JPH07151701A - ストロボスコープの光量補正機能を有する検査装置 - Google Patents
ストロボスコープの光量補正機能を有する検査装置Info
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- JPH07151701A JPH07151701A JP5298265A JP29826593A JPH07151701A JP H07151701 A JPH07151701 A JP H07151701A JP 5298265 A JP5298265 A JP 5298265A JP 29826593 A JP29826593 A JP 29826593A JP H07151701 A JPH07151701 A JP H07151701A
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ストロボスコープの光量を常に一定にし、検
査装置の判定精度および安定性を保つストロボスコープ
の光量補正機能を有する検査装置の提供を目的とする。 【構成】 光電変換センサー７の電圧よりストロボスコ
ープの発光部４’の発光光量を測定し、ストロボスコー
プの発光部４’の発光期間ｔ内に所定回数の発光光量の
積分値を算出した後にその平均値を算出し、発光光量の
平均値をストロボスコープの電源部４に供給する光量補
正制御回路１３とを有し、ストロボスコープの発光部
４’の光量の変動を補正するので、ストロボスコープの
発光部４’の光量を常に一定にし、検査装置の判定精度
および安定性を保つことができる。
査装置の判定精度および安定性を保つストロボスコープ
の光量補正機能を有する検査装置の提供を目的とする。 【構成】 光電変換センサー７の電圧よりストロボスコ
ープの発光部４’の発光光量を測定し、ストロボスコー
プの発光部４’の発光期間ｔ内に所定回数の発光光量の
積分値を算出した後にその平均値を算出し、発光光量の
平均値をストロボスコープの電源部４に供給する光量補
正制御回路１３とを有し、ストロボスコープの発光部
４’の光量の変動を補正するので、ストロボスコープの
発光部４’の光量を常に一定にし、検査装置の判定精度
および安定性を保つことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ストロボスコ
ープを用いて被検査物体の欠陥を検出する検査装置に使
用して好適なストロボスコープの光量補正機能を有する
検査装置に関する。
ープを用いて被検査物体の欠陥を検出する検査装置に使
用して好適なストロボスコープの光量補正機能を有する
検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、発光ランプとしてのストロボ
スコープは、その発光時間が極めて短時間なので、古く
から回転計の照明装置として、あるいは、移動物体の静
止画像を作成するために用いられている。
スコープは、その発光時間が極めて短時間なので、古く
から回転計の照明装置として、あるいは、移動物体の静
止画像を作成するために用いられている。
【０００３】また、近年に至っては、移動する被検査物
体をビデオカメラと信号処理回路を用いて、その欠陥を
検出する検査装置用の照明装置として盛んに用いられる
ようになった。図３において、ストロボスコープとビデ
オカメラおよび信号処理回路等を用いた検査装置のブロ
ック図を示す。
体をビデオカメラと信号処理回路を用いて、その欠陥を
検出する検査装置用の照明装置として盛んに用いられる
ようになった。図３において、ストロボスコープとビデ
オカメラおよび信号処理回路等を用いた検査装置のブロ
ック図を示す。
【０００４】図３において、ベルトコンベア１は、被検
査物体２を矢符の搬送方向に搬送する搬送手段である。
ベルトコンベア１を挟んで対向するように設けられた発
光部３’および受光部３は、被検査物体２の通過により
発光部３’から投射される光を遮蔽したときに、被検査
物体２の位置を検出する位置検出手段である。
査物体２を矢符の搬送方向に搬送する搬送手段である。
ベルトコンベア１を挟んで対向するように設けられた発
光部３’および受光部３は、被検査物体２の通過により
発光部３’から投射される光を遮蔽したときに、被検査
物体２の位置を検出する位置検出手段である。
【０００５】ストロボスコープの電源部４は発光源とな
る部分である。ストロボスコープの発光部４’は被検査
物体２を照射するように、ベルトコンベア１の斜め上方
から下方に向けて配置されている。ストロボスコープの
電源部４は受光部３からの位置検出信号を検出したとき
