JPH07188430A - 研磨テープ用フイルムおよびその製造法 - Google Patents
研磨テープ用フイルムおよびその製造法Info
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- JPH07188430A JPH07188430A JP5331976A JP33197693A JPH07188430A JP H07188430 A JPH07188430 A JP H07188430A JP 5331976 A JP5331976 A JP 5331976A JP 33197693 A JP33197693 A JP 33197693A JP H07188430 A JPH07188430 A JP H07188430A
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- polyester
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 芳香族ポリエステルフイルムの片面または両
面に、水性弾性ポリエステルの被膜層を形成させた研磨
テープ用フイルムおよび芳香族ポリエステルフイルムを
主成分とする水性液を塗布し、乾燥し次いで延伸するこ
とを特徴とする前記研磨テープ用フイルムの製造法。 【効果】 研磨時の摩擦力に充分耐えうる研磨テープ用
フイルムおよびその製造法が提供される。
面に、水性弾性ポリエステルの被膜層を形成させた研磨
テープ用フイルムおよび芳香族ポリエステルフイルムを
主成分とする水性液を塗布し、乾燥し次いで延伸するこ
とを特徴とする前記研磨テープ用フイルムの製造法。 【効果】 研磨時の摩擦力に充分耐えうる研磨テープ用
フイルムおよびその製造法が提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は芳香族ポリエステルフイ
ルムをベースフイルムとする研磨テープ用フイルムおよ
びその製造法に関し、さらに詳しくは、接着性に優れた
研磨テープ用として有用な易接着性フイルムおよびその
製造法に関する。
ルムをベースフイルムとする研磨テープ用フイルムおよ
びその製造法に関し、さらに詳しくは、接着性に優れた
研磨テープ用として有用な易接着性フイルムおよびその
製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】研磨テープは工業用研磨材として広く使
われており、フイルム特に芳香族ポリエステルが基材と
して用いられているが、研磨剤層との接着性が充分とは
言えない。特に研磨時に発生する摩擦熱と摩擦力に耐え
るような研磨テープは従来の技術では得ることが困難で
あった。
われており、フイルム特に芳香族ポリエステルが基材と
して用いられているが、研磨剤層との接着性が充分とは
言えない。特に研磨時に発生する摩擦熱と摩擦力に耐え
るような研磨テープは従来の技術では得ることが困難で
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的は
研磨剤層との接着性が優れた研磨テープ用易接着性フイ
ルムおよびその製造法を提供することにある。本発明の
他の目的は研磨時に発生する摩擦熱にも耐える耐熱性を
有する研磨テープ用フイルムおよびその製造法を提供す
ることにある。
研磨剤層との接着性が優れた研磨テープ用易接着性フイ
ルムおよびその製造法を提供することにある。本発明の
他の目的は研磨時に発生する摩擦熱にも耐える耐熱性を
有する研磨テープ用フイルムおよびその製造法を提供す
ることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、前記本
発明の目的の１つは、芳香族ポリエステルフイルムの片
面または両面に、水性弾性ポリエステルの被膜層を形成
させた研磨テープ用フイルムによって達成される。また
本発明の他の目的は、芳香族ポリエステルフイルムの片
面または両面に、水性弾性ポリエステルを主成分とする
水性液を塗布し、乾燥し次いで延伸することを特徴とす
る前記研磨テープ用フイルムの製造法によって達成され
る。
発明の目的の１つは、芳香族ポリエステルフイルムの片
面または両面に、水性弾性ポリエステルの被膜層を形成
させた研磨テープ用フイルムによって達成される。また
本発明の他の目的は、芳香族ポリエステルフイルムの片
