JP3149658B2 - インク噴射装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されているせん断モード型である。

【０００５】図５に示すように、上記せん断モード型の
インク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及び
その間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５とからなっている。アクチュエータ
壁６０３は一対となってその間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。

【０００６】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９、６２１が
金属化層として設けられている。各電極６１９、６２１
はインクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われ
ている。そして、空間６１５に面している電極６１９、
６２１はアース６２３に接続され、インク流路６１３内
に設けられている電極６１９、６２１は、アクチュエー
タ駆動回路を与えるシリコン・チップ６２５に接続され
ている。

【０００７】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁６０２に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０
５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転などによっ
て形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成する。
そして、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に電極６
１９を形成し、その電極６１９上に前記絶縁層を設け
る。同様にして上部壁６０５の側面に電極６２１、前記
絶縁層を設ける。

【０００８】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が穿孔されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、インク流路６１３及び空間６１５の一端
に接着し、インク流路６１３と空間６１５との他端をシ
リコン・チップ６２５とアース６２３とに接続する。

【０００９】そして、各インク流路６１３の電極６１
９、６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置６００を示した特開昭６３−２
４７０５１号公報には、インク流路６１３のみにインク
を充填し、空間６１５にインクを充填しないが、その具
体的構成および方法が開示されていない。そこで、例え
ば、底壁６０１あるいは天壁６０２に、インク流路６１
３に連通する貫通孔を各インク流路６１３に対応して設
けて、インク流路６１３のみにインクを供給し、空間６
１５にインクを供給しないようにすると、それら貫通孔
を形成することは、大きさが小さいために形成すること
が難しく、歩留まりが悪い、また、加工に時間がかか
り、大量生産性に劣るといった問題があった。

【００１１】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、歩留まりが高く、大量生産性に
優れるインク噴射装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、圧電材料で少なくとも一部が
形成された隔壁によって隔てられた溝を有するアクチュ
エータプレートと、前記アクチュエータプレートの前記
溝の開口部を塞ぐカバープレートとを有し、前記溝と前
記カバープレートとによって、インクを噴射する噴射チ
ャンネル及びその噴射チャンネルの両側に設けられイン
クを噴射しない非噴射チャンネルが構成されると共に、
前記噴射チャンネルにインクを供給するためのマニホー
ルドを更に備えたインク噴射装置であって、前記噴射チ
ャンネルに対応する前記溝の長さが、前記非噴射チャン
ネルに対応する前記溝の長さよりも長く、前記マニホー
ルドは、前記噴射チャンネルに対応する前記溝が形成さ
れ、且つ前記非噴射チャンネルに対応する前記溝が形成
されていない領域に対応する前記カバープレートの領域
に形成され、前記マニホールドに、前記噴射チャンネル
が連通され、前記非噴射チャンネルが連通されないこと
を特徴とする。

【００１３】請求項２では、圧電材料で少なくとも一部
が形成された隔壁によって隔てられたインクを噴射する
噴射チャンネル及びその噴射チャンネルの両側に設けら
れインクを噴射しない非噴射チャンネルを構成する溝を
有するアクチュエータプレートと、前記アクチュエータ
プレートの前記溝の開口部を塞ぐカバープレートとを有
するインク噴射装置であって、前記噴射チャンネルに対
応する前記溝の長さが、前記非噴射チャンネルに対応す
る前記溝の長さよりも長く、前記カバープレートに、前
記非噴射チャンネルよりも長く延在する前記噴射チャン
ネルの端部に対向して、該噴射チャンネルにインクを供
給するためのマニホールドが形成されたことを特徴とす
る。