にストロボスコープの発光部４’を発光させて、ストロ
ボスコープの発光部４’が被検査物体２を照射するよう
にされている。ストロボスコープの電源部４およびスト
ロボスコープの発光部４’とでストロボスコープを構成
する。
る部分である。ストロボスコープの発光部４’は被検査
物体２を照射するように、ベルトコンベア１の斜め上方
から下方に向けて配置されている。ストロボスコープの
電源部４は受光部３からの位置検出信号を検出したとき
にストロボスコープの発光部４’を発光させて、ストロ
ボスコープの発光部４’が被検査物体２を照射するよう
にされている。ストロボスコープの電源部４およびスト
ロボスコープの発光部４’とでストロボスコープを構成
する。
【０００６】ビデオカメラ６は、ストロボスコープの発
光部４’により照射された被検査物体２を撮像するもの
である。ビデオカメラ６は、ベルトコンベア１の上方か
ら下方に向けて配置されている。信号処理回路５は、受
光部３からの位置検出信号およびビデオカメラ６の撮像
信号を信号処理して、被検査物体２の欠陥を検出するも
のである。
光部４’により照射された被検査物体２を撮像するもの
である。ビデオカメラ６は、ベルトコンベア１の上方か
ら下方に向けて配置されている。信号処理回路５は、受
光部３からの位置検出信号およびビデオカメラ６の撮像
信号を信号処理して、被検査物体２の欠陥を検出するも
のである。
【０００７】このように構成された従来のストロボスコ
ープを用いた検査装置は、以下のような動作をする。つ
まり、ベルトコンベア１により搬送されている被検査物
体２であっても、極短時間に発光するストロボスコープ
の発光特性により、受光部３からの位置検出信号を検出
している検査領域において、ビデオカメラ６によりほと
んど静止画像として捕らえることができる。
ープを用いた検査装置は、以下のような動作をする。つ
まり、ベルトコンベア１により搬送されている被検査物
体２であっても、極短時間に発光するストロボスコープ
の発光特性により、受光部３からの位置検出信号を検出
している検査領域において、ビデオカメラ６によりほと
んど静止画像として捕らえることができる。
【０００８】従って、この極短時間に発光するストロボ
スコープの発光特性により、被検査物体２の移動による
欠陥検出の品質の低下をなくし、精度良く被検査物体２
の検査を行うことができる。
スコープの発光特性により、被検査物体２の移動による
欠陥検出の品質の低下をなくし、精度良く被検査物体２
の検査を行うことができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のストロ
ボスコープを用いた検査装置においては、ストロボスコ
ープの発光部４’は通常キセノン管が用いられているた
め、長期間に亘って使用し、発光回数が多くなると、図
４に示すように、光量に変化が発生して、その寿命によ
って光量が低下するという不都合があった。
ボスコープを用いた検査装置においては、ストロボスコ
ープの発光部４’は通常キセノン管が用いられているた
め、長期間に亘って使用し、発光回数が多くなると、図
４に示すように、光量に変化が発生して、その寿命によ
って光量が低下するという不都合があった。
【００１０】さらに、検査装置において、信号処理回路
の処理の精度が向上すると共に、照明を行うストロボス
コープの発光部４’の発光光量の変化は、たとえそれが
わずかであっても信号処理の判定精度に大きな影響を及
ぼすという不都合があった。
の処理の精度が向上すると共に、照明を行うストロボス
コープの発光部４’の発光光量の変化は、たとえそれが
わずかであっても信号処理の判定精度に大きな影響を及
ぼすという不都合があった。
【００１１】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、ストロボスコープの光量を常に一定にし、検査
装置の判定精度および安定性を保つストロボスコープの
光量補正機能を有する検査装置の提供を目的とする。
であり、ストロボスコープの光量を常に一定にし、検査
装置の判定精度および安定性を保つストロボスコープの
光量補正機能を有する検査装置の提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のストロボスコー
プの光量補正機能を有する検査装置は、図１乃至図２に
示す如く、被検査物体２を搬送する搬送手段１と、被検
査物体２の位置を検出する位置検出手段３、３’と、被
検査物体２を照射する発光部４’とこの発光部４’に電
源を供給する電源部４とを有するストロボスコープと、
ストロボスコープの発光部４’により照射された被検査
