JPH07156050A - ウェーハ面取り機 - Google Patents
ウェーハ面取り機Info
- Publication number
- JPH07156050A JPH07156050A JP33979493A JP33979493A JPH07156050A JP H07156050 A JPH07156050 A JP H07156050A JP 33979493 A JP33979493 A JP 33979493A JP 33979493 A JP33979493 A JP 33979493A JP H07156050 A JPH07156050 A JP H07156050A
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- JP
- Japan
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- wafer
- grindstone
- grinding liquid
- grinding
- vertical
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Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研削液ノズルが１本で済み、研削液の吐出量
が少ないとともに、ウェーハの外周寸法が変わっても研
削液ノズルの位置を変更する必要がないウェーハ面取り
機を提供することを目的とする。 【構成】 ウェーハ１０をウェーハテーブル２１に固定
し台形砥石３１または総形砥石５１にてウェーハ外周の
面取り加工を行うウェーハ面取り機に、上下ガイド４１
を砥石軸受け台３３に設け、上下ガイド４１に沿って上
下に移動自在な上下スライダ４２に研削液ノズル４５を
台形砥石３１または総形砥石５１とウェーハ１０が接す
る方向に向けて設けるとともに、上下スライダ４２と上
下方向に係合するアーム４６をテーブル軸受け台２３に
設けた。 【効果】 研削液は常に砥石とウェーハが接する方向
で、かつウェーハの上下方向位置に一致する。
が少ないとともに、ウェーハの外周寸法が変わっても研
削液ノズルの位置を変更する必要がないウェーハ面取り
機を提供することを目的とする。 【構成】 ウェーハ１０をウェーハテーブル２１に固定
し台形砥石３１または総形砥石５１にてウェーハ外周の
面取り加工を行うウェーハ面取り機に、上下ガイド４１
を砥石軸受け台３３に設け、上下ガイド４１に沿って上
下に移動自在な上下スライダ４２に研削液ノズル４５を
台形砥石３１または総形砥石５１とウェーハ１０が接す
る方向に向けて設けるとともに、上下スライダ４２と上
下方向に係合するアーム４６をテーブル軸受け台２３に
設けた。 【効果】 研削液は常に砥石とウェーハが接する方向
で、かつウェーハの上下方向位置に一致する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子の素材となる
シリコン等のウェーハ外周の面取りを加工するウェーハ
面取り機に関する本発明である。
シリコン等のウェーハ外周の面取りを加工するウェーハ
面取り機に関する本発明である。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の素材となるシリコン等のウ
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
にて薄く切り出された後、外周をウェーハ面取り機によ
って面取り加工される。図４にオリエンテーションフラ
ット（以下「オリフラ」という）付きウェーハの外観図
を示す。図４においてＤはウェーハの円形部１１の直
径、Ｌは円形部１１からオリフラ１２のまでの距離であ
る。また、図５にウェーハ外周に必要な面取り形状を示
す。図５において、ＢｕとＢｄは面取り幅、θｕとθｄ
はテーパ角であり、ＲｕとＲｄはコーナーが曲面で、ｔ
は外周が平らな部分を持っている（尖っていない）こと
を示す。Ｔはウェーハの厚さでありＤは直径である。図
４及び図５に示した各寸法及び形状は各々許容値があり
許容値から外れると不良品となる。なお、以上に述べた
「ウェーハ外周」及び以下に述べる「ウェーハ外周」は
ウェーハの円形部１１とオリフラ１２を含めたものを総
称するものとする。
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
にて薄く切り出された後、外周をウェーハ面取り機によ
って面取り加工される。図４にオリエンテーションフラ
ット（以下「オリフラ」という）付きウェーハの外観図
を示す。図４においてＤはウェーハの円形部１１の直
径、Ｌは円形部１１からオリフラ１２のまでの距離であ
る。また、図５にウェーハ外周に必要な面取り形状を示
