JPH07167804A

JPH07167804A - ２層めっき鋼板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置

Info

Publication number: JPH07167804A
Application number: JP31302493A
Authority: JP
Inventors: Shigeyuki Mori; 茂之森
Original assignee: Sumitomo Metal Industries Ltd
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1993-12-14
Filing date: 1993-12-14
Publication date: 1995-07-04

Abstract

(57)【要約】【構成】Ｚｎ−ＦｅとＡｌ−Ｍｎとの合金めっき層が
形成された２層めっき鋼板にＸ線を異なる角度で照射
し、高低二つの取出角で得られる蛍光Ｘ線強度より各合
金めっき層の付着量と組成とを得る方法であって、高取
出角でのＭｎＫα線とＺｎＫα線及び低取出角でのＦｅ
Ｋα線とＺｎＫα線の夫々の理論強度計算式を求める工
程と、簡易理論強度換算式を用いて未知試料より得た各
蛍光Ｘ線強度より理論強度近似値を算出する工程と、理
論強度計算式中の各合金めっき層の付着量と組成とを変
化させ、夫々の値に対応して得られる各蛍光Ｘ線の理論
強度と理論強度近似値との差の平方値を夫々求め、それ
らの合計が最小値となる付着量や組成を分析値とする工
程とを含むオンライン分析方法。【効果】未知数が測定可能なＸ線強度の数より多い場
合でも、２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成の分析
を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は２層めっき鋼板のオンラ
イン分析方法及びオンライン分析装置に関し、より詳細
には最表層（以下、第１層と記す）にＡｌ−Ｍｎ合金め
っき層、その下の層（以下、第２層と記す）にＺｎ−Ｆ
ｅ合金めっき層を有する２層めっき鋼板の各合金めっき
層の付着量及び組成を求めることができる２層めっき鋼
板のオンライン分析方法及びオンライン分析装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】基板上にめっきや蒸着等の被覆処理を複
数回施した多層板の各層の厚さや組成を蛍光Ｘ線を用い
て分析する方法についてはまだ報告例は少なく、その分
析方法も確立されてはいないものの、従来より以下のよ
うな指針の下に分析対象に応じて個別にその分析方法が
検討されている。

【０００３】その指針として、分析対象毎に、付着量、
組成等の未知数と最も相関の強い分析線を選択するこ
と、及び相互に独立性の強い分析線を選択することの２
点が挙げられている。

【０００４】また、実際に多層板の分析方法として使用
できるためには、各層の組成むらが小さいこと、分析対
象からの蛍光Ｘ線が十分な強度で検出されること、分析
対象となる多層板の付着量や組成に関する未知数と分析
線の数が一致すること等の条件が前提となる。また分析
可能な層の数や成分数は、検出された分析線の演算処理
を行うコンピューターの処理能力により決定されるが、
現在のところ最大で８層１６成分まで分析可能であり、
また単層の場合は最大で１６成分まで可能である。

【０００５】そして、実際にポリカーボネート基板の上
に、順次Ｓｉ₃ Ｎ₄ 誘電体層、ＴｂＦｅＣｏ磁性層、Ｓ
ｉ₃ Ｎ₄ 誘電体層及びＡｌ反射層が形成された光磁器デ
ィスク等について、その厚さ及び組成が分析された例
（第２７回Ｘ線分析討論会講演要旨集４７頁）等が知
られている。

【０００６】このように、上記分析対象の未知数と分析
線の数が一致する場合、コンピューター等を用いる方法
によりその付着量や組成を分析することができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】一方、本発明がその対
象としている、第１層にＡｌ−Ｍｎの合金めっきが形成
され、第２層には合金化溶融ＺｎめっきによりＺｎ−Ｆ
ｅの合金めっき層が形成されている２層めっき鋼板のよ
うな多層板では、第１層の合金めっき層中にＡｌが含ま
れており、このような軽元素を蛍光Ｘ線を用いオンライ
ン分析しようとしても、Ｘ線経路に存在する空気による
散乱吸収が大きいため、定量的に十分な蛍光Ｘ線強度の
データの検出が困難になる。このため、前記２層めっき
鋼板の分析では、Ａｌ元素より発生する蛍光Ｘ線を分析
線として使用することができず、分析線のうち散乱吸収
が小さく強度の強いＫα線は他の元素に基づく３個にな
ってしまうため、通常の方法では前記２層めっき鋼板の
組成及び付着量を分析することはできないという課題が
あった。

【０００８】一方、本発明で対象としている前記２層め
っき鋼板の分析方法に近いものとして、同様に軽元素で
あるＰを含有し、第１層及び第２層の両方にＦｅを含有
するＦｅ−Ｐ／Ｚｎ−Ｆｅ２層めっき鋼板の分析方法と
して、Ｘ線回折分析及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせ、Ｆ
ｅ−Ｐ／Ｚｎ−Ｆｅ２層めっき鋼板の各層の付着量及び
組成をオンライン分析する方法（川崎製鉄技報Ｖｏ
ｌ．２１Ｎｏ．２１９８９年５３頁）が提案され
ている。

【０００９】この分析方法は、塩化物浴めっきで形成
される第２層のＺｎ−Ｆｅ金属間化合物の回折ピーク位
置とＦｅ含有率の間に相関があることを利用し、複数の
検出器を回折角が少しづつ異なるように固定設置する固
定チャンネルＸ線回折法で測定される回折ピーク位置か
らＦｅ含有率を求める工程、Ｚｎ、Ｆｅの蛍光Ｘ線を
高角及び低角の二つの取出し角で測定し、被測定めっき
鋼板が変位するに従ってそのＸ線経路長が変動する、い
わゆるバタツキによるＺｎの蛍光Ｘ線測定強度の変動
を、同時に測定したＦｅの蛍光Ｘ線測定強度で補正する
工程、蛍光Ｘ線理論強度式から導出した高角用のＺｎ
Ｋα強度近似式、低角用のＺｎＫα強度近似式にそれぞ
れの補正後のＺｎＫα強度及びで求めたＦｅ含有率を
代入し、これらの近似式を連立させることにより、第１
層及び第２層の付着量を求める工程からなる。

