JP2015188008A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
9 基板
14 基板保持部
15 基板回転機構
30,46 アンチャッキング部
131 チャンバ開閉機構(磁性体移動機構)
151 ステータ部
152 ロータ部
411 チャック支持部
412 可動チャック部材
441,521,531 第1チャッキング磁性体
442 第2チャッキング磁性体
461 第1アンチャッキング磁性体
462 第2アンチャッキング磁性体
522,532 磁性体移動機構
J1 中心軸
Claims (6)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を前記基板に垂直な中心軸を中心として回転する基板回転機構と、
第1チャッキング磁性体を前記基板保持部に装着し、また、前記第1チャッキング磁性体を前記基板保持部から取り外す、または、第1チャッキング磁性体を前記基板保持部に近接させ、また、前記第1チャッキング磁性体を前記基板保持部から離間させる磁性体移動機構と、
を備え、
前記基板保持部が、
チャック支持部と、
前記チャック支持部に支持される少なくとも3つのチャック部材と、
を有し、
前記少なくとも3つのチャック部材は、チャック位置とアンチャック位置との間で位置が変更可能である少なくとも1つの可動チャック部材を含み、
前記少なくとも1つの可動チャック部材の各可動チャック部材が、前記第1チャッキング磁性体が前記基板保持部に装着された際に、または、前記第1チャッキング磁性体が前記基板保持部に近接した際に、前記第1チャッキング磁性体との間の磁気的作用により、前記基板の外縁部を保持する力を前記各可動チャック部材に与える第2チャッキング磁性体を有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記基板回転機構が、
前記中心軸を中心とする環状であり、永久磁石を含むロータ部と、
前記中心軸を中心とする環状であり、前記ロータ部を浮遊状態にて回転させるステータ部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記基板保持部が、前記第1チャッキング磁性体が前記基板保持部に装着されていない場合に、前記少なくとも1つの可動チャック部材を前記アンチャック位置に保持させるアンチャッキング力を前記少なくとも1つの可動チャック部材に作用させるアンチャッキング部を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置であって、
前記アンチャッキング部が、互いの間に生じる磁気的作用が前記アンチャッキング力である第1アンチャッキング磁性体と、第2アンチャッキング磁性体とを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記少なくとも1つの可動チャック部材に含まれる各可動チャック部材が、回動軸を中心に回動可能であり、前記基板保持部の回転による遠心力により、前記各可動チャック部材に前記基板を保持する方向へと回動させる力が作用することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記第1チャッキング磁性体が前記基板保持部に装着された状態で前記少なくとも1つの可動チャック部材を前記チャック位置から前記アンチャックに向かって位置を変更させた場合に、前記基板の保持が解除される前に前記少なくとも1つの可動チャック部材が、前記第1チャッキング磁性体に接触することを特徴とする基板処理装置。
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