KR100266097B1 - 웨이퍼 면삭방법과 장치 - Google Patents

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Abstract

면삭될 웨이퍼가 회전되고 서로 수직인 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동되게 지지되고 주연연마휠이 Y-축 상에 회전가능하게 지지된다.
웨이퍼의 원형부를 면삭하기 위하여 웨이퍼의 원형부가 회전하는 주연연마휠에 가압되고 웨이퍼가 회전된다. 웨이퍼의 평면부를 면삭하기 위하여 웨이퍼의 평면부가 회전하는 주연연마휠에 가압되고 웨이퍼가 X-축 방향으로 공급된다.

Description

웨이퍼 면삭방법과 장치
본 발명은 웨이퍼면삭(面削)방법과 장치에 관한 것으로, 특히 주연에 평면부 또는 절결부가 형성된 웨이퍼를 표면 절삭처리하기 위한 면삭방법과 장치에 관한 것이다.
통상적인 웨이퍼면삭장치는 면삭될 웨이퍼가 취부되는 웨이퍼 테이블이 Y-축을 따라 이동되게 지지되고 주연연마휠이 Y-축 상에 배치되게 구성된다.
상기 언급된 면삭장치를 이용하여 웨이퍼의 원형부분을 면삭하기 위하여, 웨이퍼의 원형부분이 회전주연연마휠에 대하여 가압된다. 웨이퍼의 평면부를 면삭하기 위하여, 웨이퍼의 평면부가 회전주연연마휠에 대하여 가압되고 웨이퍼가 가볍게 회전되며 Y-축을 따라 가볍게 공급되어 평면부가 면삭될 수 있다.
"V" 자형 절결부를 갖는 웨이퍼의 이러한 절결부도 동일한 방법으로 면삭된다. 웨이퍼의 절결부는 회전절결부연마구에 대하여 가압되며, 웨이퍼가 가볍게 회전되고 Y-축을 따라 가볍게 공급되어 이 절결부가 면삭될 수 있다.
상기 언급된 통상적인 면삭방법에 있어서, 평면부 또는 절결부가 면삭될 때에 웨이퍼의 이동과 회전을 제어하는 것이 매우 어렵다. 이와 같이 평면부 또는 절결부의 직선성이 나빠진다.
본 발명은 상기 언급된 상황을 감안하여 개발되었으며, 본 발명의 목적은 주연에 평면부나 절결부를 갖는 웨이퍼를 정밀하게 면삭 처리할 수 있는 웨이퍼 면삭방법과 장치를 제공하는 데 있다.
상기 언급된 목적을 달성하기 위하여, 원형부, 평면부와 평면 모서리부분을 갖는 웨이퍼가 회전되고 서로 직각을 이루는 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동되도록 지지되고, 주연연마휠이 Y-축 상에 회전가능하게 배치되어 웨이퍼의 주연을 면삭하기 위한 본 발명의 웨이퍼면삭방법은 원형부를 회전하는 주연연마휠에 접촉되게 이 원형부를 주연연마휠 측으로 이동시키고 웨이퍼를 회전시켜 웨이퍼의 원형부를 면삭하는 단계와, 웨이퍼의 평면모서리부분의 하나를 회전하는 주연연마휠에 접촉되게 이동시키고 웨이퍼를 회전시키면서 웨이퍼를 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급하여 평면모서리 부분의 하나가 항시 주연연마휠에 항시 접촉되게 하여 웨이퍼 평면모서리부분의 하나를 면삭하는 단계로 구성된다.
본 발명에 따라서, 웨이퍼는 회전되고 서로 직각을 이루는 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동토록 지지되고, 주연연마휠이 Y-축 상에 회전가능하게 배치된다. 웨이퍼의 원형부를 면삭하기 위하여, 원형부가 회전하는 주연연마휠에 대하여 가압되고 웨이퍼가 회전된다. 웨이퍼의 평면부를 면삭하기 위하여 평면부가 회전하는 주연연마휠에 대하여 가압되고 웨이퍼가 X-축 방향으로 공급된다. 웨이퍼의 각 평면모서리부분을 면삭하기 위하여 평면모서리부분이 회전하는 주연연마휠에 대하여 가압되고, 웨이퍼가 공급되며 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급되어 평면모서리 부분이 항시 주연연마휠에 접촉될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼면삭장치의 한 실시형태를 보인 측면도.
