JPH07190803A - 磁気的角度センサ - Google Patents
磁気的角度センサInfo
- Publication number
- JPH07190803A JPH07190803A JP33147593A JP33147593A JPH07190803A JP H07190803 A JPH07190803 A JP H07190803A JP 33147593 A JP33147593 A JP 33147593A JP 33147593 A JP33147593 A JP 33147593A JP H07190803 A JPH07190803 A JP H07190803A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetoresistive effect
- effect element
- magnetic
- angle sensor
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 主回路および予備回路を具備した信頼度の高
い磁気的角度センサを提供する。 【構成】 磁気抵抗効果材料をつづら折り状に平面状に
配列構成した第１、第２、第３および第４の磁気抵抗効
果素子１０、１１、１２および１３を具備し、第１の磁
気抵抗効果素子と第２の磁気抵抗効果素子とを直列に接
続した第１の直列接続回路を構成すると共に、第３の磁
気抵抗効果素子と第４の磁気抵抗効果素子とを直列に接
続した第２の直列接続回路を構成し、第１の直列接続回
路と第２の直列接続回路とを互に対向して配置し、磁気
抵抗効果素子面に直交する回転磁界２１および２２を具
備し、第１の直列接続回路を主回路とすると共に、第２
の直列接続回路を予備回路とする磁気的角度センサ。
い磁気的角度センサを提供する。 【構成】 磁気抵抗効果材料をつづら折り状に平面状に
配列構成した第１、第２、第３および第４の磁気抵抗効
果素子１０、１１、１２および１３を具備し、第１の磁
気抵抗効果素子と第２の磁気抵抗効果素子とを直列に接
続した第１の直列接続回路を構成すると共に、第３の磁
気抵抗効果素子と第４の磁気抵抗効果素子とを直列に接
続した第２の直列接続回路を構成し、第１の直列接続回
路と第２の直列接続回路とを互に対向して配置し、磁気
抵抗効果素子面に直交する回転磁界２１および２２を具
備し、第１の直列接続回路を主回路とすると共に、第２
の直列接続回路を予備回路とする磁気的角度センサ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気的角度センサに
関し、特に、半導体或は強磁性体の磁気抵抗効果素子を
使用して回転角度変位を検出する磁気的角度センサに関
する。
関し、特に、半導体或は強磁性体の磁気抵抗効果素子を
使用して回転角度変位を検出する磁気的角度センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】回転軸先端に永久磁石を取り付け、永久
磁石に対向して磁気抵抗効果素子を配置し、永久磁石の
回転角度変位に起因する磁束密度の変化を磁気抵抗効果
素子の電気抵抗の変化として検出する磁気的角度センサ
は、例えば、工作機械、ペンレコーダその他の機械にお
ける被駆動部材の回転角度を正確に測定する装置として
使用されている。以下、この従来例について、図３を参
照して説明する。
磁石に対向して磁気抵抗効果素子を配置し、永久磁石の
回転角度変位に起因する磁束密度の変化を磁気抵抗効果
素子の電気抵抗の変化として検出する磁気的角度センサ
は、例えば、工作機械、ペンレコーダその他の機械にお
ける被駆動部材の回転角度を正確に測定する装置として
使用されている。以下、この従来例について、図３を参
照して説明する。
【０００３】図３において、５５は磁性体ヨーク、１０
および１１は磁気抵抗効果素子である。磁気抵抗効果素
子１０および磁気抵抗効果素子１１は図３における上端
において電気的に接続された状態において磁性体ヨーク
５５上面に配置されている。３２は磁気抵抗効果素子１
０と磁気抵抗効果素子１１とが接続した接続端子であ
る。３１は磁気抵抗効果素子１０の下端に接続する端子
であり、３３は磁気抵抗効果素子１１の下端に接続する
端子である。２１は仮想的に半円により示される磁界で
