JPH07186382A

JPH07186382A - インク噴射装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH07186382A
Application number: JP33153793A
Authority: JP
Inventors: Yumiko Ohashi; 弓子大橋; Nobuo Aoki; 信夫青木
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1993-12-27
Filing date: 1993-12-27
Publication date: 1995-07-25

Abstract

(57)【要約】【目的】歩留まりが高く、大量生産性に優れるインク
噴射装置及びその製造方法を提供すること。【構成】インクを噴射するインク室と、インク室の両
側に設けられた空気室とが設けられたインク噴射装置１
では、溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅにおける、カバープレ
ート３のマニホールド２２直下付近に、樹脂１００が形
成されている。この樹脂１００は、溝１５ａ、１５ｃ、
１５ｅの長手方向全体には充填されていないが、溝１５
ａ、１５ｃ、１５ｅの幅方向及び高さ方向全体には充填
されている。この樹脂１００により、マニホールド２２
に連通しない空気室が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置及びそ
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されているせん断モード型である。

【０００５】図９に示すように、上記せん断モード型の
インク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及び
その間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５とからなっている。アクチュエータ
壁６０３は一対となってその間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。

【０００６】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９、６２１が
金属層として設けられている。各電極６１９、６２１は
インクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われて
いる。そして、空間６１５に面している電極６１９、６
２１はアース６２３に接続され、インク流路６１３内に
設けられている電極６１９、６２１は、アクチュエータ
駆動回路を与えるシリコン・チップ６２５に接続されて
いる。

【０００７】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁６０２に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０
５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転などによっ
て形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成する。
そして、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に電極６
１９を形成し、その電極６１９上に前記絶縁層を設け
る。同様にして上部壁６０５の側面に電極６２１、前記
絶縁層を設ける。

【０００８】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が穿孔されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、底壁６０１、天壁６０２、アクチュエー
タ壁６０３の一端に接着し、インク流路６１３と空間６
１５との他端をシリコン・チップ６２５とアース６２３
とに接続する。

【０００９】そして、各インク流路６１３の電極６１
９、６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置６００を示した特開昭６３−２
４７０５１号公報には、インク流路６１３のみにインク
を充填し、空間６１５にインクを充填しないが、その具
体的構成および方法が開示されていない。そこで、例え
ば、底壁６０１あるいは天壁６０２に、インク流路６１
３に連通する貫通孔を各インク流路６１３に対応して設
けて、インク流路６１３のみにインクを供給し、空間６
１５にインクを供給しないようにすると、それら貫通孔
が微小なために、その加工が難しく、歩留まりが悪い。
また、加工に時間がかかり、大量生産性に劣るといった
問題があった。

【００１１】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、非噴射チャンネルにインクが入
らないようにすることができ、歩留まりが高く、大量生
産性に優れるインク噴射装置及びその製造方法を提供す
ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクを噴射する噴射チャン
ネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられインクを
噴射しない非噴射チャンネルとを有するインク噴射装置
において、前記非噴射チャンネル内の一部あるいは全部
に設けられた目止め部材を備えている。

【００１３】請求項２では、前記目止め部材は、紫外線
等の特定波長の光に対して硬化する光硬化性樹脂であ
り、その樹脂を前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャ
ンネルに注入し、非噴射チャンネルのみに選択的に露光
することを特徴とする。

【００１４】請求項３では、圧電材料で少なくとも一部
が形成された隔壁によって隔てられた溝を有するアクチ
ュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前
記溝の開口部を塞ぐカバープレートとを有し、そのカバ
ープレートには、光を透過する透過領域と、光を透過し
ない非透過領域とが設けられていることを特徴とする。

【００１５】請求項４では、前記目止め部材は、導電性
を有する導電性樹脂であることを特徴とする。

【００１６】請求項５では、インクを噴射する噴射チャ
ンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられインク
を噴射しない非噴射チャンネルとを有するインク噴射装
置の製造方法において、前記噴射チャンネル及び前記非
噴射チャンネルの一部あるいは全部に、紫外線等の特定
波長の光に対して硬化する光硬化性樹脂を注入する第一
工程と、前記非噴射チャンネルの前記光硬化性樹脂のみ
に選択的に露光する第二工程とからなる。

