JPH07161593A - 半導体製造工場における処理装置選択支援システム - Google Patents
半導体製造工場における処理装置選択支援システムInfo
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- JPH07161593A JPH07161593A JP30839193A JP30839193A JPH07161593A JP H07161593 A JPH07161593 A JP H07161593A JP 30839193 A JP30839193 A JP 30839193A JP 30839193 A JP30839193 A JP 30839193A JP H07161593 A JPH07161593 A JP H07161593A
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- Japan
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- processing
- lot
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- card
- semiconductor manufacturing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 任意のロットの処理を行うことのできる処理
装置を、複数台の中から選択する場合に、容易かつ誤り
無く選択できるようにする。その判断の助けとなる情報
を表示して作業者に提供する。 【構成】 半導体製造ロット毎に装備されICカード4
の情報を,ICカードリーダライタで読み取って、カー
ドの情報を基にして当該ロットの処理が可能な処理装置
1を多数の処理装置1の中から検索し、検索した処理装
置1の情報を、端末機器7の画面に表示するように構成
した。
装置を、複数台の中から選択する場合に、容易かつ誤り
無く選択できるようにする。その判断の助けとなる情報
を表示して作業者に提供する。 【構成】 半導体製造ロット毎に装備されICカード4
の情報を,ICカードリーダライタで読み取って、カー
ドの情報を基にして当該ロットの処理が可能な処理装置
1を多数の処理装置1の中から検索し、検索した処理装
置1の情報を、端末機器7の画面に表示するように構成
した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工場にお
いて任意のロットの処理を行う場合に、作業者が処理可
能な処理装置を複数台の中から選択する際の判断を助け
る半導体製造工場における処理装置選択支援システムに
関するものである。
いて任意のロットの処理を行う場合に、作業者が処理可
能な処理装置を複数台の中から選択する際の判断を助け
る半導体製造工場における処理装置選択支援システムに
関するものである。
【0002】
【従来の技術】図13は従来のロットの搬送が自動化さ
れていない場合の半導体製造システムを示す構成図であ
り、この図において、1は処理装置としての加工・検査
装置、2は加工・検査装置1に仕掛ロットが無いことを
知らせる表示灯、3はロット、4はロット番号と処理順
序が記憶されているICカードである。
れていない場合の半導体製造システムを示す構成図であ
り、この図において、1は処理装置としての加工・検査
装置、2は加工・検査装置1に仕掛ロットが無いことを
知らせる表示灯、3はロット、4はロット番号と処理順
序が記憶されているICカードである。
【0003】次に動作について説明する。図13に示さ
れたシステムでは、複数ある加工・検査装置1にロット
を搬送する場合、作業者は自分自身で処理できる処理装
置を判断して搬送を行っている。即ち、まず、ロット3
に備わっているICカード4の情報により、そのロット
が当該加工・検査装置1群に搬送するロットかどうかを
確かめる。次いで、加工・検査装置1に当該ロット3を
処理可能な処理制御情報や処理器具が備わっているかど
うかを確認し、次にその加工・検査装置1が空き状態に
なっているかどうかを表示灯2によって確かめた上で、
処理可能な処理装置を決定して、搬送を行っている。ま
た、処理可能な装置が複数台あるときには、その中から
適当なものを選んで搬送している。
れたシステムでは、複数ある加工・検査装置1にロット
を搬送する場合、作業者は自分自身で処理できる処理装
置を判断して搬送を行っている。即ち、まず、ロット3
に備わっているICカード4の情報により、そのロット
が当該加工・検査装置1群に搬送するロットかどうかを
