JPH07169732A - ウエハ洗浄装置 - Google Patents
ウエハ洗浄装置Info
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- JPH07169732A JPH07169732A JP34182793A JP34182793A JPH07169732A JP H07169732 A JPH07169732 A JP H07169732A JP 34182793 A JP34182793 A JP 34182793A JP 34182793 A JP34182793 A JP 34182793A JP H07169732 A JPH07169732 A JP H07169732A
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- JP
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- wafer
- rotating body
- arms
- rod
- cleaning
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハの裏面にも種々の洗浄手段が適用でき
るウエハ洗浄装置を提供する。 【構成】 円筒状回転体３に回転自在に支持されたウエ
ハ１の外周部を把持する棒状のアーム２と、この棒状ア
ームに対向する円筒状回転体の面にこの棒状アームを非
接触で磁気吸引する電磁石２２と、さらに上記電磁石を
励磁する電流を固定体４から円筒状回転体に非接触で送
電する非接触トランス２４ａ，２４ｂと、棒状アームと
円筒状回転体とを結合する弾性部材２５と、回転中に遠
心力によりアームのウエハ保持力を発生する棒状アーム
に設置された質量２６と、該回転体を非接触浮上保持す
る磁気軸受と、前記回転体に回転力を与える電動機１２
と、ウエハの表面は外側から裏面は前記回転体の内側か
ら洗浄する洗浄手段とを設け、前記ウエハの表裏両面を
同時洗浄する。
るウエハ洗浄装置を提供する。 【構成】 円筒状回転体３に回転自在に支持されたウエ
ハ１の外周部を把持する棒状のアーム２と、この棒状ア
ームに対向する円筒状回転体の面にこの棒状アームを非
接触で磁気吸引する電磁石２２と、さらに上記電磁石を
励磁する電流を固定体４から円筒状回転体に非接触で送
電する非接触トランス２４ａ，２４ｂと、棒状アームと
円筒状回転体とを結合する弾性部材２５と、回転中に遠
心力によりアームのウエハ保持力を発生する棒状アーム
に設置された質量２６と、該回転体を非接触浮上保持す
る磁気軸受と、前記回転体に回転力を与える電動機１２
と、ウエハの表面は外側から裏面は前記回転体の内側か
ら洗浄する洗浄手段とを設け、前記ウエハの表裏両面を
同時洗浄する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体を製造するための
基板、即ちウエハをジェット液流、ブラシ等により表裏
両面を同時に洗浄するウエハ洗浄装置に関するものであ
る。
基板、即ちウエハをジェット液流、ブラシ等により表裏
両面を同時に洗浄するウエハ洗浄装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハの表裏両面を同時に洗浄す
るウエハ洗浄装置は、図２に示すように構成されてい
た。図２において、被洗浄物であるウエハ２１の外周部
をチャック２２により保持し、電動機２３を適当な回転
数で回転させながらウエハ２１の上下両面にジェット液
流２４ａ，２５ａをノズル２４，２５で噴射させて洗浄
するか、又はブラシ２６でウエハ２１の表面を洗浄して
いる。このときウエハ２１の裏面に関しては電動機２３
の回転軸が妨げとなり、各種の洗浄方法が適用できず、
チャック２２の支柱２２ａの間隙よりジェット液流２５
ａをウエハ２１の裏面に当たる程度の洗浄しか行えなか
った。
るウエハ洗浄装置は、図２に示すように構成されてい
た。図２において、被洗浄物であるウエハ２１の外周部
をチャック２２により保持し、電動機２３を適当な回転
数で回転させながらウエハ２１の上下両面にジェット液
流２４ａ，２５ａをノズル２４，２５で噴射させて洗浄
するか、又はブラシ２６でウエハ２１の表面を洗浄して
いる。このときウエハ２１の裏面に関しては電動機２３
の回転軸が妨げとなり、各種の洗浄方法が適用できず、
チャック２２の支柱２２ａの間隙よりジェット液流２５
ａをウエハ２１の裏面に当たる程度の洗浄しか行えなか
った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の洗浄装置においては、電動機２３の回転軸がウエハ２