あり、磁界の方向はこの半円に垂直な方向に形成されて
いる。この磁界２１は磁気抵抗効果素子上方にこれらに
対向して配置される図示されない永久磁石により発生さ
れるものであり、この永久磁石から出発して上述の如く
垂直な方向に磁気抵抗効果素子１０および磁気抵抗効果
素子１１を貫通して磁性体ヨーク５５に到達するもので
ある。そして、この永久磁石は図示されない回転軸に取
り付けられている。
および１１は磁気抵抗効果素子である。磁気抵抗効果素
子１０および磁気抵抗効果素子１１は図３における上端
において電気的に接続された状態において磁性体ヨーク
５５上面に配置されている。３２は磁気抵抗効果素子１
０と磁気抵抗効果素子１１とが接続した接続端子であ
る。３１は磁気抵抗効果素子１０の下端に接続する端子
であり、３３は磁気抵抗効果素子１１の下端に接続する
端子である。２１は仮想的に半円により示される磁界で
あり、磁界の方向はこの半円に垂直な方向に形成されて
いる。この磁界２１は磁気抵抗効果素子上方にこれらに
対向して配置される図示されない永久磁石により発生さ
れるものであり、この永久磁石から出発して上述の如く
垂直な方向に磁気抵抗効果素子１０および磁気抵抗効果
素子１１を貫通して磁性体ヨーク５５に到達するもので
ある。そして、この永久磁石は図示されない回転軸に取
り付けられている。
【０００４】磁気抵抗効果素子１０下端の端子３１と磁
気抵抗効果素子１１下端の端子３３との間には端子３３
を接地として入力電圧が印加される一方、磁気抵抗効果
素子１０と磁気抵抗効果素子１１との間の接続点３２と
接地された磁気抵抗効果素子１１下端の端子３３との間
に出力電圧が得られる。この出力電圧は、互いに直列接
続せしめられた磁気抵抗効果素子１０と磁気抵抗効果素
子１１より成る回路における磁気抵抗効果素子１１の分
割電圧に相当するものである。
気抵抗効果素子１１下端の端子３３との間には端子３３
を接地として入力電圧が印加される一方、磁気抵抗効果
素子１０と磁気抵抗効果素子１１との間の接続点３２と
接地された磁気抵抗効果素子１１下端の端子３３との間
に出力電圧が得られる。この出力電圧は、互いに直列接
続せしめられた磁気抵抗効果素子１０と磁気抵抗効果素
子１１より成る回路における磁気抵抗効果素子１１の分
割電圧に相当するものである。
【０００５】ここで、上述の回転軸が回転駆動されてこ
れに取り付けられている永久磁石が磁気抵抗効果素子上
において回転すると、磁気抵抗効果素子１０および磁気
抵抗効果素子１１のそれぞれに加わる磁束密度は変化
し、この変化に対応して接続点３２の電位は変化する。
接続点３２におけるこの電位変化を検出することにより
回転軸の角度変位を検出するものである。
れに取り付けられている永久磁石が磁気抵抗効果素子上
において回転すると、磁気抵抗効果素子１０および磁気
抵抗効果素子１１のそれぞれに加わる磁束密度は変化
し、この変化に対応して接続点３２の電位は変化する。
接続点３２におけるこの電位変化を検出することにより
回転軸の角度変位を検出するものである。
【０００６】図４は磁気抵抗効果素子の一例を示す側断
面図である。図４において、１４は電気絶縁材料例えば
ガラスより成る基板である。１５は磁気抵抗効果を示す
材料半導体例えばＩｎＳｂ或は強磁性体例えばＦｅ−Ｎ
ｉ合金より成る薄膜である。１６は電気接続端子部であ
る。これら磁気抵抗効果材料薄膜１５および電気接続端
子部１６はガラス基板１４表面に形成され、この場合、
電気接続端子部１６は磁気抵抗効果材料薄膜１５の端部
に電気的機械的に接続して形成されている。１７はリー
ドフレーム或はボンディングワイヤその他のリード線で
あり、電気接続端子部１６に接続している。更に、磁気
抵抗効果材料薄膜１５およびリード線１７の上には合成
樹脂保護膜１８が被覆され、必要に応じて合成樹脂保護
膜１８の上にカバーガラス１９を貼着して保護する。
面図である。図４において、１４は電気絶縁材料例えば
ガラスより成る基板である。１５は磁気抵抗効果を示す
材料半導体例えばＩｎＳｂ或は強磁性体例えばＦｅ−Ｎ
ｉ合金より成る薄膜である。１６は電気接続端子部であ
る。これら磁気抵抗効果材料薄膜１５および電気接続端
子部１６はガラス基板１４表面に形成され、この場合、
電気接続端子部１６は磁気抵抗効果材料薄膜１５の端部