確かめる。次いで、加工・検査装置1に当該ロット3を
処理可能な処理制御情報や処理器具が備わっているかど
うかを確認し、次にその加工・検査装置1が空き状態に
なっているかどうかを表示灯2によって確かめた上で、
処理可能な処理装置を決定して、搬送を行っている。ま
た、処理可能な装置が複数台あるときには、その中から
適当なものを選んで搬送している。
【0004】図14は加工・検査装置1間でロットを自
動搬送する自動搬送装置を備えた半導体製造システムを
示す構成図であり、図において、5はロットに備わった
ICカードの固有情報を読み取るICカードリーダライ
タ(R/W)、6は上位計算機、9はルートに沿って移
動する搬送車である。
動搬送する自動搬送装置を備えた半導体製造システムを
示す構成図であり、図において、5はロットに備わった
ICカードの固有情報を読み取るICカードリーダライ
タ(R/W)、6は上位計算機、9はルートに沿って移
動する搬送車である。
【0005】次に動作について説明する。図14に示さ
れたシステムでは、加工・検査装置1は、自身が空き状
態にあるかどうかの情報や、自身に装備された処理器具
等の情報を上位計算機6に報告する。上位計算機6は、
自動運転時、ICカードより得た情報を基に搬送可能な
加工・検査装置を割り出し、その装置への搬送命令を搬
送車9に出す。搬送車9は搬送命令により該当する加工
・検査装置1にルートを通ってロット3を搬送する。な
お、自動搬送装置が故障した場合は、加工・検査装置1
を選択する機能も止まってしまうため、自動搬送装置が
無い場合の前記システムと同様に、作業者が自身で搬送
作業を行っている。
れたシステムでは、加工・検査装置1は、自身が空き状
態にあるかどうかの情報や、自身に装備された処理器具
等の情報を上位計算機6に報告する。上位計算機6は、
自動運転時、ICカードより得た情報を基に搬送可能な
加工・検査装置を割り出し、その装置への搬送命令を搬
送車9に出す。搬送車9は搬送命令により該当する加工
・検査装置1にルートを通ってロット3を搬送する。な
お、自動搬送装置が故障した場合は、加工・検査装置1
を選択する機能も止まってしまうため、自動搬送装置が
無い場合の前記システムと同様に、作業者が自身で搬送
作業を行っている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造シス
テムは、以上のように構成されているので、加工・検査
装置間の搬送が自動化されていない場合、または自動化
されていても自動搬送装置が故障しているような場合、
作業者が適切な加工・検査装置を見付け出すまでに、何
回もの確認作業を行わなければならず、非常に時間がか
かり、また加工・検査装置への投入ミスの頻度も高くな
るなどの問題点があった。
テムは、以上のように構成されているので、加工・検査
装置間の搬送が自動化されていない場合、または自動化
されていても自動搬送装置が故障しているような場合、
作業者が適切な加工・検査装置を見付け出すまでに、何
回もの確認作業を行わなければならず、非常に時間がか
かり、また加工・検査装置への投入ミスの頻度も高くな
るなどの問題点があった。
【0007】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、作業者に処理可能な処理装置に
関する情報を提供し、処理装置の選択を誤り無く容易に
なし得るようにした半導体製造工場における処理装置選
択支援システムを得ることを目的とする。
ためになされたもので、作業者に処理可能な処理装置に
関する情報を提供し、処理装置の選択を誤り無く容易に
なし得るようにした半導体製造工場における処理装置選
択支援システムを得ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る半
導体製造工場における処理装置選択支援システムは、ロ
ット固有の情報を記憶したカードと、カードの情報を読
み取るカード情報読み取り手段と、カードの情報を基に
して当該ロットの処理が可能な処理装置を複数の処理装
置の中から検索する検索手段と、検索した処理装置の情
報を画面に表示する表示手段とを備えたものである。
導体製造工場における処理装置選択支援システムは、ロ
ット固有の情報を記憶したカードと、カードの情報を読
み取るカード情報読み取り手段と、カードの情報を基に
して当該ロットの処理が可能な処理装置を複数の処理装
置の中から検索する検索手段と、検索した処理装置の情
報を画面に表示する表示手段とを備えたものである。
【0009】請求項2の発明に係る半導体製造工場にお
ける処理装置選択支援システムは、請求項1の発明にお