【００１０】しかし前記分析方法において、第２層のＦ
ｅ含有率を求めることができるのは、塩化物浴めっきで
形成されるＺｎ−Ｆｅ金属間化合物等、回折ピーク位置
とＦｅ含有率との間に相関がある特殊な場合に限られ、
本発明の対象とする合金化溶融Ｚｎめっきにより形成さ
れたＺｎ−Ｆｅ合金めっき層を有する鋼板には適用でき
ない。また、蛍光Ｘ線の理論強度式から高い取出し角
用、低い取出し各用に近似式を導出する際、めっき上層
のＦｅ−Ｐ組成が一定と仮定されているが、本発明の対
象とするＡｌ−Ｍｎ合金めっきでは、Ａｌ−Ｍｎ組成は
一定ではない。さらに集中光学系を用いているために、
鋼板のバタツキによる蛍光Ｘ線の強度変動が大きく、測
定強度に対する補正の割合が大きくなるため、補正強度
の誤差が大きくなる問題がある。

【００１１】従って、本発明で対象としている２層めっ
き鋼板の分析には、前記方法を適用することはできな
い。

【００１２】また、取出し角の異なる２種類の蛍光Ｘ線
を使用してめっき層の付着量及び組成を分析する分析方
法及び分析装置が、特開平２−２５７０４５号公報に開
示されている。

【００１３】この分析方法の一の発明は、めっき鋼板
に所定の入射角で単色のＸ線を入射した場合に得られ
る、２種類の所定の取出し角での、分析目的元素のＫ系
列の蛍光Ｘ線測定強度又は強度比の理論計算式を予め求
めておく工程、めっき付着量及びめっき被膜組成が既
知の標準試料を用い、前記理論計算式を求めたのと同じ
条件で、蛍光Ｘ線測定強度又は強度比を実測し、この実
測値と前記理論計算式より、前記実測値を理論計算値に
換算する変換係数を求めおく工程、前記理論計算式を
求めたのと同じ条件で、めっき付着量及びめっき被膜組
成が未知の被測定めっき鋼板から得られる前記蛍光Ｘ線
測定強度又は強度比を測定し、前記変換係数を使用して
理論強度又は強度比に変換する工程、前記理論計算式
より得られる理論強度又は強度比を、前記変換された理
論強度又は強度比に最も近づける、前記理論計算式中の
パラメーターであるめっき付着量及び被膜組成を、前記
被測定鋼板のめっき付着量及びめっき被膜組成とする工
程を有している。

【００１４】しかしこの分析方法では、単層のめっき合
金層を有する鋼板のみを対象としているため、本発明が
対象としている２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成
を求めることはできない。

【００１５】またこの分析方法に用いられている分析装
置においては、Ｘ線管球と試料との間にモノクロメータ
を挿入して入射Ｘ線を単色化したり、管球とモノクロメ
ータ、モノクロメータと試料との間にピンホールコリメ
ータを導入しているため、蛍光Ｘ線測定強度が低下し、
満足な測定値を得るためには長時間測定を続けてカウン
ト数を増大させなければならないという課題があった。

【００１６】さらに前記分析装置においては、蛍光Ｘ線
の分光を波長分散方式と比較して分解能で劣るエネルギ
ー分散方式で行っているため、ＦｅＫα線の近傍に存在
するＭｎＫα線の影響を受けて、ＦｅＫα線の強度を正
確に測定することが難しいという課題があった。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明者らはオンライン
分析による分析が困難な元素であるＡｌを第１層に含有
する２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成を求めるこ
とができるオンライン分析方法、及び発生した蛍光Ｘ線
の強度低下を最小限に抑え、各分析線の強度を比較的良
い分解能で測定することができ、分析対象となる２層め
っき鋼板のバタツキの影響を受けにくいオンライン分析
装置を提供することを目的として検討を行った結果、分
析方法については前記特開平２−２５７０４５号公報に
記載されているような２種類の異なる取出し角で得られ
る蛍光Ｘ線の強度を測定する方法を基本とし、高い取出
し角においてＭｎＫα線とＺｎＫα線を、また低い取出
し角においてＦｅＫα線とＺｎＫα線をそれぞれ検出
し、これらの値を基にして簡便的に求めた理論強度近似
値と、既知の理論強度式を基に分析対象鋼板毎に導出し
た理論強度計算式を用いて求めた理論強度とを比較する
方法を採用することにより、また分析装置についてはＸ
線管球と試料との間に照射Ｘ線強度を低下させるモノク
ロメータやコリメータは設置せずに、比較的強度低下の
小さいソーラースリットのみを配設し、さらに試料と分
光結晶、分光結晶と検出器との間にソーラースリットを
配設し、各分析線ごとに専用の固定検出器を設け、光学
系を鋼板のバタツキの影響を受けにくい平行光学系とす
ることにより、Ａｌを第１層に含有するにも拘らず前記
２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成を分析すること
ができることを見出し、本発明を完成するに至った。

【００１８】すなわち本発明に係る２層めっき鋼板のオ
ンライン分析方法は、下地の鋼板の表面にＺｎ−Ｆｅ合
金めっき層が形成され、さらにその上にＡｌ−Ｍｎ合金
めっき層が形成された２層めっき鋼板に２層めっき鋼板
にＸ線を異なる角度で互いに照射し、高い取出し角及び
低い取出し角で得られる蛍光Ｘ線測定強度より各合金め
っき層の付着量及び組成を得る２層めっき鋼板のオンラ
イン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下にお
ける高い取出し角でのＭｎＫα線とＺｎＫα線、及び低
い取出し角でのＦｅＫα線とＺｎＫα線のそれぞれの理
論強度計算式を予め求める第１工程と、該第１工程で対
象とした各分析線と同じ分析線に関する簡易理論強度換
算式を得るために、標準試料より得られた蛍光Ｘ線測定
強度と前記第１工程で求めた理論強度計算式から得られ
る蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各
係数を求め、前記一定条件下で前記２層めっき鋼板にＸ
線を照射して得られた各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理
論強度換算式に代入して理論強度近似値をそれぞれ算出
する第２工程と、前記理論強度計算式中のパラメーター
群である各合金めっき層の付着量と組成とを変化させ、
それぞれのパラメーター群に対応して得られる各蛍光Ｘ
線の前記理論強度と前記理論強度近似値との差の平方を
それぞれ求め、それらの合計量が最も小さい値となる前
記理論強度式中の各パラメーターを分析値とする第３工
程とを含むことを特徴としている（１）。