に電気的機械的に接続して形成されている。１７はリー
ドフレーム或はボンディングワイヤその他のリード線で
あり、電気接続端子部１６に接続している。更に、磁気
抵抗効果材料薄膜１５およびリード線１７の上には合成
樹脂保護膜１８が被覆され、必要に応じて合成樹脂保護
膜１８の上にカバーガラス１９を貼着して保護する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の通りの磁気的角
度センサにおいて、その合成樹脂保護膜１８にピンホー
ル２０が存在し、そこに水分、有害ガス、塵その他の異
物が進入すると、磁気抵抗効果素子材料薄膜１５が損な
われる恐れがある。そして、回転軸に圧力が加わって回
転軸先端の永久磁石が磁気抵抗効果素子に接触する様な
ことがあると、磁気抵抗効果素子は損傷し、この損傷箇
所より磁気抵抗効果素子は腐食、断線その他の被害が拡
大し、磁気的角度センサの信頼性を著しく阻害すること
となる。
度センサにおいて、その合成樹脂保護膜１８にピンホー
ル２０が存在し、そこに水分、有害ガス、塵その他の異
物が進入すると、磁気抵抗効果素子材料薄膜１５が損な
われる恐れがある。そして、回転軸に圧力が加わって回
転軸先端の永久磁石が磁気抵抗効果素子に接触する様な
ことがあると、磁気抵抗効果素子は損傷し、この損傷箇
所より磁気抵抗効果素子は腐食、断線その他の被害が拡
大し、磁気的角度センサの信頼性を著しく阻害すること
となる。
【０００８】この発明は、上述の通りの問題を解消した
磁気的角度センサを提供するものである。
磁気的角度センサを提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】磁気抵抗効果材料をつづ
ら折り状に平面状に配列構成した第１、第２、第３およ
び第４の磁気抵抗効果素子１０、１１、１２および１３
を具備し、第１の磁気抵抗効果素子と第２の磁気抵抗効
果素子とを直列に接続した第１の直列接続回路を構成す
ると共に、第３の磁気抵抗効果素子と第４の磁気抵抗効
果素子とを直列に接続した第２の直列接続回路を構成
し、第１の直列接続回路と第２の直列接続回路とを互に
対向して配置し、磁気抵抗効果素子面に直交する回転磁
界２１および２２を具備し、第１の直列接続回路を主回
路とすると共に、第２の直列接続回路を予備回路とする
磁気的角度センサを構成した。
ら折り状に平面状に配列構成した第１、第２、第３およ
び第４の磁気抵抗効果素子１０、１１、１２および１３
を具備し、第１の磁気抵抗効果素子と第２の磁気抵抗効
果素子とを直列に接続した第１の直列接続回路を構成す
ると共に、第３の磁気抵抗効果素子と第４の磁気抵抗効
果素子とを直列に接続した第２の直列接続回路を構成
し、第１の直列接続回路と第２の直列接続回路とを互に
対向して配置し、磁気抵抗効果素子面に直交する回転磁
界２１および２２を具備し、第１の直列接続回路を主回
路とすると共に、第２の直列接続回路を予備回路とする
磁気的角度センサを構成した。
【００１０】そして、上述の磁気的角度センサにおい
て、回転磁界２１および２２は回転軸５２の先端に固定
した互に極性を異にする２個の永久磁石２３および２４
により形成されるものであり、２個の永久磁石の磁極の
内の磁気抵抗効果素子に対向しない磁極を磁性体ヨーク
５５1 により連結すると共に、磁気抵抗効果素子の裏面
に磁性体ヨーク５５2 を固定して閉磁気回路を構成した
磁気的角度センサを構成した。
て、回転磁界２１および２２は回転軸５２の先端に固定
した互に極性を異にする２個の永久磁石２３および２４
により形成されるものであり、２個の永久磁石の磁極の
内の磁気抵抗効果素子に対向しない磁極を磁性体ヨーク
５５1 により連結すると共に、磁気抵抗効果素子の裏面
に磁性体ヨーク５５2 を固定して閉磁気回路を構成した
磁気的角度センサを構成した。
【００１１】また、上述の磁気的角度センサにおいて、
磁気抵抗効果素子面の形状は１／４円形であり、回転磁
界の断面形状は１／４円形を点対称とした形状である磁
気的角度センサを構成した。
磁気抵抗効果素子面の形状は１／４円形であり、回転磁
界の断面形状は１／４円形を点対称とした形状である磁
気的角度センサを構成した。
【００１２】
【実施例】この発明の実施例を図１を参照してに説明す
る。図１において、磁気抵抗効果素子１０ないし１３