す。図５において、ＢｕとＢｄは面取り幅、θｕとθｄ
はテーパ角であり、ＲｕとＲｄはコーナーが曲面で、ｔ
は外周が平らな部分を持っている（尖っていない）こと
を示す。Ｔはウェーハの厚さでありＤは直径である。図
４及び図５に示した各寸法及び形状は各々許容値があり
許容値から外れると不良品となる。なお、以上に述べた
「ウェーハ外周」及び以下に述べる「ウェーハ外周」は
ウェーハの円形部１１とオリフラ１２を含めたものを総
称するものとする。
【０００３】図１０及び図１１は従来のウェーハ面取り
機の要部を示す図である。図１０は平面図、図１１は立
面図である。図１０及び図１１において、ウェーハ１０
は回転自在のウェーハテーブル２１に真空吸着等にて固
定される。ウェーハテーブル２１の一方はテーブル軸受
け台２３に設けられたテーブル軸２２に取り付けられて
おり、テーブル軸２２はモータ２４で回転される。テー
ブル軸受け台２３は上下スライダ２５に固着されてお
り、上下スライダ２５は上下ガイド２６によって上下方
向移動自在でモータ２７を含む駆動機構によって上下方
向に駆動される。これによって、ウェーハ１０はウェー
ハテーブル２１に固定された状態で回転自在となるとと
もに上下方向にも移動自在となる。また、３１は外周面
取り加工用の台形砥石で、砥石軸受け台３３に設けられ
た砥石軸３２に取り付けられており、砥石軸３２は水平
スライダ３５に設けられたモータ３４でベルト等を介し
て回転される。砥石軸受け台３３は水平スライダ３５に
固着されており、水平スライダ３５は水平ガイド３６に
よってウェーハテーブル２１方向（水平方向）に移動自
在でモータ３７を含む駆動機構によってに水平方向に駆
動される。これによって、台形砥石３１は回転自在とな
るとともにウェーハテーブル２１方向（水平方向）に移
動自在となる。さらに、テーブル軸受け台２３にはホル
ダ４９が設けられ、ホルダ４９には研削液ノズル４５が
複数本取り付けられていて、研削液ノズル４５は図示し
ない研削液吐出装置に配管されている。
機の要部を示す図である。図１０は平面図、図１１は立
面図である。図１０及び図１１において、ウェーハ１０
は回転自在のウェーハテーブル２１に真空吸着等にて固
定される。ウェーハテーブル２１の一方はテーブル軸受
け台２３に設けられたテーブル軸２２に取り付けられて
おり、テーブル軸２２はモータ２４で回転される。テー
ブル軸受け台２３は上下スライダ２５に固着されてお
り、上下スライダ２５は上下ガイド２６によって上下方
向移動自在でモータ２７を含む駆動機構によって上下方
向に駆動される。これによって、ウェーハ１０はウェー
ハテーブル２１に固定された状態で回転自在となるとと
もに上下方向にも移動自在となる。また、３１は外周面
取り加工用の台形砥石で、砥石軸受け台３３に設けられ
た砥石軸３２に取り付けられており、砥石軸３２は水平
スライダ３５に設けられたモータ３４でベルト等を介し
て回転される。砥石軸受け台３３は水平スライダ３５に
固着されており、水平スライダ３５は水平ガイド３６に
よってウェーハテーブル２１方向（水平方向）に移動自
在でモータ３７を含む駆動機構によってに水平方向に駆
動される。これによって、台形砥石３１は回転自在とな
るとともにウェーハテーブル２１方向（水平方向）に移
動自在となる。さらに、テーブル軸受け台２３にはホル
ダ４９が設けられ、ホルダ４９には研削液ノズル４５が
複数本取り付けられていて、研削液ノズル４５は図示し
ない研削液吐出装置に配管されている。
【０００４】このように構成されたウェーハ面取り機で
ウェーハ１０の外周面取り加工を行う場合、ウェーハ１
０は図示しないウェーハ姿勢制御部で直径Ｄの中心がウ
ェーハテーブル２１の回転中心と一致するように姿勢制
御された後、ウェーハテーブル２１に固定され上下スラ
イダ２５によって所定の位置（上下方向）に位置決めさ
れる。次に、台形砥石３１が回転するとともに水平スラ
イダ３５によってウェーハテーブル２１の方向に移動
し、ウェーハテーブル２１は回転する。台形砥石３１は
外周の内側が略台形になっており（図６参照）、テーパ
部分３１ａがウェーハ１０の外周のエッジ部分に当たる
ようにウェーハ１０と台形砥石３１の上下位置関係が設
定されているので、これによって、ウェーハ１０の片面
（図１１で上側）の外周面取り加工が行われる。ウェー
ハ１０の片面の外周面取り加工が終わると、ウェーハテ
ーブル２１はウェーハ１０のもう一方の面のエッジ部分
が台形砥石３１のもう一方のテーパ部分３１ｂに当たる
ように上下スライダ２５によって下方に送られ、同様の
方法でウェーハ１０のもう一方の面（図１１で下側）の
外周面取り加工が行われる。いずれの場合も、面取り加
工中は研削液ノズル４５からウェーハ１０と台形砥石３
１が接する方向に向けて研削液が吐出される。ただし、
加工順序は前述した内容と反対に、すなわち、ウェーハ
