JPH07181496A - 液晶表示装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】液晶パネルの高精細化を促進し、製造時の歩留
りを向上させて液晶パネルの単価を下げ、また、大画面
液晶パネルの製造も容易にする。 【構成】配向膜１３を接触させた状態でラビングローラ
３を回転させると、配向膜１３は、ＴＭＴプラズマ重合
膜６ｄにて被覆されたラビング布６によって擦られてラ
ビング処理が施される。ここで、ＴＭＴプラズマ重合膜
６ｄは、導電性を有し、かつローラ本体５及びローラ回
転軸５ａを介してアースされているため、ラビング布６
と配向膜１３との摩擦により生じた静電気は、ＴＭＴプ
ラズマ重合膜６ｄ、ローラ本体５及びローラ回転軸５ａ
を通って直ちにリークされ、静電気によるＴＦＴの破壊
が完全に防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、一般的には、基板にラ
ビング処理を施す液晶表示装置の製造装置に係り、詳し
くはラビング時に発生する静電気をリークさせるものに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＴＦＴ駆動方式によってスイ
ッチングを行うアクティブマトリクス型液晶表示装置
（以下、“ＡＭ−ＬＣＤ”とする）にあっては、ＴＦＴ
保護のために静電気の発生を防止する必要があった。

【０００３】特に、液晶パネル基板の配向膜にラビング
処理を施すラビング工程においては、ラビング布と配向
膜との摩擦によって静電気が発生し易いことから種々の
対策が取られていた。その対策としては、 液晶パネル基板をアースする方法、具体的には、液
晶パネル基板のＴＦＴソースライン及びゲートラインの
それぞれにアース回路を接続して液晶パネル基板を除電
する方法、 作業者をアースする方法、具体的には、作業者にア
ース専用のバンドを装着させる方法や、作業者の足元に
除電マットを敷く方法など、 機械装置をアースする方法 ＬＣＤ表示パネルを製造する現場の湿度を適切に制
御する方法、 ラビングローラ近傍に除電機を設置して、空中への
除電を促進させる方法、 Ｌａｒｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔｔ法（以下、
“ＬＢ法”とする）によってラビングを行わずに配向処
理する方法、等がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のよう
に液晶パネル自体を除電する方法では、発生した静電気
がアース回路からリークするまでにＴＦＴを破壊してし
まうという問題があった。また、オンパネル駆動系のよ
うにゲート、ソースと電源との間にシフトレジスタを設
ける場合にはアース回路の設置自体が困難であり、上記
方法の使用ができないという問題があった。

【０００５】また、上記及びのように作業者や機械
装置をアースする方法では、これらの作業者や機械装置
を原因とする液晶パネルの帯電はある程度は防止できる
ものの、ラビング工程においては液晶パネル自体が静電
気を発生させるため役に立たなかった。

【０００６】さらに、上記のように湿度を制御する方
法では、湿度が低いと除電効果はあまり期待できず、ま
た湿度が高いと、除電効果はある程度向上されるものの
他の問題、すなわち、配向膜が吸湿して液晶層での電圧
保持率が低下し、画質が劣化してしまうという問題があ
った。

【０００７】またさらに、上記のように除電機を使用
する方法では、上記の場合と同様に、発生した静電気
がリークするまでにＴＦＴを破壊してしまうという問題
があった。

【０００８】一方、ＬＢ法による配向処理では、配向膜
成膜のための処理に時間がかかって生産効率が低下し、
また、液晶配向に必要な数層〜数十層の累積を行う場合
に逆に配向の乱れる箇所が発生してしまうという問題が
あった。

【０００９】以上述べたように、従来より用いられてい
る除電方法では、ラビング処理中における静電気の発生
を有効に防止できずＴＦＴの破壊を完全には防止できな
かったため、歩留りが低下して液晶パネルの単価が上が
るという問題があった。

【００１０】そこで、本発明は、ラビング処理中におけ
る静電気の発生を有効に防止することにより、ＴＦＴの
破壊を防止し歩留りを向上させる、液晶表示装置の製造
装置を提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みなされたものであって、接地されると共に回転駆動さ
れる回転体と、該回転体の外周面に貼付される起毛状部
材と、該起毛状部材の表面を被覆する導電性部材と、該
導電性部材と前記回転体とを導通させる導通部材と、を
備え、かつ、前記導電性部材に基板を接触させた状態で
前記回転体を回転させることによりラビングすると共
に、ラビング時に生じた静電気を前記導電性部材、前記
導通部材及び前記回転体を介してリークさせる、ことを
特徴とする。