面または両面に、水性弾性ポリエステルを主成分とする
水性液を塗布し、乾燥し次いで延伸することを特徴とす
る前記研磨テープ用フイルムの製造法によって達成され
る。
【０００５】本発明の研磨テープ用フイルムは、易接着
性の効果の高い弾性ポリエステル樹膜が表面に設けられ
ているので、研磨時の高摩擦力にも耐えうる易接着性フ
イルムである。以下本発明についてさらに詳細に説明す
る。本発明のフイルムのベースフイルムを形成する芳香
族ポリエステルはテレフタル酸、イソフタル酸、２,６
−ナフタレンジカルボン酸、４,４−ジフェニルカルボ
ン酸等の芳香族ジカルボン酸成分とエチレングリコー
ル、１,４−ブタンジオール、１,６−ヘキサンジオール
等の脂肪族または脂環族グリコール成分から製造され
る。芳香族ジカルボン酸成分以外に、１,４−シクロヘ
キサンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸等の脂環
族−または脂肪族−ジカルボン酸成分を一部使用するこ
とができるが、本発明のベースフイルムを形成する芳香
族ポリエステルは、全ジカルボン酸成分中の７０モル％
以上、特に８０モル％以上が、芳香族ジカルボン酸成分
であるのが好適である。ポリエステル中の芳香族ジカル
ボン酸成分が７０モル％未満の場合、研磨テープとして
力学的特性が不足するようになる。グリコール成分とし
てはエチレングコリールが特に好ましい。具体例として
はポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２,６
−ナフタレンジカルボキシレート、テレフタル酸−イソ
フタル酸−エチレングコリール共重合ポリエステル、テ
レフタル酸−イソフタル酸−アジピン酸−エチレングリ
コール共重合体ポリエステル等が挙げられる。上記ポリ
エステルを主成分とする共重合ポリエステルも当然使用
することができる。これらポリエステルは必要に応じて
有機や無機の微粒子フィラーを添加することができる。
性の効果の高い弾性ポリエステル樹膜が表面に設けられ
ているので、研磨時の高摩擦力にも耐えうる易接着性フ
イルムである。以下本発明についてさらに詳細に説明す
る。本発明のフイルムのベースフイルムを形成する芳香
族ポリエステルはテレフタル酸、イソフタル酸、２,６
−ナフタレンジカルボン酸、４,４−ジフェニルカルボ
ン酸等の芳香族ジカルボン酸成分とエチレングリコー
ル、１,４−ブタンジオール、１,６−ヘキサンジオール
等の脂肪族または脂環族グリコール成分から製造され
る。芳香族ジカルボン酸成分以外に、１,４−シクロヘ
キサンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸等の脂環
族−または脂肪族−ジカルボン酸成分を一部使用するこ
とができるが、本発明のベースフイルムを形成する芳香
族ポリエステルは、全ジカルボン酸成分中の７０モル％
以上、特に８０モル％以上が、芳香族ジカルボン酸成分
であるのが好適である。ポリエステル中の芳香族ジカル
ボン酸成分が７０モル％未満の場合、研磨テープとして
力学的特性が不足するようになる。グリコール成分とし
てはエチレングコリールが特に好ましい。具体例として
はポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２,６
−ナフタレンジカルボキシレート、テレフタル酸−イソ
フタル酸−エチレングコリール共重合ポリエステル、テ
レフタル酸−イソフタル酸−アジピン酸−エチレングリ
コール共重合体ポリエステル等が挙げられる。上記ポリ
エステルを主成分とする共重合ポリエステルも当然使用
することができる。これらポリエステルは必要に応じて
有機や無機の微粒子フィラーを添加することができる。
【０００６】かかる微粒子としては、通常ポリエステル
フイルムに添加されるものが使用されるが、その例を示
すと炭酸カルシウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウ
ム、カオリン、酸化珪素、酸化亜鉛、カーボンブラッ
ク、炭化珪素、酸化錫、アクリル樹脂粒子、ポリスチレ
ン樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、シリコーン樹脂粒子等
が挙げられる。さらにポリエステル中には着色剤、帯電