１０のウェーハテーブル２１と反対側の面（図１１で下
側）を先に加工し、次にウェーハテーブル２１側の面
（図１１で上側）を加工する方法もあり、いずれの順序
でもよい。
ウェーハ１０の外周面取り加工を行う場合、ウェーハ１
０は図示しないウェーハ姿勢制御部で直径Ｄの中心がウ
ェーハテーブル２１の回転中心と一致するように姿勢制
御された後、ウェーハテーブル２１に固定され上下スラ
イダ２５によって所定の位置（上下方向）に位置決めさ
れる。次に、台形砥石３１が回転するとともに水平スラ
イダ３５によってウェーハテーブル２１の方向に移動
し、ウェーハテーブル２１は回転する。台形砥石３１は
外周の内側が略台形になっており（図６参照）、テーパ
部分３１ａがウェーハ１０の外周のエッジ部分に当たる
ようにウェーハ１０と台形砥石３１の上下位置関係が設
定されているので、これによって、ウェーハ１０の片面
（図１１で上側）の外周面取り加工が行われる。ウェー
ハ１０の片面の外周面取り加工が終わると、ウェーハテ
ーブル２１はウェーハ１０のもう一方の面のエッジ部分
が台形砥石３１のもう一方のテーパ部分３１ｂに当たる
ように上下スライダ２５によって下方に送られ、同様の
方法でウェーハ１０のもう一方の面（図１１で下側）の
外周面取り加工が行われる。いずれの場合も、面取り加
工中は研削液ノズル４５からウェーハ１０と台形砥石３
１が接する方向に向けて研削液が吐出される。ただし、
加工順序は前述した内容と反対に、すなわち、ウェーハ
１０のウェーハテーブル２１と反対側の面（図１１で下
側）を先に加工し、次にウェーハテーブル２１側の面
（図１１で上側）を加工する方法もあり、いずれの順序
でもよい。
【０００５】また、図７に示す例は、総形砥石５１にて
加工する場合で、総形砥石５１は外周の内側形状がウェ
ーハ１０に要求される面取り形状と同じ形状になってい
るので、総形砥石５１をウェーハ１０の外周に押し込む
だけでウェーハ１０を上下に送らなくてもウェーハ１０
の面取りが加工できる。ただし、図７に示した総形砥石
５１は粗加工用・仕上げ加工用等が１個ずつあるいは複
数多段に構成されており、それぞれの砥石に合わせてウ
ェーハテーブル２１が上下スライダ２５によって所定の
位置（上下方向）に位置決めされた後ウェーハは加工さ
れる。
加工する場合で、総形砥石５１は外周の内側形状がウェ
ーハ１０に要求される面取り形状と同じ形状になってい
るので、総形砥石５１をウェーハ１０の外周に押し込む
だけでウェーハ１０を上下に送らなくてもウェーハ１０
の面取りが加工できる。ただし、図７に示した総形砥石
５１は粗加工用・仕上げ加工用等が１個ずつあるいは複
数多段に構成されており、それぞれの砥石に合わせてウ
ェーハテーブル２１が上下スライダ２５によって所定の
位置（上下方向）に位置決めされた後ウェーハは加工さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術では、研削液ノズル４５がテーブル軸受け台２３側
に設けられウェーハ外周に対する位置が固定されている
ため、ウェーハ１０と台形砥石３１または総形砥石５１
が接する部分に研削液を適量吐出するためにはウェーハ
円形部１１とオリフラ１２との差（Ｄ−Ｌ）によって研
削液ノズル４５が複数本必要となり研削液の吐出量が多
くなるとともに、ウェーハ１０の外周寸法（Ｄ及びＬ）
が変わると研削液ノズル４５の位置を変更しなければな
らないという問題がある。本発明はこのような事情に鑑
みてなされたもので、研削液ノズルが１本で済み、研削
液の吐出量が少ないとともに、ウェーハの外周寸法が変
わっても研削液ノズルの位置を変更する必要がないウェ
ーハ面取り機を提供することを目的とする。
技術では、研削液ノズル４５がテーブル軸受け台２３側
に設けられウェーハ外周に対する位置が固定されている
ため、ウェーハ１０と台形砥石３１または総形砥石５１
が接する部分に研削液を適量吐出するためにはウェーハ
円形部１１とオリフラ１２との差（Ｄ−Ｌ）によって研
削液ノズル４５が複数本必要となり研削液の吐出量が多
くなるとともに、ウェーハ１０の外周寸法（Ｄ及びＬ）
が変わると研削液ノズル４５の位置を変更しなければな
らないという問題がある。本発明はこのような事情に鑑
みてなされたもので、研削液ノズルが１本で済み、研削
液の吐出量が少ないとともに、ウェーハの外周寸法が変
わっても研削液ノズルの位置を変更する必要がないウェ
ーハ面取り機を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、回転自在なウェーハテーブルと回転自在
な砥石を相対的に上下及び水平方向に移動可能な構成と
し、ウェーハの片面を前記ウェーハテーブルに真空吸着
等で固定して、前記ウェーハテーブルと前記砥石の相対
的な上下方向位置を設定した後、前記ウェーハテーブル
と前記砥石を回転させながら前記ウェーハテーブルと前
