JPH0716091B2

JPH0716091B2 - スプレーパイプの首振り装置

Info

Publication number: JPH0716091B2
Application number: JP30417991A
Authority: JP
Inventors: 喜三郎新山; 輝男望月
Original assignee: 東京化工機株式会社
Priority date: 1991-10-23
Filing date: 1991-10-23
Publication date: 1995-02-22
Anticipated expiration: 2010-02-22
Also published as: JPH05114778A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スプレーパイプの首振
り装置に関する。すなわち、プリント配線基板の製造工
程において用いられ、搬送されるプリント配線基板に対
し、処理室内で薬液を噴射するスプレーパイプの首振り
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線基板の製造工程、つまり、
その現像，エッチング，剥膜の各工程では、搬送される
プリント配線基板に対し、その各処理室内で首振り揺動
する上下のスプレーパイプの多数のスプレーノズルか
ら、それぞれ現像液，腐食液，剥離液等の薬液が噴射さ
れ、もって現像，エッチング，剥膜等の所定の処理が行
われている。図４は、このようなスプレーパイプ１の従
来の首振り装置２の正面図であり、図５は、同外観側面
図である。この図４，図５に示すように、従来の首振り
装置２では処理室３外において、モータ４にクランク部
５を介し上下に往復動する連結バー６が連結され、この
連結バー６にピンにて上下の介裝材７の一端がそれぞれ
取り付けられており、両介裝材７の他端側に、それぞれ
１個のスプレーパイプ１の一端部の軸が固定されると共
に、プリント配線基板の搬送方向に対し直角の左右に水
平に往復動可能なオシレーションバー８がピンにて取り
付けられている。オシレーションバー８には、残りのス
プレーパイプ１の一端部の軸が介裝部材９，ピン等を介
し取り付けられている。そして図４に示すように、上下
の各スプレーパイプ１は、それぞれ耐酸，耐アルカリ性
に優れたメタル製の軸受メタル１０を介し、その軸が処
理室３の壁を貫通して、処理室３内に配されている。１
１は、各スプレーパイプ１の他端部に接続され、薬液を
供給する分岐管である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来例にあっては次の問題が指摘されていた。すなわ
ち、このような従来のスプレーパイプ１の首振り装置２
では、処理室３外において、モータ４にて連結バー６が
上下に往復動されることにより、揺動する介裝材７，左
右に往復動するオシレーションバー８等を介し、上下の
各スプレーパイプ１の軸がそれぞれ首振り揺動される。
そこで、このように処理室３外で首振り揺動される各ス
プレーパイプ１は、当然処理室３内でも首振り揺動しつ
つ、分岐管１１から供給された薬液をプリント配線基板
に噴射する。さてここで、このように首振り揺動される
各スプレーパイプ１は、それぞれの一端部の軸が処理室
３の内外を貫通する際、軸受メタル１０により支持され
ると共にシールされている。そこで各軸受メタル１０
に、対応するスプレーパイプ１の荷重がかかり、短期間
のうちに磨耗してシールが損なわれやすかった。従来の
首振り装置２では、各スプレーパイプ１の数だけ処理室
３に貫通箇所が存し、耐酸，耐アルカリ性に優れた軸受
メタル１０が用いられているが、このように多数の軸受
メタル１０が極めて磨耗しやすいので、シールが損なわ
れその磨耗した各隙間から、処理室３内の薬液やそのガ
ス等が処理室３外に多量に漏れ出してしまうという問題
があった。

【０００４】すなわち処理室３内では、各スプレーパイ
プ１から酸，アルカリ性の薬液である現像液，腐食液，
剥離液等が噴射されるが、このような薬液やその噴射に
より噴霧状態となりガス化したものが、各軸受メタル１
０の磨耗した隙間から、外部つまり工場内に多量に漏れ
出てしまうという問題があった。そして第１に、このよ
うに工場内に漏れ出した薬液やそのガス等が、工場内に
ストックされているプリント配線基板等の製品を酸化，
腐食させてしまう等、その種々の不良の原因となり、歩
留まりが悪かった。そしてこの点は、高密度化，小型軽
量化，高多層化が進み、回路の微細化・細密化が進むプ
リント配線基板にとって、極めて重大な問題となってい
た。第２に、更に工場内に漏れ出した薬液やそのガス等
が、工場内に設置されている精密機器，電子機器，その
他各種の機械器具を酸化，腐食させてしまい、その機能
低下を招いていた。特に、工場内に空調設備が設けられ
ている場合、係る酸，アルカリ性のガスによる酸化，腐
食が激しく、又、空調設備も酸化，腐食され、更に作業
者の健康への悪影響も指摘されていた。