防止剤、酸化防止剤、有機滑剤、触媒、他の樹脂等も適
宜添加することができる。
フイルムに添加されるものが使用されるが、その例を示
すと炭酸カルシウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウ
ム、カオリン、酸化珪素、酸化亜鉛、カーボンブラッ
ク、炭化珪素、酸化錫、アクリル樹脂粒子、ポリスチレ
ン樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、シリコーン樹脂粒子等
が挙げられる。さらにポリエステル中には着色剤、帯電
防止剤、酸化防止剤、有機滑剤、触媒、他の樹脂等も適
宜添加することができる。
【０００７】本発明においてベースフイルムである芳香
族ポリエステルフイルムは、一般に研磨テープ用フイル
ムとして使用される厚さを有していればよく、１０〜１
００μｍ、好ましくは２０〜９０μｍの厚さである。
族ポリエステルフイルムは、一般に研磨テープ用フイル
ムとして使用される厚さを有していればよく、１０〜１
００μｍ、好ましくは２０〜９０μｍの厚さである。
【０００８】本発明の研磨テープ用易接着性フイルムに
おいては、前記ベースフイルムの片面または両面に水性
弾性ポリエステルより実質的になる被膜層が形成されて
いる。この被膜層を形成する水性弾性ポリエステルは、
ハードセグメントおよびソフトセグメントを有する弾性
ポリエステルであって、水溶液、水分散液または乳化液
を形成することが可能なものである。
おいては、前記ベースフイルムの片面または両面に水性
弾性ポリエステルより実質的になる被膜層が形成されて
いる。この被膜層を形成する水性弾性ポリエステルは、
ハードセグメントおよびソフトセグメントを有する弾性
ポリエステルであって、水溶液、水分散液または乳化液
を形成することが可能なものである。
【０００９】弾性ポリエステルを形成する多塩基酸性分
としてはテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無水
フタル酸、２,６−ナフタレンジカルボン酸、４,４'−
ジフェニルジカルボン酸、１,４−シクロヘキサンジカ
ルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット酸、
ピロメリット酸、ダイマー酸等を例示することができ
る。これら成分は２種以上を用いることができる。さら
に、これら成分と共にマレイン酸、フマール酸、イタコ
ン酸等の如き不飽和多塩基酸成分やｐ−ヒドロキシ安息
香酸、ｐ−（β−ヒドロキシエトキシ）安息香酸等の如
きヒドロキシカルボン酸成分を小割合用いることができ
る。不飽和多塩基酸成分やヒドロキシカルボン酸成分は
高々１０モル％、好ましくは５モル％以下である。前記
多塩基酸成分は、遊離のカルボン酸の他に低級アルキル
エステル、特にメチルエステルとして使用することがで
きる。
としてはテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無水
フタル酸、２,６−ナフタレンジカルボン酸、４,４'−
ジフェニルジカルボン酸、１,４−シクロヘキサンジカ
ルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット酸、
ピロメリット酸、ダイマー酸等を例示することができ
る。これら成分は２種以上を用いることができる。さら
に、これら成分と共にマレイン酸、フマール酸、イタコ
ン酸等の如き不飽和多塩基酸成分やｐ−ヒドロキシ安息
香酸、ｐ−（β−ヒドロキシエトキシ）安息香酸等の如
きヒドロキシカルボン酸成分を小割合用いることができ
る。不飽和多塩基酸成分やヒドロキシカルボン酸成分は
高々１０モル％、好ましくは５モル％以下である。前記
多塩基酸成分は、遊離のカルボン酸の他に低級アルキル
エステル、特にメチルエステルとして使用することがで
きる。
【００１０】弾性ポリエステルに親水性を付与するため
に、分子中にスルホン酸塩基やカルボン酸塩基を導入す
ることが好ましく、そのために、５−ナトリウムスルホ
イソフタル酸、５−カリウムスルホテレフタル酸、ジメ
チロールプロピオン酸ナトリウム等の多塩基酸を使用す
ることが望ましい。
に、分子中にスルホン酸塩基やカルボン酸塩基を導入す
ることが好ましく、そのために、５−ナトリウムスルホ