ける検索手段として、カードの情報を基にして当該ロッ
トの処理が可能な処理器具を設備した処理装置を複数の
処理装置の中から検索する第1の検索手段と、第1の検
索手段が検索した処理装置のうち空き状態にある処理装
置を選択する第2の検索手段とを備え、第2の検索手段
の検索した処理装置の情報を表示手段の画面に表示する
ようにしたものである。
ける処理装置選択支援システムは、請求項1の発明にお
ける検索手段として、カードの情報を基にして当該ロッ
トの処理が可能な処理器具を設備した処理装置を複数の
処理装置の中から検索する第1の検索手段と、第1の検
索手段が検索した処理装置のうち空き状態にある処理装
置を選択する第2の検索手段とを備え、第2の検索手段
の検索した処理装置の情報を表示手段の画面に表示する
ようにしたものである。
【0010】
【作用】請求項1の発明における半導体製造工場におけ
る処理装置選択支援システムは、カードより得られるロ
ット情報に基づき、当該ロットを処理可能な処理装置を
検索して画面に表示する。したがって、作業者はこの表
示を基に当該ロットを処理できる処理装置を限定するこ
とができる。
る処理装置選択支援システムは、カードより得られるロ
ット情報に基づき、当該ロットを処理可能な処理装置を
検索して画面に表示する。したがって、作業者はこの表
示を基に当該ロットを処理できる処理装置を限定するこ
とができる。
【0011】請求項2の発明における半導体製造工場に
おける処理装置選択支援システムは、カードより得られ
るロット情報に基づき、第1の検索手段が当該ロットを
処理可能な処理器具を設備した処理装置を検索し、第2
の検索手段がそのうちの空き状態にある処理装置のみを
検索して、第2の検索手段が検索した処理装置の情報を
表示手段が画面に表示する。したがって、作業者はこの
表示を基に当該ロットを処理できる処理装置を限定する
ことができる。
おける処理装置選択支援システムは、カードより得られ
るロット情報に基づき、第1の検索手段が当該ロットを
処理可能な処理器具を設備した処理装置を検索し、第2
の検索手段がそのうちの空き状態にある処理装置のみを
検索して、第2の検索手段が検索した処理装置の情報を
表示手段が画面に表示する。したがって、作業者はこの
表示を基に当該ロットを処理できる処理装置を限定する
ことができる。
【0012】
【実施例】実施例1.以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。図1はこの発明の一実施例による半導
体製造工場における処理装置選択支援システムを示す構
成図であり、図において、1は処理装置としての加工・
検査装置、3は半導体製造ロット、4はロット3毎に装
備されてロット固有の情報(ロット番号)を記憶したI
Cカード(カード)、5はICカードリーダライタ(カ
ード情報読み取り手段)、6は上位計算機、7は表示画
面付きの端末機器(表示手段)、8は端末機器7と上位
計算機6とを結ぶ通信線である。上位計算機6は、種々
の情報ファイルから情報を読み込み、ロット情報と適合
する処理装置を複数の処理装置の中から検索する検索手
段としての機能を有する。より具体的には、ロット情報
と適合する処理器具を設備した処理装置を複数の処理装
置の中から検索する第1の検索手段と、第1の検索手段
の検索した処理装置のうち空き状態にある処理装置のみ
を検索する第2の検索手段としての機能を有する。
ついて説明する。図1はこの発明の一実施例による半導
体製造工場における処理装置選択支援システムを示す構
成図であり、図において、1は処理装置としての加工・
検査装置、3は半導体製造ロット、4はロット3毎に装
備されてロット固有の情報(ロット番号)を記憶したI
Cカード(カード)、5はICカードリーダライタ(カ
ード情報読み取り手段)、6は上位計算機、7は表示画
面付きの端末機器(表示手段)、8は端末機器7と上位
計算機6とを結ぶ通信線である。上位計算機6は、種々
の情報ファイルから情報を読み込み、ロット情報と適合
する処理装置を複数の処理装置の中から検索する検索手
段としての機能を有する。より具体的には、ロット情報
と適合する処理器具を設備した処理装置を複数の処理装
置の中から検索する第1の検索手段と、第1の検索手段
の検索した処理装置のうち空き状態にある処理装置のみ
を検索する第2の検索手段としての機能を有する。
【0013】図2は上位計算機6と各種情報ファイル及
びICカードリーダライタ5との関係を示す図である。
18はICカードリーダライタ5の読み取ったデータ即
ちロット番号(以下、「ロットNO.」と言う)10を