は、互いに同一形状寸法、同一特性の１／４円形に構成
されている。ここで、１／４円形に構成されているとい
うことは、磁気感応部分である磁気抵抗効果材料がつづ
ら折り状に配列構成した結果のものが全体として１／４
円形状であるということを意味する。４個の磁気抵抗効
果素子１０ないし１３は、１／４円形の２個の回転磁界
２１および回転磁界２２の回転中心Ａに関して、磁気抵
抗効果素子１０と磁気抵抗効果素子１３とが点対称に配
置されると共に、磁気抵抗効果素子１１と磁気抵抗効果
素子１２が点対称に配置されている。１／４円形の２個
の回転磁界２１および回転磁界２２は磁気抵抗効果素子
１０ないし１３に対向配置され、回転磁界２１および回
転磁界２２は、回転中心Ａに関して点対称に配置されて
いる。そして、この回転磁界２１および回転磁界２２は
磁気抵抗効果素子１０ないし１３に対して互いに極性を
異にしている。
る。図１において、磁気抵抗効果素子１０ないし１３
は、互いに同一形状寸法、同一特性の１／４円形に構成
されている。ここで、１／４円形に構成されているとい
うことは、磁気感応部分である磁気抵抗効果材料がつづ
ら折り状に配列構成した結果のものが全体として１／４
円形状であるということを意味する。４個の磁気抵抗効
果素子１０ないし１３は、１／４円形の２個の回転磁界
２１および回転磁界２２の回転中心Ａに関して、磁気抵
抗効果素子１０と磁気抵抗効果素子１３とが点対称に配
置されると共に、磁気抵抗効果素子１１と磁気抵抗効果
素子１２が点対称に配置されている。１／４円形の２個
の回転磁界２１および回転磁界２２は磁気抵抗効果素子
１０ないし１３に対向配置され、回転磁界２１および回
転磁界２２は、回転中心Ａに関して点対称に配置されて
いる。そして、この回転磁界２１および回転磁界２２は
磁気抵抗効果素子１０ないし１３に対して互いに極性を
異にしている。
【００１３】磁気抵抗効果素子１０の一方の端部は端子
３１に接続すると共に磁気抵抗効果素子１１の一方の端
部は端子３３に接続する一方、これらの素子の他方の端
部は互いに電気的に結合して共通端子３２に接続してい
る。ここで、端子３３は接地され、そして磁気抵抗効果
素子１０の一方の端部に接続する端子３１と端子３３と
の間に入力電圧が印加される。共通端子３２と接地され
た端子３３との間に出力電圧が得られる。
３１に接続すると共に磁気抵抗効果素子１１の一方の端
部は端子３３に接続する一方、これらの素子の他方の端
部は互いに電気的に結合して共通端子３２に接続してい
る。ここで、端子３３は接地され、そして磁気抵抗効果
素子１０の一方の端部に接続する端子３１と端子３３と
の間に入力電圧が印加される。共通端子３２と接地され
た端子３３との間に出力電圧が得られる。
【００１４】磁気抵抗効果素子１２の一方の端部は端子
３６に接続すると共に磁気抵抗効果素子１３の一方の端
部は端子３４に接続する一方、これらの素子の他方の端
部は互いに電気的に結合して共通端子３５に接続してい
る。ここで、端子３６は接地され、そして磁気抵抗効果
素子１３の一方の端部に接続する端子３４と端子３６と
の間に入力電圧が印加される。共通端子３５と接地され
た端子３６との間に出力電圧が得られる。
３６に接続すると共に磁気抵抗効果素子１３の一方の端
部は端子３４に接続する一方、これらの素子の他方の端
部は互いに電気的に結合して共通端子３５に接続してい
る。ここで、端子３６は接地され、そして磁気抵抗効果
素子１３の一方の端部に接続する端子３４と端子３６と
の間に入力電圧が印加される。共通端子３５と接地され
た端子３６との間に出力電圧が得られる。
【００１５】図２は磁気的角度センサの断面を示す。５
１は軸受けであり、５２により示される非磁性回転軸を
保持している。２３および２４は磁極を軸方向に配列し
た永久磁石であり、極性は図示される通り互に逆極性と
される。永久磁石２３および永久磁石２４の磁極の内の
磁気抵抗効果素子に対向する磁極の形状は上述の如く１
／４円形とするか、或はその他の形状例えば扇形、矩形
とすることができる。５５1 は磁性ヨークであり、回転
軸５２の先端に固定されている。そして、永久磁石２３
および永久磁石２４の磁極の内の磁気抵抗効果素子に対
向しない磁極は磁性体ヨーク５５1 により相互に連結さ
れている。永久磁石２３および永久磁石２４は一定の間