【００１９】また本発明に係る２層めっき鋼板のオンラ
イン分析方法は、下地の鋼板の表面にＺｎ−Ｆｅ合金め
っき層が形成され、さらにその上にＡｌ−Ｍｎ合金めっ
き層が形成された２層めっき鋼板に２層めっき鋼板にＸ
線を異なる角度で互いに照射し、高い取出し角及び低い
取出し角で得られる蛍光Ｘ線測定強度より各合金めっき
層の付着量及び組成を得る２層めっき鋼板のオンライン
分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下における
高い取出し角でのＭｎＫα線とＺｎＫα線、及び低い取
出し角でのＦｅＫα線とＺｎＫα線のそれぞれについて
求めた理論強度計算式を基にし、該理論強度計算式中の
パラメーター群である各合金めっき層の付着量と組成の
それぞれに関する理論強度の検量線を作成する第１工程
と、該第１工程で対象とした各分析線と同じ分析線に関
する別の簡易理論強度換算式を得るために、標準試料よ
り得られた蛍光Ｘ線測定強度と前記第１工程で求めた理
論強度計算式から得られる蛍光Ｘ線理論強度とから前記
簡易理論強度換算式の各係数を求め、前記一定条件下で
前記２層めっき鋼板にＸ線を照射して得られた各蛍光Ｘ
線測定強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論強
度近似値をそれぞれ算出する第２工程と、前記パラメー
ター群の各パラメーターをそれぞれ一定値に定めた場合
に前記検量線より得られる各分析線の理論強度と前記理
論強度近似値とを比較してその差の平方を求め、それら
の合計量が最も小さい値となる前記各パラメーターを分
析値とする第３工程とを含むことを特徴としている
（２）。

【００２０】また本発明に係る２層めっき鋼板のオンラ
イン分析装置は、上記（１）記載の２層めっき鋼板のオ
ンライン分析方法に用いられる分析装置であって、Ｘ線
を発生するＸ線発生部と、Ｘ線のパスラインを決め、２
層めっき鋼板に所定の入射角で投射し、所定の取出し角
で受光するためのスリット系と、２層めっき鋼板から発
生するＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びバックグランド強度
を高い取出し角で検出する３個の検出器と、２層めっき
鋼板から発生するＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びバックグ
ランド強度を低い取出し角で検出する３個の検出器とを
備えた蛍光Ｘ線測定強度測定部及び該蛍光Ｘ線測定強度
測定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ線測定手段を
有し、さらに前記高い取出し角で検出するＭｎＫα線と
ＺｎＫα線及び低い取出し角で検出するＦｅＫα線とＺ
ｎＫα線のそれぞれの分析線について、分析時と同一の
条件下における理論強度計算式を求める理論強度計算式
導出手段と、該理論強度計算式導出手段で対象とした各
分析線と同じ分析線に関する別の簡易理論強度換算式を
記憶し、標準試料を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を
作動させることにより検出された各蛍光Ｘ線測定強度と
前記標準試料の蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強
度換算式の各係数を求め、次に２層めっき鋼板を対象と
して前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させることにより検出
された各蛍光Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換算式に
代入して理論強度近似値をそれぞれ算出する理論強度近
似値算出手段と、前記理論強度計算式中のパラメーター
群である各合金めっき層の付着量と組成とを変化させ、
それぞれのパラメーター群に対応して算出される各分析
線の理論強度と前記理論強度近似値との差の平方をそれ
ぞれ求め、それらの合計量が最も小さい値となる前記理
論強度式中の各パラメーターを分析値とする分析値算出
手段とを備えていることを特徴としている（３）。

【００２１】さらに本発明に係る２層めっき鋼板のオン
ライン分析装置は、上記（２）記載の２層めっき鋼板の
オンライン分析方法に用いられる分析装置であって、Ｘ
線を発生するＸ線発生部と、Ｘ線のパスラインを決め、
２層めっき鋼板に所定の入射角で投射し、所定の取出し
角で受光するためのスリット系と、２層めっき鋼板から
発生するＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びバックグランド強
度を高い取出し角で検出する３個の検出器と、２層めっ
き鋼板から発生するＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びバック
グランド強度を低い取出し角で検出する３個の検出器と
を備えた蛍光Ｘ線測定強度測定部及び前記蛍光Ｘ線測定
強度測定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ線測定手
段を有し、さらに前記高い取出し角で検出するＭｎＫα
線とＺｎＫα線及び低い取出し角で検出するＦｅＫα線
とＺｎＫα線のそれぞれの分析線について、分析時と同
一条件下で作成した前記理論強度計算式中のパラメータ
ー群である各合金めっき層の付着量と組成のそれぞれに
関する理論強度の検量線を記憶する検量線記憶手段と、
前記検量線記憶手段で対象とした各分析線と同じ分析線
に関する別の簡易理論強度換算式を記憶し、標準試料を
対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させることによ
り検出された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準試料の蛍光
Ｘ線理論強度とから簡易理論強度換算式の各係数を求
め、次に２層めっき鋼板を対象として前記蛍光Ｘ線測定
手段を作動させることにより検出された各蛍光Ｘ線測定
強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論強度近似
値をそれぞれ算出する理論強度近似値算出手段と、前記
パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一定値に定
めた場合に前記検量線より得られる各分析線の理論強度
と前記理論強度近似値とを比較してその差の平方を求
め、それらの合計量が最も小さい値となる前記各パラメ
ーターを分析値とする分析値算出手段とを備えているこ
とを特徴としている（４）。

【００２２】

【作用】上記構成のオンライン分析方法（１）によれ
ば、分析対象が第１層にオンラインで蛍光Ｘ線分析が困
難な元素であるＡｌを含有する２層めっき鋼板であるに
も拘らず、前記２層めっき鋼板にＸ線を異なる角度で互
いに照射し、Ａｌ以外の成分の特定の蛍光Ｘ線測定強度
を高い取出し角及び低い取出し角で同時に測定する方法
をとっているので、同一の蛍光Ｘ線にも拘らず高い取出
し角で得たＸ線と低い取出し角で得たＸ線が独立とな
り、Ａｌの蛍光Ｘ線を用いることができないため、未知
数が既知のＸ線強度の数よりも多くなる場合でも、前記
２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成の分析が可能と
なる。