記砥石を相対的に近づけることによってウェーハ外周の
面取り加工を行うウェーハ面取り機に、前記砥石の砥石
軸受け台に上下ガイドを設け、前記上下ガイドに沿って
上下移動自在に上下スライダを設け、前記上下スライダ
に研削液ノズルを前記砥石とウェーハが接する方向に向
けて設け、前記上下スライダと上下方向に係合するアー
ムを前記ウェーハテーブルのテーブル軸受け台に設け
た。
成するために、回転自在なウェーハテーブルと回転自在
な砥石を相対的に上下及び水平方向に移動可能な構成と
し、ウェーハの片面を前記ウェーハテーブルに真空吸着
等で固定して、前記ウェーハテーブルと前記砥石の相対
的な上下方向位置を設定した後、前記ウェーハテーブル
と前記砥石を回転させながら前記ウェーハテーブルと前
記砥石を相対的に近づけることによってウェーハ外周の
面取り加工を行うウェーハ面取り機に、前記砥石の砥石
軸受け台に上下ガイドを設け、前記上下ガイドに沿って
上下移動自在に上下スライダを設け、前記上下スライダ
に研削液ノズルを前記砥石とウェーハが接する方向に向
けて設け、前記上下スライダと上下方向に係合するアー
ムを前記ウェーハテーブルのテーブル軸受け台に設け
た。
【０００８】
【作用】本発明によれば、研削液ノズルは砥石軸受け台
に設けられた上下ガイドの上下スライダに砥石とウェー
ハが接する方向に向けて設けられるとともに、テーブル
軸受け台に設けられたアームが上下スライダに係合する
ことによってウェーハテーブルに連動して上下動するの
で、研削液ノズルは常に砥石とウェーハが接する方向に
向き、かつウェーハの上下方向位置に一致する。
に設けられた上下ガイドの上下スライダに砥石とウェー
ハが接する方向に向けて設けられるとともに、テーブル
軸受け台に設けられたアームが上下スライダに係合する
ことによってウェーハテーブルに連動して上下動するの
で、研削液ノズルは常に砥石とウェーハが接する方向に
向き、かつウェーハの上下方向位置に一致する。
【０００９】
【実施例】図１及び図２に本発明に係る実施例１が示さ
れている。図１が平面図、図２が立面図である。図１及
び図２において、ウェーハ面取り機の要部の基本構成
は、図１０及び図１１と同じであり従来の技術で説明し
た通りであるので、基本構成の説明は省略する。実施例
１では、従来の技術に対して次の点が異なる。すなわ
ち、図３に示す研削液ノズル関係部分の詳細機構に示す
ように、砥石軸受け台３３に上下ガイド４１が設けら
れ、上下スライダ４２が上下移動自在になっているとと
もにバネ４３によって下方に付勢されている。上下スラ
イダ４２にはホルダ４４が固着され、ホルダ４４には爪
部４４ａが形成されているとともに研削液ノズル４５が
台形砥石３１とウェーハ１０が接する方向に向けて取り
付けられている。研削液ノズル４５は図示しない研削液
吐出装置に配管されている。また、テーブル軸受け台２
３にアーム４６が設けられている。
れている。図１が平面図、図２が立面図である。図１及
び図２において、ウェーハ面取り機の要部の基本構成
は、図１０及び図１１と同じであり従来の技術で説明し
た通りであるので、基本構成の説明は省略する。実施例
１では、従来の技術に対して次の点が異なる。すなわ
ち、図３に示す研削液ノズル関係部分の詳細機構に示す
ように、砥石軸受け台３３に上下ガイド４１が設けら
れ、上下スライダ４２が上下移動自在になっているとと
もにバネ４３によって下方に付勢されている。上下スラ
イダ４２にはホルダ４４が固着され、ホルダ４４には爪
部４４ａが形成されているとともに研削液ノズル４５が
台形砥石３１とウェーハ１０が接する方向に向けて取り
付けられている。研削液ノズル４５は図示しない研削液
吐出装置に配管されている。また、テーブル軸受け台２
３にアーム４６が設けられている。
【００１０】このように構成されたウェーハ面取り機で
ウェーハ１０の外周面取り加工を行う場合、従来の技術
と同様に、ウェーハ１０は図示しないウェーハ姿勢制御
部で直径Ｄの中心がウェーハテーブル２１の回転中心と
一致するように姿勢制御された後、ウェーハテーブル２
１に固定され上下スライダ２５によって所定の位置（上
下方向）に位置決めされる。次に、台形砥石３１が回転
するとともに水平スライダ３５によってウェーハテーブ
ル２１の方向に移動し、ウェーハテーブル２１は回転す
る。台形砥石３１は外周の内側が略台形になっており、
テーパ部分３１ａ（図６参照）がウェーハ１０の外周の
エッジ部分に当たるようにウェーハ１０と台形砥石３１
の上下位置関係が設定されているので、これによって、
ウェーハ１０の片面（図２で上側）の外周面取り加工が
行われる。ウェーハ１０の片面の外周面取り加工が終わ
ると、ウェーハテーブル２１はウェーハ１０のもう一方
の面のエッジ部分が台形砥石３１のもう一方のテーパ部
分３１ｂ（図６参照）に当たるように上下スライダ２５