受信する受信器である。情報ファイルとしては、ロット
搬送情報ファイル11、装置一覧ファイル12、装置仕
掛(しかかり)・空き情報ファイル13、装置対応処理
器具使用状況ファイル14、装置対応処理器具設置状況
ファイル15、装置対応処理制御情報ファイル16、ロ
ットNO.対応処理条件ファイル17、処理可能装置一
覧ファイル19がある。
びICカードリーダライタ5との関係を示す図である。
18はICカードリーダライタ5の読み取ったデータ即
ちロット番号(以下、「ロットNO.」と言う)10を
受信する受信器である。情報ファイルとしては、ロット
搬送情報ファイル11、装置一覧ファイル12、装置仕
掛(しかかり)・空き情報ファイル13、装置対応処理
器具使用状況ファイル14、装置対応処理器具設置状況
ファイル15、装置対応処理制御情報ファイル16、ロ
ットNO.対応処理条件ファイル17、処理可能装置一
覧ファイル19がある。
【0014】ロット搬送情報ファイル11とは、予め加
工開始前に作成されるもので、図6に示すように、ロッ
トの加工、検査の処理順序(ロットが製品となるまでに
繰り返される加工、検査の処理の順番)を示す製造フロ
ー表と、各処理毎に処理を行うことが可能な装置の種別
とを対応させた表を持っている。装置一覧ファイル12
とは、図7に示すように、全部の装置NO.を種別毎の
表として持っているものである。装置仕掛・空き情報フ
ァイル13とは、図8に示すように、加工・検査装置上
のロットの仕掛状態が変動する度(装置に新たにロット
を投入したり、処理の終了したロットが装置から排出さ
れた時など)に更新されるファイルで、一台一台の加工
・検査装置毎、またはその装置の保有するレーン(つま
り別々に処理することが可能な最小の単位)毎に仕掛が
あるかどうかの情報を持っているファイルである。この
情報は当該装置が処理可能か(他のロットを処理中でな
いか)どうかの判断に用いる。
工開始前に作成されるもので、図6に示すように、ロッ
トの加工、検査の処理順序(ロットが製品となるまでに
繰り返される加工、検査の処理の順番)を示す製造フロ
ー表と、各処理毎に処理を行うことが可能な装置の種別
とを対応させた表を持っている。装置一覧ファイル12
とは、図7に示すように、全部の装置NO.を種別毎の
表として持っているものである。装置仕掛・空き情報フ
ァイル13とは、図8に示すように、加工・検査装置上
のロットの仕掛状態が変動する度(装置に新たにロット
を投入したり、処理の終了したロットが装置から排出さ
れた時など)に更新されるファイルで、一台一台の加工
・検査装置毎、またはその装置の保有するレーン(つま
り別々に処理することが可能な最小の単位)毎に仕掛が
あるかどうかの情報を持っているファイルである。この
情報は当該装置が処理可能か(他のロットを処理中でな
いか)どうかの判断に用いる。
【0015】装置対応処理器具使用状況ファイル14と
は、図9に示すように、加工あるいは検査に用いる処理
器具の加工・検査装置への設備状況や、その処理器具の
使用状況(使用回数)が変わる毎に更新されるファイル
であって、加工・検査装置に設置されている全ての器具
の使用状況の情報を持っている。この情報は、処理器具
が使用可能回数制限や、使用期限がある場合に、対象と
する処理器具が使用可能かどうかの判断に用いる。装置
対応処理器具設置状況ファイル15とは、図10に示す
ように、加工あるいは検査に用いる処理器具の加工・検
査装置への設置状況が変更される毎に更新されるファイ
ルで、装置毎にその加工・検査装置の保有している(設
置されている)処理器具NO.の情報を持っている。装
置対応処理制御情報ファイル16とは、予め加工開始前
に設定されているが、必要に応じて変更されるもので、
装置に対応した処理制御情報を持っている。
は、図9に示すように、加工あるいは検査に用いる処理
器具の加工・検査装置への設備状況や、その処理器具の
使用状況(使用回数)が変わる毎に更新されるファイル
であって、加工・検査装置に設置されている全ての器具
の使用状況の情報を持っている。この情報は、処理器具
が使用可能回数制限や、使用期限がある場合に、対象と
する処理器具が使用可能かどうかの判断に用いる。装置
対応処理器具設置状況ファイル15とは、図10に示す
ように、加工あるいは検査に用いる処理器具の加工・検
査装置への設置状況が変更される毎に更新されるファイ
ルで、装置毎にその加工・検査装置の保有している(設
置されている)処理器具NO.の情報を持っている。装
置対応処理制御情報ファイル16とは、予め加工開始前
に設定されているが、必要に応じて変更されるもので、