【００１４】請求項３では、圧電材料で少なくとも一部
が形成された隔壁によって隔てられた溝を有するアクチ
ュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前
記溝の開口部を塞ぐカバープレートとを有し、前記溝と
前記カバープレートとによって、インクを噴射する噴射
チャンネル及びその噴射チャンネルの両側に設けられイ
ンクを噴射しない非噴射チャンネルが構成されると共
に、前記噴射チャンネルにインクを供給するためのマニ
ホールドを更に備えたインク噴射装置であって、前記噴
射チャンネルに対応する前記溝の深さが、前記非噴射チ
ャンネルに対応する前記溝の深さよりも深く、前記マニ
ホールドは、前記アクチュエータプレート の前記溝に対
して該溝の開口部とは反対側に、該溝と交差する方向に
形成され、かつ前記非噴射チャンネルに対応する前記溝
とはその深さ方向に間隔をおくとともに、前記噴射チャ
ンネルに対応する前記溝とはその深さ方向に接続する深
さに形成されていることを特徴とする。

【００１５】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１のインク
噴射装置では、前記噴射チャンネルに対応する前記溝の
長さが、前記非噴射チャンネルに対応する前記溝の長さ
よりも長く形成され、前記マニホールドが、前記噴射チ
ャンネルに対応する前記溝が形成され、且つ前記非噴射
チャンネルに対応する前記溝が形成されていない領域に
対応する前記カバープレートの領域に形成されることに
よって、前記マニホールドが前記噴射チャンネルに連通
され、且つ前記非噴射チャンネルに連通されなく、噴射
チャンネルのみにインクが供給される。

【００１６】請求項２のインク噴射装置では、前記噴射
チャンネルに対応する前記溝の長さが、前記非噴射チャ
ンネルに対応する前記溝の長さよりも長く形成され、前
記カバープレートに、前記非噴射チャンネルよりも長く
延在する前記噴射チャンネルの端部に対向して、該噴射
チャンネルにインクを供給するためのマニホールドが形
成されることによって、前記マニホールドが前記噴射チ
ャンネルに連通され、且つ前記非噴射チャンネルに連通
されなく、噴射チャンネルのみにインクが供給される。

【００１７】請求項３のインク噴射装置では、前記噴射
チャンネルに対応する前記溝の深さが、前記非噴射チャ
ンネルに対応する前記溝の深さよりも深く形成され、前
記マニホールドは、前記アクチュエータプレートの前記
溝に対して該溝の開口部とは反対側に、該溝と交差する
方向に形成され、かつ前記非噴射チャンネルに対応する
前記溝とはその深さ方向に間隔をおくとともに、前記噴
射チャンネルに対応する前記溝とはその深さ方向に接続
する深さに形成されることによって、前記マニホールド
が前記噴射チャンネルに連通され、且つ前記非噴射チャ
ンネルに連通されなく、噴射チャンネルのみにインクが
供給される。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を具体化した実施例を図面を参
照して説明する。

【００１９】まず、インク噴射装置１の斜視図を示す図
１によって、本発明の第一実施例の構成および製造法を
説明する。インク噴射装置１は、圧電セラミックスプレ
ート２とカバープレート３とノズルプレート３１とから
構成されている。

【００２０】圧電セラミックスプレート２は、強誘電性
を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミッ
クス材料で形成され、矢印５方向に分極処理が施されて
いる。そして、圧電セラミックスプレート２には、薄い
円板状のダイヤモンドブレードを使用した切削加工など
によって、複数の溝１５が作製される。溝１５は圧電セ
ラミックスプレート２のほぼ全域で同じ深さの平行な溝
であるが、端面１７に近づくにつれて徐々に浅くなり、
端面１７付近では浅く平行な浅溝１８となるように作製
される。また、インクが充填される噴射チャンネルとし
てのインク液室１２ｂ（図２）および１２ｄ（図２）を
形成する溝１５ｂおよび１５ｄでは、溝１５と浅溝１８
ｂ、１８ｄとの境界の位置が、インクが充填されない非
噴射チャンネルとしての空気室２０ａ（図２）、２０ｃ
（図２）、２０ｅ（図２）を形成する溝１５ａ、１５
ｃ、１５ｅと浅溝１８ａ、１８ｃ、１８ｅとの境界の位
置よりも端面１７に近くなるように作製される。