【００１７】請求項６では、インクを噴射する噴射チャ
ンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設けられインク
を噴射しない非噴射チャンネルと、前記噴射チャンネル
にインクを供給するためのマニホールドとを有するイン
ク噴射装置の製造方法において、前記非噴射チャンネル
に連通する連通孔を有するプレートを前記非噴射チャン
ネルの一部に配置する第一工程と、前記プレートの前記
連通孔から前記非噴射チャンネル内に目止め部材を注入
する第二工程と、前記非噴射チャンネル内の前記目止め
部材を硬化する第三工程とからなる。

【００１８】請求項７では、前記目止め部材は、紫外線
等の特定波長の光に対して硬化する光硬化性樹脂であ
り、前記第三ステップは、マニホールドから前記非噴射
チャンネルに光を照射して、前記目止め部材を硬化する
ことを特徴とする。

【００１９】請求項８では、前記目止め部材は、所定の
熱に対して硬化する熱硬化性樹脂であり、前記第三ステ
ップは、所定の熱を与えて、前記目止め部材を硬化する
ことを特徴とする。

【００２０】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１のインク
噴射装置では、前記非噴射チャンネル内の全部あるいは
一部に目止め部材が設けられて、非噴射チャンネル内に
インクが供給されず、噴射チャンネルのみにインクが供
給される。

【００２１】請求項５のインク噴射装置の製造方法で
は、前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャンネルの一
部あるいは全部に光硬化性樹脂が注入され、前記非噴射
チャンネルの前記光硬化性樹脂のみが選択的に露光され
て、非噴射チャンネルに硬化した光硬化性樹脂が設けら
れる。これにより請求項１記載のインク噴射装置が製造
される。

【００２２】請求項６のインク噴射装置の製造方法で
は、前記非噴射チャンネルに連通する連通孔を有するプ
レートが前記非噴射チャンネルの一部に配置され、前記
プレートの前記連通孔から前記非噴射チャンネル内に目
止め部材が注入され、前記非噴射チャンネル内の前記目
止め部材が硬化される。これにより請求項１記載のイン
ク噴射装置が製造される。

【００２３】

【実施例】以下、本発明を具体化した実施例を図面を参
照して説明する。

【００２４】まず、インク噴射装置１の斜視図を示す図
１によって、本発明の第一実施例の構成を説明する。イ
ンク噴射装置１は、圧電セラミックスプレート２とカバ
ープレート３とノズルプレート３１とから構成されてい
る。

【００２５】圧電セラミックスプレート２は、強誘電性
を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミッ
クス材料で形成され、矢印５方向に分極処理が施されて
いる。そして、圧電セラミックスプレート２には、薄い
円板状のダイヤモンドブレードを使用した切削加工など
によって、複数の溝１５が作製される。溝１５は圧電セ
ラミックスプレート２のほぼ全域で同じ深さの平行な溝
であるが、端面１７に近づくにつれて徐々に浅くなり、
端面１７付近では浅く平行な浅溝１８となるように作製
される。

【００２６】この溝１５の上半分の領域および浅溝１８
の内面には、アルミニウム、ニッケル、カーボンなどの
導電材料からなる電極１３、１９が真空蒸着やスパッタ
リングなどによって形成される。この電極１３、１９の
形成時には、溝１５を隔てる側壁１１の天頂部にも電極
が形成されるため、側壁１１の両側の電極を分離するた
めに、側壁１１の天頂部の電極がラッピングなどにより
除去される。このようにして、溝１５の内面にはその側
面の上半分のみに電極１３が形成され、浅溝１８の内面
にはその側面および底面全体に電極１９が形成される。
この電極１９によって、溝１５の両側の側壁１１の表面
に形成された電極１３は電気的に接続されている。