によって上方に送られ、同様の方法でウェーハ１０のも
う一方の面（図２で下側）の外周面取り加工が行われ
る。なお、加工順序は前述した内容と反対に、すなわ
ち、ウェーハ１０のウェーハテーブル２１と反対側の面
（図２で下側）を先に加工し、次にウェーハテーブル２
１側の面（図２で上側）を加工する方法もあり、いずれ
の順序でもよい。
ウェーハ１０の外周面取り加工を行う場合、従来の技術
と同様に、ウェーハ１０は図示しないウェーハ姿勢制御
部で直径Ｄの中心がウェーハテーブル２１の回転中心と
一致するように姿勢制御された後、ウェーハテーブル２
１に固定され上下スライダ２５によって所定の位置（上
下方向）に位置決めされる。次に、台形砥石３１が回転
するとともに水平スライダ３５によってウェーハテーブ
ル２１の方向に移動し、ウェーハテーブル２１は回転す
る。台形砥石３１は外周の内側が略台形になっており、
テーパ部分３１ａ（図６参照）がウェーハ１０の外周の
エッジ部分に当たるようにウェーハ１０と台形砥石３１
の上下位置関係が設定されているので、これによって、
ウェーハ１０の片面（図２で上側）の外周面取り加工が
行われる。ウェーハ１０の片面の外周面取り加工が終わ
ると、ウェーハテーブル２１はウェーハ１０のもう一方
の面のエッジ部分が台形砥石３１のもう一方のテーパ部
分３１ｂ（図６参照）に当たるように上下スライダ２５
によって上方に送られ、同様の方法でウェーハ１０のも
う一方の面（図２で下側）の外周面取り加工が行われ
る。なお、加工順序は前述した内容と反対に、すなわ
ち、ウェーハ１０のウェーハテーブル２１と反対側の面
（図２で下側）を先に加工し、次にウェーハテーブル２
１側の面（図２で上側）を加工する方法もあり、いずれ
の順序でもよい。
【００１１】次に、研削液ノズル４５の動きについて説
明する。まず、ウェーハ１０の上側の面取り加工を行う
場合、台形砥石３１が水平スライダ３５によってウェー
ハ１０の方向に移動すると、ホルダ４４の爪部４４ａの
下面がアーム４６に係合し上下スライダ４２がバネ４３
に抗して上方に持ち上げるられるので、研削液ノズル４
５の高さがウェーハ１０の上下方向位置に一致する。ま
た、ウェーハ１０の下側の面取り加工を行う場合、ウェ
ーハテーブル２１が所定の位置まで下降するとアーム４
６も下降するので、上下スライダ４２がバネ４３によっ
てアーム４６の動きに追従して下降する。これによっ
て、研削液ノズル４５の高さがウェーハ１０の上下方向
位置に一致する位置まで下降する。
明する。まず、ウェーハ１０の上側の面取り加工を行う
場合、台形砥石３１が水平スライダ３５によってウェー
ハ１０の方向に移動すると、ホルダ４４の爪部４４ａの
下面がアーム４６に係合し上下スライダ４２がバネ４３
に抗して上方に持ち上げるられるので、研削液ノズル４
５の高さがウェーハ１０の上下方向位置に一致する。ま
た、ウェーハ１０の下側の面取り加工を行う場合、ウェ
ーハテーブル２１が所定の位置まで下降するとアーム４
６も下降するので、上下スライダ４２がバネ４３によっ
てアーム４６の動きに追従して下降する。これによっ
て、研削液ノズル４５の高さがウェーハ１０の上下方向
位置に一致する位置まで下降する。
【００１２】図８及び図９に本発明に係る実施例２が示
されている。図８が平面図、図９が立面図である。実施
例２は実施例１に対してウェーハ面取り機の基本構成が
異なっており、ウェーハテーブル２１関係が下側に配置
されるとともに、水平スライダ３５に固着されて水平方
向に移動自在となっている。また台形砥石３１関係が上
下スライダ２５に固着されて上下方向に移動自在となっ
ている。そして、実施例１と同様に砥石軸受け台３３に
上下ガイド４１が設けられ、上下スライダ４２が上下移
動自在になっているとともにバネ４３によって下方に付
勢されている。上下スライダ４２にはホルダ４４が固着
され、ホルダ４４には爪部４４ａが形成されているとと
もに研削液ノズル４５が台形砥石３１とウェーハ１０が
接する方向に向けて取り付けられている。研削液ノズル
４５は図示しない研削液吐出装置に配管されている。ま
た、テーブル軸受け台２３にアーム４６が設けられてい
る。
されている。図８が平面図、図９が立面図である。実施
例２は実施例１に対してウェーハ面取り機の基本構成が
異なっており、ウェーハテーブル２１関係が下側に配置
されるとともに、水平スライダ３５に固着されて水平方
向に移動自在となっている。また台形砥石３１関係が上
下スライダ２５に固着されて上下方向に移動自在となっ
ている。そして、実施例１と同様に砥石軸受け台３３に
上下ガイド４１が設けられ、上下スライダ４２が上下移
動自在になっているとともにバネ４３によって下方に付
勢されている。上下スライダ４２にはホルダ４４が固着
され、ホルダ４４には爪部４４ａが形成されているとと
もに研削液ノズル４５が台形砥石３１とウェーハ１０が
