JPH07161593A - 半導体製造工場における処理装置選択支援システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 任意のロットの処理を行うことのできる処理
装置を、複数台の中から選択する場合に、容易かつ誤り
無く選択できるようにする。その判断の助けとなる情報
を表示して作業者に提供する。 【構成】 半導体製造ロット毎に装備されＩＣカード４
の情報を，ＩＣカードリーダライタで読み取って、カー
ドの情報を基にして当該ロットの処理が可能な処理装置
１を多数の処理装置１の中から検索し、検索した処理装
置１の情報を、端末機器７の画面に表示するように構成
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工場にお
いて任意のロットの処理を行う場合に、作業者が処理可
能な処理装置を複数台の中から選択する際の判断を助け
る半導体製造工場における処理装置選択支援システムに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１３は従来のロットの搬送が自動化さ
れていない場合の半導体製造システムを示す構成図であ
り、この図において、１は処理装置としての加工・検査
装置、２は加工・検査装置１に仕掛ロットが無いことを
知らせる表示灯、３はロット、４はロット番号と処理順
序が記憶されているＩＣカードである。

【０００３】次に動作について説明する。図１３に示さ
れたシステムでは、複数ある加工・検査装置１にロット
を搬送する場合、作業者は自分自身で処理できる処理装
置を判断して搬送を行っている。即ち、まず、ロット３
に備わっているＩＣカード４の情報により、そのロット
が当該加工・検査装置１群に搬送するロットかどうかを
確かめる。次いで、加工・検査装置１に当該ロット３を
処理可能な処理制御情報や処理器具が備わっているかど
うかを確認し、次にその加工・検査装置１が空き状態に
なっているかどうかを表示灯２によって確かめた上で、
処理可能な処理装置を決定して、搬送を行っている。ま
た、処理可能な装置が複数台あるときには、その中から
適当なものを選んで搬送している。

【０００４】図１４は加工・検査装置１間でロットを自
動搬送する自動搬送装置を備えた半導体製造システムを
示す構成図であり、図において、５はロットに備わった
ＩＣカードの固有情報を読み取るＩＣカードリーダライ
タ（Ｒ／Ｗ）、６は上位計算機、９はルートに沿って移
動する搬送車である。

【０００５】次に動作について説明する。図１４に示さ
れたシステムでは、加工・検査装置１は、自身が空き状
態にあるかどうかの情報や、自身に装備された処理器具
等の情報を上位計算機６に報告する。上位計算機６は、
自動運転時、ＩＣカードより得た情報を基に搬送可能な
加工・検査装置を割り出し、その装置への搬送命令を搬
送車９に出す。搬送車９は搬送命令により該当する加工
・検査装置１にルートを通ってロット３を搬送する。な
お、自動搬送装置が故障した場合は、加工・検査装置１
を選択する機能も止まってしまうため、自動搬送装置が
無い場合の前記システムと同様に、作業者が自身で搬送
作業を行っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造シス
テムは、以上のように構成されているので、加工・検査
装置間の搬送が自動化されていない場合、または自動化
されていても自動搬送装置が故障しているような場合、
作業者が適切な加工・検査装置を見付け出すまでに、何
回もの確認作業を行わなければならず、非常に時間がか
かり、また加工・検査装置への投入ミスの頻度も高くな
るなどの問題点があった。

【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、作業者に処理可能な処理装置に
関する情報を提供し、処理装置の選択を誤り無く容易に
なし得るようにした半導体製造工場における処理装置選
択支援システムを得ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る半
導体製造工場における処理装置選択支援システムは、ロ
ット固有の情報を記憶したカードと、カードの情報を読
み取るカード情報読み取り手段と、カードの情報を基に
して当該ロットの処理が可能な処理装置を複数の処理装
置の中から検索する検索手段と、検索した処理装置の情
報を画面に表示する表示手段とを備えたものである。