【００２７】そして溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅにおけ
る、後述するカバープレート３のマニホールド２２直下
付近に対応する位置は、目止め部材としての樹脂１００
が形成されており、この樹脂１００は、溝１５ａ、１５
ｃ、１５ｅの長手方向全体には充填されていないが、溝
１５ａ、１５ｃ、１５ｅの幅方向及び高さ方向全体には
充填されている。

【００２８】また、研削加工または切削加工などによっ
てマニホールド２２が作製されたカバープレート３を、
圧電セラミックスプレート２の溝１５加工側に、エポキ
シ系の接着剤４（図２）によって接着する。このとき、
マニホールド２２と前記樹脂１００との位置関係は以下
に示す通りである。樹脂１００における圧電セラミック
スプレート２の端面１６側の形成端は、マニホールド２
２のそれよりも端面１６側に設けられて、マニホールド
２２のインクが、溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅにおいて樹
脂１００よりも端面１６側へ流れない構造になってい
る。また、樹脂１００における圧電セラミックスプレー
ト２の端面１７側の形成端は、マニホールド２２のそれ
よりも端面１６側でも良いし、端面１７側でも良い。

【００２９】そして、溝１５ｂ、１５ｄに対応した位置
にノズル３２が設けられたノズルプレート３１を圧電セ
ラミックスプレート２及びカバープレート３の一端面１
６に接着する。

【００３０】このように、圧電セラミックスプレート
２、カバープレート３、ノズルプレート３１及び樹脂１
００により、マニホールド２２と連通する噴射チャンネ
ルとしてのインク室１２ｂ、１２ｄ（図２）及び樹脂１
００によってマニホールド２２と連通しない非噴射チャ
ンネルとしての空気室１２ａ、１２ｃ、１２ｅ（図２）
が形成されたインク噴射装置１が構成される。インク室
１２ｂ、１２ｄは、インクが充填され、空気室１２ａ、
１２ｃ、１２ｅは空気が充填される。

【００３１】次に、図２、図３によって、インク噴射装
置１の動作を説明する。インク噴射装置１において、所
望の印字データに従って例えばインク室１２ｂが選択さ
れると、電極１３ｅと１３ｆに急速に正の駆動電圧が印
加され、電極１３ｄと１３ｇは接地される。これにより
側壁１１ｂの上半分には矢印１４ｂの方向の駆動電界が
作用し、側壁１１ｃの上半分には矢印１４ｃの方向の駆
動電界が作用する。このとき駆動電界方向１４ｂおよび
１４ｃと分極方向５とが直交しているため、側壁１１ｂ
および１１ｃは、圧電厚みすべり効果によってインク室
１２ｂの内部方向に急速に変形する。この変形によって
インク室１２ｂの容積が減少してインク室１２ｂのイン
ク圧力が急速に増大し、圧力波が発生して、インク室１
２ｂに連通するノズル３２（図１）からインク滴が噴射
される。

【００３２】また、駆動電圧の印加を停止すると、側壁
１１ｂおよび１１ｃが変形前の位置（図２参照）に戻る
ためインク室１２ｂ内のインク圧力が低下し、マニホー
ルド２２（図１）を通してインク室１２ｂ内にインクが
供給される。

【００３３】但し、上記の動作は本実施例の基本動作に
過ぎず、製品として具体化される場合には、まず駆動電
圧をインク室１２ｂの容積が増加する方向に印加して、
インク室１２ｂにインクを供給させ、次に駆動電圧の印
加を停止して、側壁１１ｂおよび１１ｃを変形前の位置
（図２）に戻すことによりインク圧力を増大させてイン
クを噴射させることもある。

