JPH0718471A - フォトエッチング方法 - Google Patents
フォトエッチング方法Info
- Publication number
- JPH0718471A JPH0718471A JP16446893A JP16446893A JPH0718471A JP H0718471 A JPH0718471 A JP H0718471A JP 16446893 A JP16446893 A JP 16446893A JP 16446893 A JP16446893 A JP 16446893A JP H0718471 A JPH0718471 A JP H0718471A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- adhesive tape
- etching
- sheet
- adhesive
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 金属板のフォトエッチング工程において、金
属板１にフォトレジスト２を塗布し、写真パターン３を
露光し、現像した後、金属板１のフォトレジストが施さ
れていない端部に、耐酸、耐水性の合成樹脂フィルムを
基材とした粘着テープ４を貼着し、エッチングを実施
し、その後、粘着テープ４を剥がし、フォトレジスト２
を剥離することを特徴とするフォトエッチング方法であ
って、特に、使用する粘着テープ４の接着力が、対ステ
ンレス板１８０°剥離力で２００〜６００ｇ／２４ｍｍ
幅であるものである。 【効果】 この発明のフォトエッチング方法によれば、
エッチングをする前に、金属板の端部を粘着テープで保
護しているので、腐食液で腐食されることがなく、従っ
て、腐食液中に腐食された金属のバリや塊が混入せず、
良好なエッチングを行うことができ、高い製品の歩留り
を得ることができる。
属板１にフォトレジスト２を塗布し、写真パターン３を
露光し、現像した後、金属板１のフォトレジストが施さ
れていない端部に、耐酸、耐水性の合成樹脂フィルムを
基材とした粘着テープ４を貼着し、エッチングを実施
し、その後、粘着テープ４を剥がし、フォトレジスト２
を剥離することを特徴とするフォトエッチング方法であ
って、特に、使用する粘着テープ４の接着力が、対ステ
ンレス板１８０°剥離力で２００〜６００ｇ／２４ｍｍ
幅であるものである。 【効果】 この発明のフォトエッチング方法によれば、
エッチングをする前に、金属板の端部を粘着テープで保
護しているので、腐食液で腐食されることがなく、従っ
て、腐食液中に腐食された金属のバリや塊が混入せず、
良好なエッチングを行うことができ、高い製品の歩留り
を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、シャドウマスクなど
のフォトエッチング方法に関するものである。
のフォトエッチング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通常、鋼板などのエッチングは、鋼板に
フォトレジストを塗布し、乾燥冷却後、写真パターンを
露光し、水スプレー現像して、不要のフォトレジストを
溶解除去し、乾燥後、塩化第２鉄と塩酸でエッチングを
行い、鋼板のフォトレジストで被覆してない部分を、腐
食により穿孔する。水洗後、残ったフォトレジストを剥
離剤に浸漬してから、水洗して除去するのである。な
お、エッチングに使用する腐食液は、再生して循環使用
するものである。
フォトレジストを塗布し、乾燥冷却後、写真パターンを
露光し、水スプレー現像して、不要のフォトレジストを
溶解除去し、乾燥後、塩化第２鉄と塩酸でエッチングを
行い、鋼板のフォトレジストで被覆してない部分を、腐
食により穿孔する。水洗後、残ったフォトレジストを剥
離剤に浸漬してから、水洗して除去するのである。な
お、エッチングに使用する腐食液は、再生して循環使用
するものである。
【０００３】上記の一連のフォトエッチング工程は、ロ
ール状に巻かれた長尺の鋼板を使って、連続的に行われ
るので、この鋼板を搬送するためのローラーが必要であ
る。ブラウン管用シャドウマスクのようなファインパタ
ーンのエッチングにおいては、フォトレジストの如何に
微小な傷も許されないので、この搬送用のローラーは鋼
板の両端部を支え、製品となる部分にローラーを接触さ
せないようにしている。従って、鋼板の両端部にはフォ
トレジストが塗布されていない。
ール状に巻かれた長尺の鋼板を使って、連続的に行われ
るので、この鋼板を搬送するためのローラーが必要であ
る。ブラウン管用シャドウマスクのようなファインパタ
ーンのエッチングにおいては、フォトレジストの如何に
微小な傷も許されないので、この搬送用のローラーは鋼
板の両端部を支え、製品となる部分にローラーを接触さ
せないようにしている。従って、鋼板の両端部にはフォ
トレジストが塗布されていない。
【０００４】このように、両端部が露出した鋼板は、エ
ッチングの工程に至ると、腐食液に直接曝され、腐食、
溶解される。その際、腐食された一部は微小なバリや塊
となって脱落し、腐食液の中に混入する。この微小なバ
リや塊が、エッチング中のパターン面に付着すると、そ
の部分の腐食を遅らせ、穿孔不良や寸法不良を発生させ
るのである。
ッチングの工程に至ると、腐食液に直接曝され、腐食、
溶解される。その際、腐食された一部は微小なバリや塊
となって脱落し、腐食液の中に混入する。この微小なバ
リや塊が、エッチング中のパターン面に付着すると、そ
の部分の腐食を遅らせ、穿孔不良や寸法不良を発生させ
るのである。
【０００５】上記不良対策として、腐食液の濾過を行っ
ているが、１０μｍ以下のフィルターが必要で、フィル
ターの目詰まりやフィルターによる圧力損失などの不具
合が発生している。また、エッチングの前に、この両端
部にニスを塗布することも行われたが、充分な効果を上
げることができない。
ているが、１０μｍ以下のフィルターが必要で、フィル
ターの目詰まりやフィルターによる圧力損失などの不具
合が発生している。また、エッチングの前に、この両端
部にニスを塗布することも行われたが、充分な効果を上
げることができない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
フォトエッチングにおいては、鋼板の端部の腐食によ
り、エッチング不良が発生する欠点があった。この発明
は、鋼板の端部の腐食を防止することにより、エッチン
グ不良を解決することを目的としてなされたものであ
る。
フォトエッチングにおいては、鋼板の端部の腐食によ
り、エッチング不良が発生する欠点があった。この発明
は、鋼板の端部の腐食を防止することにより、エッチン
グ不良を解決することを目的としてなされたものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、この発明は、
金属板のフォトエッチング工程において、金属板にフォ
トレジストを塗布し、写真パターンを露光し、現像した
後、金属板のフォトレジストが施されていない端部に、
耐酸、耐水性の合成樹脂フィルムを基材とした粘着テー
プを貼着し、エッチングを実施し、その後、粘着テープ
を剥がし、フォトレジストを剥離することを特徴とする
フォトエッチング方法である。
金属板のフォトエッチング工程において、金属板にフォ
トレジストを塗布し、写真パターンを露光し、現像した
後、金属板のフォトレジストが施されていない端部に、
耐酸、耐水性の合成樹脂フィルムを基材とした粘着テー
プを貼着し、エッチングを実施し、その後、粘着テープ
を剥がし、フォトレジストを剥離することを特徴とする
フォトエッチング方法である。
【０００８】この発明においては、エッチングに先立
ち、金属板の端部を粘着テープで被覆して、腐食液から
保護するものであり、粘着テープの基材は腐食液によく
耐えうるものでなければならない。腐食液は塩化第２鉄
と塩酸の水溶液であるから、耐酸性、耐水性の合成樹
脂、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレンなどのフィルムを
使用する。
ち、金属板の端部を粘着テープで被覆して、腐食液から
保護するものであり、粘着テープの基材は腐食液によく
耐えうるものでなければならない。腐食液は塩化第２鉄
と塩酸の水溶液であるから、耐酸性、耐水性の合成樹
脂、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレンなどのフィルムを
使用する。
【０００９】また、フォトレジストは１０μｍ程度の厚
みで塗布されているので、その段差に追従できるよう、
フィルムの厚みは１０〜４０μｍが適当である。薄過ぎ
ると引き剥がすとき、伸びて不都合である。エッチング
の際には、４０〜７０℃の腐食液がスプレーされるの
で、この温度に耐え、また、熱伸縮の小さいことも考慮
する必要があり、その点ではポリエチレンテレフタレー
トフィルムが好適である。
みで塗布されているので、その段差に追従できるよう、
フィルムの厚みは１０〜４０μｍが適当である。薄過ぎ
ると引き剥がすとき、伸びて不都合である。エッチング
の際には、４０〜７０℃の腐食液がスプレーされるの
で、この温度に耐え、また、熱伸縮の小さいことも考慮
する必要があり、その点ではポリエチレンテレフタレー
トフィルムが好適である。
【００１０】ここで使用する粘着テープの粘着剤は、ア
クリル樹脂系粘着剤或いはゴム系粘着剤を使用する。腐
食液を金属板の端部に浸入させないよう、また、粘着テ
ープがエッチング工程中に剥離しないよう、充分な接着
力が要求されるが、一方、接着力が高すぎると、これを
金属板から剥がすときに、金属板を変形させてしまう恐
れがある。特に、シャドウマスクの場合、０．１０〜
０．１８ｍｍの厚みの鋼板に数十万〜数百万の貫通孔を
設けるので、変形しやすい。従って、粘着テープの接着
力は、対ステンレス板１８０°剥離力（ＪＩＳ Ｚ０２
３７に準拠）で２００〜６００ｇ／２４ｍｍ幅が好適で
ある。