装置に対応した処理制御情報を持っている。
【0016】ロットNO.対応処理条件ファイル17と
は、予め加工開始前に作成されるもので、図11に示す
ように、ロット毎の加工、検査処理に適合する処理器具
の情報を持っている。処理可能装置一覧ファイル19と
は、図12に示すように、作業者が直接画面に出力して
見ることのできる情報を持つファイルであり、ロットの
搬送に関しての必要な情報を各ファイルより取り込ん
で、搬送可能な装置の絞り込みを行った時点で作成され
るものである。
は、予め加工開始前に作成されるもので、図11に示す
ように、ロット毎の加工、検査処理に適合する処理器具
の情報を持っている。処理可能装置一覧ファイル19と
は、図12に示すように、作業者が直接画面に出力して
見ることのできる情報を持つファイルであり、ロットの
搬送に関しての必要な情報を各ファイルより取り込ん
で、搬送可能な装置の絞り込みを行った時点で作成され
るものである。
【0017】次に、動作について説明する。まず、図1
により作業者の操作手順を述べる。あるロット3の処理
が可能な加工・検査装置1を、作業者が人手によって選
択するには、まずロット3にセットされているICカー
ド4をロット3より取り出して、ICカードリーダライ
タ(R/W)5にセットする。ICカードR/W5は、
ICカード4より、ロットNO.を読み出し、上位計算
機6に報告する。
により作業者の操作手順を述べる。あるロット3の処理
が可能な加工・検査装置1を、作業者が人手によって選
択するには、まずロット3にセットされているICカー
ド4をロット3より取り出して、ICカードリーダライ
タ(R/W)5にセットする。ICカードR/W5は、
ICカード4より、ロットNO.を読み出し、上位計算
機6に報告する。
【0018】上位計算機6は図3のフローチャートに沿
って処理を進める。上位計算機6は、ICカードR/W
5によってロットNO.が伝えられたことをトリガーに
して、ロットNO.を読み込み(ステップST10
1)、ロットNO.に対応したロット搬送情報ファイル
11を読み込む(ステップST102)。
って処理を進める。上位計算機6は、ICカードR/W
5によってロットNO.が伝えられたことをトリガーに
して、ロットNO.を読み込み(ステップST10
1)、ロットNO.に対応したロット搬送情報ファイル
11を読み込む(ステップST102)。
【0019】次に、そのロットが当該加工・検査装置1
群に搬送されて良いか否かをロット搬送情報ファイル1
1と照らし合わせてチェックする(ステップST10
3)。ロットが上記チェックを満足したら、ロットN
O.を基にしてロットNO.対応処理条件ファイル17
を読み込む(ステップST104)。次に、全部の加工
・検査装置が入った装置一覧ファイル12、加工・検査
装置1に設置されている処理器具の情報が入った装置対
応処理器具設置状況ファイル15、その処理器具の現在
の使用可否情報が入った装置対応処理器具使用状況ファ
イル14、加工・検査装置1を制御するための情報が入
った装置対応処理制御情報ファイル16を読み込む(ス
テップST105)。また、このときに、加工・検査装
置1自体がロットを処理できる状態になっているかどう
かの情報が入った仕掛・空き情報ファイル13を読み込
んでおく。
群に搬送されて良いか否かをロット搬送情報ファイル1
1と照らし合わせてチェックする(ステップST10
3)。ロットが上記チェックを満足したら、ロットN
O.を基にしてロットNO.対応処理条件ファイル17
を読み込む(ステップST104)。次に、全部の加工
・検査装置が入った装置一覧ファイル12、加工・検査
装置1に設置されている処理器具の情報が入った装置対
応処理器具設置状況ファイル15、その処理器具の現在
の使用可否情報が入った装置対応処理器具使用状況ファ
イル14、加工・検査装置1を制御するための情報が入
った装置対応処理制御情報ファイル16を読み込む(ス
テップST105)。また、このときに、加工・検査装
置1自体がロットを処理できる状態になっているかどう
かの情報が入った仕掛・空き情報ファイル13を読み込
んでおく。
【0020】次いで、上記ステップST104にて読み
込まれた情報と、ステップST105で読み込まれた情
報とを照らし合わせて、当該ロットの処理が可能な加工
・検査装置を割り出す(ステップST106)。そし
て、この絞り込まれた加工・検査装置群を処理可能装置
一覧ファイル19に書き込む(ステップST107)。
さらに、当該ロットの処理が可能な種々の条件を満たし
た加工・検査装置に対して、最後に、その装置が現在他
のロットを処理中かどうかを、ステップST105で読