物体２を撮像する撮像手段６と、位置検出手段３、３’
より被検査物体２の位置信号を検出し、撮像手段６より
被検査物体２の撮像信号を検出する信号処理回路５と、
ストロボスコープの発光部４’の光の一部を電圧に変換
する光電変換手段７と、光電変換手段７の電圧よりスト
ロボスコープの発光部４’の発光光量を測定し、ストロ
ボスコープの発光部４’の発光期間ｔ内に所定回数の発
光光量の積分値を算出した後にその平均値を算出し、発
光光量の平均値をストロボスコープの電源部４に供給す
る光量補正制御手段１３とを有し、ストロボスコープの
発光部４’の光量の変動を補正するようにしたものであ
る。
プの光量補正機能を有する検査装置は、図１乃至図２に
示す如く、被検査物体２を搬送する搬送手段１と、被検
査物体２の位置を検出する位置検出手段３、３’と、被
検査物体２を照射する発光部４’とこの発光部４’に電
源を供給する電源部４とを有するストロボスコープと、
ストロボスコープの発光部４’により照射された被検査
物体２を撮像する撮像手段６と、位置検出手段３、３’
より被検査物体２の位置信号を検出し、撮像手段６より
被検査物体２の撮像信号を検出する信号処理回路５と、
ストロボスコープの発光部４’の光の一部を電圧に変換
する光電変換手段７と、光電変換手段７の電圧よりスト
ロボスコープの発光部４’の発光光量を測定し、ストロ
ボスコープの発光部４’の発光期間ｔ内に所定回数の発
光光量の積分値を算出した後にその平均値を算出し、発
光光量の平均値をストロボスコープの電源部４に供給す
る光量補正制御手段１３とを有し、ストロボスコープの
発光部４’の光量の変動を補正するようにしたものであ
る。
【００１３】本発明のストロボスコープの光量補正機能
を有する検査装置は、図１乃至図２に示す如く、上述に
おいて、光量補正制御手段１３は、光電変換手段７の電
圧をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器９と、Ａ／Ｄ
変換器９の出力電圧を加算する加算器１０と、Ａ／Ｄ変
換器９および加算器１０にクロックを供給するクロック
発生器１１と、加算器１０の出力から平均値を求める平
均値算出器１２とからなるものである。
を有する検査装置は、図１乃至図２に示す如く、上述に
おいて、光量補正制御手段１３は、光電変換手段７の電
圧をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器９と、Ａ／Ｄ
変換器９の出力電圧を加算する加算器１０と、Ａ／Ｄ変
換器９および加算器１０にクロックを供給するクロック
発生器１１と、加算器１０の出力から平均値を求める平
均値算出器１２とからなるものである。
【００１４】
【作用】本発明によれば、光電変換手段７の電圧よりス
トロボスコープの発光部４’の発光光量を測定し、スト
ロボスコープの発光部４’の発光期間ｔ内に所定回数の
発光光量の積分値を算出した後にその平均値を算出し、
発光光量の平均値をストロボスコープの電源部４に供給
する光量補正制御手段１３とを有し、ストロボスコープ
の発光部４’の光量の変動を補正するので、ストロボス
コープの発光部４’の光量を常に一定にし、検査装置の
判定精度および安定性を保つことができる。
トロボスコープの発光部４’の発光光量を測定し、スト
ロボスコープの発光部４’の発光期間ｔ内に所定回数の
発光光量の積分値を算出した後にその平均値を算出し、
発光光量の平均値をストロボスコープの電源部４に供給
する光量補正制御手段１３とを有し、ストロボスコープ
の発光部４’の光量の変動を補正するので、ストロボス
コープの発光部４’の光量を常に一定にし、検査装置の
判定精度および安定性を保つことができる。
【００１５】本発明によれば、上述において、光量補正
制御手段１３は、光電変換手段７の電圧をディジタル値
に変換するＡ／Ｄ変換器９と、Ａ／Ｄ変換器９の出力電
圧を加算する加算器１０と、Ａ／Ｄ変換器９および加算
器１０にクロックを供給するクロック発生器１１と、加
算器１０の出力から平均値を求める平均値算出器１２と
からなるので、ストロボスコープの発光部４’の光量を
常に一定にし、検査装置の判定精度および安定性を確実
に保つことができる。
制御手段１３は、光電変換手段７の電圧をディジタル値
に変換するＡ／Ｄ変換器９と、Ａ／Ｄ変換器９の出力電
圧を加算する加算器１０と、Ａ／Ｄ変換器９および加算
器１０にクロックを供給するクロック発生器１１と、加
算器１０の出力から平均値を求める平均値算出器１２と
からなるので、ストロボスコープの発光部４’の光量を
常に一定にし、検査装置の判定精度および安定性を確実