도 2는 웨이퍼 공급장치의 평면도.
도 3은 도 2의 A-A 선 단면도.
도 4(a), 도 4(b), 도 4(c), 도 4(d), 도 4(e) 및 도 4(f)는 평면부를
갖는 웨이퍼의 면삭방법을 보인 설명도.
도 5(a), 도 5(b), 도 5(c), 도 5(d) 및 도 5(e)는 절결부를 갖는 웨이퍼의
면삭방법을 보인 설명도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호설명 *
10 : 면삭장치 12 : 웨이퍼 공급장치
14 : 연마공구장치 22 : Y-축 테이블
34 : X-축 테이블 42 : 웨이퍼 테이블 지지체
44 : 웨이퍼 테이블 46 : 연마공구지지체
48 : 주연연마휠 50 : 절결부연마공구
본 발명을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼면삭장치의 한 실시형태를 보인 측면도이다.
도 1에서 보인 바와 같이, 웨이퍼면삭장치(10)는 웨이퍼 공급장치(12)와 연마공구장치(14)로 구성된다.
도 1 - 도 3 에서 보인 바와 같은 웨이퍼공급장치(12)는, 한 쌍의 안내레일(18)이 수평기부(16)상에 착설되어 있다. Y-축 테이블(22)이 슬라이더(20)를 통하여 안내레일(18)상에 지지된다. Y-축 테이블(22)은 이후 상세히 설명되는 바와 같이 구성된 공급스크류기구에 의하여 구동된다.
도 2 에서 보인 바와 같이, 볼스크류(24)가 기부(16)상의 안내레일(18)과 평행하게 배치된다. 볼스크류(24)는 너트부재(26)와 결합되고 이는 Y-축 테이블(22)에 고정된다. 볼스크류(24)의 일측단부는 모터(28)에 연결되고 이 모터는 양측방향으로 회전하며 볼스크류(24)를 회전토록 구동된다. 볼스크류(24)가 회전될 때, 너트부재(26)가 볼스크류(24)를 따라 이동하므로서 너트부재(26)에 연결된 Y-축 테이블(22)이 안내레일(18)을 따라 활동한다. Y-축 테이블(22)이 활동하는 방향을 이후 Y-축 방향이라 할 것이며 Y-방향과 평행하고 Y-축 테이블(22)의 중심을 지나는 직선을 Y-축 이라 한다.
한 쌍의 안내레일(30)이 Y-축 방향에 수직인 방향으로 Y-축 테이블(22)상에 제공된다. X-축 테이블(34)이 슬라이더(32)를 통하여 안내레일(30) 상에 활동 가능하게 지지된다.
X-축 테이블(34)이 Y-축 테이블(22)과 같은 방법으로 공급스크류기구에 의하여 구동되고 공급스크류기구는 이후 설명되는 바와 같이 구성된다.
도 2 에서 보인 바와 같이, 볼스크류(36)가 Y-축 테이블(22)상에 안내레일(30)과 평행하게 제공된다. 볼스크류(36)는 X-축 테이블(34)에 고정된 너트부재(38)에 결합된다. 볼스크류(36)의 일측단부가 모터(40)에 연결되고, 이는 양측방향으로 회전가능하며 볼스크류(36)를 회전시키도록 구동된다.
볼스크류(36)가 회전할 때 너트부재(38)가 볼스크류(36)를 따라 이동하여 너트부재(38)에 연결된 X-축 테이블(34)이 안내레일(30)을 따라 활동한다. X-축 테이블(34)이 활동하는 방향을 X-축 방향이라 하고 X-축 방향과 평행하고 X-축 테이블(34)의 중심을 지나는 직선을 X-축 이라 할 것이다.