イソフタル酸、５−カリウムスルホテレフタル酸、ジメ
チロールプロピオン酸ナトリウム等の多塩基酸を使用す
ることが望ましい。
【００１１】前記多塩基酸成分と共に使用されるヒドロ
キシ化合物成分としては、例えばエチレングリコール、
１,３−プロパンジオール、１,４−ブタンジオール、
１,６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、
ジエチレングリコール、１,４−シクロヘキサンジメタ
ノール、ｐ−キシリレングリコール、テトラエチレング
リコール、トリエチレングリコール、ビースフェノール
Ａのアルキレンオキシド付加物等を使用することができ
る。特に弾性ポリエステルを形成するためのソフトセグ
メント成分として、ポリエチレングコリール、ホリテト
ラメチレンオキシド、ポリカプロラクトン、ポリウレタ
ンジオール等を使用するのが好適である。水性弾性ポリ
エステルとしては、ポリエーテルエステルタイプが好ま
しい。 本発明の水性弾性ポリエステルとしては、２０
０〜９００％の破断伸度を有し、１０〜５００ｋｇ／ｃ
ｍ2、好ましくは２０〜３５０ｋｇ／ｃｍ2の５０％モジ
ュラスを有するものが望ましい。
キシ化合物成分としては、例えばエチレングリコール、
１,３−プロパンジオール、１,４−ブタンジオール、
１,６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、
ジエチレングリコール、１,４−シクロヘキサンジメタ
ノール、ｐ−キシリレングリコール、テトラエチレング
リコール、トリエチレングリコール、ビースフェノール
Ａのアルキレンオキシド付加物等を使用することができ
る。特に弾性ポリエステルを形成するためのソフトセグ
メント成分として、ポリエチレングコリール、ホリテト
ラメチレンオキシド、ポリカプロラクトン、ポリウレタ
ンジオール等を使用するのが好適である。水性弾性ポリ
エステルとしては、ポリエーテルエステルタイプが好ま
しい。 本発明の水性弾性ポリエステルとしては、２０
０〜９００％の破断伸度を有し、１０〜５００ｋｇ／ｃ
ｍ2、好ましくは２０〜３５０ｋｇ／ｃｍ2の５０％モジ
ュラスを有するものが望ましい。
【００１２】前記水性弾性ポリエステルは、被膜層を形
成させるため、水溶液、水分散液或いは乳化液の如き水
性液の形態で使用される。塗膜層を形成するために、水
性液中にさらに例えば有機や無機の粒子滑剤、ブロッキ
ング防止剤、帯電防止剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑り
剤、可塑剤、紫外線吸収剤、他のバインダー樹脂、ゴム
類、界面活性剤、軟化剤等を任意に添加することができ
る。
成させるため、水溶液、水分散液或いは乳化液の如き水
性液の形態で使用される。塗膜層を形成するために、水
性液中にさらに例えば有機や無機の粒子滑剤、ブロッキ
ング防止剤、帯電防止剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑り
剤、可塑剤、紫外線吸収剤、他のバインダー樹脂、ゴム
類、界面活性剤、軟化剤等を任意に添加することができ
る。
【００１３】前記水性ポリエステルは、それを主成分と
する水溶液としてベースフイルムの製膜工程中でロール
コーターでダイコーターを使用して塗布される。水溶液
としては水溶液、水分散液或いは乳化液等の形であるの
が適当である。
する水溶液としてベースフイルムの製膜工程中でロール
コーターでダイコーターを使用して塗布される。水溶液
としては水溶液、水分散液或いは乳化液等の形であるの
が適当である。
【００１４】塗布は、未延伸フイルム、一軸延伸フイル
ム、二軸延伸フイルム等に適用されるが縦方向に延伸し
たフイルムに塗布することが好ましい。塗布後、乾燥
し、横延伸し、さらに場合によっては再縦延伸や再横延
伸し、熱処理を行うことができる。
ム、二軸延伸フイルム等に適用されるが縦方向に延伸し
たフイルムに塗布することが好ましい。塗布後、乾燥
し、横延伸し、さらに場合によっては再縦延伸や再横延
伸し、熱処理を行うことができる。
【００１５】塗布量は被膜層の厚さが０.０１〜３μ
ｍ、好ましくは０.０２〜２μｍの範囲となるような量
であるのが望ましい。被覆膜の厚さが０.０１μｍ未満
の場合接着力が不足し、一方３μｍを越えるとブロッキ