【００３４】このように、本実施例のインク噴射装置１
では、溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅにおけるカバープレー
ト３のマニホールド２２直下付近に樹脂１００が設けら
れるので、インク室１２ｂ、１２ｄにマニホールド２２
からインクが供給され、且つ空気室１２ａ、１２ｃ、１
２ｅにインクが供給されないようにすることができる。
また、このような構成であると、マニホールド２２の形
状が単純であるので、その加工が容易となり、時間が短
縮されて、大量生産性に優れる。

【００３５】また、インク室１２ｂおよび１２ｄのみに
インクが供給され、空気室１２ａ、１２ｃ、１２ｅには
インクが供給されず空気が充填されるため、インク室１
２ｂからインク滴を噴射するための側壁１１ｃの変形
が、隣接する空気室１２ｃの空気により吸収され、他の
噴射チャンネル１２ｄに影響を及ぼすことがない。従っ
て、各噴射チャンネル１２ｂ、１２ｄから良好にインク
滴が噴射され、印字品質がよい。

【００３６】また、本実施例においては、圧電セラミッ
クスプレート２の片面に溝１５を形成していたが、圧電
セラミックスプレートの両面に溝を形成して、両側に噴
射チャンネル及び非噴射チャンネルを設けるようにして
もよい。

【００３７】また、従来技術のような構成のインク噴射
装置６００においても、本発明を用いることができる。

【００３８】続いて、第一実施例のインク噴射装置の製
造方法を図４を用いて説明する。

【００３９】予め分極を施した圧電セラミックス層に、
平行な溝１５をダイヤモンドカッティング円板の回転な
どによって形成して、真空蒸着によって側壁１１の側面
に電極１３を形成し、その電極１３上に絶縁層を設けた
セラミックスプレート２を用意する。その圧電セラミッ
クスプレート２の一端面１６（図１）に図示しない板部
材を接合して、一端面１６における溝１５の開口部を塞
ぐ。そして、ＵＶ（紫外線）の照射により硬化する光硬
化樹脂としての樹脂液９９、例えばスリーボンド社製の
型番３０４２のものを溝１５に充填する（第一工程）。
この樹脂液９９は粘度が２０ｃｐｓと非常に低いため、
前記溝１５の中を速やかに満たす。

【００４０】そして、その上にマスク７００をフィルム
８００を介して載せる。そのフィルム８００はマスク７
００が樹脂液９９によって汚れるのを防ぐ。また、フィ
ルム８００は、後に照射するＵＶ（紫外線）９１０が広
がるのを防ぐためにできるだけ薄く、且つＵＶ９１０の
透過を妨げない材質が良く、例えば厚さ２０μｍで、Ｕ
Ｖ９１０の透過率が約８０％のセロファンを用いる。そ
してマスク７００は、例えば、ＵＶ９１０をよく透過す
るガラス等で形成されており、溝１５ａ、１５ｃ、１５
ｅの一部分に対応するＵＶ透過部７０３と、そのＵＶ透
過部７０３以外の部分においてＵＶ９１０を遮蔽するよ
うなクロム（Ｃｒ）等が形成されたＵＶ遮蔽部７０１と
を有する。このＵＶ透過部７０３は、カバープレート３
のマニホールド２２（図１）近傍に対応した位置に設け
られている。

【００４１】このようなマスク７００を、ＵＶ透過部７
０３が溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅに重なるように圧電セ
ラミックスプレート２に載せて、できるだけ密着させ、
前記マスク７００を介してＵＶランプ９００を用いてＵ
Ｖ９１０を照射する（第二工程）。本実施例では、ＵＶ
ランプ９００に、３００〜４００ｎｍの光が約１２ｍＷ
であるものを使用する。

【００４２】ここで、ＵＶランプ９００は３００〜４０
０ｎｍの光が約１２ｍＷであり、前記樹脂液９９の硬化
に必要な光量は３０００ｍＪであり、マスク７００によ
るＵＶ９１０の減衰を考慮すると、このような組み合わ
せにおいては、およそＵＶ９１０を３００ｓｅｃ間照射
すれば、樹脂液９９が硬化する。尚、ＵＶランプ９００
は３００〜４００ｎｍの光が強いものほど良い。マスク
７００のＵＶ透過部７０３の下にある樹脂液９９は、Ｕ
Ｖ９１０の照射により速やかに重合硬化し、その他の部
分である遮蔽部７０１の下の樹脂液９９はＵＶ９１０が
あたらないため、硬化せず液状のまま残っている。