隙を介して磁気抵抗効果素子１に対向して配置されてい
る。５３はハウジングであり、軸受５１が構成される蓋
体に固定される。５４はハウジング５３内底面に固定さ
れる基板である。この基板５４には磁気抵抗効果素子１
が取り付けられている。磁気抵抗効果素子１の裏面には
磁性体ヨーク５５2 が嵌入、固定されている。結局永久
磁石２３および永久磁石２４、磁性体ヨーク５５1およ
び磁性体ヨーク５５2 の４者により閉磁気回路を構成し
ている。５６は基板５４およびハウジング５３を貫通し
て導出される端子である。５７は磁気的角度センサの磁
性体ケースである。５８は磁性体ケースに嵌合する端子
板である。磁気抵抗効果素子１は基板５４を介して端子
５６に接続される。これらの全体を磁性体ケース５７に
収納し、端子５６は端子板５８を介して磁性体ケース外
部に導出される。
１は軸受けであり、５２により示される非磁性回転軸を
保持している。２３および２４は磁極を軸方向に配列し
た永久磁石であり、極性は図示される通り互に逆極性と
される。永久磁石２３および永久磁石２４の磁極の内の
磁気抵抗効果素子に対向する磁極の形状は上述の如く１
／４円形とするか、或はその他の形状例えば扇形、矩形
とすることができる。５５1 は磁性ヨークであり、回転
軸５２の先端に固定されている。そして、永久磁石２３
および永久磁石２４の磁極の内の磁気抵抗効果素子に対
向しない磁極は磁性体ヨーク５５1 により相互に連結さ
れている。永久磁石２３および永久磁石２４は一定の間
隙を介して磁気抵抗効果素子１に対向して配置されてい
る。５３はハウジングであり、軸受５１が構成される蓋
体に固定される。５４はハウジング５３内底面に固定さ
れる基板である。この基板５４には磁気抵抗効果素子１
が取り付けられている。磁気抵抗効果素子１の裏面には
磁性体ヨーク５５2 が嵌入、固定されている。結局永久
磁石２３および永久磁石２４、磁性体ヨーク５５1およ
び磁性体ヨーク５５2 の４者により閉磁気回路を構成し
ている。５６は基板５４およびハウジング５３を貫通し
て導出される端子である。５７は磁気的角度センサの磁
性体ケースである。５８は磁性体ケースに嵌合する端子
板である。磁気抵抗効果素子１は基板５４を介して端子
５６に接続される。これらの全体を磁性体ケース５７に
収納し、端子５６は端子板５８を介して磁性体ケース外
部に導出される。
【００１６】上述の通りの磁気的角度センサにおいて、
磁気抵抗効果素子１０および磁気抵抗効果素子１１上の
磁界２１および磁界２２が回転しても、磁気抵抗効果素
子１０および磁気抵抗効果素子１１より成る直列接続回
路を貫通する磁界は変化しない。磁気抵抗効果素子１２
および磁気抵抗効果素子１３より成る直列接続回路を貫
通する磁界も同様に変化しない。従って、磁気抵抗効果
素子１０および磁気抵抗効果素子１１より成る直列接続
回路の直列抵抗値、磁気抵抗効果素子１２および磁気抵
抗効果素子１３による直列接続回路の直列抵抗値は共
に、変化せずに一定である。
磁気抵抗効果素子１０および磁気抵抗効果素子１１上の
磁界２１および磁界２２が回転しても、磁気抵抗効果素
子１０および磁気抵抗効果素子１１より成る直列接続回
路を貫通する磁界は変化しない。磁気抵抗効果素子１２
および磁気抵抗効果素子１３より成る直列接続回路を貫
通する磁界も同様に変化しない。従って、磁気抵抗効果
素子１０および磁気抵抗効果素子１１より成る直列接続
回路の直列抵抗値、磁気抵抗効果素子１２および磁気抵
抗効果素子１３による直列接続回路の直列抵抗値は共
に、変化せずに一定である。
【００１７】ところで、磁気抵抗効果素子１０および磁
気抵抗効果素子１１について、入力端である端子３１と
端子３３との間に例えば５〜１２ボルト程度の直流電圧
を印加した状態において、非磁性回転軸磁界５２を回転
することにより磁界２１および磁界２２を回転せしめる
と、磁気抵抗効果素子１１を貫通する磁界はサイン関数
の様な非直線性の変化を示すところから、磁気抵抗効果
素子１１の電気抵抗は磁気抵抗効果に起因して同様にサ
イン関数の様な非直線性の変化を示し、その結果、出力
端である共通端子３２と端子３３との間にはサイン関数
の様な非直線性の出力電圧が得られる。磁気抵抗効果素
子１０および磁気抵抗効果素子１１についても同様であ
る。