웨이퍼 테이블지지체(42)가 X-축 테이블(34)에 중심이 맞추어져 있다. 웨이퍼테이블(44)은 웨이퍼테이블지지체(42) 상에 회전가능하게 지지되고 웨이퍼테이블(44)은 웨이퍼테이블지지체(42)내에 구성되어 있는 모터(도시하지 않았음)에 의하여 회전된다.
면삭될 웨이퍼(W)는 진공으로 웨이퍼테이블(44)에 고정되어 있다. 웨이퍼테이블(44)에 수직이고 웨이퍼테이블(44)의 회전중심을 지나는 직선을 θ-축이라 할 것이다. 웨이퍼 공급장치(12)가 상기 언급된 바와 같이 구성되므로 웨이퍼테이블(44)에 고정된 웨이퍼(W)는 θ-축을 중심으로 하여 회전하고 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급된다.
이제 연마공구장치(14)의 구성에 대하여 설명키로 한다. 도 1 에서 보인 바와 같이, 연마공구장치(14)는 연마공구지지체(46)를 갖는다. 연마공구지지체(46)는 기부(16)상에 수직으로 세워진 기둥(도시하지 않았음)에 활동 가능하게 지지되고 구동장치(도시하지 않았음)가 연마공구지지체(46)를 구동시키므로서 연마공구지지체(46)가 기둥을 따라서 상하로 이동된다. 주연연마휠(48)과 절결부연마공구(50)가 연마공구지지체(46)의 저면에 제공된다. 주연연마휠(48)과 절결부연마공구(50)는 각각 연마공구지지체(46)상에 구성되어있는 모터(도시하지 않음)에 의하여 회전된다.
주연연마휠(48)과 절결부 연마공구(50)가 도 2에서 보인 바와 같이 Y-축 상에 배치되고, 절결부연마공구(50)는 도 1에서 보인 바와 같이 주연연마휠(48)의 상부에서 사전에 결정된 높이에 배치된다.
연마공구장치(14)가 상기 언급된 바와 같이 구성되고, 웨이퍼(W)의 주연은 이 웨이퍼(W)의 주연이 연마공구장치(14)의 회전하는 주연연마휠(48)이나 회전하는 절결부연마공구(50)에 대하여 가압되면서 면삭된다.
본 발명의 웨이퍼면삭장치(10)는 상기 언급된 바와 같이 구성되고 제어기(도시하지 않았음)가 웨이퍼면삭장치(10)를 제어한다.
상기 언급된 방법으로 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼면삭장치(10)의 작동을 설명키로 한다. 웨이퍼면삭장치(10)가 평면부를 갖는 웨이퍼나 절결부를 갖는 웨이퍼를 면삭할 수 있으므로 먼저 평면부를 갖는 웨이퍼(W)를 면삭하는 방법이 설명될 것이며 이어서 절결부를 갖는 웨이퍼(W)를 면삭하는 방법이 설명될 것이다.
이하 도 4(a) - 도 4(f)를 참조하여 평면부를 갖는 웨이퍼(W)를 면삭하는 방법이 설명된다.
먼저, 웨이퍼(W)가 웨이퍼면삭장치(10)상에 고정된다. 특히 웨이퍼(W)는 웨이퍼테이블(44)에 배치되고 웨이퍼(W)가 진공으로 웨이퍼테이블(44)상에 고정된다.
웨이퍼(W)가 그 중심이 웨이퍼테이블(44)의 θ-축 상에 배치되고, 그 평면부(0F)가 Y-축에 평행하게 놓이도록 배치된다(도 4(a) 참조). 이러한 상태가 초기상태이며, 여기에서 웨이퍼(W)의 중심이 Y-축 상에서 주연연마휠(48)의 축으로부터 사전에 결정된 거리를 두고 배치된다.
다른 한편으로, 연마공구장치(14)에서 연마공구지지체(46)는 주연연마휠(48)이 사전에 결정된 가공위치에 놓이도록 상하로 이동한다.