接する方向に向けて取り付けられている。研削液ノズル
４５は図示しない研削液吐出装置に配管されている。ま
た、テーブル軸受け台２３にアーム４６が設けられてい
る。
【００１３】従って、実施例２の場合は、ウェーハ１０
は姿勢制御されウェーハテーブル２１に固定されると、
上下スライダ２５によって台形砥石３１が所定の位置
（上下方向）に位置決めされ、ウェーハテーブル２１は
水平スライダ３５によって台形砥石３１の方向に移動し
てウェーハ１０の外周面取り加工が行われる。それ以外
は実施例１と同様である。研削液ノズル４５の動きは、
ウェーハ１０の上側の面取り加工が行う場合はウェハテ
ーブル２１が水平スライダ３５によって台形砥石３１の
方向に移動すると、実施例１と同様に、ホルダ４４の爪
部４４ａの下面がアーム４６に係合し上下スライダ４２
をバネ４３に抗して上方に持ち上げて研削液ノズル４５
の高さがウェーハ１０の上下方向位置に一致する。ま
た、ウェーハ１０の下側の面取り加工が行うために台形
砥石３１が上下スライダ２５によって上昇すると、上下
ガイド４１も上昇するが、上下スライダ４２はバネ４３
によって爪部４４ａがアーム４６に接した状態で元の位
置に留まるので、研削液ノズル４５の高さはウェハ１０
の上下方向位置に一致した状態を保つ。
は姿勢制御されウェーハテーブル２１に固定されると、
上下スライダ２５によって台形砥石３１が所定の位置
（上下方向）に位置決めされ、ウェーハテーブル２１は
水平スライダ３５によって台形砥石３１の方向に移動し
てウェーハ１０の外周面取り加工が行われる。それ以外
は実施例１と同様である。研削液ノズル４５の動きは、
ウェーハ１０の上側の面取り加工が行う場合はウェハテ
ーブル２１が水平スライダ３５によって台形砥石３１の
方向に移動すると、実施例１と同様に、ホルダ４４の爪
部４４ａの下面がアーム４６に係合し上下スライダ４２
をバネ４３に抗して上方に持ち上げて研削液ノズル４５
の高さがウェーハ１０の上下方向位置に一致する。ま
た、ウェーハ１０の下側の面取り加工が行うために台形
砥石３１が上下スライダ２５によって上昇すると、上下
ガイド４１も上昇するが、上下スライダ４２はバネ４３
によって爪部４４ａがアーム４６に接した状態で元の位
置に留まるので、研削液ノズル４５の高さはウェハ１０
の上下方向位置に一致した状態を保つ。
【００１４】なお、実施例１及び実施例２に示した基本
構成以外にも、ウェーハ面取り機の基本構成は、ウェー
ハテーブル２１側についてはウェーハテーブル２１が下
向きで水平方向に移動する構造、ウェーハテーブル２１
が上向きで上下方向に移動する構造等があり、また、台
形砥石３１側については砥石軸受け台３３が下側に設け
られて水平方向または上下方向に移動する構造等があ
り、それらの組み合わせによってウェーハテーブル２１
側と台形砥石３１側の相対位置が上下及び水平方向に移
動自在な構成であれば、実施例１及び実施例２に示した
基本構成のウェーハ面取り機に限らず本発明は適用でき
る。同様に、ウェーハテーブル２１や台形砥石３１の回
転伝達機構及び上下スライダ２５や水平スライダ３５の
駆動機構についても、実施例１及び実施例２に示した機
構のウェーハ面取り機に限らず本発明は適用できる。
構成以外にも、ウェーハ面取り機の基本構成は、ウェー
ハテーブル２１側についてはウェーハテーブル２１が下
向きで水平方向に移動する構造、ウェーハテーブル２１
が上向きで上下方向に移動する構造等があり、また、台
形砥石３１側については砥石軸受け台３３が下側に設け
られて水平方向または上下方向に移動する構造等があ
り、それらの組み合わせによってウェーハテーブル２１
側と台形砥石３１側の相対位置が上下及び水平方向に移
動自在な構成であれば、実施例１及び実施例２に示した
基本構成のウェーハ面取り機に限らず本発明は適用でき
る。同様に、ウェーハテーブル２１や台形砥石３１の回
転伝達機構及び上下スライダ２５や水平スライダ３５の
駆動機構についても、実施例１及び実施例２に示した機
構のウェーハ面取り機に限らず本発明は適用できる。
【００１５】また、アーム４６の片面とホルダ４４の爪
部４４ａの片面が当接しバネ４３で係合を保つことによ
ってホルダ４４がアーム４６の動きに追従する機構につ
いて説明したが、アーム４６とホルダ４４の爪部４４ａ
が少なくとも面取り加工時に係合を保ちホルダ４４がア
ーム４６の動きに追従する機構であれば、実施例１及び
実施例２に示した機構に限らず発明は適用できる。さら
に、実施例１及び実施例２では台形砥石３１を使用した
場合について説明したが、これに限らず、図７に示す総
形砥石５１を用いた場合についても発明は適用できる。
部４４ａの片面が当接しバネ４３で係合を保つことによ
ってホルダ４４がアーム４６の動きに追従する機構につ
いて説明したが、アーム４６とホルダ４４の爪部４４ａ
が少なくとも面取り加工時に係合を保ちホルダ４４がア
ーム４６の動きに追従する機構であれば、実施例１及び
実施例２に示した機構に限らず発明は適用できる。さら
に、実施例１及び実施例２では台形砥石３１を使用した
場合について説明したが、これに限らず、図７に示す総
形砥石５１を用いた場合についても発明は適用できる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るウェー
ハ面取り機によれば、回転自在なウェーハテーブルと回
転自在な砥石を相対的に上下及び水平方向に移動可能に
構成し、ウェーハの片面を前記ウェーハテーブルに真空
吸着等で固定して、前記ウェーハテーブルと前記砥石の
相対的な上下方向位置を設定した後、前記ウェーハテー
ブルと前記砥石を回転させながら前記ウェーハテーブル
と前記砥石を相対的に近づけることによってウェーハ外
周の面取り加工を行うウェーハ面取り機に、前記砥石軸
受け台に上下ガイドを設け、前記上下ガイドに沿って上
下移動自在に上下スライダを設け、前記上下スライダに
研削液ノズルを前記砥石とウェーハが接する方向に向け
て設け、前記上下スライダと上下方向に係合するアーム
を前記ウェーハテーブルのテーブル軸受け台に設けたの
で、研削液ノズルは常に砥石とウェーハが接する方向に
向き、かつウェーハの上下方向位置に一致する。従っ
て、研削液ノズルが１本で済み、研削液の吐出量が少な
いとともに、ウェーハの外周寸法が変わっても研削液ノ
ズル４５の位置を変更する必要がないウェーハ面取り機
を提供することができる。
ハ面取り機によれば、回転自在なウェーハテーブルと回
転自在な砥石を相対的に上下及び水平方向に移動可能に
構成し、ウェーハの片面を前記ウェーハテーブルに真空
吸着等で固定して、前記ウェーハテーブルと前記砥石の
相対的な上下方向位置を設定した後、前記ウェーハテー
ブルと前記砥石を回転させながら前記ウェーハテーブル
と前記砥石を相対的に近づけることによってウェーハ外
周の面取り加工を行うウェーハ面取り機に、前記砥石軸
受け台に上下ガイドを設け、前記上下ガイドに沿って上
下移動自在に上下スライダを設け、前記上下スライダに
研削液ノズルを前記砥石とウェーハが接する方向に向け
て設け、前記上下スライダと上下方向に係合するアーム
を前記ウェーハテーブルのテーブル軸受け台に設けたの
で、研削液ノズルは常に砥石とウェーハが接する方向に
向き、かつウェーハの上下方向位置に一致する。従っ
て、研削液ノズルが１本で済み、研削液の吐出量が少な
いとともに、ウェーハの外周寸法が変わっても研削液ノ
ズル４５の位置を変更する必要がないウェーハ面取り機
を提供することができる。
【図１】実施例１のウェーハ面取り機の要部を示す平面
図
図
【図２】実施例１のウェーハ面取り機の要部を示す立面
図
図
【図３】研削液ノズル関係部分の機構を示す図
【図４】オリフラ付きウェーハの外観を示す図
【図５】ウェーハに必要な面取り形状を示す図
【図６】台形砥石の外周形状を示す図
【図７】総形砥石の外周形状を示す図
【図８】実施例２のウェーハ面取り機の要部を示す平面
図
図
【図９】実施例２のウェーハ面取り機の要部を示す立面
図
図
【図１０】従来のウェーハ面取り機の要部を示す平面図
【図１１】従来のウェーハ面取り機の要部を示す立面図
１０ ウェーハ ２１ ウェーハテーブル ２３ テーブル軸受け台 ３１ 台形砥石 ３３ 砥石軸受け台 ４１ 上下ガイド ４２ 上下スライダ ４４ ホルダ ４５ 研削液ノズル ４６ アーム
Claims (1)
- 【請求項１】 回転自在なウェーハテーブルと回転自在
な砥石を相対的に上下及び水平方向に移動可能な構成と
し、ウェーハの片面を前記ウェーハテーブルに真空吸着
等で固定して、前記ウェーハテーブルと前記砥石の相対
的な上下方向位置を設定した後、前記ウェーハテーブル
と前記砥石を回転させながら前記ウェーハテーブルと前
記砥石を相対的に近づけることによってウェーハ外周の
面取り加工を行うウェーハ面取り機において、 前記砥石の砥石軸受け台に設けられた上下ガイドと、 前記上下ガイドに沿って上下に移動自在な上下スライダ
と、 前記砥石とウェーハが接する方向に向けて前記上下スラ
イダに設けられた研削液ノズルと、 前記ウェーハテーブルのテーブル軸受け台に設けられ、