に保つことができる。
【００１６】
【実施例】図１は、本発明による発光ランプの光量補正
機能を有する検査装置の一実施例の構成を示すブロック
図である。図１において、図３に示した従来のストロボ
スコープを用いた検査装置に対応するものには同一の符
号を付して、その詳細な説明を省略する。
機能を有する検査装置の一実施例の構成を示すブロック
図である。図１において、図３に示した従来のストロボ
スコープを用いた検査装置に対応するものには同一の符
号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００１７】本発明の発光ランプの光量補正機能を有す
る検査装置が従来のストロボスコープを用いた検査装置
と異なる点は、従来のものにさらに光電変換センサー７
および光量補正制御回路１３を設けた点である。
る検査装置が従来のストロボスコープを用いた検査装置
と異なる点は、従来のものにさらに光電変換センサー７
および光量補正制御回路１３を設けた点である。
【００１８】図１において、ベルトコンベア１は、被検
査物体２を矢符の搬送方向に搬送する搬送手段である。
ベルトコンベア１を挟んで対向するように設けられた発
光部３’および受光部３は、被検査物体２の通過により
発光部３’から投射される光を遮蔽したときに、被検査
物体２の位置を検出する位置検出手段である。
査物体２を矢符の搬送方向に搬送する搬送手段である。
ベルトコンベア１を挟んで対向するように設けられた発
光部３’および受光部３は、被検査物体２の通過により
発光部３’から投射される光を遮蔽したときに、被検査
物体２の位置を検出する位置検出手段である。
【００１９】ストロボスコープの電源部４は発光源とな
る部分である。ストロボスコープの発光部４’は被検査
物体２を照射するように、ベルトコンベア１の斜め上方
から下方に向けて配置されている。ストロボスコープの
電源部４は受光部３からの位置検出信号を検出したとき
にストロボスコープの発光部４’を発光させて、ストロ
ボスコープの発光部４’が被検査物体２を照射するよう
にされている。ストロボスコープの電源部４およびスト
ロボスコープの発光部４’とでストロボスコープを構成
する。
る部分である。ストロボスコープの発光部４’は被検査
物体２を照射するように、ベルトコンベア１の斜め上方
から下方に向けて配置されている。ストロボスコープの
電源部４は受光部３からの位置検出信号を検出したとき
にストロボスコープの発光部４’を発光させて、ストロ
ボスコープの発光部４’が被検査物体２を照射するよう
にされている。ストロボスコープの電源部４およびスト
ロボスコープの発光部４’とでストロボスコープを構成
する。
【００２０】ビデオカメラ６は、ストロボスコープの発
光部４’により照射された被検査物体２を撮像するもの
である。ビデオカメラ６は、ベルトコンベア１の上方か
ら下方に向けて配置されている。信号処理回路５は、受
光部３からの位置検出信号およびビデオカメラ６の撮像
信号を信号処理して、被検査物体２の欠陥を検出するも
のである。
光部４’により照射された被検査物体２を撮像するもの
である。ビデオカメラ６は、ベルトコンベア１の上方か
ら下方に向けて配置されている。信号処理回路５は、受
光部３からの位置検出信号およびビデオカメラ６の撮像
信号を信号処理して、被検査物体２の欠陥を検出するも
のである。
【００２１】ここで、ストロボスコープの発光部４’の
近傍で投射光の一部を検出できる位置に、ストロボスコ
ープの発光部４’の照明の邪魔にならないように光電変
換センサー７を配置する。光電変換センサー７の出力電
圧は、増幅器８で増幅される。増幅器８で増幅された出
力電圧はＡ／Ｄ変換器９でディジタル値に変換され、加
算器１０で加算される。Ａ／Ｄ変換器９および加算器１
０はクロック発生器１１によりその動作クロックを供給
される。加算器１０の加算出力は、平均値算出器１２に
供給される。平均値算出器１２の平均値出力は、ストロ
ボスコープの電源部４に供給される。増幅器８Ａ／Ｄ変
換器９、加算器１０、クロック発生器１１、平均値算出
器１２とからなる光量補正制御回路１３は光量補正制御
手段を構成する。
近傍で投射光の一部を検出できる位置に、ストロボスコ
ープの発光部４’の照明の邪魔にならないように光電変
換センサー７を配置する。光電変換センサー７の出力電
圧は、増幅器８で増幅される。増幅器８で増幅された出
力電圧はＡ／Ｄ変換器９でディジタル値に変換され、加
算器１０で加算される。Ａ／Ｄ変換器９および加算器１
０はクロック発生器１１によりその動作クロックを供給
される。加算器１０の加算出力は、平均値算出器１２に
