JPH071767B2 - 半導体保持用ヘツドの駆動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体ペレツトを保持するタレツトヘツドを
駆動する装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は例えば特開昭59-220944号公報に示されたもの
の主要部に上下駆動機構を付加した従来の半導体保持用
ヘツドの駆動装置を示す縦断面図である。

図中，（１）はベース，（２）はベース（１）に直線軸
受（３）を介して上下方向（矢印Ｂ方向）への移動可能
に保持されたケーシング，（４）はケーシング（２）に
固定された回転駆動用電動機，（５）は外周に半導体ペ
レツト（図示しない）を吸着保持するコレツト（６）が
装着されたタレツトヘツドで，その軸（７）は軸受
（８）を介してケーシング（２）に支持され，軸継手
（９）を介して回転駆動用電動機（４）に連結されてい
る。（10）はベース（１）に固定された上下駆動用電動
機，（11）は両端がベース（１）に支持されたボールね
じで，ケーシング（２）と螺合している。（12）は上下
駆動用電動機（10）の回転をボールねじ（11）に伝達す
る歯付ベルトである。

従来の半導体保持用ヘツドの駆動装置は上記のように構
成され，回転駆動用電動機（４）が所定量回転するとタ
レツトヘツド（５）は矢印Ａに示すように回動し，コレ
ツト（６）も回動する。コレツト（６）の先端は真空吸
引による吸着力を発生し，上記半導体ペレツトを吸着す
る。このように，タレツトヘツド（５）の回動によりそ
の外周のコレツト（６）を選択交換する機能を果たす。

一方，上下駆動用電動機（10）が回転すると，ベルト
（12）を介してボールねじ（11）は回転し，これに螺合
したケーシング（２）は矢印Ｂに示すように上下方向へ
移動し，タレツトヘツド（５）も上下動する。このよう
に，タレツトヘツド（５）の上下動により，半導体ペレ
ツトを基板（図示しない）に搭載して接着する機能を果
たす。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の半導体保持用ヘツドの駆動装置で
は，ボールねじ（11）に螺合するケーシング（２）を上
下方向へ移動するように構成されているため，上下駆動
用電動機（10）は回転駆動用電動機（４）を含むケーシ
ング（２）全体を駆動する必要があり，上下駆動用電動
機（10）の容量が大になり，装置全体が大形になるとい
う問題点がある。

この発明は上記問題点を解決するためになされたもの
で，上下駆動用電動機の容量が大にならず，軽量かつ小
形で応答性を良くすることができるようにした半導体保
持用ヘツドの駆動装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る半導体保持用ヘツドの駆動装置は，回転
駆動用電動機及び上下駆動用電動機を固定部に設置し，
ペレツトを吸着するコレツトが装着されたタレツトヘツ
ドを支持体で軸支し，回転駆動用電動機とタレツトヘツ
ドを自在継手で連結し，上下駆動用電動機と支持体を固
定部に枢持されたリンク機構で結合し，かつリンク機構
と支持体とをローラ及び弾性体を介して結合したもので
ある。

〔作用〕

この発明においては，タレツトヘツドは回転駆動用電動
機と自在継手で連結されているため，回転駆動用電動機
の回転はタレツトヘツドに伝達される。また，タレツト
ヘツドが軸支された支持体は上下駆動用電動機とローラ
及び弾性体を介してリンク機構で結合されているため，
上下駆動用電動機の回転は上下動に変換されてタレツト
ヘツドに伝達される。

〔実施例〕 第１図及び第２図はこの発明の一実施例を示す図で，第
１図は側面図，第２図は縦断面図であり，（４）〜
（８），（10），（12）は上記従来装置と同様のもので
ある。