【０００９】請求項２の発明に係る半導体製造工場にお
ける処理装置選択支援システムは、請求項１の発明にお
ける検索手段として、カードの情報を基にして当該ロッ
トの処理が可能な処理器具を設備した処理装置を複数の
処理装置の中から検索する第１の検索手段と、第１の検
索手段が検索した処理装置のうち空き状態にある処理装
置を選択する第２の検索手段とを備え、第２の検索手段
の検索した処理装置の情報を表示手段の画面に表示する
ようにしたものである。

【００１０】

【作用】請求項１の発明における半導体製造工場におけ
る処理装置選択支援システムは、カードより得られるロ
ット情報に基づき、当該ロットを処理可能な処理装置を
検索して画面に表示する。したがって、作業者はこの表
示を基に当該ロットを処理できる処理装置を限定するこ
とができる。

【００１１】請求項２の発明における半導体製造工場に
おける処理装置選択支援システムは、カードより得られ
るロット情報に基づき、第１の検索手段が当該ロットを
処理可能な処理器具を設備した処理装置を検索し、第２
の検索手段がそのうちの空き状態にある処理装置のみを
検索して、第２の検索手段が検索した処理装置の情報を
表示手段が画面に表示する。したがって、作業者はこの
表示を基に当該ロットを処理できる処理装置を限定する
ことができる。

【００１２】

【実施例】実施例１．以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。図１はこの発明の一実施例による半導
体製造工場における処理装置選択支援システムを示す構
成図であり、図において、１は処理装置としての加工・
検査装置、３は半導体製造ロット、４はロット３毎に装
備されてロット固有の情報（ロット番号）を記憶したＩ
Ｃカード（カード）、５はＩＣカードリーダライタ（カ
ード情報読み取り手段）、６は上位計算機、７は表示画
面付きの端末機器（表示手段）、８は端末機器７と上位
計算機６とを結ぶ通信線である。上位計算機６は、種々
の情報ファイルから情報を読み込み、ロット情報と適合
する処理装置を複数の処理装置の中から検索する検索手
段としての機能を有する。より具体的には、ロット情報
と適合する処理器具を設備した処理装置を複数の処理装
置の中から検索する第１の検索手段と、第１の検索手段
の検索した処理装置のうち空き状態にある処理装置のみ
を検索する第２の検索手段としての機能を有する。

【００１３】図２は上位計算機６と各種情報ファイル及
びＩＣカードリーダライタ５との関係を示す図である。
１８はＩＣカードリーダライタ５の読み取ったデータ即
ちロット番号（以下、「ロットＮＯ．」と言う）１０を
受信する受信器である。情報ファイルとしては、ロット
搬送情報ファイル１１、装置一覧ファイル１２、装置仕
掛（しかかり）・空き情報ファイル１３、装置対応処理
器具使用状況ファイル１４、装置対応処理器具設置状況
ファイル１５、装置対応処理制御情報ファイル１６、ロ
ットＮＯ．対応処理条件ファイル１７、処理可能装置一
覧ファイル１９がある。

【００１４】ロット搬送情報ファイル１１とは、予め加
工開始前に作成されるもので、図６に示すように、ロッ
トの加工、検査の処理順序（ロットが製品となるまでに
繰り返される加工、検査の処理の順番）を示す製造フロ
ー表と、各処理毎に処理を行うことが可能な装置の種別
とを対応させた表を持っている。装置一覧ファイル１２
とは、図７に示すように、全部の装置ＮＯ．を種別毎の
表として持っているものである。装置仕掛・空き情報フ
ァイル１３とは、図８に示すように、加工・検査装置上
のロットの仕掛状態が変動する度（装置に新たにロット
を投入したり、処理の終了したロットが装置から排出さ
れた時など）に更新されるファイルで、一台一台の加工
・検査装置毎、またはその装置の保有するレーン（つま
り別々に処理することが可能な最小の単位）毎に仕掛が
あるかどうかの情報を持っているファイルである。この
情報は当該装置が処理可能か（他のロットを処理中でな
いか）どうかの判断に用いる。