ングを起す可能性が高くなる。かくして得られた研磨テ
ープ用フイルムは研磨剤層と良好に接着し、研磨テープ
として実用性が高いものとなる。
ｍ、好ましくは０.０２〜２μｍの範囲となるような量
であるのが望ましい。被覆膜の厚さが０.０１μｍ未満
の場合接着力が不足し、一方３μｍを越えるとブロッキ
ングを起す可能性が高くなる。かくして得られた研磨テ
ープ用フイルムは研磨剤層と良好に接着し、研磨テープ
として実用性が高いものとなる。
【００１６】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説
明する。なお実施例中、評価用塗布は下記方法により調
製し、また接着力は下記方法により評価した。
明する。なお実施例中、評価用塗布は下記方法により調
製し、また接着力は下記方法により評価した。
【００１７】評価用塗液の調製 テレフタル酸−イソフタル酸−エチレングリコール−ネ
オペンチルグリコール共重合ポリエステル（Ｔｇ＝４５
℃）５０重量％、２,４−トルイレンジイソシアネート
２重量％及び酸化アルミニウム（平均粒径３μｍ）４８
重量％をメチルエチルケトン／トルエン（１／１の混合
物）中で分散溶解して濃度７０重量％の研磨塗料をつく
った。
オペンチルグリコール共重合ポリエステル（Ｔｇ＝４５
℃）５０重量％、２,４−トルイレンジイソシアネート
２重量％及び酸化アルミニウム（平均粒径３μｍ）４８
重量％をメチルエチルケトン／トルエン（１／１の混合
物）中で分散溶解して濃度７０重量％の研磨塗料をつく
った。
【００１８】接着力の評価 サンプルのポリエステルフイルムの塗布面に前記評価塗
料をマイヤーバーで乾燥後の厚さが約４μｍになるよう
に塗布し、１００℃で３分間乾燥する。その後６０℃で
２４時間エージンした塗布面をヘイドンスクラッチテス
ターでテストし、傷が発生する時の荷重（ｇ）を測定し
た。
料をマイヤーバーで乾燥後の厚さが約４μｍになるよう
に塗布し、１００℃で３分間乾燥する。その後６０℃で
２４時間エージンした塗布面をヘイドンスクラッチテス
ターでテストし、傷が発生する時の荷重（ｇ）を測定し
た。
【００１９】［実施例１］固有粘度０.６５のポリエチ
レンテレフタレートを溶融押出し、冷却してシートとし
た後、縦方向に３.６倍延伸した。このフイルムの片面
にテレフタル酸−イソフタル酸−５−Ｎａスルホイソフ
タル酸−１,４−ブタンジオール−ポリテトラメチレン
オキシド共重合ポリエステル（Ａ−１、破断伸度４２５
％、５０％モジュラス２１６ｋｇ／ｃｍ2）９０重量％
とポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル１０重量
％からなる４重量％濃度の水性液を塗布した。乾燥しつ
つ横方向に３.９倍延伸した後に２２０℃で熱処理して
７５μｍの厚さのフイルムをつくった。塗布層の厚さは
０.９μｍであった。このフイルムの特性を表１に示
す。
レンテレフタレートを溶融押出し、冷却してシートとし
た後、縦方向に３.６倍延伸した。このフイルムの片面
にテレフタル酸−イソフタル酸−５−Ｎａスルホイソフ
タル酸−１,４−ブタンジオール−ポリテトラメチレン
オキシド共重合ポリエステル（Ａ−１、破断伸度４２５
％、５０％モジュラス２１６ｋｇ／ｃｍ2）９０重量％
とポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル１０重量
％からなる４重量％濃度の水性液を塗布した。乾燥しつ
つ横方向に３.９倍延伸した後に２２０℃で熱処理して
７５μｍの厚さのフイルムをつくった。塗布層の厚さは
０.９μｍであった。このフイルムの特性を表１に示
す。
【００２０】［実施例２〜８］塗布層の樹脂と塗布厚さ
を変えること以外は実施例１と同様にして得たフイルム
の特性を表１に示す。
を変えること以外は実施例１と同様にして得たフイルム
の特性を表１に示す。
【００２１】［比較例１］実施例１において水性液を塗
布しないこと以外は実施例１と同様にした結果を表１に
示す。
布しないこと以外は実施例１と同様にした結果を表１に
示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】表中の弾性ポリエステルＡ−２およびＡ−
３の組成は下記のとおりであった。
３の組成は下記のとおりであった。
【００２４】ポリエステルＡ−２：テレフタル酸−アジ