図中，（15）はＬ字状の台部（15a）と筒状の胴部（15
b）を有するベースで，回転駆動用電動機（４）と上下
駆動用電動機（10）が固定されている。（16）はタレツ
トヘツド（５）の軸（７）を軸受（８）を介して軸支し
直線軸受（17）を介して上下方向への移動可能に支持さ
れた支持体，（18），（19）はそれぞれ軸（７）及び回
転駆動用電動機（４）に結合され相互に軸（20）により
連結された自在継手で，軸（７）と回転駆動用電動機
（４）の軸の位置が同一直線上に配置されていなくても
回転の伝達を可能にするものである。（21）は台部（15
a）に枢持され歯付ベルト（12）を介して上下駆動用電
動機（10）で駆動される円板，（22）は一端がプーリ
（21）の周縁に枢着されたロツド，（23）はＬ字状に形
成されその角部がピン（24）で胴部（15b）に枢持され
一端がロツド（22）の他端に枢着されたレバーで，その
他端には支持体（16）に接触係合するローラ（25）が装
着されている。（26）はレバー（25）の他端と支持体
（16）間に張設された引きばねである。

上記のように構成された半導体保持用ヘツドの駆動装置
においては，回転駆動用電動機（４）が所定量回転する
と，自在継手（19），軸（20）及び自在継手（18）を介
して軸（７）は回動しタレツトヘツド（５）は回動す
る。

一方，上下駆動用電動機（10）が第１図で時計方向へ回
転すると，プーリ（21）も同方向へ回動し，ロツド（2
2）は左方へ移動する。レバー（23）はピン（24）を中
心にして時計方向へ回動し，ローラ（25）は支持体（1
6）を上方へ押す。これで，支持体（16）は軸受（17）
を介して上方へ移動し，タレツトヘツド（５）も上昇す
る。このとき，タレツトヘツド（５）の軸（７）と回転
駆動用電動機（４）の軸は同一直線上に配置されなくな
るが，自在継手（18），（19）の作用により，回転駆動
用電動機（４）の回転は支障なくタレツトヘツド（５）
に伝達される。

上下駆動用電動機（10）が反時計方向へ回転すると，上
記と逆にロツド（22）は右方へ移動しレバー（23）は反
時計方向へ回動する。これで，レバー（23）の他端が下
降すると，引きばね（26）を介して支持体（16）は下方
へ移動し，タレツトヘツド（５）も下降する。

このように，回転駆動用電動機（４）をベース（15）に
固定し，支持体（16）から先の部分だけをロツド（22）
及びレバー（23）からなるリンク機構で上下方向へ移動
するように構成されているため，上下駆動用電動機（1
0）は小容量のものでよいことになる。

〔発明の効果〕

以上説明したとおりこの発明では，回転駆動用電動機及
び上下駆動用電動機を固定部に設置し，タレツトヘツド
を支持体で軸支し，回転駆動用電動機とタレツトヘツド
を自在継手で連結し，上下駆動用電動機と支持体を固定
部に枢持されたリンク機構で結合したので，上下駆動用
電動機の容量を小さくでき，装置を軽量かつ小形に構成
でき，応答性を良くすることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による半導体保持用ヘツドの駆動装置
の一実施例を示す側面図，第２図は第１図の縦断面図，
第３図は従来の半導体保持用ヘツドの駆動践置を示す縦
断面図である。 図中，（４）は回転駆動用電動機，（５）はタレツトヘ
ツド，（６）はコレツト，（10）は上下駆動用電動機，
（15）は固定部（ヘース），（16）は支持体，（18），
（19）は自在継手，（22）はリンク機構（ロツド），
（23）はリンク機構（レバー），（25）はローラ，（2
6）は弾性体（引きばね）である。 なお，図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ペレツトを吸着するコレツトが外周に装着
   されたタレツトヘツドを回転駆動用電動機で回動し，上
   下駆動用電動機で上下方向へ移動させるものにおいて，
   上記回転駆動用及び上下駆動用電動機を固定部に設置
   し，上記タレツトヘツドを軸支する支持体を設け，上記
   回転駆動用電動機と上記タレツトヘツドを連結しこれら
   の軸位置に関係なく上記回転駆動用電動機の回転を上記
   タレツトヘツドに伝達する自在継手を設け，中間部が上
   記固定部に枢持され一端が上記上下駆動用電動機に結合
   され他端が上記支持体に結合部材を介して結合されたリ
   ンク機構を備え，上記結合部材を，上記リンク機構の他
   端に枢持され上記支持体と当接するローラと，上記リン
   ク機構の他端と上記支持体とを結合する弾性体とで構成
   したことを特徴とする半導体保持用ヘツドの駆動装置。