【００４３】そして、前記板部材、マスク７００及びフ
ィルム８００を外し、圧電セラミックスプレート２をア
セトン等の有機溶剤で洗浄し、未硬化の樹脂液を洗い流
す。最後に純水で洗浄し乾燥させて、樹脂１００（図
１）が溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅの一部に、ほぼ側壁１
１の高さで形成される。

【００４４】このように樹脂１００を形成した圧電セラ
ミックスプレート２に対し、溝１５加工側の面とカバー
プレート３のマニホールド２２加工側の面が、エポキシ
系接着剤４（図２）などによって接着される。続いて図
１に示すように、圧電セラミックスプレート２およびカ
バープレート３の端面１６に、溝１５ｂ、１５ｄの位置
に対応した各位置にノズル３２が設けられたノズルプレ
ート３１がエポキシ系接着剤（図示せず）などによって
接着される。これによって、図２に示すインク室１２
ｂ、１２ｄ及び空気室１２ａ、１２ｃ、１２ｅが形成さ
れる。

【００４５】尚、圧電セラミックスプレート２とカバー
プレート３とを接着すると、そのためのエポキシ系接着
剤４が浅溝１８内（図１）に入り込む。このため、マニ
ホールド２２（図１）、インク室１２ｂ、１２ｄ内のイ
ンクが浅溝１８から漏れることがない。また、浅溝１８
からインクが漏れないように、カバープレート３と浅溝
１８との接合部に樹脂などを設けてもよい。

【００４６】このようにして、空気室１２ａ、１２ｃ、
１２ｅとマニホールド２２とを連通させないための、目
止め部材としての樹脂１００が形成されるので、インク
室１２ｂ、１２ｄにインクを供給するためのマニホール
ド２２の形状を単純にでき、そのため加工が容易であ
る。また、ＵＶランプ９００によるＵＶ９１０の照射で
樹脂１００が形成されるので、そのための工程が容易で
あり、歩留まりが高く、大量生産性に優れる。

【００４７】次に、インク噴射装置の製造方法の第二実
施例を図５を用いて説明する。圧電セラミックスプレー
ト２の溝１５加工側の面にカバープレート１０３を、エ
ポキシ系接着剤４などによって接着する。ここでカバー
プレート１０３は、例えば、ＵＶ９１０をよく透過する
ガラス等で形成されており、予め溝１５ａ、１５ｃ、１
５ｅ（図１）に対応する部分以外に、ＵＶ９１０を遮蔽
するようなクロム（Ｃｒ）等の非透過領域としての遮蔽
パターン３００が形成されている。また、カバープレー
ト１０３に形成されたマニホールド（図示せず）におい
ては、遮蔽パターン３００形成面とは反対の面にＵＶ遮
蔽シール（図示せず）等で塞いでおく。ここで、カバー
プレート１０３の前記溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅに対応
する部分は、ＵＶ９１０を透過するＵＶ透過領域であ
る。

【００４８】そしてカバープレート１０３の遮蔽パター
ン３００が形成された面を圧電セラミックスプレート２
側に向け、且つ遮蔽パターン３００が圧電セラミックス
プレート２の溝１５ｂ、１５ｄに重なるように位置合わ
せした後接着する。その後、ＵＶ樹脂液９９を、圧電セ
ラミックスプレート２の端面１６側の溝１５の開口部か
ら溝１５の中へ充填する（第一工程）。次に、圧電セラ
ミックスプレート２の端面１６に、図示しない板部材を
接着し、溝１５を密閉する。

【００４９】そして前述したようなＵＶランプ９００を
用いて、ＵＶ９１０を３００ｓｅｃ照射する（第二工
程）。するとカバープレート１０３がマスクとなり、前
記ＵＶ透過領域の下にある樹脂液９９は、ＵＶ９１０の
照射により速やかに重合硬化し、その他の領域の樹脂液
９９は遮蔽パターン３００によってＵＶ９１０があたら
ないため硬化せず液状のまま残っている。続いて、前記
ＵＶ遮蔽シール、前記板部材を剥し、アセトン等の有機
溶剤で洗浄し、溝１５ｂ、１５ｄ内の未硬化の樹脂液９
９を洗い流す。最後に純水で洗浄し乾燥させて、硬化し
た樹脂を溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅ全体に形成する。

【００５０】樹脂１００を形成した後、続いて図１に示
すように、圧電セラミックスプレート２およびカバープ
レート３の端面１６に、溝１５ｂ、１５ｄの位置に対応
した各位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３
１がエポキシ系接着剤（図示せず）などによって接着さ
れる。これによって、噴射チャンネル及び非噴射チャン
ネルが形成される。

【００５１】このようにインク噴射装置１を製造して
も、第一の製造方法と同様の効果が得られる。また、前
述したマスク７００を用いることなく、カバープレート
１０３をマスクとするので、第一の製造方法より工程が
少なくなり、製造が容易となる。

【００５２】尚、第二実施例では、溝１５ａ、１５ｃ、
１５ｅ全体に樹脂１００を形成したが、溝１５ａ、１５
ｃ、１５ｅの一部に樹脂を形成して、マニホールド２２
からインクが入らないようにしてもよい。

【００５３】続いて、インク噴射装置の製造方法の第三
実施例に付いて図６、７を用いて説明する。前記カバー
プレート３を前記圧電セラミックスプレート２の溝１５
加工側に接着した後、圧電セラミックスプレート２およ
びカバープレート３の端面１６に、溝１５ａ、１５ｃ、
１５ｅの位置に対応した各位置に穴３１１が設けられた
ダミープレート３１０を粘着剤等により一時的に貼る
（第一工程）。

【００５４】そして前記ダミープレート３１０の穴３１
１を通して、ＵＶ（紫外線）の照射により硬化する樹脂
液９９を溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅに注入する（第二工
程）。

【００５５】注入された樹脂液９９は毛細管現象により
溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅ内を速やかに流れ、カバープ
レート３のマニホールド２２の直下を通り、浅溝１８に
至る。このとき、マニホールド２２を介して溝１５にＵ
Ｖ（紫外線）９１０を全面照射する（第三工程）。

【００５６】すると、樹脂液９９は、溝１５ａ、１５
ｃ、１５ｅの、マニホールド２２の下部分で硬化する。
その後、前記ダミープレート３１０を取り外し、未硬化
の樹脂液９９をアセトン等の有機溶剤で洗い流し、純水
洗浄後、乾燥することで樹脂１００（図１）が形成され
る。

【００５７】樹脂１００を形成した後、図１に示すよう
に、圧電セラミックスプレート２およびカバープレート
３の端面１６に、溝１５ｂ、１５ｄの位置に対応した各
位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３１をエ
ポキシ系接着剤（図示せず）などによって接着する。こ
のようにして、インク室１２ｂ、１２ｄ及び空気室１２
ａ、１２ｃ、１２ｅが形成される。

【００５８】尚、マニホールド２２と空気室１２ａ、１
２ｃ、１２ｅとを確実に遮断するために、ＵＶ９１０を
端面１６に向けて傾斜させて照射するとよい。

【００５９】このような製造方法においては、第一実施
例のマスク７００（図４）を使用しないので、ＵＶ透過
部７０１（図４）の位置合わせが不要である。また、カ
バープレート３が透過性の材質であれば、一定強度以上
のＵＶ９１０が得られた場所全てで樹脂液９９の硬化が
おき、溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅの全長で樹脂１００を
形成することが可能である。