상기 언급된 초기화 단계가 완료되었을 때 웨이퍼면삭장치(10)는 웨이퍼(W)를 면삭하기 시작한다.
먼저, 주연연마휠(48)이 회전되고 웨이퍼(W)가 동시에 Y-축 방향으로 주연연마휠(48)측으로 공급된다. 웨이퍼(W)가 사전에 결정된 거리만큼 이동하였을 때 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 회전하는 주연연마휠(48)과 만나고 웨이퍼(W)가 이동을 멈춘다.
도 4(a)에서 보인 바와 같이, 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 주연연마휠(48)과 만날 때 웨이퍼(W)는 사전에 결정된 각도만큼 θ-축을 중심으로하여 회전하기 시작한다. 이로써, 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 회전하는 주연연마휠(48)에 의하여 면삭된다.
도 4(b)에서 보인 바와 같이, 웨이퍼(W)가 사전에 결정된 만큼 회전할 때 웨이퍼(W)와 주연연마휠(48) 사이의 접촉점은 웨이퍼(W)의 평면모서리부분(OR)에 이른다. 이러한 상태에서, 웨이퍼(W)의 회전은 평면모서리부분(OR)이 주연연마휠(48)과 접촉토록 하지 않는다. 이러한 이유로 평면모서리부분(OR)이 이하 설명되는 바와 같이 웨이퍼(W)의 제어운동에 의하여 면삭된다.
도 4(c)에서 점선으로 보인 바와 같이 접촉점이 웨이퍼(W)의 평면모서리부분(OR)에 이르렀을 때 웨이퍼(W)가 θ-축을 중심으로하여 회전되고 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급된다. 웨이퍼(W)는 평면모서리부분(OR)이 항시 주연연마휠(48)에 접촉할 수 있도록 이동한다. 이와 같이 웨이퍼(W)의 평면모서리부분(OR)이 주연연마휠(48)에 의하여 면삭된다.
그리고, 상기 언급된 바와 같이 그 운동이 제어되는 웨이퍼(W)의 평면부(OF)가 최종적으로 도 4(c)에서 실선으로 보인 바와 같이 X-축에 평행하게 되고 평면모서리부분(OR)의 면삭과정이 종료된다. 이러한 상태에서, 주연연마휠(48)은 웨이퍼(W)의 평면부(OF)와 접촉하게 된다. 그리고 이어서 평면부(OF)가 면삭된다.
도 4(d)에서 보인 바와 같이, 평면부(OF)가 X-축 방향으로 웨이퍼(W)를 공급하므로서 면삭된다. 즉, 웨이퍼(W)가 평면부(OF)와 평행하게 이동하는 동안에 평면부(OF)가 주연연마휠(48)과 접촉한다. 이로써, 평면부(OF)가 주연연마휠(48)에 의하여 면삭된다.
웨이퍼(W)는 웨이퍼(W)와 주연연마휠(48)사이의 접촉점이 평면부(OF)의 타측단부, 또는 도4(e)에서 보인 바와 같이 타측 평면모서리부분(OR)에 이를 때까지 X-축방향으로 공급된다. 접촉점이 평면모서리부분(OR)에 이르렀을 때 평면모서리부분(OR)이 면삭된다.
특히, 접촉점이 도 4(f)에서 실선으로 보인 바와 같이 웨이퍼(W)의 평면모서리부분(OR)에 이르렀을 때 웨이퍼(W)가 θ-축선을 중심으로 하여 회전되고 X-축과 Y-축 방향으로 공급된다. 웨이퍼(W)는 평면모서리부분(OR)이 항시 주연연마휠(48)과 접촉할 수 있도록 이동한다. 이와 같이 웨이퍼(W)의 평면모서리부분(OR)이 주연연마휠(48)에 의하여 면삭된다.