【００２１】この溝１５の側面の上半分の領域および浅
溝１８の内面には、アルミニウム、ニッケル、カーボン
などの導電材料からなる電極が真空蒸着やスパッタリン
グなどによって形成される。この電極の形成時には、溝
１５を隔てる側壁１１の天頂部にも電極が形成されるた
め、側壁１１の両側の電極を分離するために、側壁１１
の天頂部の電極がラッピングなどにより除去される。そ
れにより、溝１５の内面にはその側面の上半分のみに電
極１３が形成され、浅溝１８の内面にはその側面および
底面全体に電極１９が形成される。この電極１９によっ
て、溝１５の両側の側壁１１の表面に形成された電極１
３は電気的に接続されている。

【００２２】また、カバープレート３に、研削加工また
は切削加工などによって、インク導入口２１およびマニ
ホールド２２が作製される。このマニホールド２２は、
圧電セラミックスプレート２とカバープレート３とを接
合したときに、マニホールド２２の下面に溝１５ｂおよ
び１５ｄが位置し、且つ溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅの浅
溝１８ａ、１８ｃ、１８ｅが位置するカバープレート３
の領域に、溝１５ｂおよび１５ｄに交差するように作製
される。

【００２３】次に、圧電セラミックスプレート２の溝１
５加工側の面とカバープレート３のマニホールド２２加
工側の面が、エポキシ系接着剤４（図２）などによっ
て、接着される。これによって、図２に示すように、イ
ンク液室１２ｂ、１２ｄ及び空気室２０ａ、２０ｃ、２
０ｅが構成され、インク液室１２ｂ、１２ｄにマニホー
ルド２２が連通し、空気室２０ａ、２０ｃ、２０ｅにマ
ニホールド２２が連通しない。このインク液室１２ｂ、
１２ｄはインクが充填され、空気室２０ａ、２０ｃ、２
０ｅは空気が充填される領域である。尚、圧電セラミッ
クスプレート２とカバープレート３とを接着すると、そ
のためのエポキシ系接着剤４が浅溝１８内に入り込む。
このため、インク液室１２ｂ、１２ｄでは、浅溝１８
ｂ、１８ｄからインクが漏れることがなく、空気室２０
ａ、２０ｃ、２０ｅでは、浅溝１８ａ、１８ｃ、１８ｅ
からインクが入り込むことがない。尚、浅溝１８ａ、１
８ｃ、１８ｅに、樹脂などによって、空気室２０ａ、２
０ｃ、２０ｅにインクが入り込まないようにしてもよ
い。

【００２４】また、図１に示すように、圧電セラミック
スプレート２およびカバープレート３の端面１６に、イ
ンク液室１２ｂ、１２ｄの位置に対応した各位置にノズ
ル３２が設けられたノズルプレート３１がエポキシ系接
着剤（図示せず）などによって接着される。

【００２５】次に、インク噴射装置の断面図を示す図
２、図３によって、本発明の第一実施例の動作を説明す
る。インク噴射装置１において、所望の印字データに従
って例えばインク液室１２ｂが選択されると、電極１３
ｅと１３ｆに急速に正の駆動電圧が印加され、電極１３
ｄと１３ｇは接地される。これにより側壁１１ｂの上部
には矢印１４ｂの方向の駆動電界が作用し、側壁１１ｃ
の上部には矢印１４ｃの方向の駆動電界が作用する。こ
のとき駆動電界方向１４ｂおよび１４ｃと分極方向５と
が直交しているため、側壁１１ｂおよび１１ｃは、圧電
厚みすべり効果によってインク液室１２ｂの内部方向に
急速に変形する。この変形によってインク液室１２ｂの
容積が減少してインク液室１２ｂのインク圧力が急速に
増大し、圧力波が発生して、インク液室１２ｂに連通す
るノズル３２（図１）からインク液滴が噴射される。

【００２６】また、駆動電圧の印加を停止すると、側壁
１１ｂおよび１１ｃが変形前の位置（図２参照）に戻る
ためインク液室１２ｂ内のインク圧力が低下し、インク
供給口２１（図１）からマニホールド２２（図１）を通
してインク液室１２ｂ内にインクが供給される。