クリル樹脂系粘着剤或いはゴム系粘着剤を使用する。腐
食液を金属板の端部に浸入させないよう、また、粘着テ
ープがエッチング工程中に剥離しないよう、充分な接着
力が要求されるが、一方、接着力が高すぎると、これを
金属板から剥がすときに、金属板を変形させてしまう恐
れがある。特に、シャドウマスクの場合、０．１０〜
０．１８ｍｍの厚みの鋼板に数十万〜数百万の貫通孔を
設けるので、変形しやすい。従って、粘着テープの接着
力は、対ステンレス板１８０°剥離力（ＪＩＳ Ｚ０２
３７に準拠）で２００〜６００ｇ／２４ｍｍ幅が好適で
ある。
【００１１】
【作用】この発明のフォトエッチング方法では、エッチ
ングを実施する前に、金属板の端部は粘着テープで保護
されているので、腐食液で腐食されることがなく、従っ
て、腐食液中に腐食された金属のバリや塊が混入せず、
良好なエッチングを行うことができるのである。また、
粘着テープの接着力が適度に調節してあるので、剥離す
る際、金属板を変形することもない。
ングを実施する前に、金属板の端部は粘着テープで保護
されているので、腐食液で腐食されることがなく、従っ
て、腐食液中に腐食された金属のバリや塊が混入せず、
良好なエッチングを行うことができるのである。また、
粘着テープの接着力が適度に調節してあるので、剥離す
る際、金属板を変形することもない。
【００１２】
【実施例】次に、この発明のフォトエッチング方法につ
いて実施例により説明する。図１は、この発明方法で、
エッチングを実施する前に、鋼板の端部に粘着テープを
貼着した状態を説明するための、鋼板の断面図である。
１は鋼板、２は鋼板１の上に塗布したフォトレジストで
ある。３は写真乾板にて焼き付け、現像して得られたシ
ャドウマスクパターンで、この部分はフォトレジスト２
が溶解、除去されている。４は粘着テープで、鋼板１の
両端部に張りつけてある。
いて実施例により説明する。図１は、この発明方法で、
エッチングを実施する前に、鋼板の端部に粘着テープを
貼着した状態を説明するための、鋼板の断面図である。
１は鋼板、２は鋼板１の上に塗布したフォトレジストで
ある。３は写真乾板にて焼き付け、現像して得られたシ
ャドウマスクパターンで、この部分はフォトレジスト２
が溶解、除去されている。４は粘着テープで、鋼板１の
両端部に張りつけてある。
【００１３】この実施例で使用した粘着テープは、基材
として厚み２３μｍのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム（二村化学（株）製ＦＥ−２０００）を使用し、こ
の片面にアクリル樹脂系粘着剤を塗布、乾燥し、厚さ約
２０μｍの粘着剤層を形成したものである。アクリル樹
脂系粘着剤は、アクリル粘着剤（綜研化学（株）製ＳＫ
−７０２Ｌ）に硬化剤（綜研化学（株）製Ｅ−ＡＸ）を
固形分比１０％となるよう混合して作製した。この粘着
テープの接着力を測定したところ、対ステンレス板１８
０°剥離力が４２０ｇ／２４ｍｍ幅であった。
として厚み２３μｍのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム（二村化学（株）製ＦＥ−２０００）を使用し、こ
の片面にアクリル樹脂系粘着剤を塗布、乾燥し、厚さ約
２０μｍの粘着剤層を形成したものである。アクリル樹
脂系粘着剤は、アクリル粘着剤（綜研化学（株）製ＳＫ
−７０２Ｌ）に硬化剤（綜研化学（株）製Ｅ−ＡＸ）を
固形分比１０％となるよう混合して作製した。この粘着
テープの接着力を測定したところ、対ステンレス板１８
０°剥離力が４２０ｇ／２４ｍｍ幅であった。
【００１４】この実施例における、エッチング製品はブ
ラウン管用高精細度１４型のシャドウマスクである。金
属板１として厚み０．１０ｍｍのアルミキルド鋼を使用
し、そのロール状に捲かれた長尺の鋼板に、両端１０ｍ
ｍを残して、フォトレジスト２を両面に塗布した。乾燥
後、必要な写真パターンを、写真乾板にて両面に焼き付
け、現像して、アルミキルド鋼板１の上にシャドウマス
クパターン３を形成した。そのパターン３は、１００μ
ｍの穿孔径（貫通孔径）と２５０μｍの大孔径（電子ビ
ーム透過側の孔）とを持つラウンドドットを、０．３ｍ
ｍピッチで配置したものである。
ラウン管用高精細度１４型のシャドウマスクである。金
属板１として厚み０．１０ｍｍのアルミキルド鋼を使用
し、そのロール状に捲かれた長尺の鋼板に、両端１０ｍ
ｍを残して、フォトレジスト２を両面に塗布した。乾燥
後、必要な写真パターンを、写真乾板にて両面に焼き付
け、現像して、アルミキルド鋼板１の上にシャドウマス
クパターン３を形成した。そのパターン３は、１００μ
ｍの穿孔径（貫通孔径）と２５０μｍの大孔径（電子ビ
ーム透過側の孔）とを持つラウンドドットを、０．３ｍ
ｍピッチで配置したものである。
【００１５】ここで、上述の粘着テープ４を１５ｍｍ幅
に切り、鋼板１の端のフォトレジストが塗布してない部
分に、両面、両端ともに貼り着けた。フォトレジスト２
を塗布してある部分にも、約５ｍｍ重ね合わせた。図１