그리고 상기 언급된 바와 같이 그 운동이 제어되는 웨이퍼(W)의 중심이 도 4(f)에서 점선으로 보인 바와 같이 최종적으로 Y-축 상에 놓이고 평면모서리부분(OR)의 면삭가공이 완료된다. 이러한 상태에서, 주연연마휠(48)은 웨이퍼(W)의 원형부(C)와 접촉하여 있다. 이후 웨이퍼(W)가 θ-축을 중심으로 하여 회전하여 원형부(C)를 면삭하고, 웨이퍼(W)는 면삭가공이 시작되는 상태, 즉 도 4(a)에서 보인 상태로 복귀한다. 웨이퍼(W)의 전 주연의 면삭가공이 상기 언급된 일련의 공정을 여러 번 반복하여 완료된다.
웨이퍼(W)의 면삭가공이 완료되었을 때 웨이퍼(W)는 면삭가공이 시작되는 상태, 즉 도 4(a)에서 보인 상태에서 정지한다. 그리고 웨이퍼(W)가 Y-축 방향으로 이동하여 주연연마휠(48)로부터 멀어져 웨이퍼(W)가 초기상태로 복귀한다. 웨이퍼(W)가 웨이퍼테이블(44)로부터 집어 올려져 가공이 완료된다.
상기 언급된 바와 같이, 이 실시형태에서 웨이퍼 면삭방법과 장치에 따라, 웨이퍼(W)의 평면부(OF)가 면삭될 때 웨이퍼(W)가 평면부(OF)와 평행하게 직선으로 공급된다. 따라서 평면부(OF)가 정확히 직선으로 용이하게 면삭될 수 있다. 웨이퍼(W)의 각 평면 모서리부분(OR)이 면삭될 때, 웨이퍼(W)는 평면모서리부분(OR)이 항시 주연연마휠(48)과 접촉할 수 있도록 이동된다. 이와 같이 평면 모서리부분(OR)을 매우 정밀하게 면삭할 수 있다. 더욱이 웨이퍼(W)의 운동을 간단히 제어할 수 있다.
이 실시형태에서, 웨이퍼(W)의 전주연은 연속 면삭되나 웨이퍼(W)의 각 주연부분이 별도로 면삭될 수 도 있다. 특히 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 먼저 면삭되고 이어서 평면부(OF)가 면삭된 후 최종적으로 평면모서리부분(OR)이 면삭될 수 있다.
가공순서가 상기 언급된 순서로 제한될 필요는 없다. 예를 들어, 평면부(OF)가 먼저 면삭되고 평면모서리부분(OR)이 면삭되며 최종적으로 원형부(C)가 면삭될 수 있다.
이제, 도 5(a) - 도 5(e)를 참조하여 절결부를 갖는 웨이퍼를 면삭하기 위한 방법이 설명될 것이다.
먼저, 웨이퍼(W)가 웨이퍼면삭장치(10)상에 고정된다. 특히, 웨이퍼(W)가 웨이퍼테이블(44)상에 배치되고, 웨이퍼(W)가 진공으로 웨이퍼테이블(44)상에 고정된다.
웨이퍼(W)는 그 중심이 웨이퍼테이블(44)의 θ-축 상에 배치되고 절결부(NO)가 X-축 상에 배치될 수 있게 놓인다(도 5(a)참조). 이러한 상태를 초기상태라 하며, 여기에서 웨이퍼(W)의 중심은 Y-축 상에서 주연연마휠(48)의 축선으로부터 사전에 결정된 거리에 배치된다.
다른 한편으로, 연마공구장치(14)에서, 연마공구지지체(46)가 사전에 결정된 가공위치에서 주연연마휠(48)이 배치될 수 있도록 상하로 이동된다.
상기 언급된 초기화의 완료시에 웨이퍼면삭장치(10)가 웨이퍼(W)를 면삭하기 시작한다.
먼저, 주연연마휠(48)이 회전되고 웨이퍼(W)가 동시에 Y-축방향으로 주연연마휠(48)측으로 공급된다. 웨이퍼(W)가 사전에 결정된 거리만큼 이동하였을 때 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 회전하는 주연연마휠(48)과 만나고 웨이퍼(W)가 이동을 멈춘다.