【００１５】装置対応処理器具使用状況ファイル１４と
は、図９に示すように、加工あるいは検査に用いる処理
器具の加工・検査装置への設備状況や、その処理器具の
使用状況（使用回数）が変わる毎に更新されるファイル
であって、加工・検査装置に設置されている全ての器具
の使用状況の情報を持っている。この情報は、処理器具
が使用可能回数制限や、使用期限がある場合に、対象と
する処理器具が使用可能かどうかの判断に用いる。装置
対応処理器具設置状況ファイル１５とは、図１０に示す
ように、加工あるいは検査に用いる処理器具の加工・検
査装置への設置状況が変更される毎に更新されるファイ
ルで、装置毎にその加工・検査装置の保有している（設
置されている）処理器具ＮＯ．の情報を持っている。装
置対応処理制御情報ファイル１６とは、予め加工開始前
に設定されているが、必要に応じて変更されるもので、
装置に対応した処理制御情報を持っている。

【００１６】ロットＮＯ．対応処理条件ファイル１７と
は、予め加工開始前に作成されるもので、図１１に示す
ように、ロット毎の加工、検査処理に適合する処理器具
の情報を持っている。処理可能装置一覧ファイル１９と
は、図１２に示すように、作業者が直接画面に出力して
見ることのできる情報を持つファイルであり、ロットの
搬送に関しての必要な情報を各ファイルより取り込ん
で、搬送可能な装置の絞り込みを行った時点で作成され
るものである。

【００１７】次に、動作について説明する。まず、図１
により作業者の操作手順を述べる。あるロット３の処理
が可能な加工・検査装置１を、作業者が人手によって選
択するには、まずロット３にセットされているＩＣカー
ド４をロット３より取り出して、ＩＣカードリーダライ
タ（Ｒ／Ｗ）５にセットする。ＩＣカードＲ／Ｗ５は、
ＩＣカード４より、ロットＮＯ．を読み出し、上位計算
機６に報告する。

【００１８】上位計算機６は図３のフローチャートに沿
って処理を進める。上位計算機６は、ＩＣカードＲ／Ｗ
５によってロットＮＯ．が伝えられたことをトリガーに
して、ロットＮＯ．を読み込み（ステップＳＴ１０
１）、ロットＮＯ．に対応したロット搬送情報ファイル
１１を読み込む（ステップＳＴ１０２）。

【００１９】次に、そのロットが当該加工・検査装置１
群に搬送されて良いか否かをロット搬送情報ファイル１
１と照らし合わせてチェックする（ステップＳＴ１０
３）。ロットが上記チェックを満足したら、ロットＮ
Ｏ．を基にしてロットＮＯ．対応処理条件ファイル１７
を読み込む（ステップＳＴ１０４）。次に、全部の加工
・検査装置が入った装置一覧ファイル１２、加工・検査
装置１に設置されている処理器具の情報が入った装置対
応処理器具設置状況ファイル１５、その処理器具の現在
の使用可否情報が入った装置対応処理器具使用状況ファ
イル１４、加工・検査装置１を制御するための情報が入
った装置対応処理制御情報ファイル１６を読み込む（ス
テップＳＴ１０５）。また、このときに、加工・検査装
置１自体がロットを処理できる状態になっているかどう
かの情報が入った仕掛・空き情報ファイル１３を読み込
んでおく。

【００２０】次いで、上記ステップＳＴ１０４にて読み
込まれた情報と、ステップＳＴ１０５で読み込まれた情
報とを照らし合わせて、当該ロットの処理が可能な加工
・検査装置を割り出す（ステップＳＴ１０６）。そし
て、この絞り込まれた加工・検査装置群を処理可能装置
一覧ファイル１９に書き込む（ステップＳＴ１０７）。
さらに、当該ロットの処理が可能な種々の条件を満たし
た加工・検査装置に対して、最後に、その装置が現在他
のロットを処理中かどうかを、ステップＳＴ１０５で読
み込んだ装置仕掛・空き情報ファイル１３に照合し、最
終的に処理可能な装置を絞り込む（ステップＳＴ１０
８）。そして、ステップＳＴ１０８で得られた情報を図
５に示す画面フォーマットに編集し（ステップＳＴ１０
９）、端末機器７の画面に表示する（ステップＳＴ１１
０）。