【００１２】

【作用】以上構成に基づき、前記起毛状部材の表面を被
覆する導電性部材に基板を接触させた状態で前記回転体
を回転させると、該基板は前記導電性部材及び前記起毛
状部材によって擦られてラビング処理が施される。ま
た、このときに摩擦により生じた静電気は前記導電性部
材、前記導通部材及び前記回転体を介してリークされ
る。

【００１３】

【実施例】以下、図面に沿って、本発明の実施例につい
て説明する。

【００１４】本実施例に用いるラビング装置（製造装
置）１は、図１に示すように、基板をセットするラビン
グステージ２を備えており、このラビングステージ２の
上方には、回転自在に支持されたラビングローラ３が配
置されている。このラビングローラ３は、ローラ回転軸
５ａを有するローラ本体（回転体）５を備えており、ロ
ーラ回転軸５ａは不図示のラビング機本体によって回転
自在に支持されると共に、モータＭによって回転駆動さ
れるように構成されている。

【００１５】また、このローラ本体５の外周全面にはラ
ビング布６が貼付されている。このラビング布６は、図
２に詳示するように、ローラ本体５の外周全面に貼付さ
れたラビング布基材６ａを有しており、このラビング布
基材６ａ上には粘着剤層６ｂが塗布され、該粘着剤層６
ｂ中に多数のナイロン性フィラメント（起毛状部材）６
ｃ，…が植毛されて形成されている。そして、これら粘
着剤層６ｂ及びナイロン性フィラメント６ｃ，…の表面
には、導電性に優れた低抵抗のＴＭＴ（テトラメチルス
ズ）プラズマ重合膜（導電性部材）６ｄが６００Åの厚
さに形成されている。また、ラビングローラ３の両端部
においては、図３に示すように、ラビング布６（すなわ
ち、プラズマ重合膜６ｄ）の端部とローラ本体５の端部
との間に導電性粘着テープ（導通部材）７が貼付されて
おり、ラビング布６とローラ本体５との導通が図られて
いる。なお、上述したローラ回転軸５ａはアースされて
いるため、ローラ本体５及びラビング布６もアースされ
ることとなる。また、導電性粘着テープ７としては、カ
ーボンブラックコーティングフィルム、金蒸着フィル
ム、カーボンブラック含有ポリエチレンフィルム、メタ
ルテープ等を用いることができる。

【００１６】なお、図１中の符号１０は、ラビング処理
の施される液晶パネルを示しており、符号１１はＬＣＤ
表示パネルの基板を、符号１２は基板上に作成したＴＦ
Ｔ及び透明電極等で形成されるデバイス層を、符号１３
はデバイス層上に形成した配向膜を、それぞれ示してい
る。

【００１７】ついで、上記ラビング装置１によってラビ
ング処理を施す際の作用について説明する。

【００１８】いま、ラビングステージ２の上に液晶パネ
ル１０をセットしてラビングローラ３を回転駆動する
と、ＴＦＴ基板上の配向膜１３は、多数のフィラメント
６ｃ，…によって擦られて配向処理がなされる。ここ
で、フィラメント６ｃ，…と配向膜１３との摩擦により
静電気が生ずると、該静電気は、ＴＭＴプラズマ重合膜
６ｄ、導電性粘着テープ７、ローラ本体５及びローラ回
転軸５ａを介してリークされる。

【００１９】ついで、本実施例の効果について説明す
る。

【００２０】本実施例においては、ラビング処理を行う
ラビングローラ自体をアースしているため、ラビングロ
ーラ３との摩擦により発生した静電気は直にリークさ
れ、また、他の原因により液晶パネル上に発生した静電
気も同様に、ラビングローラ３を介してリークされる。
したがって、ＴＦＴの破壊を完全に防止でき、その結
果、液晶パネルの高精細化が促進され、液晶パネル製造
時の歩留りを向上させて液晶パネルの単価を下げること
ができ、また、大画面液晶パネルの製造も容易になると
いう種々の効果を奏する。なお、ＴＭＴプラズマ重合膜
６ｄはナイロン性フィラメント６ｃ，…の先端形状及び
腰の強さを変化させないため、この重合膜の塗布により
ラビング効果が低下することもない。