気抵抗効果素子１１について、入力端である端子３１と
端子３３との間に例えば５〜１２ボルト程度の直流電圧
を印加した状態において、非磁性回転軸磁界５２を回転
することにより磁界２１および磁界２２を回転せしめる
と、磁気抵抗効果素子１１を貫通する磁界はサイン関数
の様な非直線性の変化を示すところから、磁気抵抗効果
素子１１の電気抵抗は磁気抵抗効果に起因して同様にサ
イン関数の様な非直線性の変化を示し、その結果、出力
端である共通端子３２と端子３３との間にはサイン関数
の様な非直線性の出力電圧が得られる。磁気抵抗効果素
子１０および磁気抵抗効果素子１１についても同様であ
る。
【００１８】出力端に現われるこの様なサイン関数の様
な非直線性の出力電圧を監視することにより非磁性回転
軸５２の回転変位を検出することができる。
な非直線性の出力電圧を監視することにより非磁性回転
軸５２の回転変位を検出することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の通りであって、上述の如くして得
られる出力について、例えば磁気抵抗効果素子１０およ
び磁気抵抗効果素子１１による直列接続回路の出力を主
出力とし、磁気抵抗効果素子１２および磁気抵抗効果素
子１３による直列接続回路の出力を副出力としておくこ
とにより、主出力に何らかの要因により障害が生じて
も、副出力は保持されているところから、電気的出力は
まがりなりにも確保され、急場を凌ぐことができるの
で、センサの信頼性を向上させるものということができ
るである。
られる出力について、例えば磁気抵抗効果素子１０およ
び磁気抵抗効果素子１１による直列接続回路の出力を主
出力とし、磁気抵抗効果素子１２および磁気抵抗効果素
子１３による直列接続回路の出力を副出力としておくこ
とにより、主出力に何らかの要因により障害が生じて
も、副出力は保持されているところから、電気的出力は
まがりなりにも確保され、急場を凌ぐことができるの
で、センサの信頼性を向上させるものということができ
るである。
【００２０】そして、磁気回路を閉磁気回路とすること
により磁束密度を向上して磁気抵抗効果素子の小型化を
容易とすることができる。また、磁気抵抗効果素子面の
形状は１／４円形とすると共に、回転磁界の断面形状を
１／４円形を点対称とした形状とすることにより、磁気
的角度センサの設計製造を容易にしている。
により磁束密度を向上して磁気抵抗効果素子の小型化を
容易とすることができる。また、磁気抵抗効果素子面の
形状は１／４円形とすると共に、回転磁界の断面形状を
１／４円形を点対称とした形状とすることにより、磁気
的角度センサの設計製造を容易にしている。
【図１】この発明の実施例を説明する図。
【図２】磁気的角度センサの断面を示す図。
【図３】磁気的角度センサの従来例を説明する図。
【図４】磁気抵抗効果素子の側断面を示す図。
１０、１１、１２、１３ 磁気抵抗効果素子 ２１、２２ 回転磁界 ２３、２４ 永久磁石 ５２ 回転軸 ５５1 、５５2 磁性体ヨーク
Claims (3)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果材料をつづら折り状に平面
状に配列構成した第１、第２、第３および第４の磁気抵
抗効果素子を具備し、 第１の磁気抵抗効果素子と第２の磁気抵抗効果素子とを
直列に接続した第１の直列接続回路を構成すると共に、
第３の磁気抵抗効果素子と第４の磁気抵抗効果素子とを
直列に接続した第２の直列接続回路を構成し、 第１の直列接続回路と第２の直列接続回路とを互に対向
して配置し、 磁気抵抗効果素子面に直交する回転磁界を具備し、 第１の直列接続回路を主回路とすると共に、第２の直列
接続回路を予備回路とすることを特徴とする磁気的角度
センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載される磁気的角度センサ
において、回転磁界は回転軸の先端に固定した互に極性
を異にする２個の永久磁石により形成されるものであ
り、２個の永久磁石の磁極の内の磁気抵抗効果素子に対
向しない磁極を磁性体ヨークにより連結すると共に、磁
気抵抗効果素子の裏面に磁性体ヨークを固定して閉磁気
回路を構成したことを特徴とする磁気的角度センサ。 - 【請求項３】 請求項１および請求項２の何れかに記載