【００２３】また上記構成のオンライン分析方法（２）
によれば、上記（１）記載の方法を基本とし、前記理論
強度計算式に基づいて作成した検量線を使用するという
上記（１）記載の分析方法よりも簡便な方法を用いるこ
とにより、同様に前記２層めっき鋼板の各層の付着量及
び組成の分析が可能になる。

【００２４】また上記構成のオンライン分析装置（３）
によれば、Ｘ線管球と試料との間に照射Ｘ線強度を低下
させるモノクロメータやコリメータは設置せずに、比較
的強度低下の小さいソーラースリットのみを配設し、さ
らに試料と分光結晶、分光結晶と検出器との間にソーラ
ースリットを配設し、各分析線ごとに専用の固定検出器
を設けているので、発生する蛍光Ｘ線の強度低下が最小
限に抑えられ、各分析線の強度が精度良く測定される。
また光学系を鋼板のバタツキの影響を受けにくい平行光
学系としているので、分析対象となる２層めっき鋼板の
分析時の変位に起因するＸ線経路長の変動の影響を受け
ず、迅速かつ高精度で前記２層めっき鋼板の各層の付着
量及び組成の分析が行われる。

【００２５】さらに上記構成のオンライン分析装置
（４）によれば、上記（３）記載の分析装置を基本と
し、前記理論強度計算式に基づいて予め作成した検量線
を記憶し、この検量線に基づいて分析値を算出する手段
を備えているので、より簡便な手段により、迅速かつ高
精度で前記２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成の分
析が行われる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明に係る２層めっき鋼板のオンラ
イン分析方法及びオンライン分析装置の実施例を図面に
基づいて説明する。まず、実施例に係るオンライン分析
方法について説明する。

【００２７】図１は、下地の鋼板１１の上にＺｎ−Ｆｅ
合金めっき層１２が形成され、このＺｎ−Ｆｅ合金めっ
き層１２の上にさらにＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３が形
成された２層めっき鋼板１０の分析方法を説明するため
の模式的な断面図である。

【００２８】また図２は、図１に示した２層めっき鋼板
１０の分析方法の手順を示したフローチャートである。
図２に示したフローチャートに従い、各ステップ（Ｓ１
〜Ｓ８）毎に実施例に係るオンライン分析方法の説明を
行っていく。

【００２９】まずステップ１では、一般的な理論強度式
を基礎とし、前述した２層めっき層１０の各層の付着量
及び組成からなるパラメーター群と種々の基礎物理定数
とから構成される具体的な理論強度計算式を算出する。

【００３０】次にステップ２では、図１に示したように
２層めっき鋼板１０にＸ線管球から発生したＸ線を入射
角φ₁ 、φ₂ （φ₁ ＜φ₂ ）で照射し、まず入射角φ₁
で入射したＸ線に対して被測定物である２層めっき鋼板
１０から発生するＦｅＫα線の強度、ＺｎＫα線の強度
及びバックグランド強度（以下、ＢＧ強度と記す）を取
出角ψ₁ またはその近傍で測定する。次に、同じ種類又
は異なる種類のＸ線管球から入射角φ₂ で入射したＸ線
に対して２層めっき鋼板１０から発生するＭｎＫα線の
強度、ＺｎＫα線の強度及びＢＧ強度を取出角ψ₂ また
はその近傍で測定する。

【００３１】なお、測定角（φ₁ 、ψ₁ ）の条件下で測
定したＦｅＫα線の強度、ＺｎＫα線の強度及びＢＧの
強度をそれぞれＩ₁(Fe) 、Ｉ₁(Zn) 、Ｉ₁(BG) とし、測
定角（φ₂ 、ψ₂ ）の条件下で測定したＭｎＫα線の強
度、ＺｎＫα線の強度及びＢＧの強度をそれぞれＩ₂(M
n) 、Ｉ₂(Zn) 、Ｉ₂(BG) とする。

【００３２】次に、これらの強度より下記の数１式〜数
４式の演算を行う。

【００３３】

【数１】Ｘ₁(Fe) ＝Ｉ₁(Fe) ／Ｉ₁(BG)

【００３４】

【数２】Ｘ₁(Zn) ＝Ｉ₁(Zn) ／Ｉ₁(BG)

【００３５】

【数３】Ｘ₂(Mn) ＝Ｉ₂(Mn) ／Ｉ₂(BG)

【００３６】

【数４】Ｘ₂(Zn) ＝Ｉ₂(Zn) ／Ｉ₂(BG) 次に、ステップ３として、上記数１式〜数４式で得られ
た強度比Ｘ₁(Fe) 、Ｘ₁(Zn) 、Ｘ₂(Mn) 、Ｘ₂(Zn) を理
論強度近似値Ｙ₁(Fe) 、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn)
に変換する。

【００３７】本発明では、下記の数５式〜数８式に示し
た簡易理論強度変換式を用いて、実測値Ｘ₁(Fe) 、Ｘ
₁(Zn) 、Ｘ₂(Mn) 、Ｘ₂(Zn) を理論強度近似値Ｙ₁(Fe)
、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn) に変換する。

【００３８】

【数５】Ｙ₁(Fe) ＝ａ₁(Fe) Ｘ₁(Fe) ＋ｂ₁(Fe)

【００３９】

【数６】Ｙ₁(Zn) ＝ａ₁(Zn) Ｘ₁(Zn) ＋ｂ_１（Ｚｎ）

【００４０】

【数７】Ｙ_２（Ｍｎ）＝ａ₂(Mn) Ｘ₂(Mn) ＋ｂ₂(Mn)

【００４１】

【数８】Ｙ₂(Zn) ＝ａ₂(Zn) Ｘ₂(Zn) ＋ｂ₂(Zn) なお、上記数５式〜数８式において、ａ₁(Fe) 、ａ₁(Z
n) 、ａ₂(Mn) 、ａ₂(Zn) 、ｂ₁(Fe) 、ｂ₁(Zn) 、ｂ₂(M
n) 、ｂ₂(Zn) は変換係数であるが、この変換係数は、
以下のようにして求める。すなわち、図１に示した２層
めっき鋼板１０の各層の付着量や組成が既知の標準試料
を用い、予めステップ２で未知試料につき求めたのと同
じ条件で、Ｉ₁(Fe) 、Ｉ₁(Zn) 、Ｉ₁(BG) 、Ｉ₂(Mn) 、
Ｉ₂(Zn) 、Ｉ₂(BG) を実測し、実測値から求めたＸ₁(F
e) 、Ｘ₁(Zn) 、Ｘ₂(Mn) 、Ｘ₂(Zn)と理論強度値Ｙ₁(F
e) 、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn) との間に上記した
数５式〜数８式の簡易理論強度換算式が成立するよう
に、回帰分析等を行って各変換係数を定める。ただし、
変換係数を定める時のみ、数５式〜数８式の理論強度近
似値を理論強度値とを読みかえる。