【００６０】尚、第三実施例では、樹脂液９９として光
硬化性樹脂を用いて、ＵＶ９１０により硬化させていた
が、熱硬化性樹脂を用いて熱により硬化させてもよい。

【００６１】また、第三実施例では、圧電セラミックス
プレート２の端面１６側から、ダミープレート３１０の
穴３１１を通して、溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅにのみ樹
脂液９９を注入していたが、マニホールド２２側から、
溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅにのみ連通する穴を有するプ
レートを用いて、樹脂液を注入してもよい。

【００６２】続いて、インク噴射装置の製造方法の第四
実施例について説明する。第三実施例と同様に、前記圧
電セラミックス２にカバープレート３及びダミープレー
ト３１０を接着し、ダミープレート３１０の穴３１１を
通して溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅのみに樹脂液を充填す
る。ただし、充填する樹脂液として、例えば、銀粉導電
フィラーの入ったスリーボンド社製の型番３３０３を用
いる。この樹脂液は体積抵抗率が１〜２×１０^-3Ω・ｃ
ｍの導電体である。尚、この樹脂液にはＵＶに反応して
硬化が始まるＵＶ硬化剤が含まれていないため、ＵＶの
照射に関係なく１５０℃で一時間ほどベークすることで
硬化が完了する。ここで、前記ＵＶ硬化剤が含まれてい
る導電性樹脂液ならば第一、第二実施例ような形成法も
可能である。

【００６３】溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅに充填された樹
脂液を１５０℃で一時間ほどベークすることで、導電性
樹脂を形成し、ダミープレート３１０を取り外し、続い
て圧電セラミックスプレート２およびカバープレート３
の端面１６（図１）に、図８に示すノズルプレート３３
がエポキシ系接着剤（図示せず）などによって接着され
る。これによって、噴射チャンネル及び非噴射チャンネ
ルが形成される。

【００６４】ノズルプレート３３には、溝１５ｂ、１５
ｄの位置に対応した各位置にノズル３２が設けられ、ま
た溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅに対応した部分に突出した
形状の電極パターン３４が形成されている。前記電極パ
ターン３４は、溝１５ｂ、１５ｄを避ける形で溝１５
ａ、１５ｃ、１５ｅの側面の電極１３を接続する。そし
てパターン電極３４は図示しないＦＰＣ等を介して接地
される。

【００６５】また、上述したような空気室１２ａ、１２
ｃ、１２ｅの電極１３を接地して駆動するインク噴射装
置では、このように製造すると、樹脂の導電性を利用し
て空気室１２ａ、１２ｃ、１２ｅの電極１３全てを電気
的に接続することができるので、簡単に接地することが
できる。従って、インク噴射装置のコネクトが簡単にで
きるので、歩留まりが高く、大量生産性に優れる。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の請求項１のインク噴射装置によれば、前記非噴射
チャンネル内の全部あるいは一部に目止め部材が設けら
れているので、非噴射チャンネル内にインクを供給せ
ず、噴射チャンネルのみにインクを供給することができ
る。

【００６７】請求項５のインク噴射装置の製造方法によ
れば、前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャンネルの
一部あるいは全部に光硬化性樹脂が注入され、前記非噴
射チャンネルの前記光硬化性樹脂のみが選択的に露光さ
れて、非噴射チャンネルに硬化した光硬化樹脂が設けら
れるので、非噴射チャンネル内にインクを供給せず、噴
射チャンネルのみにインクを供給するための加工を従来
より容易に行うことができ、歩留まりが高く、大量生産
性に優れる。

【００６８】請求項６のインク噴射装置の製造方法で
は、前記非噴射チャンネルに連通する連通孔が有するプ
レートを前記噴射チャンネル及び非噴射チャンネルの一
端側の配置され、前記プレートの前記連通孔から前記非
噴射チャンネル内に前記光硬化性樹脂が注入され、前記
マニホールドから前記非噴射チャンネルに光が照射され
て、非噴射チャンネルに硬化した光硬化樹脂が設けられ
るので、非噴射チャンネル内にインクを供給せず、噴射
チャンネルのみにインクを供給するための加工を従来よ
り容易に行うことができ、歩留まりが高く、大量生産性
に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例のインク噴射装置を示す斜
視図である。

【図２】本発明の第一実施例のインク噴射装置の断面図
である。

【図３】本発明の第一実施例のインク噴射装置の動作を
示す説明図である。

【図４】本発明の第一実施例の形成方法を示す断面図で
ある。

【図５】本発明のインク噴射装置の製造方法の第二実施
例を示す説明図である。

【図６】本発明のインク噴射装置の製造方法の第三実施
例を示す説明図である。

【図７】本発明のインク噴射装置の製造方法の第三実施
例を示す説明図である。

【図８】本発明のインク噴射装置の製造方法の第四実施
例のノズルプレート裏のパターンを示す説明図である。

【図９】従来例のインク噴射装置を示す説明図である。

【符号の説明】

１インク噴射装置２圧電セラミックスプレート１２ａ空気室１２ｂインク室１２ｃ空気室１２ｄインク室１２ｅ空気室１３電極１５溝１８浅溝１００樹脂３１０ダミープレート３１１穴７００マスク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ４１Ｊ 2/16 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ｈ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを噴射する噴射チャンネルと、前
記噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射しない
非噴射チャンネルとを有するインク噴射装置において、前記非噴射チャンネル内の一部あるいは全部に設けられ
た目止め部材を備えたことを特徴とするインク噴射装
置。
【請求項２】前記目止め部材は、紫外線等の特定波長
の光に対して硬化する光硬化性樹脂であり、その樹脂を
前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャンネルに注入
し、非噴射チャンネルのみに選択的に露光することを特
徴とする請求項１記載のインク噴射装置。
【請求項３】圧電材料で少なくとも一部が形成された
隔壁によって隔てられた溝を有するアクチュエータプレ
ートと、前記アクチュエータプレートの前記溝の開口部
を塞ぐカバープレートとを有し、そのカバープレートに
は、光を透過する透過領域と、光を透過しない非透過領
域とが設けられていることを特徴とする請求項２記載の
インク噴射装置。
【請求項４】前記目止め部材は、導電性を有する導電
性樹脂であることを特徴とする請求項１記載のインク噴
射装置。
【請求項５】インクを噴射する噴射チャンネルと、前
記噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射しない
非噴射チャンネルとを有するインク噴射装置の製造方法
において、前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャンネルの一部あ
るいは全部に、紫外線等の特定波長の光に対して硬化す
る光硬化性樹脂を注入する第一工程と、前記非噴射チャンネルの前記光硬化性樹脂のみに選択的
に露光する第二工程とからなることを特徴とするインク
噴射装置の製造方法。
【請求項６】インクを噴射する噴射チャンネルと、前
記噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射しない
非噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルにインクを供
給するためのマニホールドとを有するインク噴射装置の
製造方法において、前記非噴射チャンネルに連通する連通孔を有するプレー
トを前記非噴射チャンネルの一部に配置する第一工程
と、前記プレートの前記連通孔から前記非噴射チャンネル内
に目止め部材を注入する第二工程と、前記非噴射チャンネル内の前記目止め部材を硬化する第
三工程とからなることを特徴とするインク噴射装置の製
造方法。
【請求項７】前記目止め部材は、紫外線等の特定波長
の光に対して硬化する光硬化性樹脂であり、前記第三ス
テップは、マニホールドから前記非噴射チャンネルに光
を照射して、前記目止め部材を硬化することを特徴とす
る請求項６記載のインク噴射装置の製造方法。
【請求項８】前記目止め部材は、所定の熱に対して硬
化する熱硬化性樹脂であり、前記第三ステップは、所定
の熱を与えて、前記目止め部材を硬化することを特徴と
する請求項６記載のインク噴射装置の製造方法。