ピン酸−５−Ｋスルホテレフタル酸−エチレングリコー
ル−１,４−ブタンジオール−ポリテトラメチレンオキ
シド共重合体（破断伸度３９１％、５０％モジュラス１
８６ｋｇ／ｃｍ2）ポリエステルＡ−３： テレフタル酸−イソフタル酸−５
−Ｎａスルホイソフタル酸−１,４−ブタンジオール−
ポリエチレンオキシド−ポリテトラメチレンオキシド共
重合体（破断伸度２８４％、５０％モジュラス９３ｋｇ
／ｃｍ2）
ピン酸−５−Ｋスルホテレフタル酸−エチレングリコー
ル−１,４−ブタンジオール−ポリテトラメチレンオキ
シド共重合体（破断伸度３９１％、５０％モジュラス１
８６ｋｇ／ｃｍ2）ポリエステルＡ−３： テレフタル酸−イソフタル酸−５
−Ｎａスルホイソフタル酸−１,４−ブタンジオール−
ポリエチレンオキシド−ポリテトラメチレンオキシド共
重合体（破断伸度２８４％、５０％モジュラス９３ｋｇ
／ｃｍ2）
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、研磨時の摩擦力に耐え
うる接着力を有している研磨テープ用フイルムおよびそ
の製造法が提供された。
うる接着力を有している研磨テープ用フイルムおよびそ
の製造法が提供された。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ３２Ｂ 27/36 7421−4Ｆ Ｃ０８Ｊ 7/04 ＣＦＤ Ｅ // Ｂ２９Ｋ 67:00 Ｃ０８Ｌ 67:00
Claims (3)
- 【請求項１】 芳香族ポリエステルフイルムの片面また
は両面に、水性弾性ポリエステルの被膜層を形成させた
研磨テープ用フイルム。 - 【請求項２】 水性弾性ポリエステルが、ポリエーテル
エステルである請求項１記載の研磨テープ用フイルム。 - 【請求項３】 芳香族ポリエステルフイルムの片面また
は両面に、水性弾性ポリエステルを主成分とする水性液
を塗布し、乾燥し次いで延伸することを特徴とする請求
項１記載の研磨テープ用フイルムの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5331976A JPH07188430A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 研磨テープ用フイルムおよびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5331976A JPH07188430A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 研磨テープ用フイルムおよびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07188430A true JPH07188430A (ja) | 1995-07-25 |
Family
ID=18249758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5331976A Withdrawn JPH07188430A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 研磨テープ用フイルムおよびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07188430A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001287166A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-10-16 | Toyobo Co Ltd | 研磨パッド及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5331976A patent/JPH07188430A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001287166A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-10-16 | Toyobo Co Ltd | 研磨パッド及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |