JP3147629B2 - インク噴射装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されているせん断モード型である。

【０００５】図９に示すように、上記せん断モード型の
インク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及び
その間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５とからなっている。アクチュエータ
壁６０３は一対となってその間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。

【０００６】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９、６２１が
金属層として設けられている。各電極６１９、６２１は
インクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われて
いる。そして、空間６１５に面している電極６１９、６
２１はアース６２３に接続され、インク流路６１３内に
設けられている電極６１９、６２１は、アクチュエータ
駆動回路を与えるシリコン・チップ６２５に接続されて
いる。

【０００７】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁６０２に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０
５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等によって
形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成する。そ
して、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に電極６１
９を形成し、その電極６１９上に前記絶縁層を設ける。
同様にして上部壁６０５の側面に電極６２１、前記絶縁
層を設ける。

【０００８】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が穿孔されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、アクチュエータ壁６０３の一端に接着
し、インク流路６１３と空間６１５との他端をシリコン
・チップ６２５とアース６２３とに接続する。

【０００９】そして、各インク流路６１３の電極６１
９、６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置６００を示した特開昭６３−２
４７０５１号公報には、インク流路６１３のみにインク
を充填し、空間６１５にインクを充填しないが、その具
体的構成および方法が開示されていない。そこで、例え
ば、底壁６０１あるいは天壁６０２に、インク流路６１
３に連通する貫通孔を各インク流路６１３に対応して設
けて、インク流路６１３のみにインクを供給し、空間６
１５にインクを供給しないようにすると、それら貫通孔
を形成することは、大きさが小さいために形成すること
が難しく、歩留まりが悪い。また、加工に時間がかか
り、大量生産性に劣るといった問題があった。

【００１１】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、歩留まりが高く、大量生産性に
優れるインク噴射装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１のインク噴射装置では、インクが噴射され
る噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側に設け
られ、インクが噴射されない非噴射チャンネルと、前記
噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、少な
くとも一部が圧電セラミックスで形成された隔壁とを有
するインク噴射装置であって、一方の面とその面の両端
に接続した２つの端面とに開口して形成された第一溝(1
03a)と、その第一溝の両側でかつ前記一方の面と前記２
つの端面のうち一方の端面とに開口し、他方の端面(15)
には開口しないで形成された第二溝(103b)とを、前記隔
壁（106)を挟んで有し、少なくとも一部を圧電セラミッ
クスで構成したプレート(102)と、前記一方の面に開口
する前記第一溝(103a)及び第二溝(103b)を覆って前記プ
レート(102)に固定され、前記第一溝により前記噴射チ
ャンネル(104)を、前記第二溝により前記非噴射チャン
ネル(127)をそれぞれ形成するカバープレート(10)と、
前記プレート(102)の他方の端面(15)と前記カバープレ
ート(10)とにまたがって接合され、前記噴射チャンネル
(104)にインクを供給するためのマニホールド(121)が形
成されたマニホールド部材(107)と、前記隔壁（106)の
側面に形成された電極(8)とを備え、前記電極(8)の一端
は、前記マニホールド部材(107)が接合される前記プレ
ートの他方の端面(15)に回り込んで形成され、前記隔壁
（106)に電圧を印加するための制御部に接続される。

【００１３】

【作用】上記の構成を有する本発明のインク噴射装置で
は、前記マニホールド部材(107)が、前記第一溝(103a)
が開口され、且つ前記第二溝(103b)が開口されていない
端面(15)に接合される。そのマニホールド部材に形成さ
れたマニホールド(121)が前記噴射チャンネル(104)に連
通され、且つ前記非噴射チャンネル(127)に連通され
ず、前記噴射チャンネルのみにインクが供給される。制
御部から電圧が印加されると、前記隔壁(106)の変形に
より噴射チャンネルからインクが噴射される。

【００１４】

【実施例】以下、本発明を具体化した第一の実施例を図
面を参照して説明する。

【００１５】図１に示すように、インク噴射装置１は、
圧電セラミックスプレート２とマニホールド部材として
のインク供給部材７とカバープレート１０とノズルプレ
ート１４とから構成されている。

【００１６】その圧電セラミックスプレート２は、チタ
ン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料で形
成され、圧電セラミックスプレート２には、ダイヤモン
ドブレード等により切削加工され、複数の溝３が形成さ
れている。前記溝３には、圧電セラミックスプレート２
の上面、下面、両端面に開口した第一溝としての溝３ａ
と、圧電セラミックスプレート２の上面、両端面に開口
した第二溝としての溝３ｂとがあり、溝３ａと溝３ｂと
が交互に形成されている。溝３ａの底面は、圧電セラミ
ックスプレート２の溝３形成側の面（上面）に対して、
一端面１５に近づくに連れて深さが深くなるように、直
線的に傾斜され、一端面１５付近で、圧電セラミックス
プレート２の溝３形成側と反対の面（下面）に開口され
ている。また、図３（ｂ）に示すように、溝３ｂの底面
は圧電セラミックスプレート２の溝３形成側の面に対し
て平行に直線的に形成されている。なお、両外側の溝３
は溝３ｂである。また、図１に示すように、その溝３の
側面となる隔壁６は矢印５の方向に分極されている。

【００１７】そして、溝３の内面の上部領域に金属電極
８がスパッタリング等によって形成されている。また、
圧電セラミックスプレート２の一端面１５の平面図を示
す図２のように、金属電極８は溝３の側面から圧電セラ
ミックスプレート２の一端面１５に回り込んでいる。

【００１８】次に、図１に示すように、アルミナ、ＰＺ
Ｔ等のセラミックス材料により形成されたカバープレー
ト１０が、圧電セラミックスプレート２の溝３加工側の
面に、エポキシ系接着剤２０（図５）によって接着され
る。

【００１９】そして、樹脂材料の射出成形などにより形
成されたインク供給部材７には、インク導入口２２及び
マニホールド２１が形成されている。また、インク供給
部材７には、前述の一端面１５に形成されている金属電
極８と電気的コンタクトを得るためのパターン１８が形
成されている。そして、圧電セラミックスプレート２に
おける一端面１５及びカバープレート１０接着側と反対
側の面（下面）に、インク供給部材７をエポキシ系接着
剤などで接着する。これにより、溝３ａとマニホールド
２１とが連通する。また、金属電極８とパターン１８と
の電気的コネクト部には絶縁層となる接着剤層を設けず
に、金属電極８とパターン１８とを電気的に接続する。

【００２０】次に、圧電セラミックスプレート２及びカ
バープレート１０の一端面１５と反対側の端面に、各溝
３ａの位置に対応した位置にノズル１２が設けられたノ
ズルプレート１４が接着される。このノズルプレート１
４は、ポリアルキレン（例えばエチレン）テレフタレー
ト、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケ
トン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸
セルロース等のプラスチックによって形成されている。

【００２１】図３（ａ）、（ｂ）に溝３ａ、３ｂでのイ
ンク噴射装置１の断面をそれぞれ示す。前述のように、
圧電セラミックスプレート２、インク供給部材７、カバ
ープレート１０、ノズルプレート１４を接着することに
より、溝３ａに対応した噴射チャンネルとしてのインク
室４及び溝３ｂに対応した非噴射チャンネルとしての空
気室２７が形成される。図３（ａ）に示すごとく、全て
のインク室４はマニホールド２１に連通してインクが供
給されてインクが充填され、図３（ｂ）に示すごとく、
空気室２７はマニホールド２１に連通しておらず、イン
クが供給されず、空気が充填される。

【００２２】そして、インク供給部材７に形成されてい
るパターン１８（図１）には、フレキシブルプリント基
板２３のパターン２４が接続されている。

【００２３】次に、制御部のブロック図を示す図４によ
って、制御部の構成を説明する。フレキシブルプリント
基板２３に設けられた導電層のパターン２４は各々個々
にＬＳＩチップ５１に接続され、クロックライン５２、
データライン５３、電圧ライン５４及びアースライン５
５もＬＳＩチップ５１に接続されている。ＬＳＩチップ
５１は、クロックライン５２から供給された連続するク
ロックパルスに基づいて、データライン５３上に現れる
データから、どのノズル１２からインク滴の噴射を行う
べきかを判断し、駆動するインク室４内の金属電極８に
導通する導電層のパターン２４に、電圧ライン５４の電
圧Ｖを印加する。また、駆動するインク室４以外の金属
電極８に導通する導電層のパターン２４及び空気室２７
の金属電極８に導通するパターン２４をアースライン５
５に接続する。

【００２４】次に、本実施例のインク噴射装置１の動作
を説明する。図５（ｂ）のインク室４ａからインク滴を
噴射するために、当該インク室４ａに対し電圧パルスを
与える（ここで、あるインク室４に対して電圧を与える
ことは、そのインク室４に面する金属電極８に電圧を印
加し、指示しないインク室４に面する金属電極８及び空
気室２７の金属電極８を接地することを言う）。この場
合、金属電極８ｂ、８ｃに電圧を印加し、空気室２７
ａ、２７ｂに形成されている金属電極８ａ、８ｄを接地
すると、隔壁６ａには矢印１３ａ方向の電界が発生し、
隔壁６ｂには矢印１３ｂ方向の電界が発生し、圧電セラ
ミックスの圧電厚みすべり効果によって隔壁６ａと６ｂ
とが互いに離れるように動く。すると、インク室４ａの
容積が増えて、ノズル１２付近を含むインク室４ａ内の
圧力が減少する。この状態をＬ／ａで示される時間だけ
維持する。すると、その間図示しないインク供給源から
インク導入口２２、マニホールド２１を介してインクが
供給される。なお、上記Ｌ／ａは、インク室４内の圧力
波が、インク室４の長手方向（マニホールド２１からノ
ズルプレート１４まで、またはその逆）に対して、片道
伝播するに必要な時間であり、インク室４の長さＬとイ
ンク中での音速ａによって決まる。

【００２５】圧力波の伝播理論によると、前記の立ち上
げからちょうどＬ／ａの時間経つとインク室４ａ内の圧
力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミングに合
わせてインク室４ａに印加されている電圧を０Ｖに戻
す。すると、隔壁６ａと６ｂは変形前の状態（図５
（ａ））に戻り、インクに圧力が加えられる。その時、
前記正に転じた圧力と、隔壁６ａ、６ｂが変形前の状態
に戻って発生した圧力とがたし合わされ、比較的高い圧
力がインク室４ａ内のインクに与えられて、インク滴が
ノズル１２から噴出される。

【００２６】また、前記実施例においては、まず駆動電
圧をインク室４ａの容積が増加する方向に印加し、次に
駆動電圧の印加を停止しインク室４ａの容積を自然状態
に減少してインク室４ａからインク滴を噴射していた
が、まず駆動電圧をインク室４ａの容積が減少するよう
に印加してインク室４ａからインク滴を噴射し、次に駆
動電圧の印加を停止してインク室４ａの容積を前記減少
状態から自然状態へと増加させてインク室４ａ内にイン
クを供給してもよい。

【００２７】また、前記実施例においては、インクを噴
射するインク室４ａに面する金属電極８ｂ、８ｃに電圧
を印加し、指示しないインク室４に面する金属電極８及
び空気室２７の金属電極８を接地して、インク室４ａに
対応するノズル１２からインクを噴射させていたが、イ
ンクを噴射するインク室４ａに面する金属電極８ｂ、８
ｃを接地し、インク室４ａの両隣の空気室２７ａ、２７
ｂの金属電極８ａ、８ｄに電圧を印加して、隔壁６ａ、
６ｂを変形させてインク室４ａに対応するノズル１２か
らインクを噴射させてもよい。

【００２８】上述したように、本実施例のインク噴射装
置１では、溝３ｂが開口されていない圧電セラミックス
プレート２の下面に溝３ａが開口され、その下面にマニ
ホールド２１を有するマニホールド部材１７が接合させ
ているので、溝３ａが形成するインク室４のみにマニホ
ールド２１からインクが供給され、空気室２７にはイン
クが供給されない。このため、インク室４ａからインク
滴を噴射するための隔壁６ｂ、６ｃの変形が、他のイン
ク室４に影響を及ぼすことがない。従って、各インク室
４から良好にインク滴が噴射され、印字品質がよい。ま
た、空気室２７には、空気が充填されているので、隔壁
６の変形がしやすく、電圧が低くてよい。

【００２９】また、溝３、マニホールド２１が簡単に加
工できるので、歩留まりが高く、大量生産性に優れる。

【００３０】さらに、溝３が直線的に貫通して形成され
ているので、ダイヤモンドブレードによる切削速度を一
定にすることができ、加工の時間が短い。

【００３１】次に、本発明の第二実施例を説明する。但
し、第一実施例と同一部位及び均等部位については、同
一の符号を付し、その説明を省略する。

【００３２】図６に示すように、インク噴射装置１０１
は、圧電セラミックスプレート１０２とマニホールド部
材としてのインク供給部材１０７とカバープレート１０
とノズルプレート１４とから構成されている。

【００３３】その圧電セラミックスプレート１０２は、
チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料
で形成され、圧電セラミックスプレート１０２には、ダ
イヤモンドブレード等により切削加工され、複数の溝１
０３が形成されている。前記溝１０３には、深さが一定
で圧電セラミックスプレート１０２の一端面１５に貫通
し開口した第一溝としての溝１０３ａと、一端面１５に
近づくにつれて直線的に浅くなり一端面１５には開口し
ていない第二溝としての溝１０３ｂとがあり、溝１０３
ａと溝１０３ｂとが交互に形成されている。なお、両外
側の溝１０３は溝１０３ｂである。また、その溝１０３
の側面となる隔壁１０６は矢印５の方向に分極されてい
る。

【００３４】そして、溝１０３ａの側面の上半分の領域
に金属電極８がスパッタリング等によって形成されてい
る。また、溝１０３ｂの内面の金属電極８は、溝１０３
ｂの深さが一端面１５に近づくにつれて徐々に浅く形成
されているので、ついには溝１０３ｂの底面にも形成さ
れる。また、圧電セラミックスプレート１０２の一端面
１５の平面図を示す図７のように、金属電極８は溝１０
３の内面から一端面１５に回り込んで形成されている。

【００３５】次に、図６に示すように、アルミナ、ＰＺ
Ｔ等のセラミックス材料により形成されたカバープレー
ト１０が、圧電セラミックスプレート１０２の溝１０３
加工側の面とエポキシ系接着剤によって接着される。

【００３６】そして、樹脂材料の射出成形などにより形
成されたマニホールド部材としてのインク供給部材１０
７には、インク導入口１２２及びマニホールド１２１が
形成されている。また、インク供給部材１０７には、前
述の一端面１５に形成されている金属電極８と電気的コ
ンタクトを得るためのパターン１１８が形成されてい
る。そして、図６のようにカバープレート１０及び圧電
セラミックスプレート１０２の一端面１５とインク供給
部材１０７のマニホールド１２１が形成された面とをエ
ポキシ系接着剤などで接着する。これにより、各溝１０
３ａとマニホールド１２１が連通する。また、金属電極
８とパターン１１８との電気的コネクト部には絶縁層と
なる接着剤層を設けずに、金属電極８とパターン１１８
とを電気的に接続する。

【００３７】次に、圧電セラミックスプレート１０２及
びカバープレート１０の一端面１５と反対側の端面に、
各溝１０３ａの位置に対応した位置にノズル１２が設け
られたノズルプレート１４が接着される。

【００３８】図８（ａ）、（ｂ）に溝１０３ａ、１０３
ｂでのインク噴射装置１０１の断面をそれぞれ示す。前
述のように、圧電セラミックスプレート１０２、インク
供給部材１０７、カバープレート１０、ノズルプレート
１４を接着することにより、溝１０３ａに対応した噴射
チャンネルとしてのインク室１０４及び溝１０３ｂに対
応した非噴射チャンネルとしての空気室１２７が形成さ
れる。図８（ａ）に示すごとく、全てのインク室１０４
はマニホールド１２１に連通し、そのマニホールド１２
１からインクが供給されてインクが充填され、図８
（ｂ）に示すごとく、空気室１２７はマニホールド１２
１に連通しておらず、そのマニホールド１２１からイン
クが供給されず空気が充填される。

【００３９】そして、インク供給部材１０７に形成され
ているパターン１１８（図６）には、フレキシブルプリ
ント基板２３のパターン２４が接続されている。

【００４０】上述した第二実施例のインク噴射装置１０
１の制御部の構成及び動作は第一実施例と同様であるの
でその説明は省略する。

【００４１】上述したように、本実施例のインク噴射装
置１０１では、溝１０３ｂが開口されていない圧電セラ
ミックスプレート２の一端面１５に溝１０３ａが開口さ
れ、その一端面１５にマニホールド１２１を有するマニ
ホールド部材１０７が接合させているので、溝１０３ａ
が形成するインク室１０４のみにマニホールド１２１か
らインクが供給され、空気室１２７にはインクが供給さ
れない。このため、インク室１０４からインク滴を噴射
するための隔壁１０６の変形が、他のインク室１０４に
影響を及ぼすことがない。従って、各インク室１０４か
ら良好にインク滴が噴射され、印字品質がよい。また、
空気室１２７には、空気が充填されているので、隔壁１
０６の変形がしやすく、電圧が低くてよい。

【００４２】また、溝１０３、マニホールド１２１が簡
単に加工できるので、歩留まりが高く、大量生産性に優
れる。

【００４３】さらに、ダイヤモンドブレードによる切削
速度を最も効率よく行うことができるように、溝１０３
が直線的に貫通して形成されているので、加工の時間が
短い。

【００４４】尚、第二実施例では、圧電セラミックスプ
レート１０２の片面に溝１０３を形成していたが、圧電
セラミックスプレートの厚さを厚くして両面に溝を形成
して、インク室及び空気室を設けてもよい。

【００４５】また、本発明の第一実施例及び第二実施例
では、空気室２７、１２７の幅をインク室４、１０４の
幅より小さくすることによって、圧電セラミックスプレ
ート２、１０２の幅を小さくすることができる。