はこの状態を示したものである。次に、塩化第二鉄と塩
酸からなる腐食液をスプレー噴射し、エッチング加工を
実施した。これを水洗した後、粘着テープ４を剥がし、
温アルカリを主体とした離型剤に浸して、フォトレジス
ト２を除去した。
に切り、鋼板１の端のフォトレジストが塗布してない部
分に、両面、両端ともに貼り着けた。フォトレジスト２
を塗布してある部分にも、約５ｍｍ重ね合わせた。図１
はこの状態を示したものである。次に、塩化第二鉄と塩
酸からなる腐食液をスプレー噴射し、エッチング加工を
実施した。これを水洗した後、粘着テープ４を剥がし、
温アルカリを主体とした離型剤に浸して、フォトレジス
ト２を除去した。
【００１６】このようにして、作製したシャドウマスク
と、粘着テープを使用しないで作製した従来のシャドウ
マスクを、それぞれ１０００枚づつ、通常よりも入念に
検査したところ、表１の通りであった。
と、粘着テープを使用しないで作製した従来のシャドウ
マスクを、それぞれ１０００枚づつ、通常よりも入念に
検査したところ、表１の通りであった。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のフォトエ
ッチング方法によれば、鋼板の両端部を粘着テープで保
護しているので、腐食液を汚濁することなく、良好なエ
ッチングを行うことができ、しかも、粘着テープを剥が
す際にも、鋼板の変形を起こすことはなく、高い製品の
歩留りを得ることができる。
ッチング方法によれば、鋼板の両端部を粘着テープで保
護しているので、腐食液を汚濁することなく、良好なエ
ッチングを行うことができ、しかも、粘着テープを剥が
す際にも、鋼板の変形を起こすことはなく、高い製品の
歩留りを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明方法で、エッチングを実施す
る前に、鋼板の端部に粘着テープを貼着した状態を説明
するための、鋼板の断面図である。
る前に、鋼板の端部に粘着テープを貼着した状態を説明
するための、鋼板の断面図である。
１ 金属板 ２ フォトレジスト ３ シャドウマスクパターン ４ 粘着テープ
Claims (2)
- 【請求項１】 金属板のフォトエッチング工程におい
て、金属板にフォトレジストを塗布し、写真パターンを
露光し、現像した後、金属板のフォトレジストが施され
ていない端部に、耐酸、耐水性の合成樹脂フィルムを基
材とした粘着テープを貼着し、エッチングを実施し、そ
の後、粘着テープを剥がし、フォトレジストを剥離する
ことを特徴とするフォトエッチング方法 - 【請求項２】 使用する粘着テープの接着力が、対ステ
ンレス板１８０°剥離力で２００〜６００ｇ／２４ｍｍ
幅である、請求項１に記載のフォトエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16446893A JPH0718471A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | フォトエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16446893A JPH0718471A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | フォトエッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0718471A true JPH0718471A (ja) | 1995-01-20 |
Family
ID=15793758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16446893A Pending JPH0718471A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | フォトエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718471A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008041511A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Toyo Aluminium Kk | 集電体用金属箔の製造方法 |
-
1993
- 1993-07-02 JP JP16446893A patent/JPH0718471A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008041511A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Toyo Aluminium Kk | 集電体用金属箔の製造方法 |
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