【００２１】なお、ステップＳＴ１０３、ステップＳＴ
１０６、ステップＳＴ１０８にて一致するものが無かっ
た場合は、対象装置無しとしてエラー表示を図４の画面
に表示する（ステップＳＴ１１１）。また、上記の処理
により対象装置が無い場合は、搬送は待機中となるが、
再度図４の画面のリコールボタン２１を押すことによ
り、ステップＳＴ１０７の段階で蓄積している情報を基
に、ステップＳＴ１０６以降を実施し、その結果を表示
する。なお、図５は、図４の画面の次ページ選択ボタン
２０を押すことにより、全ての加工・検査装置につい
て、ステップＳＴ１０５と同様の情報を編集し、個々の
加工・検査装置毎に表示される画面である。

【００２２】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、任意のロットについて処理可能な処理装置を検索し
て表示するように構成したので、作業者は表示を見て、
当該ロットを搬送する処理装置を限定することができ
る。したがって、処理装置間の搬送が自動化されていな
い場合、または自動化されていても自動搬送装置が故障
しているような場合に、作業者は容易に誤り無くロット
を適正な処理装置に搬送することができるなどの効果が
ある。

【００２３】請求項２の発明によれば、任意のロットに
ついて処理可能な処理器具を備えた処理装置のうち、空
き状態にある処理装置のみを検索して表示するように構
成したので、作業者は表示を見て、当該ロットを搬送す
る処理装置を限定することができる。したがって、処理
装置間の搬送が自動化されていない場合、または自動化
されていても自動搬送装置が故障しているような場合
に、作業者は容易に誤り無くロットを適正な処理装置に
搬送することができるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による半導体製造工場にお
ける処理装置選択支援システムを示す構成図である。

【図２】同システムにおける上位計算機と各情報ファイ
ルの関係を示す構成図である。

【図３】同システムの情報処理内容を示すフローチャー
トである。

【図４】同システムで端末機器に表示する画面内容の一
例を示す図である。

【図５】同画面内容の他の例を示す図である。

【図６】同システムで用いるロット搬送情報ファイルの
内容を示す表図である。

【図７】同システムで用いる装置一覧ファイルの内容を
示す表図である。

【図８】同システムで用いる仕掛・空き情報ファイルの
内容を示す表図である。

【図９】同システムで用いる装置対応処理器具使用状況
ファイルの内容を示す表図である。

【図１０】同システムで用いる装置対応処理器具設置状
況ファイルの内容を示す表図である。

【図１１】同システムで用いるロットＮＯ．対応処理条
件ファイルの内容を示す表図である。

【図１２】同システムで用いる処理可能装置一覧ファイ
ルの内容を示す表図である。

【図１３】従来の半導体製造システムの一例を示す構成
図である。

【図１４】従来の半導体製造システムの他の例を示す構
成図である。

【符号の説明】

１ 加工・検査装置（処理装置） ３ ロット ４ ＩＣカード（カード） ５ ＩＣカードリーダライタ（カード情報読み取り手
段） ６ 上位計算機（検索手段，第１の検索手段、第２の検
索手段） ７ 端末機器（表示手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造ロット毎に装備されロット固
   有の情報を記憶したカードと、該カードの情報を読み取
   るカード情報読み取り手段と、前記カードの情報を基に
   して当該ロットの処理が可能な処理装置を複数の処理装
   置の中から検索する検索手段と、その検索した処理装置
   の情報を画面に表示する表示手段とを備えた半導体製造
   工場における処理装置選択支援システム。
2. 【請求項２】 半導体製造ロット毎に装備されロット固
   有の情報を記憶したカードと、該カードの情報を読み取
   るカード情報読み取り手段と、前記カードの情報を基に
   して当該ロットの処理が可能な処理器具を設備した処理
   装置を複数の処理装置の中から検索する第１の検索手段
   と、該第１の検索手段が検索した処理装置のうち空き状
   態にある処理装置を選択する第２の検索手段と、該第２
   の検索手段の検索した処理装置の情報を画面に表示する
   表示手段とを備えた半導体製造工場における処理装置選
   択支援システム。