【００４６】また、本発明の第一実施例及び第二実施例
では、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミック
ス材料で圧電セラミックスプレート２、１０２が形成さ
れて、隔壁６、１０６を圧電すべり変形させていたが、
圧電セラミックスプレートをチタン酸鉛系（ＰＴ）のセ
ラミックス材料で形成し、隔壁の側面全体に電極を形成
して、前記隔壁を圧電縦変形させてインクを噴射させて
もよい。

【００４７】更に、本発明の第一実施例及び第二実施例
では、カバープレート１０を用いて、インク室４、１０
４及び空気室２７、１２７を形成していたが、圧電セラ
ミックスプレート２、１０２を２枚用いて、それら圧電
セラミックスプレート２、１０２の隔壁６、１０６の天
頂部を接着して、インク室及び空気室を形成してもよ
い。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のインク噴射装置によれば、前記噴射チャンネルに
インクを供給させ、且つ前記非噴射チャンネルにインク
を供給させないための、第一溝、第二溝及びマニホール
ドが簡単に加工できるので、歩留まりが高く、大量生産
性に優れる。また、前記マニホールド部材が、前記第一
溝が開口され、且つ前記第二溝が開口されていないプレ
ートの端面に接合され、そのマニホールド部材に形成さ
れたマニホールドが前記噴射チャンネルに連通され、且
つ前記非噴射チャンネルに連通されないため、噴射チャ
ンネルのみにインクが充填され、非噴射チャンネルには
充填されず、噴射チャンネルからインク滴を噴射するた
めの側壁の変形が、他の噴射チャンネルに影響を及ぼす
ことがない。従って、各噴射チャンネルから良好にイン
ク滴が噴射され、印字品質がよい。さらに、隔壁側面の
電極が、マニホールド部材が接合される他方の端面を介
して制御部に接続されるので、配線も容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例のインク噴射装置を示す斜
視図である。

【図２】前記第一実施例のインク噴射装置の圧電セラミ
ックスプレートの一端面を示す説明図である。

【図３】前記第一実施例のインク噴射装置を示す断面図
である。

【図４】前記第一実施例のインク噴射装置の制御部を示
すブロック図である。

【図５】前記第一実施例のインク噴射装置の動作を示す
説明図である。

【図６】本発明の第二実施例のインク噴射装置を示す斜
視図である。

【図７】前記第二実施例のインク噴射装置の圧電セラミ
ックスプレートの一端面を示す説明図である。

【図８】前記第二実施例のインク噴射装置を示す断面図
である。

【図９】従来例のインク噴射装置を示す説明図である。

【符号の説明】

１ インク噴射装置 ２ 圧電セラミックスプレート ３ 溝 ４ インク室 ５ 分極方向 ６ 隔壁 ７ インク供給部材 ８ 金属電極 １０ カバープレート ２１ マニホールド ２２ インク導入口 １０１ インク噴射装置 １０２ 圧電セラミックスプレート １０３ 溝 １０４ インク室 １０６ 隔壁 １０７ インク供給部材 １２１ マニホールド １２２ インク導入口

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクが噴射される噴射チャンネルと、
   前記噴射チャンネルの両側に設けられ、インクが噴射さ
   れない非噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルと前記
   非噴射チャンネルとを隔て、少なくとも一部が圧電セラ
   ミックスで形成された隔壁とを有するインク噴射装置で
   あって、一方の面とその面の両端に接続した２つの端面とに開口
   して形成された第一溝(103a)と、その第一溝の両側でか
   つ前記一方の面と前記２つの端面のうち一方の端面とに
   開口し、他方の端面(15)には開口しないで形成された第
   二溝(103b)とを、前記隔壁（106)を挟んで有し、少なく
   とも一部を圧電セラミックスで構成したプレート(102)
   と 、前記一方の面に開口する前記第一溝(103a)及び第二溝(1
   03b)を覆って前記プレート(102)に固定され、前記第一
   溝により前記噴射チャンネル(104)を、前記第二溝によ
   り前記非噴射チャンネル(127)をそれぞれ形成するカバ
   ープレート(10)と 、前記プレート(102)の他方の端面(15)と前記カバープレ
   ート(10)とにまたがって接合され、前記噴射チャンネル
   (104)に インクを供給するためのマニホールド(121)が形
   成されたマニホールド部材(107)と、前記隔壁（106)の側面に形成された電極(8)とを備え、
   前記電極(8)の一端は、前記マニホールド部材(107)が接
   合される前記プレートの他方の端面(15)に回り込んで形
   成され、前記隔壁（106)に電圧を印加するための制御部
   に接続される ことを特徴とするインク噴射装置。