される磁気的角度センサにおいて、磁気抵抗効果素子面
の形状は１／４円形であり、回転磁界の断面形状は１／
４円形を点対称とした形状であることを特徴とする磁気
的角度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33147593A JPH07190803A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁気的角度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33147593A JPH07190803A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁気的角度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190803A true JPH07190803A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18244066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33147593A Pending JPH07190803A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁気的角度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190803A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6486656B1 (en) | 1999-10-06 | 2002-11-26 | Delphi Technologies, Inc. | Magnetoresistive die and position sensor |
| JP2005172656A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| US7215115B2 (en) | 2001-12-21 | 2007-05-08 | Hitachi, Ltd. | Module to control a rotating output shaft and module to change a driving condition of vehicle |
| US7973437B2 (en) | 2007-09-25 | 2011-07-05 | Magna Powertrain Ag & Co Kg | Transmission unit |
| WO2017175843A1 (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 株式会社デンソー | 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
| JP2017191093A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-19 | 株式会社デンソー | 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
| JPWO2021153097A1 (ja) * | 2020-01-31 | 2021-08-05 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33147593A patent/JPH07190803A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6486656B1 (en) | 1999-10-06 | 2002-11-26 | Delphi Technologies, Inc. | Magnetoresistive die and position sensor |
| US7215115B2 (en) | 2001-12-21 | 2007-05-08 | Hitachi, Ltd. | Module to control a rotating output shaft and module to change a driving condition of vehicle |