１の裏側に存在するため、ウエハ２１の裏面の洗浄を例
えばブラシ等を用いて十分に行うことが困難であった。
の洗浄装置においては、電動機２３の回転軸がウエハ２
１の裏側に存在するため、ウエハ２１の裏面の洗浄を例
えばブラシ等を用いて十分に行うことが困難であった。
【０００４】本発明は上述の点に鑑みて為されたもの
で、ウエハの裏面にも種々の洗浄手段が適用できるウエ
ハ洗浄装置を提供することを目的とする。
で、ウエハの裏面にも種々の洗浄手段が適用できるウエ
ハ洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明のウエハ洗浄装置は、円筒状回転体に回転自在に
支持されたウエハの外周部を把持する棒状のアームと、
この棒状アームに対向する円筒状回転体の面にこの棒状
アームを非接触で磁気吸引する電磁石と、さらに上記電
磁石を励磁する電流を固定体から円筒状回転体に非接触
で送電する非接触トランスと、棒状アームと円筒状回転
体とを結合する弾性部材と、回転中に遠心力によりアー
ムのウエハ保持力を発生する棒状アームに設置された質
量と、該回転体を非接触浮上保持する磁気軸受と、前記
回転体に回転力を与える電動機と、ウエハの表面は外側
から裏面は前記回転体の内側から洗浄する洗浄手段とを
設け、前記ウエハの表裏両面を同時洗浄することを特徴
とするものである。
本発明のウエハ洗浄装置は、円筒状回転体に回転自在に
支持されたウエハの外周部を把持する棒状のアームと、
この棒状アームに対向する円筒状回転体の面にこの棒状
アームを非接触で磁気吸引する電磁石と、さらに上記電
磁石を励磁する電流を固定体から円筒状回転体に非接触
で送電する非接触トランスと、棒状アームと円筒状回転
体とを結合する弾性部材と、回転中に遠心力によりアー
ムのウエハ保持力を発生する棒状アームに設置された質
量と、該回転体を非接触浮上保持する磁気軸受と、前記
回転体に回転力を与える電動機と、ウエハの表面は外側
から裏面は前記回転体の内側から洗浄する洗浄手段とを
設け、前記ウエハの表裏両面を同時洗浄することを特徴
とするものである。
【０００６】
【作用】洗浄装置を上記の如く構成することにより、ウ
エハは中心部に回転軸を持たない円筒状の回転体上に設
置された棒状のアームに把持され、ウエハ把持アームは
非接触トランス、電磁石を介して開閉駆動され、ウエハ
の脱着を行え、さらに、回転中には質量によりウエハに
対して保持力が発生する。又、ウエハの表裏両面、特に
裏面を円筒状の回転体の内側から洗浄できるため、表裏
両面同時に最適な洗浄手段を用いて洗浄することが可能
となる。
エハは中心部に回転軸を持たない円筒状の回転体上に設
置された棒状のアームに把持され、ウエハ把持アームは
非接触トランス、電磁石を介して開閉駆動され、ウエハ
の脱着を行え、さらに、回転中には質量によりウエハに
対して保持力が発生する。又、ウエハの表裏両面、特に
裏面を円筒状の回転体の内側から洗浄できるため、表裏
両面同時に最適な洗浄手段を用いて洗浄することが可能
となる。
【０００７】また、回転体を磁気軸受により非接触で支
承するから、通常の接触型軸受を用いる場合に問題とな
る発塵による洗浄中の汚染も生じないという利点も得ら
れる。
承するから、通常の接触型軸受を用いる場合に問題とな
る発塵による洗浄中の汚染も生じないという利点も得ら
れる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、本発明のウエハ洗浄装置の構成を示す
図である。ウエハ１は円筒状の回転体３の上に複数個設
置された棒状アーム２の先端部によりその外周部を把持
されるようになっている。
明する。図１は、本発明のウエハ洗浄装置の構成を示す
図である。ウエハ１は円筒状の回転体３の上に複数個設
置された棒状アーム２の先端部によりその外周部を把持
されるようになっている。
【０００９】棒状アーム２は、その中央の支持部２１で
円筒状回転体３と回転自在に接合している。棒状アーム
２は、回転体３に設けた電磁石２２と棒状アーム２に該
電磁石２２に対向して設けた磁性材継鉄２３の間に作用
する電磁力で棒状アーム２の先端部を開き、ウエハ１を
アーム２から脱着する。
円筒状回転体３と回転自在に接合している。棒状アーム
２は、回転体３に設けた電磁石２２と棒状アーム２に該
電磁石２２に対向して設けた磁性材継鉄２３の間に作用
する電磁力で棒状アーム２の先端部を開き、ウエハ１を
アーム２から脱着する。
【００１０】回転体３と固定体４に設けた一対の非接触
トランス２４ａ，２４ｂにより、電磁誘導作用で、電磁
石２２の励磁電流を固定体４から回転体３へ非接触で伝