み込んだ装置仕掛・空き情報ファイル13に照合し、最
終的に処理可能な装置を絞り込む(ステップST10
8)。そして、ステップST108で得られた情報を図
5に示す画面フォーマットに編集し(ステップST10
9)、端末機器7の画面に表示する(ステップST11
0)。
込まれた情報と、ステップST105で読み込まれた情
報とを照らし合わせて、当該ロットの処理が可能な加工
・検査装置を割り出す(ステップST106)。そし
て、この絞り込まれた加工・検査装置群を処理可能装置
一覧ファイル19に書き込む(ステップST107)。
さらに、当該ロットの処理が可能な種々の条件を満たし
た加工・検査装置に対して、最後に、その装置が現在他
のロットを処理中かどうかを、ステップST105で読
み込んだ装置仕掛・空き情報ファイル13に照合し、最
終的に処理可能な装置を絞り込む(ステップST10
8)。そして、ステップST108で得られた情報を図
5に示す画面フォーマットに編集し(ステップST10
9)、端末機器7の画面に表示する(ステップST11
0)。
【0021】なお、ステップST103、ステップST
106、ステップST108にて一致するものが無かっ
た場合は、対象装置無しとしてエラー表示を図4の画面
に表示する(ステップST111)。また、上記の処理
により対象装置が無い場合は、搬送は待機中となるが、
再度図4の画面のリコールボタン21を押すことによ
り、ステップST107の段階で蓄積している情報を基
に、ステップST106以降を実施し、その結果を表示
する。なお、図5は、図4の画面の次ページ選択ボタン
20を押すことにより、全ての加工・検査装置につい
て、ステップST105と同様の情報を編集し、個々の
加工・検査装置毎に表示される画面である。
106、ステップST108にて一致するものが無かっ
た場合は、対象装置無しとしてエラー表示を図4の画面
に表示する(ステップST111)。また、上記の処理
により対象装置が無い場合は、搬送は待機中となるが、
再度図4の画面のリコールボタン21を押すことによ
り、ステップST107の段階で蓄積している情報を基
に、ステップST106以降を実施し、その結果を表示
する。なお、図5は、図4の画面の次ページ選択ボタン
20を押すことにより、全ての加工・検査装置につい
て、ステップST105と同様の情報を編集し、個々の
加工・検査装置毎に表示される画面である。
【0022】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、任意のロットについて処理可能な処理装置を検索し
て表示するように構成したので、作業者は表示を見て、
当該ロットを搬送する処理装置を限定することができ
る。したがって、処理装置間の搬送が自動化されていな
い場合、または自動化されていても自動搬送装置が故障
しているような場合に、作業者は容易に誤り無くロット
を適正な処理装置に搬送することができるなどの効果が
ある。
ば、任意のロットについて処理可能な処理装置を検索し
て表示するように構成したので、作業者は表示を見て、
当該ロットを搬送する処理装置を限定することができ
る。したがって、処理装置間の搬送が自動化されていな
い場合、または自動化されていても自動搬送装置が故障
しているような場合に、作業者は容易に誤り無くロット
を適正な処理装置に搬送することができるなどの効果が
ある。
【0023】請求項2の発明によれば、任意のロットに
ついて処理可能な処理器具を備えた処理装置のうち、空
き状態にある処理装置のみを検索して表示するように構
成したので、作業者は表示を見て、当該ロットを搬送す
る処理装置を限定することができる。したがって、処理
装置間の搬送が自動化されていない場合、または自動化
されていても自動搬送装置が故障しているような場合
に、作業者は容易に誤り無くロットを適正な処理装置に
搬送することができるなどの効果がある。
ついて処理可能な処理器具を備えた処理装置のうち、空
き状態にある処理装置のみを検索して表示するように構
成したので、作業者は表示を見て、当該ロットを搬送す
る処理装置を限定することができる。したがって、処理
装置間の搬送が自動化されていない場合、または自動化
されていても自動搬送装置が故障しているような場合
に、作業者は容易に誤り無くロットを適正な処理装置に
搬送することができるなどの効果がある。
【図1】この発明の一実施例による半導体製造工場にお
ける処理装置選択支援システムを示す構成図である。
ける処理装置選択支援システムを示す構成図である。
【図2】同システムにおける上位計算機と各情報ファイ
ルの関係を示す構成図である。