【００４２】ここで理論強度とは、測定条件と同じＸ線
管球、管電圧、幾何学的条件で測定した場合に得られる
蛍光Ｘ線測定強度を、２層めっき鋼板１０を構成するＺ
ｎ−Ｆｅ合金めっき層１２及びＡｌ−Ｍｎ合金めっき層
１３の付着量及び組成をパラメーターとし、この他に種
々の基礎物理定数含んだ理論強度計算式を用いて計算
し、前記Ｘ₁(Fe) 、Ｘ₁(Zn) 、Ｘ₂(Mn) 、Ｘ₂(Zn) に対
応する値として求めたものをいう。実際の測定値は、検
出器の感度特性やスリット系の影響等の装置定数を含む
ため、一般に理論強度とは異なった値となる。

【００４３】このように、簡易理論強度換算式を使用
し、未知の装置定数を標準試料を使用して消去する方法
を採用したので、Ｘ₁(Fe) 、Ｘ₁(Zn) 、Ｘ₂(Mn) 、Ｘ
₂(Zn) として、未知の試料の実測値を代入することによ
り、そのときの理論強度近似値Ｙ₁(Fe) 、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ
₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn) を求めることができる。

【００４４】次に、ステップ４、５として、前記２層め
っき鋼板の付着量及び組成をそれぞれ一定値としたパラ
メーター群Ｐｋ（ｋ＝１）を用い、前記数５式〜数８式
に示した理論強度近似値Ｙ₁(Fe) 、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ₂(Mn)
、Ｙ₂(Zn) に対応する理論強度Ｙ'₁(Fe)、Ｙ'₁(Zn)、
Ｙ'₂(Mn)、Ｙ'₂(Zn)を求める。

【００４５】次に、ステップ６に移行し、ここでは下記
の数９式による演算を行う。

【００４６】

【数９】

【００４７】次に、ステップ７に移行して、パラメータ
ーＰｋを変えて（ｋ＝ｋ＋１）Ｙ'₁(Fe)、Ｙ'₁(Zn)、
Ｙ'₂(Mn)、Ｙ'₂(Zn)を再計算し、これらと前記Ｙ₁(Fe)
、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn) を用いて同様な演算
を行う。

【００４８】そして、ステップ５〜７のループによる演
算を繰り返して行い、ステップ８において、これらのな
かで数９式に示した値（Ａ）が最小の演算値を与えるパ
ラメーター群Ｐｋ（ｋ＝ｎ）を決定する。

【００４９】そして、ステップ８において決定されたパ
ラメーター群Ｐｋ（ｋ＝ｎ）をもって、この２層めっき
鋼板１０のＡｌ−Ｍｎ合金めっき層１３の付着量とＭｎ
含有量、及びＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２の付着量とＦ
ｅ含有量とすることにより、被測定物である２層めっき
鋼板１０の各めっき層の付着量と組成とを得るものであ
る。

【００５０】上記実施例に係るオンライン分析方法にお
いて、各分析線から得られた蛍光Ｘ線測定強度をそのま
ま使用せずにＢＧ強度との比をとり、強度比Ｘ₁(Fe) 、
Ｘ₁(Zn) 、Ｘ₂(Mn) 、Ｘ₂(Zn) としたのは、蛍光Ｘ線測
定強度に及ぼす２層めっき鋼板１０のバタツキ及び温湿
度変動、管球より発生するＸ線強度の変動の影響を低減
でき、より精度の高い分析値を得ることができるからで
ある。

【００５１】次に、実施例に係るオンライン分析装置に
ついて説明する。図３は実施例に係るオンライン分析装
置を示した構成図である。

【００５２】図中、分析の対象となる２層めっき鋼板１
０は一定の速度で左より右に移動している。この２層め
っき鋼板１０の上方には蛍光Ｘ線測定強度測定部２２が
配設されており、この蛍光Ｘ線測定強度測定部２２は、
所定の方向にＸ線を発生するＣｏ管球２３及びＭｏ管球
２４、このＣｏ管球２３及びＭｏ管球２４から発生する
Ｘ線の平行性を良好にするためのソーラースリット２
５、及び２層めっき鋼板１０から発生した蛍光Ｘ線の強
度をソーラースリット２５に挟まれた平板分光結晶２６
を介して測定するための検出器２７〜３２を含んで構成
されている。この６個の検出器２７〜３２は、上記実施
例に係る分析方法で説明した４個の分析線強度及び２個
のＢＧの強度をそれぞれ検出できるように配設されてい
る。ＢＧ強度の検出器は、各取出し角において分光結晶
による回折角が２つの蛍光Ｘ線の回折角の間になるよう
に配設される。蛍光Ｘ線及びＢＧ用の分光結晶は、各取
出し角においてほぼ同一の取出し角を与えるように上下
左右に近設される。このとき鋼板と各分光結晶の間に配
設されているそれぞれのソーラースリットを１個のソー
ラスリットに置き換えてもよい。

【００５３】２層めっき鋼板１０のバタツキが蛍光Ｘ線
の強度に及ぼす影響を小さくするために、上記のような
平行光学系の測定方法を採用すると同時に、分光結晶直
前のソーラースリット２５が見込む広さ以上にＸ線照射
領域を拡大した。

【００５４】また、Ｃｏ管球２３、Ｍｏ管球２４、ソー
ラースリット２５、平板分光結晶２６、検出器２７等
は、制御部３８からの制御信号により位置等を制御する
ことができる。これら蛍光Ｘ線測定部２２と制御部３８
とで蛍光Ｘ線測定手段３７を構成している。

【００５５】さらに、３３は信号処理手段であり、この
信号処理手段３３は理論強度近似値算出手段３４、理論
強度式算出手段３５及び分析値算出手段３６より構成さ
れている。