| JP2005172656A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| US7973437B2 (en) | 2007-09-25 | 2011-07-05 | Magna Powertrain Ag & Co Kg | Transmission unit |
| WO2017175843A1 (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 株式会社デンソー | 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
| JP2017191093A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-19 | 株式会社デンソー | 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置 |
| CN108885097A (zh) * | 2016-04-06 | 2018-11-23 | 株式会社电装 | 旋转检测装置及使用该旋转检测装置的电动助力转向装置 |
| US11091201B2 (en) | 2016-04-06 | 2021-08-17 | Denso Corporation | Rotation detecting apparatus and electric power steering apparatus using the same |
| JPWO2021153097A1 (ja) * | 2020-01-31 | 2021-08-05 | ||
| WO2021153097A1 (ja) * | 2020-01-31 | 2021-08-05 | 日本精工株式会社 | 回転角度センサ、電動パワーステアリング装置及び回転角度センサの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20130200883A1 (en) | Magnetic field sensor | |
| US7064537B2 (en) | Rotation angle detecting device | |
| JP4028971B2 (ja) | 磁気センサの組立方法 | |
| US11994415B2 (en) | Encoder system for a drive | |
| JPH07190803A (ja) | 磁気的角度センサ | |
| JP5356793B2 (ja) | 磁気検出装置及びその製造方法 | |
| JP2001159542A (ja) | 回転角度センサー及び回転角度センサーユニット | |
| JP2020088976A (ja) | モータ | |
| JP2008014954A (ja) | 磁気センサ | |
| JP2007010581A (ja) | 非接触型ポテンショメータ | |
| JPH01110215A (ja) | 回転角度センサ | |
| JPH05146134A (ja) | 無接点直流モータ | |
| JP3186258B2 (ja) | 非接触型ポテンショメータ | |
| JPH08237910A (ja) | 磁気センサ | |
| JP2003004479A (ja) | 非接触型位置センサ | |
| JP4773066B2 (ja) | 歯車センサ | |
| JP2006220565A (ja) | 無接触式ポテンショメータ | |
| JPH09287911A (ja) | 回転変位検出装置 | |
| JPS6032997B2 (ja) | 多相ポテンシヨメ−タ | |
| JPH05203402A (ja) | 回転変位検出装置 | |
| US10094890B2 (en) | Magnetic sensor | |
| JP3179417B2 (ja) | 強磁性物体通過センサ | |
| JPH0618212A (ja) | 回転変位検出装置 | |
| JP4900855B2 (ja) | 絶対位置検出方法、回転角度検出方法、及び絶対位置検出構造 | |
| JPH11142183A (ja) | 回転角度検出センサ |