える。棒状アーム下端部と回転体３とを結合するバネ材
等の弾性部材２５の復元力により、静止中にウエハ１が
アーム２から脱落することを防止するように把持力が与
えられる。アーム２の下端に付設した質量２６の遠心力
作用により、回転中にウエハ１がアーム２から脱落する
ことを防止するように把持力が与えられる。
トランス２４ａ，２４ｂにより、電磁誘導作用で、電磁
石２２の励磁電流を固定体４から回転体３へ非接触で伝
える。棒状アーム下端部と回転体３とを結合するバネ材
等の弾性部材２５の復元力により、静止中にウエハ１が
アーム２から脱落することを防止するように把持力が与
えられる。アーム２の下端に付設した質量２６の遠心力
作用により、回転中にウエハ１がアーム２から脱落する
ことを防止するように把持力が与えられる。
【００１１】回転体３は同じく同心の円筒状の固定体４
に、ラジアル磁気軸受５，６とスラスト磁気軸受７，８
で浮上保持されるようになっている。ラジアル磁気軸受
５，６は、前記回転体３の外周部に設けられた回転側の
磁性体部材５ｂ，６ｂと前記固定体４の内周部に該磁性
体部材５ｂ，６ｂに対向して設けられた固定側の電磁コ
イル５ａ，６ａにより構成される。スラスト磁気軸受
７，８は前記回転体３の上下に設けられたリング状の回
転側の磁性体部材７ｂ，８ｂと前記固定体４の上下に磁
性体部材７ｂ，８ｂに対向して設けられた固定側の電磁
コイル７ａ，８ａにより構成されている。ラジアル磁気
軸受５とラジアル磁気軸受６の間には電動機１２が配置
されている。該電動機１２は回転体３の外周部に設けら
れたロータ磁性体１２ｂと固定体４の外周部に該ロータ
磁性体１２ｂに対向して配置されたステータコイル１２
ａからなる。
に、ラジアル磁気軸受５，６とスラスト磁気軸受７，８
で浮上保持されるようになっている。ラジアル磁気軸受
５，６は、前記回転体３の外周部に設けられた回転側の
磁性体部材５ｂ，６ｂと前記固定体４の内周部に該磁性
体部材５ｂ，６ｂに対向して設けられた固定側の電磁コ
イル５ａ，６ａにより構成される。スラスト磁気軸受
７，８は前記回転体３の上下に設けられたリング状の回
転側の磁性体部材７ｂ，８ｂと前記固定体４の上下に磁
性体部材７ｂ，８ｂに対向して設けられた固定側の電磁
コイル７ａ，８ａにより構成されている。ラジアル磁気
軸受５とラジアル磁気軸受６の間には電動機１２が配置
されている。該電動機１２は回転体３の外周部に設けら
れたロータ磁性体１２ｂと固定体４の外周部に該ロータ
磁性体１２ｂに対向して配置されたステータコイル１２
ａからなる。
【００１２】スラスト磁気軸受７を構成する磁性体部材
７ｂと電磁コイル７ａの間隙及びスラスト磁気軸受８を
構成する磁性体部材８ｂと電磁コイル８ａの間隙はスラ
スト方向間隙センサ９により検出されるようになってい
る。また、ラジアル磁気軸受５を構成する磁性体部材５
ｂと電磁コイル５ａの間隙はラジアル方向間隙センサ１
０で検知され、ラジアル磁気軸受６を構成する磁性体部
材６ｂと電磁コイル６ａの間隙はラジアル方向間隙セン
サ１１で検知されるようになっている。
７ｂと電磁コイル７ａの間隙及びスラスト磁気軸受８を
構成する磁性体部材８ｂと電磁コイル８ａの間隙はスラ
スト方向間隙センサ９により検出されるようになってい
る。また、ラジアル磁気軸受５を構成する磁性体部材５
ｂと電磁コイル５ａの間隙はラジアル方向間隙センサ１
０で検知され、ラジアル磁気軸受６を構成する磁性体部
材６ｂと電磁コイル６ａの間隙はラジアル方向間隙セン
サ１１で検知されるようになっている。
【００１３】外側にはノズル１３と回転ブラシ１４とが
配置されており、回転体３の内側にはノズル１５と回転
ブラシ１６とが配置されている。ウエハ１の表面にはノ
ズル１３からジェット液流１３ａが噴射されるようにな
っており、更に回転ブラシ１４が当接するようになって
いる。また、ウエハ１の裏面にはノズル１５からジェッ
ト液流１５ａが噴射されるようになっており、更に回転
ブラシ１６が当接するようになっている。なお、前記固
定体４は装置の枠体１７内に固定されている。また、符
号１８は汚れた洗浄液等を排出するための排出口であ
る。
配置されており、回転体３の内側にはノズル１５と回転
ブラシ１６とが配置されている。ウエハ１の表面にはノ
ズル１３からジェット液流１３ａが噴射されるようにな
っており、更に回転ブラシ１４が当接するようになって
いる。また、ウエハ１の裏面にはノズル１５からジェッ
ト液流１５ａが噴射されるようになっており、更に回転
ブラシ１６が当接するようになっている。なお、前記固
定体４は装置の枠体１７内に固定されている。また、符
号１８は汚れた洗浄液等を排出するための排出口であ
る。