前記上下スライダと上下方向に係合するアームと、 を設けたことを特徴とするウェーハ面取り機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33979493A JPH07156050A (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | ウェーハ面取り機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33979493A JPH07156050A (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | ウェーハ面取り機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07156050A true JPH07156050A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=18330875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33979493A Pending JPH07156050A (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | ウェーハ面取り機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07156050A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999059774A1 (fr) * | 1998-05-19 | 1999-11-25 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Machine-outil et procede d'usinage |
| US6585564B1 (en) | 1999-11-15 | 2003-07-01 | Makino Milling Co., Ltd | Machine tool device and its working fluid feed device |
| WO2004087376A1 (en) * | 2003-04-01 | 2004-10-14 | Unova U.K. Limited | Workpiece cooling during grinding |
| JP2015174180A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社東京精密 | 超音波面取り機 |
| CN108214178A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-06-29 | 晶科能源有限公司 | 一种硅块倒角装置 |
| CN111482815A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-08-04 | 广西师范大学 | 一种护理床轮椅打磨装置 |
-
1993
- 1993-12-06 JP JP33979493A patent/JPH07156050A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999059774A1 (fr) * | 1998-05-19 | 1999-11-25 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Machine-outil et procede d'usinage |
| US6244928B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-06-12 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Machine tool system and machining method |
| US6585564B1 (en) | 1999-11-15 | 2003-07-01 | Makino Milling Co., Ltd | Machine tool device and its working fluid feed device |
| WO2004087376A1 (en) * | 2003-04-01 | 2004-10-14 | Unova U.K. Limited | Workpiece cooling during grinding |
| JP2015174180A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社東京精密 | 超音波面取り機 |
| CN108214178A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-06-29 | 晶科能源有限公司 | 一种硅块倒角装置 |
| CN111482815A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-08-04 | 广西师范大学 | 一种护理床轮椅打磨装置 |
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