도 5(a)에서 보인 바와 같이, 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 주연연마휠(48)과 만날 때, 웨이퍼(W)가 회전하기 시작한다. 이로써, 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 도 5(b)에서 보인바와 같이 회전하는 주연연마휠(48)에 의하여 면삭된다.
웨이퍼(W)가 사전에 결정된 회전수만큼 회전한 후에 웨이퍼(W)의 원형부(C)의 면삭가공이 완료된다. 그리고 웨이퍼(W)가 회전을 멈추고 초기상태로 복귀한다. 이후에 웨이퍼면삭장치(10)가 웨이퍼(W)의 절결부(NO)를 면삭하기 시작한다.
절결부(NO)를 면삭하기 위하여 웨이퍼(W)는 이것이 사전에 결정된 가공위치에 이를 때까지 초기위치로부터 사전에 결정된 거리만큼 X-축방향으로 이동한다(도 5(c) 참조). 다른 한편으로, 연마공구장치(14)에서, 연마공구지지체(46)가 사전에 결정된 거리만큼 하측으로 이동하여 절결부연마공구(50)가 사전에 결정된 가공위치에 배치될 수 있다. 그리고, 절결부연마공구(50)가 회전되고 웨이퍼(W)가 동시에 Y-축 방향으로 공급된다. 웨이퍼(W)가 사전에 결정된 거리만큼 이동할 때 웨이퍼(W)의 절결부모서리부분(NR)이 회전하는 절결부연마공구(50)와 만나게 되고 웨이퍼(W)가 이동을 멈춘다.
도 5(c)에서 보인 바와 같이, 웨이퍼(W)의 절결부 모서리부분(NR)이 절결부연마공구(50)와 만나고, 웨이퍼(W)는 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급되어 절결부모서리부분(NR)이 면삭될 수 있다. 환언컨대, 웨이퍼(W)가 절결부모서리부분(NR)의 형상을 따라 이동하여 절결부모서리부분(NR)이 항시 절결부연마공구(50)와 접촉할 수 있다. 이로써, 웨이퍼(W)의 절결부모서리부분(NR)이 절결부연마공구(50)에 의하여 면삭된다.
절결부모서리부분(NR)이 면삭된 후에 웨이퍼(W)가 연속하여 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급되어 절결부(NO)가 면삭될 수 있다. 특히 도 5(d)에서 보인 바와 같이, 웨이퍼(W)는 절결부(NO)가 항시 절결부연마공구(50)와 접촉될 수 있도록 공급된다. 도 5(d)에서 절결부(NO)는 예를 들어 "V" 자형이고, 웨이퍼(W)는 절결부(NO)의 형상에 따라 "V"자를 그리도록 이동한다. 이로써 웨이퍼(W)의 절결부(NO)가 절결부연마공구(50)에 의하여 면삭된다.
웨이퍼(W)와 절결부연마공구(50)사이의 접촉점이 절결부(NO)의 타측에서 타측 절결부모서리부분(NR)에 이르렀을 때 절결부모서리부분(NR)이 도 5(e)에서 보인 바와 같이 연속하여 면삭된다. 특히 웨이퍼(W)는 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급되어 절결부모서리부분(NR)이 항시 절결부연마공구(50)에 접촉할 수 있다. 이로써, 웨이퍼(W)의 절결부모서리부분(NR)이 절결부연마공구(50)에 의하여 면삭된다.
절결부모서리부분(NR)이 타측부에서 면삭된 후 웨이퍼(W)가 이동을 멈춘다. 그리고, 절결부(NO)와 절결부모서리부분(NR)이 상기 언급된 바와 동일한 방법으로 역방향으로 면삭된다. 특히 절결부연마공구(50)가 웨이퍼(W)에 대하여 타측에서 절결부모서리부분(NR)으로부터 절결부(NO)측으로 이동하고 절결부(NO)의 면삭가공이 시작하는 상태, 즉 도 5(c)에서 보인 상태로 복귀된다. 절결부(NO)와 절결부모서리부분(NR)의 면삭이 상기 언급된 일련의 공정을 요구된 횟수만큼 반복하여 완료된다.