【００２１】ところで、本発明者は本実施例の効果を確
かめるための実験を行った。液晶パネルとしては、０．
７インチ、３０万画素数のＡＭ−ＬＣＤ用ＴＦＴ基板上
にポリイミド系配向膜（厚さ５００Å）を形成したもの
を用い、また、ラビングローラは、押し込み量を０．３
ｍｍとし、回転数を１０００ｒ．ｐ．ｍとした。さら
に、液晶パネルの移動条件は、移動速度１０ｍｍ／ｓ、
移動回数２往復とした。そして、このようにラビングを
行った基板を、同様にラビングを行ったカラーフィルタ
と５μｍのギャップを形成するように組み立て、ＴＮ型
液晶を注入後その画質を評価した。その結果、全く欠陥
のないハイコントラストな画像が得られた。

【００２２】これに対して、導電処理を行わないラビン
グローラ（ナイロン繊維の植毛で作成されたラビング布
をローラ本体に貼付しただけのもの）を用いて同様の実
験を行ったところ、明らかにＴＦＴの破壊が原因とみら
れる線状欠陥や点状欠陥が多数確認され、またコントラ
ストも低レベルであった。

【００２３】なお、上述実施例においてはＴＭＴプラズ
マ重合膜６ｄを被覆させたが、もちろんこれに限る必要
はなく、Ti、Au、カーボン等をスパッタ蒸着させてもよ
く、また、フェロセン、メタルフタロシアニン、金属ア
セチルアセトン化合物等を出発原料とした導電性プラズ
マ重合膜生成のような低温真空プロセスを用いても良
く、帯電防止剤（非イオン系界面活性剤、カチオン系界
面活性剤、両性界面活性剤を主成分としたもの）による
含浸処理等の低温処理を施してもよく、さらに、かかる
帯電防止剤をスプレー塗布してもよい。本発明者は、上
述実施例のラビングローラ３にカチオン系界面活性剤の
メタノール溶液を吹き付けて導電性皮膜（導電性部材）
を形成し、かかるラビングローラ３にてラビングを行っ
た液晶パネルについて画質評価を行ったところ、全く欠
陥が発見できず、ハイコントラストな表示品位が得られ
た。

【００２４】また、上述実施例においては、ラビング布
６とローラ本体５との導通を導電性粘着テープ７を用い
て行ったが、もちろんこれに限る必要はなく、ラビング
布基材６ａのローラ本体５への接着を導電性ペースト、
導電性粘接着剤（例えば、銀ペースト等の一液系エポキ
シペーストその他全ての類似系）等により行って導通を
図るようにしてもよい。この場合には、ラビング布６の
端部とローラ本体５の端部との固定は非導電性のテープ
によって行えば足りる。

【００２５】さらに、上記実施例は単独で用いる必要は
なく、従来例にて説明した他の除電方法と併用してもよ
い。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
ラビング時に基板と接触する導電性部材は、導通部材及
び回転体を介して接地されているため、ラビング時の摩
擦により発生した静電気や、その他の原因により基板上
に発生した静電気は、これらの導電性部材、導通部材及
び回転体を介して直にリークされるため、ＴＦＴの破壊
を完全に防止できる。したがって、本発明に係る製造装
置にてラビング処理の施された液晶表示装置において
は、高精細化が促進され、製造時の歩留りを向上させて
単価を下げることができ、また、大画面液晶表示装置の
製造も容易になるという種々の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例としてのラビング装置の構造を示す模
式図。

【図２】ラビング布の詳細構造を示す部分拡大図。

【図３】ラビング装置の構造を示す断面図。

【符号の説明】

１ 液晶表示装置の製造装置（ラビング装置） ３ ラビングローラ ５ 回転体（ローラ本体） ５ａ ローラ回転軸 ６ ラビング布 ６ａ ラビング布基材 ６ｃ，… 起毛状部材（ナイロン性フィラメント） ６ｄ 導電性部材（ＴＭＴプラズマ重合膜） ７ 導通部材（導電性粘着テープ） １０ 液晶表示装置（液晶パネル） Ｍ モータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 接地されると共に回転駆動される回転体
   と、 該回転体の外周面に貼付される起毛状部材と、 該起毛状部材の表面を被覆する導電性部材と、 該導電性部材と前記回転体とを導通させる導通部材と、
   を備え、かつ、 前記導電性部材に基板を接触させた状態で前記回転体を
   回転させることによりラビングすると共に、ラビング時
   に生じた静電気を前記導電性部材、前記導通部材及び前
   記回転体を介してリークさせる、 ことを特徴とする液晶表示装置の製造装置。