【００２７】但し、上記の動作は本実施例の基本動作に
過ぎず、製品として具体化される場合には、まず駆動電
圧をインク液室１２ｂの容積が増加する方向に印加し
て、インク液室１２ｂにインクを供給させ、次に駆動電
圧の印加を停止して、側壁１１ｂおよび１１ｃを変形前
の位置（図２参照）に戻すことによりインク圧力を増大
させてインクを噴射させることもある。

【００２８】このように、本実施例のインク噴射装置１
では、溝１５ｂおよび１５ｄと浅溝１８ｂ、１８ｄとの
境界の位置が、溝１５ａ、１５ｃ、１５ｅと浅溝１８
ａ、１８ｃ、１８ｅとの境界の位置よりも端面１７に近
くなるように作製され、また、マニホールド２２はその
下面に溝１５ｂおよび１５ｄが位置し、溝１５ａ、１５
ｃ、１５ｅの浅溝１８ａ、１８ｃ、１８ｅが位置する領
域に作製されているので、溝１５ｂおよび１５ｄが形成
するインク液室１２ｂおよび１２ｄのみにインクが供給
され、空気室２０ａ、２０ｃ、２０ｅにはインクが供給
されない。このため、インク液室１２ｂからインク滴を
噴射するための側壁１１ｂ、１１ｃの変形が、他のイン
ク液室１２ｄに影響を及ぼすことがない。従って、各イ
ンク液室１２ｂ、１２ｄから良好にインク滴が噴射さ
れ、印字品質がよい。

【００２９】また、溝１５、マニホールド２２が簡単に
加工できるので、歩留まりが高く、大量生産性に優れ
る。

【００３０】次に、インク噴射装置６の斜視図を示す図
４によって、本発明の第二実施例の構成および製造法を
説明する。なお、第一実施例と同一の部材には同一の符
号を付け、その説明を省略する。

【００３１】インク噴射装置１０１は、圧電セラミック
スプレート１０２とカバープレート１０３とノズルプレ
ート３１とから構成されている。

【００３２】圧電セラミックスプレート１０２は矢印５
方向に分極されており、薄い円板状のダイヤモンドブレ
ードを使用した切削加工などによって、溝１１５が作製
される。１本の溝１１５は圧電セラミックスプレート１
０２のほぼ全域で同じ深さの平行な溝であるが、端面１
７に近づくにつれて徐々に浅くなり、端面１７付近では
浅く平行な浅溝１１８となるように作製される。また、
溝１１５ｂおよび１１５ｄは、溝１１５ａ、１１５ｃ、
１１５ｅよりも深くなるように作製される。

【００３３】また、圧電セラミックスプレート１０２の
溝１１５加工側の面と反対側の面には、マニホールド溝
１２１が溝１１５と交差するように作製される。このマ
ニホールド溝１２１の深さは、溝１１５ｂおよび１１５
ｄの底面がマニホールド溝１２１によって開口し、溝１
１５ａ、１１５ｃ、１１５ｅの底面が開口しないように
設定される。尚、マニホールド溝１２１の開口部には、
図示しないインクを供給するためのインク供給部材が接
続される。

【００３４】次に、セラミックス材料または樹脂材料な
どからなるカバープレート１０３を、圧電セラミックス
プレート１０２の溝１１５加工側の面に、エポキシ系接
着剤などによって接着する。これによって、溝１１５ｂ
および１１５ｄが噴射チャンネルとしてのインク液室を
構成し、溝１１５ａ、１１５ｃ、１１５ｅが非噴射チャ
ンネルとしての空気室を構成する。そして、インク液室
にマニホールド溝１２１が連通し、空気室にマニホール
ド溝１２１が連通しない。