【０００５】本発明は、このような実情に鑑み上記従来
例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果
なされたものであって、処理室内に、各スプレーパイプ
に固定されたギヤと、このギヤと噛み合うラックギヤ
と、このラックギヤを支持する支持部とを配し、ラック
ギヤが、連結部材によりシール部を介し処理室外の駆動
機構と連結されてなることにより、処理室内で噴射され
る薬液やそのガス等が外部に漏れることを確実に防止で
き、メインテナンスも容易化されるスプレーパイプの首
振り装置を提案することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。すなわち、この
スプレーパイプの首振り装置は、プリント配線基板の製
造工程において用いられ、搬送される該プリント配線基
板に対し、処理室内で薬液を噴射するものである。そし
て、所定角度揺動可能に配され適宜数のスプレーノズル
を備えた複数の該スプレーパイプと、該各スプレーパイ
プに固定されたギヤと、該各ギヤと噛み合いかつ所定距
離往復動するラックギヤと、該ラックギヤを支持する支
持部と、を上記処理室内に配してなる。そして該ラック
ギヤが、上記処理室の壁をシール部を介し貫通する連結
部材により、処理室外に配された駆動機構と連結されて
いる。

【０００７】

【作用】本発明は、このような手段よりなるので次のよ
うに作用する。このスプレーパイプの首振り装置では、
処理室外の駆動機構により、処理室の壁を貫通する連結
部材を介し、各処理室内でラックギヤが所定距離往復動
され、各ギヤとスプレーパイプが所定角度揺動される。
そして、搬送されるプリント配線基板に対し、このよう
な各スプレーパイプから薬液が噴射され、所定の処理が
行われる。そこで第１に、処理室の壁を貫通するのは、
ラックギヤの連結部材のみである。従って、処理室内外
の貫通箇所の数はラックギヤと同じで、例えば２箇所と
極く僅かである。第２に、ラックギヤは支持部にて支持
されており、貫通箇所のシール部にその荷重はかからな
い。第３に、そこでシール部はシール専用材が用いられ
ると共に、長期間使用しても磨耗のおそれはない。これ
ら第１，第２，第３により、処理室内で噴射される薬液
やそのガス等が外部に漏れることは、確実に防止され
る。又、装置全体のメインテナンスも容易化される。

【０００８】

【実施例】以下本発明を、図面に示すその実施例に基づ
いて、詳細に説明する。図１は本発明の実施例の平面
図、図２は同正面図、図３は同側面図である。

【０００９】このスプレーパイプ１の首振り装置１２
は、オシレーションとも称され、プリント配線基板Ｐの
製造工程において用いられる。まず、プリント配線基板
Ｐについて述べる。プリント配線基板Ｐは、民生用の片
面基板，ＯＡ用の両面基板，コンピュータ用の多層基
板，計算機用その他のフレキシブル基板等々、用途によ
り多種多様であり、もってその製造工程も多種多様であ
るが、例えば、材料切断，研磨・電解処理，レジスト貼
付，露光，現像，エッチング，レジスト剥膜，等々の工
程を辿って製造される。すなわち、まず絶縁材に銅箔が
張られた銅張り積層板が、ワークサイズの短尺材に切断
され、表面処理として研磨又は電解処理が行われる。そ
れから、感光レジストを膜状に貼付ける処理が行われた
後、回路写真をあてて露光し、事後、レジストは露光さ
れ硬化した回路部分を残し、他の部分は現像液の噴射に
より溶解除去される。それからエッチングマシンにて、
このようにレジストが硬化した回路部分の銅箔を残し、
上述によりレジストが溶解除去された部分の銅箔が腐食
液の噴射により溶解除去される。しかる後、残っていた
上述の硬化した回路部分のレジストが、剥離液の噴射に
より溶解除去され、もって電気回路が形成されプリント
配線基板Ｐが製造されるに至る。

【００１０】このようにプリント配線基板Ｐの製造工程
では、酸，アルカリ性の現像液，腐食液，剥離液等の薬
液Ｈが、各処理室３内をローラーコンベヤ１３にて搬送
されるプリント配線基板Ｐに対し、上下の多数のスプレ
ーノズル１４から噴射される。例えばエッチング工程で
は、エッチングマシンの処理室３において、銅箔の溶解
除去用の腐食液たる薬液Ｈが、プリント配線基板Ｐに対
し噴射される。図中１５は、処理室３内の薬液Ｈの液槽
であり、１６は、薬液Ｈの循環用兼スプレー圧発生用の
スプレーポンプである。そして薬液Ｈは、液槽１５から
スプレーポンプ１６により吸い込まれて圧送され、分岐
管１１を介し各スプレーパイプ１に供給される。各スプ
レーパイプ１は、プリント配線基板Ｐの両面に対向すべ
く、ローラーコンベヤ１３の上下に２段に配されてい
る。すなわち、スプレーパイプ１は、１本の分岐管１１
から一般に数本から数１０本程度が、プリント配線基板
Ｐの搬送方向に平行に所定間隔で分岐されており、１本
のスプレーパイプ１には、数個から数１０個のスプレー
ノズル１４が一定間隔で設けられている。又、各スプレ
ーノズル１４は、分岐管１１等により搬送方向と直角方
向に所定角度、つまり左右にそれぞれ３５度から４５度
程度の角度で、首振り揺動可能に保持されている。なお
図中１７は、ローラーコンベヤ１３の駆動用のコンベヤ
モータである。

【００１１】さて、このようなスプレーパイプ１の首振
り装置１２は、次のギヤ１８，ラックギヤ１９，連結部
材２０，滑車２１等の支持部，シール部２２，駆動機構
２３等を備えてなる。これらについて述べると、まずギ
ヤ１８は平ギヤが用いられ、処理室３内で、各スプレー
パイプ１の一端部（分岐管１１に接続された他端部とは
反対側の一端部）に、それぞれ固定されている。このギ
ヤ１８は、正逆回動によりスプレーパイプ１を前述のご
とく首振り揺動させるものであり、スプレーパイプ１を
３５度から４５度程度左右にそれぞれ首振り揺動させる
べく、少なくとも全周の１／３程度にわたり歯形が形成
されている。ラックギヤ１９は上下に２本、プリント配
線基板Ｐの搬送方向と直角方向に水平に、処理室３内の
側端部に配され、上側のラックギヤ１９が上側の各スプ
レーパイプ１の各ギヤ１８と、下側のラックギヤ１９が
下側の各スプレーパイプ１の各ギヤ１８と、それぞれ下
側から噛み合っている。そしてこのラックギヤ１９は、
各ギヤ１８との噛み合い動作により、各スプレーパイプ
１を前述のごとく左右に３５度から４５度程度首振り揺
動させるのに見合った距離だけ、左右に往復動可能とな
っている。

【００１２】処理室３の壁には、このようなラックギヤ
１９を支持する支持部材である滑車２１が、複数個軸着
されている。連結部材２０は図示例では上下のシャフト
よりなり、それぞれ一端が、処理室３内でラックギヤ１
９に連接固定されると共に、中間部が、処理室３の壁を
シール部２２を介し貫通し、それぞれ他端が、処理室３
外にて駆動機構２３に連結されている。シール部２２
は、連結部材２０の貫通箇所をそれぞれ密にシールして
いる。駆動機構２３は図１等に示すように、モータ２４
と、モータ２４にクランク部２５を介し連結されて往復
動する連結バー２６と、この連結バー２６と上述の２本
の連結部材２０を連結する介裝材２７と、を備えてい
る。

【００１３】本発明は、以上のように説明したように構
成されている。そこで以下のようになる。このスプレー
パイプ１の首振り装置１２では、処理室３外の駆動機構
２３により、処理室３の壁の貫通箇所のシール部２２を
介し、連結部材２０にて各処理室３内の上下のラックギ
ヤ１９が所定距離左右に往復動される。するとこれに連
動して、処理室３内の上下の各ギヤ１８そして各スプレ
ーパイプ１が、それぞれ左右に例えば４０度首振り揺動
される。そして、ローラーコンベヤ１３にて搬送される
プリント配線基板Ｐの上下両面に対し、このような各ス
プレーパイプ１のスプレーノズル１４から、現像液，腐
食液，剥離液等の薬液Ｈが噴射され、現像，エッチン
グ，剥膜等の処理が行われる。さてそこで、このスプレ
ーパイプ１の首振り装置１２では、次のようになる。

【００１４】まず第１に、処理室３の壁を貫通するのは
ラックギヤ１９の連結部材２０であり、各スプレーパイ
プ１は処理室３内のみに配されている。従って、処理室
３内外の貫通箇所の数は、ラックギヤ１９と同じで図示
例では上下２箇所と極く僅かであり、この種従来例のよ
うに、各スプレーパイプ１の数と同じ数だけ多数箇所に
設けることを要しない。第２に、ラックギヤ１９は処理
室３内で滑車２１等の支持部にて支持されており、貫通
箇所のシール部２２にその荷重はかからない。第３に、
そこでシール部２２には処理室３内の薬液Ｈやそのガス
等に対するシール専用材が用いられ、効果的にシールが
行われると共に長期間使用しても磨耗のおそれはない。
これら第１，第２，第３により、処理室３内で噴射され
る酸性，アルカリ性の薬液Ｈやそのガス等が各処理室３
の外部に漏れることは、確実に防止される。又この首振
り装置１２は、このように処理室３の壁の貫通箇所が少
なくシールが確実容易なので、この種従来例に比し約１
割程度にその全体的メインテナンスが軽減される。

【００１５】

【発明の効果】本考案に係るスプレーパイプの首振り装
置は、以上説明したごとく、各処理室内に、各スプレー
パイプに固定されたギヤと、このギヤと噛み合うラック
ギヤと、このラックギヤを支持する支持部とを配し、ラ
ックギヤが、連結部材によりシール部を介し処理室外の
駆動機構と連結されてなることにより、次の効果を発揮
する。

【００１６】すなわち、処理室内で噴射される薬液やそ
のガス等が外部に漏れることは、確実に防止でき、工場
内がクリーン化される。そこで第１に、工場内にストッ
クされているプリント配線基板等の製品が、係る薬液や
そのガス等にて酸化，腐食されてしまうようなことがな
くなり、プリント配線基板の種々の不良が回避され、そ
の製品としての歩留まりが向上する。そしてこの点は、
高密度化，小型軽量化，高多層化が進み、回路の微細化
・細密化が進むプリント配線基板にとって、極めて意義
が大きい。第２に、工場内に設置されている精密機器，
電子機器，その他の各種の機械器具が、係る薬液やその
ガス等にて、酸化，腐食されてしまうようなこともなく
なり、その機能低下も回避される。特に、工場内に空調
設備が設けられている場合、係る酸，アルカリ性のガス
等から上記機械器具が確実に守られ、又、空調設備も守
られ、更に、作業者の健康への悪影響も回避される。な
お第３に、この首振り装置は全体のメインテナンスも著
しく軽減され、作業性が向上する。このように、この種
従来例に存した問題点が一掃される等、本発明の発揮す
る効果は顕著にして大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスプレーパイプの首振り装置の実
施例を示す、平面図である。

【図２】同実施例の正面図である。

【図３】同実施例の側面図である。

【図４】従来例のスプレーパイプの首振り装置を示す、
正面図である。

【図５】同従来例の外観側面図である。

【符号の説明】

１スプレーパイプ３処理室１２首振り装置１４スプレーノズル１８ギヤ１９ラックギヤ２０連結部材２１滑車（支持部）２２シール部２３駆動機構Ｈ薬液Ｐプリント配線基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/30 ５０１ 7124−2Ｈ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プリント配線基板の製造工程において用
いられ、搬送される該プリント配線基板に対し、処理室
内で薬液を噴射するスプレーパイプの首振り装置であっ
て、所定角度揺動可能に配され適宜数のスプレーノズル
を備えた複数の該スプレーパイプと、該各スプレーパイ
プに固定されたギヤと、該各ギヤと噛み合いかつ所定距
離往復動するラックギヤと、該ラックギヤを支持する支
持部と、を上記処理室内に配してなり、該ラックギヤ
が、上記処理室の壁をシール部を介し貫通する連結部材
により、処理室外に配された駆動機構と連結されている
こと、を特徴とするスプレーパイプの首振り装置。