【００５６】次に、以上のように構成された実施例に係
る分析装置の動作について説明する。

【００５７】まず理論強度式算出手段３５では、既存の
一般的な理論強度計算式に基づき、２層めっき鋼板１０
の各層の付着量及び組成をパラメーターとし、分析試料
を対象として蛍光Ｘ線測定手段３７を作動させるときと
同様の条件における理論強度計算式を導出する。この手
順は、めっき層の構成元素が変わらない限り再び行う必
要はない。

【００５８】またＭｏ管球２４及びＣｏ管球２３から発
生したＸ線は、２層めっき鋼板１０にそれぞれ入射角φ
₁ ＝１０〜３０°、φ₂ ＝５０〜９０°なる角度で照射
される。２層めっき鋼板１０から発生するＦｅＫα線の
強度、ＺｎＫα線の強度及びＢＧ強度を取出し角ψ₁ ＝
１０〜３０°で、またＭｎＫα線の強度、ＺｎＫα線の
強度及びＢＧ強度を取出し角ψ₂ ＝５０〜９０°で、そ
れぞれ検出器２７〜３２を用いて検出する。そして、実
際に分析の対象となる２層めっき鋼板１０を分析する前
に、２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成が既知の標
準試料を少なくとも二つ使用して、前記した分析線の蛍
光Ｘ線測定強度及びＢＧ強度を検出し、これら強度から
数５式〜数８式の係数ａ₁(Fe) 、ａ₁(Zn) 、ａ₂(Mn) 、
ａ₂(Zn)、ｂ₁(Fe) 、ｂ₁(Zn) 、ｂ₂(Mn) 、ｂ₂(Zn) を
決定し、その値を理論強度近似値算出手段３４に送出し
ておく。

【００５９】理論強度近似値算出手段３４では、分析試
料を対象として蛍光Ｘ線測定手段３７を作動させ、６個
の検出器２７〜３２より検出された蛍光Ｘ線測定強度及
びＢＧ強度の値を取り込み、上記実施例に係る分析方法
で説明したようにステップ１〜３に従い理論強度近似値
Ｙ₁(Fe) 、Ｙ₁(Zn) 、Ｙ₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn) を求める。

【００６０】さらに分析値算出手段３６では、理論強度
式算出手段３５で得た理論強度計算式に、具体的にパラ
メーターであるＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２及びＡｌ−
Ｍｎ合金めっき層１３の付着量及び組成を代入してそれ
ぞれの分析線における理論強度Ｙ'₁(Fe)、Ｙ'₁(Zn)、
Ｙ'₂(Mn)、Ｙ'₂(Zn)を得、前記理論強度と理論強度近似
値算出手段３４で得た理論強度近似値Ｙ₁(Fe) 、Ｙ₁(Z
n) 、Ｙ₂(Mn) 、Ｙ₂(Zn)とから数９式に示したような演
算を行い、その値（Ａ）が最も小さいときの前記パラメ
ーターを分析値とする。このようにして、分析の対象と
している２層めっき鋼板１０の各層の付着量及び組成を
得るものである。

【００６１】次に、本発明に係るオンライン分析方法の
別の実施例を説明する。

【００６２】上記実施例では、理論強度計算式を導出
し、これを用いてパラメーター群に対する理論強度を計
算したが、本実施例ではこのような理論強度計算式を用
いて、各パラメーターに関する検量線を求めておき、こ
の検量線を使用して理論強度値を求める。この場合のフ
ローチャートは図４のようになる。上記方法とステップ
１１及び１４以降の工程が異なるので、その部分につい
て説明する。

【００６３】ステップ１１では、上記の方法で導出した
ような理論強度計算式を用い、各パラメーターに関し
て、各分析線強度との関係をグラフ化した検量線を他の
パラメーターの変動範囲毎に複数個作成する。パラメー
ターは４つ存在するので、一つのパラメーターについて
検量線を求めようとすれば、他の３つのパラメーターを
固定せねばならない。従って、他の３つのパラメーター
は、検量線が余り変化しない限られた範囲内で変化する
ものとして検量線を作成するが、各検量線につき他の３
つのパラメーターの変動範囲を小さくとりすぎると、膨
大な数の検量線が必要となる。そこで、他の３つのパラ
メーターの変動範囲をそれぞれ大きく幾つかの範囲に分
けて各範囲毎に検量線を描くようにすれば、検量線の数
を一定の数に抑えることができる。また、実際の分析で
は、パラメーターの変動の範囲が限られていることが多
いため、作成する検量線の数を一定範囲に納めることが
できる。

【００６４】次に、ステップ１４では、ある程度各層の
付着量や組成を予想し、ステップ１５でその値をパラメ
ーターにした場合につき、検量線を使用して各検量線に
おける蛍光Ｘ線測定強度（以下、検量線強度と記す）
Ｙ”₁(Fe) 、Ｙ”₁(Zn) 、Ｙ”₂(Mn) 、Ｙ”₂(Zn) を求
める。そして、ステップ１６で上記実施例の場合と同様
に下記の数１０式の計算を行い、さらに予想される範囲
でパラメーターを変動させて、同様に数１０式の計算を
行い、最も小さい値（Ｂ）を与えるパラメーターを分析
値とするものである。

【００６５】

【数１０】

【００６６】次に、本発明に係るオンライン分析装置の
別の実施例について説明する。

【００６７】このオンライン分析装置は上述した別の実
施例に係るオンライン分析方法を用いて２層めっき鋼板
１０の各層の付着量及び組成を得るものである。図５
は、本実施例に係るオンライン分析装置を示した構成図
である。

【００６８】本実施例に係るオンライン分析装置は上記
したオンライン分析装置と基本的な構成はほぼ同様で、
理論強度式算出手段３４に代わり、検量線記憶手段４５
を備えている点が大きな相違点であり、ここではその点
を中心にして説明する。

【００６９】この検量線記憶手段４５では、上記オンラ
イン分析装置で用いた理論強度計算式等から作成した検
量線を記憶させておく。検量線の作成については、上記
別の実施例に係るオンライン分析方法で説明したので、
ここでは省略する。記憶させた検量線は、理論強度計算
式と比較すると簡単であるので、分析値の算出に複雑な
ソフトウエアや高速演算の可能なコンピュータを必要と
しないため、より安価な装置を製作できる。すなわち検
量線を用いる分析装置では、高価につく理論強度計算を
省略できる。