【００１４】上記構成のウエハ洗浄装置において、スラ
スト方向間隙センサ９の出力信号によりスラスト磁気軸
受７の電磁コイル７ａ及びスラスト磁気軸受８の電磁コ
イル８ａに流れる励磁電流を制御することにより、電磁
コイル７ａと磁性体部材７ｂの間隙及び電磁コイル８ａ
と磁性体部材８ｂの間隙が所定の値に保持される。ま
た、ラジアル方向間隙センサ１０の出力信号によりラジ
アル磁気軸受５の電磁コイル５ａに流れる励磁電流を制
御することにより、該電磁コイル５ａと磁性体部材５ｂ
の間隙が所定の値に保持され、ラジアル方向間隙センサ
１１の出力信号によりラジアル磁気軸受６の電磁コイル
６ａに流れる励磁電流を制御することにより、該電磁コ
イル６ａと磁性体部材６ｂの間隙が所定の値に保持され
る。そして、電動機１２のステータコイル１２ａに駆動
電流を供給することにより、電動機１２はステータ１２
ａが磁性体１２ｂに磁気力を作用させることにより駆動
し、回転体３が回転する。
スト方向間隙センサ９の出力信号によりスラスト磁気軸
受７の電磁コイル７ａ及びスラスト磁気軸受８の電磁コ
イル８ａに流れる励磁電流を制御することにより、電磁
コイル７ａと磁性体部材７ｂの間隙及び電磁コイル８ａ
と磁性体部材８ｂの間隙が所定の値に保持される。ま
た、ラジアル方向間隙センサ１０の出力信号によりラジ
アル磁気軸受５の電磁コイル５ａに流れる励磁電流を制
御することにより、該電磁コイル５ａと磁性体部材５ｂ
の間隙が所定の値に保持され、ラジアル方向間隙センサ
１１の出力信号によりラジアル磁気軸受６の電磁コイル
６ａに流れる励磁電流を制御することにより、該電磁コ
イル６ａと磁性体部材６ｂの間隙が所定の値に保持され
る。そして、電動機１２のステータコイル１２ａに駆動
電流を供給することにより、電動機１２はステータ１２
ａが磁性体１２ｂに磁気力を作用させることにより駆動
し、回転体３が回転する。
【００１５】これにより、ウエハ１の表面はノズル１３
からのジェット液流１３ａと回転ブラシ１４により洗浄
されるとともに、ウエハ１の裏面はノズル１５からのジ
ェット液流１５ａと回転ブラシ１６により洗浄される。
即ち、ウエハ１の表裏両面が同時に洗浄されることにな
る。洗浄後は回転体３の回転速度を高めることによりウ
エハ１の面の水分を遠心力で振り切って乾燥させること
ができる。
からのジェット液流１３ａと回転ブラシ１４により洗浄
されるとともに、ウエハ１の裏面はノズル１５からのジ
ェット液流１５ａと回転ブラシ１６により洗浄される。
即ち、ウエハ１の表裏両面が同時に洗浄されることにな
る。洗浄後は回転体３の回転速度を高めることによりウ
エハ１の面の水分を遠心力で振り切って乾燥させること
ができる。
【００１６】なお、上記実施例では、５軸制御型磁気軸
受を例として挙げており、ラジアル方向間隙センサ１
０，１１とラジアル磁気軸受５，６、スラスト方向間隙
センサ９とスラスト磁気軸受７，８及び電動機１２を図
１に示すような配置とすることにより構成しているが、
磁気軸受及び電動機の構成はこの他にも種々の形式が考
えられ、この例に限定されるものでないことは当然であ
る。
受を例として挙げており、ラジアル方向間隙センサ１
０，１１とラジアル磁気軸受５，６、スラスト方向間隙
センサ９とスラスト磁気軸受７，８及び電動機１２を図
１に示すような配置とすることにより構成しているが、
磁気軸受及び電動機の構成はこの他にも種々の形式が考
えられ、この例に限定されるものでないことは当然であ
る。
【００１７】また、必要に応じて回転体３、固定体４の
表面を金属の薄板で覆って所謂キャンド型とすることに
より、防水、防錆効果を向上させることができる。ま
た、上記実施例では、洗浄手段としてノズルからジェッ
ト液流を噴射される方法とブラシを当接される方法を示
したが、洗浄手段はこれに限定されるものではなく、他
の方法、例えばドライアイス噴流、超音波液流等を適用
することも可能である。
表面を金属の薄板で覆って所謂キャンド型とすることに
より、防水、防錆効果を向上させることができる。ま
た、上記実施例では、洗浄手段としてノズルからジェッ
ト液流を噴射される方法とブラシを当接される方法を示
したが、洗浄手段はこれに限定されるものではなく、他
の方法、例えばドライアイス噴流、超音波液流等を適用
することも可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
下記のような優れた効果が得られる。 （１）ウエハを回転させるための回転軸がウエハの表面
側及び裏面側のいずれにも存在しないから、最適な洗浄
手段を各々の面を洗浄するために用いることができる。 （２）ウエハの回転を磁気軸受を用いた非接触で行うた