절결부(NO)와 절결부모서리부분(NR)의 면삭가공이 완료되었을 때, 웨이퍼는 절결부(NO)의 면삭이 시작되는 상태, 즉 도 5(c)에서 보인 상태에서 정지한다. 그리고 웨이퍼(W)가 Y-축 방향으로 이동하여 절결부연마공구(50)로부터 더욱 멀어지고 웨이퍼(W)가 초기상태로 복귀한다. 웨이퍼(W)가 테이블(44)로부터 들어올려지고 가공이 완료된다.
상기 언급된 바와 같이, 이 실시형태에서 웨이퍼 면삭방법과 장치에 따라서, 웨이퍼(W)의 절결부(NO)가 면삭될 때에 웨이퍼(W)는 절결부연마공구(50)가 항시 절결부(NO)와 접촉될 수 있도록 공급된다. 이와 같이 절결부(NO)가 매우 정밀하게 면삭될 수 있다. 웨이퍼(W)의 각 절결부모서리부분(NR)이 면삭되었을 때 웨이퍼(W)는 절결부연마공구(50)가 항시 절결부모서리부분(NR)과 접촉될 수 있도록 공급된다. 이와 같이 절결부모서리부분(NR)이 정밀하게 면삭될 수 있다. 더욱이 웨이퍼(W)의 운동을 간단히 제어할 수 있다.
이 실시형태에서, 웨이퍼(W)의 원형부(C)가 먼저 면삭되고 이어서 절결부(NO)와 절결부모서리부분(NR)이 면삭된다. 그러나, 가공순서는 이로써 제한될 필요는 없으며, 예를 들어 절결부(NO)와 절결부모서리부분(NR)이 먼저 면삭되고 원형부(C)가 나중에 면삭될 수 있다.
상기 언급된 바와 같이, 본 발명에 따라서, 웨이퍼의 운동은 회전축선상에서 웨이퍼를 회전시키고 회전축선에 수직이고 서로 수직인 두 축선을 따라 웨이퍼를 공급하므로서 제어된다. 이와 같이, 주연에 평면부 또는 절결부를 갖는 웨이퍼의 전주연을 정밀하게 면삭하는 것이 가능하다.
그러나, 본 발명은 상기 언급된 형태로 본 발명을 제한하는 것은 아니고 본 발명이 그 기술사상이나 청구범위에 표현된 범위 내에 속하는 모든 수정이나 변경을 망라함을 이해하여야 할 것이다.

Claims (4)

  1. 평면부와 평면모서리부분을 갖는 웨이퍼가 회전되고 서로 수직인 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동될 수 있게 지지되며 주연연마휠이 Y-축에 회전가능하게 배치되어 웨이퍼의 주연을 면삭하기 위한 웨이퍼면삭방법에 있어서, 상기 웨이퍼면삭방법이 웨이퍼의 원형부를 회전하는 상기 주연연마휠에 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시켜 웨이퍼의 원형부를 면삭하는 단계, 웨이퍼의 평면부를 상기 주연연마휠에 접촉되게 하고 웨이퍼를 X-축 방향으로 공급하여 웨이퍼의 평면부를 면삭하는 단계와, 웨이퍼의 평면모서리부분의 하나를 회전하는 상기 주연연마휠에 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시키면서 이 웨이퍼를 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동시켜 평면모서리부분의 하나가 항시 상기 주연연마휠에 접촉될 수 있도록 하여 웨이퍼의 평면모서리부분의 하나를 면삭하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼면삭방법.