【００７０】この検量線記憶手段４５より得られた検量
線を使用し、予想されるパラメーター群（初期値）を代
入することにより検量線強度を求める。そして、得られ
た検量線強度と理論強度近似値を数１０式に代入して、
分析値算出手段３６においてその値（Ｂ）を求める。次
に、各パラメーターを許容変動範囲内で変化させて同様
にＢを計算し、得られるＢ値が最も小さいときのパラメ
ーターを分析値とする。各パラメーターの許容範囲外で
Ｂ値がより小さくなる場合は、検量線をそのパラメータ
ー値に合致するものに入れ替えて同様の計算を行う。

【００７１】図６〜図９は、図４に示した実施例に係る
オンライン分析装置を用いて実際に分析を行った際に得
られた２層めっき鋼板の各層の付着量と組成を、同じ試
料を化学分析により分析した結果と比較して示したもの
であり、縦軸は実施例に係る分析値であり、横軸は前記
化学分析による分析値である。詳細には、図６はＡｌ−
Ｍｎ合金めっき層１３の付着量、図７はＡｌ−Ｍｎ合金
めっき層１３の組成、図８はＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１
２の付着量、図９はＺｎ−Ｆｅ合金めっき層１２の組成
をそれぞれ示している。このときの測定角は、（φ₁ ，
ψ₁ ）＝（２０°，２０°）、（φ₂ ，ψ₂ ）＝（７０
°，７０°）であり、Ｃｏ管球２３及びＭｏ管球２４に
よるＸ線照射の条件は４０ｋＶ、７０ｍＡである。

【００７２】ここで比較の対象としている化学分析値
は、めっき被膜を酸溶解後、ＩＣＰ発光分光分析法で分
析することにより得られた値であり、この方法によれ
ば、オンライン分析はできないものの、各層の付着量及
び組成をより正確に求めることができることが知られて
いる。

【００７３】図６〜図９から明らかなように、２層めっ
き鋼板１０のバタツキや温湿度の変動等が加わる実ライ
ンであるにも拘らず、正確な分析値を得ることができ
た。また、測定時間は１０秒という短時間で十分であっ
た。

【００７４】

【発明の効果】以上詳述したように本発明に係るオンラ
イン分析方法（１）にあっては、分析対象が第１層にオ
ンラインで蛍光Ｘ線分析が困難な元素であるＡｌを含有
する２層めっき鋼板であるにも拘らず、前記２層めっき
鋼板にＸ線を互いに異なる角度で照射し、Ａｌ以外の成
分の特定の蛍光Ｘ線強度を高い取出し角及び低い取出し
角で同時に測定する方法をとっているので、同一の蛍光
Ｘ線にも拘らず、高い入射・取出し角で得たＸ線と低い
入射・取出し角で得たＸ線とが独立となり、Ａｌの蛍光
Ｘ線を用いることができないために未知数の数が既知の
Ｘ線強度の数よりも大きくなる場合でも、前記２層めっ
き鋼板の各層の付着量及び組成の分析が可能となる。

【００７５】また上記構成のオンライン分析方法（２）
によれば、上記（１）記載の方法を基本とし、前記理論
強度計算式に基づいて作成した検量線を使用するという
上記（１）記載の分析方法よりも簡便な方法により、前
記２層めっき鋼板の各層の付着量及び組成を分析が可能
となる。

【００７６】また上記構成のオンライン分析装置（３）
によれば、Ｘ線管球と試料との間にモノクロメーターや
コリメータは設置せずにソーラースリットのみを配設
し、さらに試料と分光結晶、分光結晶と検出器との間に
ソーラースリットを配設し各分析線ごとに専用の固定検
出器を設けているので、発生する蛍光Ｘ線の強度低下が
最小限に抑えられ、各分析線の強度が精度良く測定され
る。また、光学系を鋼板のバタツキの影響を受けにくい
平行光学系としているので、分析対象となる２層めっき
鋼板の分析時の変位に起因するＸ線経路長の影響を受け
ず、迅速かつ高精度で前記２層めっき鋼板の各層の付着
量及び組成を分析することができる。

【００７７】さらに上記構成のオンライン分析装置
（４）によれば、上記（３）記載の分析装置を基本と
し、前記理論強度計算式に基づいて検量線を作成し、こ
の検量線に基づいて分析値を算出する手段を備えている
ので、より簡便な手段により、迅速かつ高精度で前記２
層めっき鋼板の各層の付着量及び組成を分析することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】２層めっき鋼板の分析方法を説明するための模
式的な断面図である。

【図２】本発明の実施例に係るオンライン分析方法の各
ステップを示したフローチャートである。

【図３】実施例に係るオンライン分析装置を示したブロ
ック構成図である。

【図４】別の実施例に係るオンライン分析方法の各ステ
ップを示したフローチャートである。

【図５】別の実施例に係るオンライン分析装置を示した
ブロック構成図である。

【図６】実施例に係るＡｌ−Ｍｎめっき層の付着量の分
析値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフ
である。

【図７】実施例に係るＡｌ−Ｍｎめっき層の組成の分析
値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフで
ある。

【図８】実施例に係るＺｎ−Ｆｅめっき層の付着量の分
析値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフ
である。

