２８ａ，４２ａ，４３ａ 圧力供給孔 ７２ 圧力センサ ７３ 圧力供給ユニット ７７ ガス供給源 ７９，８０ レギュレータ ９９ 流入室 １００ 流出室 １０１，１０２ 隙間

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測流体が通過するセンサチューブと、
   該センサチューブを収納するよう密閉された収納ケース
   と、該センサチューブを加振する加振器と、該センサチ
   ューブの振動部分に設けられ該センサチューブの振動に
   よる変位を検出する振動センサと、よりなる振動式測定
   器において、 前記センサチューブ内の圧力と前記収納ケース内の圧力
   とが平衡状態を保つように前記収納ケース内を加圧する
   圧力平衡手段を備えてなることを特徴とする振動式測定
   装置。
2. 【請求項２】 前記圧力平衡手段は、前記センサチュー
   ブ内と前記収納ケース内とを連通することを特徴とする
   請求項１の振動式測定装置。
3. 【請求項３】 前記圧力平衡手段は、前記被測流体の供
   給圧力を検出する圧力検出手段と、 該圧力検出手段からの圧力検出信号により前記収納ケー
   ス内に圧縮気体を供給し、前記被測流体の供給圧力と前
   記収納ケース内の圧力とが平衡状態を保つように該圧縮
   気体の圧力を調整する圧縮気体供給手段と、 を有することを特徴とする請求項１の振動式測定装置。
4. 【請求項４】 前記圧力平衡手段は、前記センサチュー
   ブを保持するとともに前記収納ケース内を二室に画成す
   る壁部と、 前記センサチューブの流入側開口と前記壁部に画成され
   た上流側の室とを連通するとともに前記センサチューブ
   の流入側開口と上流側に配される流入管とを離間させる
   流入側の隙間と、 前記センサチューブの流出側開口と前記壁部に画成され
   た下流側の室とを連通するとともに前記センサチューブ
   の流出側開口と下流側に配される流出管とを離間させる
   流出側の隙間と、 よりなることを特徴とする請求項１の振動式測定装置。