め、機械的接触部分の発塵による汚染を防止できる。
又、ウエハ把持アームにより、スムーズなウエハの脱着
を行うことができ、静止時にも回転時にも安定したウエ
ハの把持を行うことができる。
下記のような優れた効果が得られる。 （１）ウエハを回転させるための回転軸がウエハの表面
側及び裏面側のいずれにも存在しないから、最適な洗浄
手段を各々の面を洗浄するために用いることができる。 （２）ウエハの回転を磁気軸受を用いた非接触で行うた
め、機械的接触部分の発塵による汚染を防止できる。
又、ウエハ把持アームにより、スムーズなウエハの脱着
を行うことができ、静止時にも回転時にも安定したウエ
ハの把持を行うことができる。
【図１】本発明の一実施例のウエハ洗浄装置の構成を示
す断面正面図。
す断面正面図。
【図２】従来のウエハ洗浄装置の構成を示す断面正面
図。
図。
１ ウエハ ２ 棒状アーム ３ 回転体 ４ 固定体 ５，６ ラジアル磁気軸受 ７，８ スラスト磁気軸受 ９ スラスト方向間隙センサ １０，１１ ラジアル方向間隙センサ １２ 電動機 １３，１５ ノズル １４，１６ 回転ブラシ ２１ 接合部 ２２ 電磁石 ２３ 磁性材継鉄 ２４ａ，２４ｂ 非接触トランス ２５ 弾性部材 ２６ 附加質量
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒状回転体に回転自在に支持されたウ
エハの外周部を把持する棒状のアームと、この棒状アー
ムに対向する円筒状回転体の面にこの棒状アームを非接
触で磁気吸引する電磁石と、さらに上記電磁石を励磁す
る電流を固定体から円筒状回転体に非接触で送電する非
接触トランスと、棒状アームと円筒状回転体とを結合す
る弾性部材と、回転中に遠心力によりアームのウエハ保
持力を発生する棒状アームに設置された質量と、該回転
体を非接触浮上保持する磁気軸受と、前記回転体に回転
力を与える電動機と、ウエハの表面は外側から裏面は前
記回転体の内側から洗浄する洗浄手段とを設け、前記ウ
エハの表裏両面を同時洗浄することを特徴とするウエハ
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34182793A JPH07169732A (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | ウエハ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34182793A JPH07169732A (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | ウエハ洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169732A true JPH07169732A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=18349061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34182793A Pending JPH07169732A (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | ウエハ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07169732A (ja) |
Cited By (11)
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| CN113857091A (zh) * | 2021-09-18 | 2021-12-31 | 深圳市科瑞德电器有限公司 | 一种电子显示器清扫除灰装置 |
| US11731241B2 (en) | 2018-08-10 | 2023-08-22 | Ebara Corporation | Substrate rotation device, substrate cleaning device, substrate processing device, and control method for substrate rotation device |
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-
1993
- 1993-12-13 JP JP34182793A patent/JPH07169732A/ja active Pending
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