【００３５】本実施例のインク噴射装置１０１では、溝
１１５ｂおよび１１５ｄが、溝１５ａ、１１５ｃ、１１
５ｅよりも深くなるように作製され、また、マニホール
ド溝１２１の深さは、溝１１５ｂおよび１１５ｄの底面
がマニホールド溝１２１によって開口し、且つ溝１１５
ａ、１１５ｃ、１１５ｅの底面が開口しないように設定
されるので、溝１１５ｂおよび１１５ｄがその一部を形
成する前記インク液室のみにインクが供給され、溝１１
５ａ、１１５ｃ、１１５ｅがその一部を形成する前記空
気室にはインクが供給されない。このため、あるインク
液室からインク滴を噴射するための側壁１１の変形が、
他のインク液室に影響を及ぼすことがない。従って、各
インク液室から良好にインク滴が噴射され、印字品質が
よい。

【００３６】また、溝１１５、マニホールド溝１２１が
簡単に加工できるので、歩留まりが高く、大量生産性に
優れる。

【００３７】尚、前記第二実施例においては、マニホー
ルド溝１２１が圧電セラミックスプレート１０２の溝１
１５加工側の面と反対側の面に設けられていたが、マニ
ホールド溝は溝１１５ａ、１１５ｃ、１１５ｅの底面よ
り下側の領域において、溝１１５ｂ、１１５ｄと連通す
るように形成すれば、マニホールド溝の開口側は、圧電
セラミックスプレート１０２の側面や端面１７であって
もよい。

【００３８】また、第一、第二実施例においては、イン
クを噴射するインク液室１２の数が２個しか例示してい
なかったが、インク液室１２の数は５０個、１００個な
どいくつでもよい。

【００３９】また、第一、第二実施例においては、圧電
セラミックスプレート２、１０２の片面に溝１５、１１
５を形成していたが、圧電セラミックスプレートの両面
に溝を形成して、両側にインク液室及び空気室を設ける
ようにしてもよい。

【００４０】また、従来技術のような構成のインク噴射
装置６００においても、本発明を用いることができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の請求項１のインク噴射装置によれば、前記噴射チ
ャンネルに対応する前記溝の長さが、前記非噴射チャン
ネルに対応する前記溝の長さよりも長く形成され、前記
マニホールドが、前記噴射チャンネルに対応する前記溝
が形成され、且つ前記非噴射チャンネルに対応する前記
溝が形成されていない領域に対応する前記カバープレー
トの領域に形成されているので、前記マニホールドが前
記噴射チャンネルに連通され、且つ前記非噴射チャンネ
ルに連通されない。このため、噴射チャンネルのみにイ
ンクが供給され、噴射チャンネルからインク滴を噴射す
るための側壁の変形が、他の噴射チャンネルに影響を及
ぼすことがない。従って、各噴射チャンネルから良好に
インク滴が噴射され、印字品質がよい。そして、このよ
うに噴射チャンネルのみへのインクの供給が、チャンネ
ルの長さの変更とカバープレートの所定領域へのマニホ
ールドの形成によって簡単に実現することができる。

【００４２】請求項２のインク噴射装置によれば、前記
噴射チャンネルに対応する前記溝の長さが、前記非噴射
チャンネルに対応する前記溝の長さよりも長く形成さ
れ、前記カバープレートに、前記非噴射チャンネルより
も長く延在する前記噴射チャンネルの端部に対向して、
該噴射チャンネルにインクを供給するためのマニホール
ドが形成されているので、前記マニホールドが前記噴射
チャンネルに連通され、且つ前記非噴射チャンネルに連
通されなく、噴射チャンネルのみにインクが供給され
る。このため、請求項１と同様に印字品質がよいインク
噴射装置を簡単に実現することができる。

【００４３】請求項３のインク噴射装置によれば、前記
噴射チャンネルに対応する前記溝の深さが、前記非噴射
チャンネルに対応する前記溝の深さよりも深く形成さ
れ、前記マニホールドは、前記アクチュエータプレート
の前記溝に対して該溝の開口部とは反対側に、該溝と交
差する方向に形成され、かつ前記非噴射チャンネルに対
応する前記溝とはその深さ方向に間隔をおくとともに、
前記噴射チャンネルに対応する前記溝とはその深さ方向
に接続する深さに形成されているので、前記マニホール
ドが前記噴射チャンネルに連通され、且つ前記非噴射チ
ャンネルに連通されない。このため、噴射チャンネルの
みにインクが供給され、噴射チャンネルからインク滴を
噴射するための側壁の変形が、他の噴射チャンネルに影
響を及ぼすことがない。従って、各噴射チャンネルから
良好にインク滴が噴射され、印字品質がよい。そして、
このように噴射チャンネルのみへのインクの供給が、チ
ャンネルの深さの変更とマニホールド位置および深さの
設定によって簡単に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例のインク噴射装置を示す斜
視図である。