ルの関係を示す構成図である。
【図3】同システムの情報処理内容を示すフローチャー
トである。
トである。
【図4】同システムで端末機器に表示する画面内容の一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図5】同画面内容の他の例を示す図である。
【図6】同システムで用いるロット搬送情報ファイルの
内容を示す表図である。
内容を示す表図である。
【図7】同システムで用いる装置一覧ファイルの内容を
示す表図である。
示す表図である。
【図8】同システムで用いる仕掛・空き情報ファイルの
内容を示す表図である。
内容を示す表図である。
【図9】同システムで用いる装置対応処理器具使用状況
ファイルの内容を示す表図である。
ファイルの内容を示す表図である。
【図10】同システムで用いる装置対応処理器具設置状
況ファイルの内容を示す表図である。
況ファイルの内容を示す表図である。
【図11】同システムで用いるロットNO.対応処理条
件ファイルの内容を示す表図である。
件ファイルの内容を示す表図である。
【図12】同システムで用いる処理可能装置一覧ファイ
ルの内容を示す表図である。
ルの内容を示す表図である。
【図13】従来の半導体製造システムの一例を示す構成
図である。
図である。
【図14】従来の半導体製造システムの他の例を示す構
成図である。
成図である。
1 加工・検査装置(処理装置) 3 ロット 4 ICカード(カード) 5 ICカードリーダライタ(カード情報読み取り手
段) 6 上位計算機(検索手段,第1の検索手段、第2の検
索手段) 7 端末機器(表示手段)
段) 6 上位計算機(検索手段,第1の検索手段、第2の検
索手段) 7 端末機器(表示手段)
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体製造ロット毎に装備されロット固
有の情報を記憶したカードと、該カードの情報を読み取
るカード情報読み取り手段と、前記カードの情報を基に
して当該ロットの処理が可能な処理装置を複数の処理装
置の中から検索する検索手段と、その検索した処理装置
の情報を画面に表示する表示手段とを備えた半導体製造
工場における処理装置選択支援システム。 - 【請求項2】 半導体製造ロット毎に装備されロット固
有の情報を記憶したカードと、該カードの情報を読み取
るカード情報読み取り手段と、前記カードの情報を基に
して当該ロットの処理が可能な処理器具を設備した処理
装置を複数の処理装置の中から検索する第1の検索手段
と、該第1の検索手段が検索した処理装置のうち空き状
態にある処理装置を選択する第2の検索手段と、該第2
の検索手段の検索した処理装置の情報を画面に表示する
表示手段とを備えた半導体製造工場における処理装置選
択支援システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30839193A JPH07161593A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 半導体製造工場における処理装置選択支援システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30839193A JPH07161593A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 半導体製造工場における処理装置選択支援システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07161593A true JPH07161593A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=17980502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30839193A Pending JPH07161593A (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 半導体製造工場における処理装置選択支援システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07161593A (ja) |
-
1993
- 1993-12-08 JP JP30839193A patent/JPH07161593A/ja active Pending
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