  2. 원형부, 평면부와 평면모서리부분을 갖는 웨이퍼의 주연을 면삭하기 위한 웨이퍼면삭장치에 있어서, 상기 웨이퍼면삭장치가 서로 수직인 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동 가능한 웨이퍼테이블지지체, 상기 웨이퍼테이블지지체 상에 회전가능하게 배치되어 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼테이블, Y-축 상에 배치되고 상하로 이동 가능한 연마공구지지체, 상기 연마공구지지체 상에 회전가능하게 배치된 주연연마휠과, X-축 방향과 Y-축 방향으로의 상기 웨이퍼테이블지지체의 공급, 상기 웨이퍼테이블의 회전, 상기 연마공구지지체의 상하운동 및 상기 주연연마휠의 회전을 제어하는 제어기로 구성되고, 상기 제어기는 웨이퍼의 원형부를 회전하는 주연연마휠과 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시켜 원형부를 면삭하며, 상기 제어기가 웨이퍼의 평면부를 회전하는 상기 주연연마휠과 접촉되게 하고 웨이퍼를 X-축 방향으로 공급하여 평면부를 면삭하고, 상기 제어기가 웨이퍼의 평면모서리부분의 하나를 회전하는 상기 주연연마휠에 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시키면서 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급하여 평면모서리부분의 하나가 상기 주연연마휠과 항시 접촉되게 함으로서 평면모서리부분의 하나를 면삭함을 특징으로 하는 웨이퍼면삭장치.
  3. 원형부, 절결부와 절결부모서리부분을 갖는 웨이퍼가 회전되고 서로 수직인 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동될 수 있게 지지되며 주연연마휠과 절결부연마공구가 Y-축에 회전가능하게 배치되어 웨이퍼의 주연을 면삭하기 위한 웨이퍼면삭방법에 있어서, 상기 웨이퍼면삭방법이 웨이퍼의 원형부를 회전하는 상기 주연연마휠에 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시켜 웨이퍼의 원형부를 면삭하는 단계, 웨이퍼의 절결부를 상기 절결부연마공구에 접촉되게 하고 웨이퍼를 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급하여 절결부가 항시 상기 절결부연마공구에 접촉되게 하여 웨이퍼의 절결부를 면삭하는 단계와, 웨이퍼의 절결부모서리부분의 하나를 회전하는 상기 절결부연마공구에 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시키면서 이 웨이퍼를 X-축 방향으로 이동시켜 절결부모서리부분의 하나가 항시 상기 절결부연마공구에 접촉될 수 있도록 하여 웨이퍼의 절결부모서리부분의 하나를 면삭하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼면삭방법.
  4. 원형부, 절결부와 절결부모서리부분을 갖는 웨이퍼의 주연을 면삭하기 위한 웨이퍼면삭장치에 있어서, 상기 웨이퍼면삭장치가 서로 수직인 X-축 방향과 Y-축 방향으로 이동 가능한 웨이퍼테이블지지체, 상기 웨이퍼테이블지지체 상에 회전가능하게 배치되어 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼테이블, Y-축 상에 배치되고 상하로 이동 가능한 연마공구지지체, 상기 연마공구지지체상에 회전가능하게 배치된 주연연마휠, 상기 연마공구지지체상에 회전가능하게 배치된 절결부연마공구와, X-축방향과 Y-축 방향으로의 상기 웨이퍼테이블지지체의 공급, 상기 웨이퍼테이블의 회전, 상기 연마공구지지체의 상하운동, 상기 주연연마휠의 회전 및 상기 절결부연마공구의 회전을 제어하는 제어기로 구성되고, 상기 제어기는 웨이퍼의 원형부를 회전하는 주연연마휠과 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시켜 원형부를 면삭하며, 상기 제어기가 웨이퍼의 절결부를 회전하는 상기 절결부연마공구와 접촉되게 하고 웨이퍼를 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급하여 절결부가 항시 상기 절결부연마공구에 접촉하여 절결부를 면삭하고, 상기 제어기가 웨이퍼의 절결부모서리부분의 하나를 회전하는 상기 절결부연마공구에 접촉되게 하고 웨이퍼를 회전시키면서 X-축 방향과 Y-축 방향으로 공급하여 절결부모서리부분의 하나가 상기 절결부연마공구와 항시 접촉되게 함으로서 절결부모서리부분의 하나를 면삭함을 특징으로 하는 웨이퍼면삭장치.
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