【図２】本発明の第一実施例のインク噴射装置を示す断
面図である。

【図３】本発明の第一実施例のインク噴射装置の動作を
示す説明図である。

【図４】本発明の第二実施例のインク噴射装置を示す斜
視図である。

【図５】従来例のインク噴射装置を示す説明図である。

【符号の説明】

１ インク噴射装置 ２ 圧電セラミックスプレート １２ｂ インク液室 １２ｄ インク液室 １３ 電極 １５ 溝 １８ 浅溝 ２０ａ 空気室 ２０ｃ 空気室 ２０ｅ 空気室 １０１ インク噴射装置 １０２ 圧電セラミックスプレート １１５ 溝

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電材料で少なくとも一部が形成された
   隔壁によって隔てられた溝を有するアクチュエータプレ
   ートと、前記アクチュエータプレートの前記溝の開口部
   を塞ぐカバープレートとを有し、前記溝と前記カバープ
   レートとによって、インクを噴射する噴射チャンネル及
   びその噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射し
   ない非噴射チャンネルが構成されると共に、前記噴射チ
   ャンネルにインクを供給するためのマニホールドを更に
   備えたインク噴射装置であって、 前記噴射チャンネルに対応する前記溝の長さが、前記非
   噴射チャンネルに対応する前記溝の長さよりも長く、 前記マニホールドは、前記噴射チャンネルに対応する前
   記溝が形成され、且つ前記非噴射チャンネルに対応する
   前記溝が形成されていない領域に対応する前記カバープ
   レートの領域に形成され、 前記マニホールドに、前記噴
   射チャンネルが連通され、前記非噴射チャンネルが連通
   されないことを特徴とするインク噴射装置。
2. 【請求項２】 圧電材料で少なくとも一部が形成された
   隔壁によって隔てられたインクを噴射する噴射チャンネ
   ル及びその噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴
   射しない非噴射チャンネルを構成する溝を有するアクチ
   ュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前
   記溝の開口部を塞ぐカバープレートとを有するインク噴
   射装置であって、 前記噴射チャンネルに対応する前記溝の長さが、前記非
   噴射チャンネルに対応する前記溝の長さよりも長く、 前記カバープレートに、前記非噴射チャンネルよりも長
   く延在する前記噴射チャンネルの端部に対向して、該噴
   射チャンネルにインクを供給するためのマニホールドが
   形成されたことを特徴とする インク噴射装置。
3. 【請求項３】 圧電材料で少なくとも一部が形成された
   隔壁によって隔てられた溝を有するアクチュエータプレ
   ートと、前記アクチュエータプレートの前記溝の開口部
   を塞ぐカバープレートとを有し、前記溝と前記カバープ
   レートとによって、インクを噴射する噴射チャンネル及
   びその噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射し
   ない非噴射チャンネルが構成されると共に、前記噴射チ
   ャンネルにインクを供給するためのマニホールドを更に
   備えたインク噴射装置であって、 前記噴射チャンネルに対応する前記溝の深さが、前記非
   噴射チャンネルに対応する前記溝の深さよりも深く、 前記マニホールドは、前記アクチュエータプレートの前
   記溝に対して該溝の開口部とは反対側に、該溝と交差す
   る方向に形成され、かつ前記非噴射チャンネルに対応す
   る前記溝とはその深さ方向に間隔をおくとともに、前記
   噴射チャンネルに対応する前記溝とはその深さ方向に接
   続する深さに形成されている ことを特徴とするインク噴
   射装置。