【図９】実施例に係るＺｎ−Ｆｅめっき層の組成の分析
値を化学分析法による分析値と比較して示したグラフで
ある。

【符号の説明】

１０２層めっき鋼板１１鋼板１２Ｚｎ−Ｆｅ合金めっき層１３Ａｌ−Ｚｎ合金めっき層２２蛍光Ｘ線強度測定部２３Ｃｏ管球２４Ｍｏ管球２５ソーラースリット２７〜３２検出器３４理論強度近似値算出手段３５理論強度式算出手段３６分析値算出手段３７蛍光Ｘ線測定手段３８制御部４５検量線記憶手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下地の鋼板の表面にＺｎ−Ｆｅ合金めっ
き層が形成され、さらにその上にＡｌ−Ｍｎ合金めっき
層が形成された２層めっき鋼板にＸ線を異なる角度で互
いに照射し、高い取出し角及び低い取出し角で得られる
蛍光Ｘ線強度より各合金めっき層の付着量及び組成を得
る２層めっき鋼板のオンライン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下における高い取出し角でのＭ
ｎＫα線とＺｎＫα線、及び低い取出し角でのＦｅＫα
線とＺｎＫα線のそれぞれの理論強度計算式を予め求め
る第１工程と、該第１工程で対象とした各分析線と同じ分析線に関する
別の簡易理論強度換算式を得るために、標準試料より得
られた蛍光Ｘ線測定強度と前記第１工程で求めた理論強
度計算式から得られる蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易
理論強度換算式の各係数を求め、前記一定条件下で前記
２層めっき鋼板にＸ線を照射して得られた各蛍光Ｘ線測
定強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論強度近
似値をそれぞれ算出する第２工程と、前記理論強度計算式中のパラメーター群である各合金め
っき層の付着量と組成とを変化させ、それぞれのパラメ
ーター群に対応して得られる各蛍光Ｘ線の前記理論強度
と前記理論強度近似値との差の平方をそれぞれ求め、そ
れらの合計量が最も小さい値となる前記理論強度式中の
各パラメーターを分析値とする第３工程とを含むことを
特徴とする２層めっき鋼板のオンライン分析方法。
【請求項２】下地の鋼板の表面にＺｎ−Ｆｅ合金めっ
き層が形成され、さらにその上にＡｌ−Ｍｎ合金めっき
層が形成された２層めっき鋼板にＸ線を異なる角度で互
いに照射し、高い取出し角及び低い取出し角で得られる
蛍光Ｘ線測定強度より各合金めっき層の付着量及び組成
を得る２層めっき鋼板のオンライン分析方法であって、前記Ｘ線照射と同一条件下における高い取出し角でのＭ
ｎＫα線とＺｎＫα線、及び低い取出し角でのＦｅＫα
線とＺｎＫα線のそれぞれについて求められた理論強度
計算式を基にし、該理論強度計算式中のパラメーター群
である各合金めっき層の付着量と組成のそれぞれに関す
る理論強度の検量線を作成する第１工程と、該第１工程で対象とした各分析線と同じ分析線に関する
別の簡易理論強度換算式を得るために、標準試料より得
られた蛍光Ｘ線測定強度と前記第１工程で求めた理論強
度計算式から得られる蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易
理論強度換算式の各係数を求め、前記一定条件下で前記
２層めっき鋼板にＸ線を照射して得られた各蛍光Ｘ線測
定強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論強度近
似値をそれぞれ算出する第２工程と、前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一定値
に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の理論
強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平方を
求め、それらの合計量が最も小さい値となる前記各パラ
メーターを分析値とする第３工程とを含むことを特徴と
する２層めっき鋼板のオンライン分析方法。
【請求項３】請求項１記載の２層めっき鋼板のオンラ
イン分析方法に用いられる分析装置であって、Ｘ線を発
生するＸ線発生部と、Ｘ線のパスラインを決め、２層め
っき鋼板に所定の入射角で投射し、所定の取出し角で受
光するためのスリット系と、２層めっき鋼板から発生す
るＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びバックグランド強度を高
い取出し角で検出する３個の検出器と、２層めっき鋼板
から発生するＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びバックグラン
ド強度を低い取出し角で検出する３個の検出器とを備え
た蛍光Ｘ線測定強度測定部及び該蛍光Ｘ線測定強度測定
部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ線測定手段を有
し、さらに前記高い取出し角で検出するＭｎＫα線とＺ
ｎＫα線及び低い取出し角で検出するＦｅＫα線とＺｎ
Ｋα線のそれぞれの分析線について、分析時と同一の条
件下における理論強度計算式を求める理論強度計算式導
出手段と、該理論強度計算式導出手段で対象とした各分析線と同じ
分析線に関する別の簡易理論強度換算式を記憶し、標準
試料を対象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させるこ
とにより検出された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準試料
の蛍光Ｘ線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各
係数を求め、次に２層めっき鋼板を対象として前記蛍光
Ｘ線測定手段を作動させることにより検出された各蛍光
Ｘ線測定強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論
強度近似値をそれぞれ算出する理論強度近似値算出手段
と、前記理論強度計算式中のパラメーター群である各合金め
っき層の付着量と組成とを変化させ、それぞれのパラメ
ーター群に対応して算出される各分析線の理論強度と前
記理論強度近似値との差の平方をそれぞれ求め、それら
の合計量が最も小さい値となる前記理論強度式中の各パ
ラメーターを分析値とする分析値算出手段とを備えてい
ることを特徴とするオンライン分析装置。
【請求項４】請求項２記載の２層めっき鋼板のオンラ
イン分析方法に用いられる分析装置であって、Ｘ線を発
生するＸ線発生部と、Ｘ線のパスラインを決め、２層め
っき鋼板に所定の入射角で投射し、所定の取出し角で受
光するためのスリット系と、２層めっき鋼板から発生す
るＭｎＫα線、ＺｎＫα線及びバックグランド強度を高
い取出し角で検出する３個の検出器と、２層めっき鋼板
から発生するＦｅＫα線、ＺｎＫα線及びバックグラン
ド強度を低い取出し角で検出する３個の検出器とを備え
た蛍光Ｘ線測定強度測定部及び前記蛍光Ｘ線測定強度測
定部の制御を行う制御部からなる蛍光Ｘ線測定手段を有
し、さらに前記高い取出し角で検出するＭｎＫα線とＺ
ｎＫα線及び低い取出し角で検出するＦｅＫα線とＺｎ
Ｋα線のそれぞれの分析線について、分析時と同一条件
下で作成した前記理論強度計算式中のパラメーター群で
ある各合金めっき層の付着量と組成のそれぞれに関する
理論強度の検量線を記憶する検量線記憶手段と、該検量線記憶手段で対象とした各分析線と同じ分析線に
関する別の簡易理論強度換算式を記憶し、標準試料を対
象として前記蛍光Ｘ線測定手段を作動させることにより
検出された各蛍光Ｘ線測定強度と前記標準試料の蛍光Ｘ
線理論強度とから前記簡易理論強度換算式の各係数を求
め、次に２層めっき鋼板を対象として前記蛍光Ｘ線測定
手段を作動させることにより検出された各蛍光Ｘ線測定
強度を前記簡易理論強度換算式に代入して理論強度近似
値をそれぞれ算出する理論強度近似値算出手段と、前記パラメーター群の各パラメーターをそれぞれ一定値
に定めた場合に前記検量線より得られる各分析線の理論
強度と前記理論強度近似値とを比較してその差の平方を
求め、それらの合計量が最も小さい値となる前記各パラ
メーターを分析値とする分析値算出手段とを備えている
ことを特徴とするオンライン分析装置。