供給される。平均値算出器１２の平均値出力は、ストロ
ボスコープの電源部４に供給される。増幅器８Ａ／Ｄ変
換器９、加算器１０、クロック発生器１１、平均値算出
器１２とからなる光量補正制御回路１３は光量補正制御
手段を構成する。
【００２２】このような本発明の発光ランプの光量補正
機能を有する検査装置は以下のように動作する。光電変
換センサー７によりストロボスコープの発光時における
光の一部は、電気信号に変換されて増幅器８に供給され
る。増幅器８により増幅されたアナログ値の電気信号は
Ａ／Ｄ変換器９に供給され、ディジタル値の電気信号に
変換される。この場合、図２に示すように、Ａ／Ｄ変換
はストロボスコープの発光時間における発光光量を、ク
ロック発生器１１のクロック周期により分割するように
している。そして、加算器１０によりこれらを加算し
て、つまり積分値を求めて、平均値算出器１２によりそ
の平均値をストロボスコープの電源部４に供給して、発
光光量を一定にするようにしている。
機能を有する検査装置は以下のように動作する。光電変
換センサー７によりストロボスコープの発光時における
光の一部は、電気信号に変換されて増幅器８に供給され
る。増幅器８により増幅されたアナログ値の電気信号は
Ａ／Ｄ変換器９に供給され、ディジタル値の電気信号に
変換される。この場合、図２に示すように、Ａ／Ｄ変換
はストロボスコープの発光時間における発光光量を、ク
ロック発生器１１のクロック周期により分割するように
している。そして、加算器１０によりこれらを加算し
て、つまり積分値を求めて、平均値算出器１２によりそ
の平均値をストロボスコープの電源部４に供給して、発
光光量を一定にするようにしている。
【００２３】このようにストロボスコープの発光部４’
の発光波形の積分値を求める理由は、ストロボスコープ
の発光部４’の光量や形状、例えば、ヘリカル形、リン
グ形、直管形などによる違いや、メーカーによる内部構
造の違いによって、発光の波形が異なるからである。こ
のため、単に光量といっても、その発光波形により発光
時間内におけるエネルギーが異なるからである。
の発光波形の積分値を求める理由は、ストロボスコープ
の発光部４’の光量や形状、例えば、ヘリカル形、リン
グ形、直管形などによる違いや、メーカーによる内部構
造の違いによって、発光の波形が異なるからである。こ
のため、単に光量といっても、その発光波形により発光
時間内におけるエネルギーが異なるからである。
【００２４】図２に示す発光波形は、ヘリカル形のスト
ロボスコープの発光時における発光波形の代表的なもの
の一例である。図２において、発光時間ｔは５０〜１０
０［μｓｅｃ］である。Ａ／Ｄ変換によりストロボスコ
ープの発光部４’の発光時間における発光光量を分割す
るクロック発生器１１のクロック周期は１〜２［μｓｅ
ｃ］である。
ロボスコープの発光時における発光波形の代表的なもの
の一例である。図２において、発光時間ｔは５０〜１０
０［μｓｅｃ］である。Ａ／Ｄ変換によりストロボスコ
ープの発光部４’の発光時間における発光光量を分割す
るクロック発生器１１のクロック周期は１〜２［μｓｅ
ｃ］である。
【００２５】このように、ストロボスコープの発光波形
は、図２に示すような曲線であるので、光エネルギーを
この曲線に沿って、積算して正確な値を求める必要があ
る。従って、図２に示すように、発光波形をいくつか
に、時間と共に分割して、その値を加算して積分値を求
めれば良い。
は、図２に示すような曲線であるので、光エネルギーを
この曲線に沿って、積算して正確な値を求める必要があ
る。従って、図２に示すように、発光波形をいくつか
に、時間と共に分割して、その値を加算して積分値を求
めれば良い。
【００２６】図２においては、説明のため、粗く分割し
ているが、細かく分割して積分するほど精度が良くなる
ことはいうまでもない。実用上の精度を求めるために
は、５０〜１００分割程度が好ましい。この場合、精度
を下げても良いのなら分割数を減らしても良いことはい
うまでもない。
ているが、細かく分割して積分するほど精度が良くなる
ことはいうまでもない。実用上の精度を求めるために
は、５０〜１００分割程度が好ましい。この場合、精度
を下げても良いのなら分割数を減らしても良いことはい
うまでもない。
【００２７】さらに、このようにして求めた積分値の平
均値を求める理由は、ストロボスコープの光量は短時間
で急激に変化するものでもなく、また、時間をおいて時
々光量を調べるよりは、いくつかの値を平均して求める
方が、発光の個々の微妙な変動をも吸収して、精度の良
い動作が得られるからである。
均値を求める理由は、ストロボスコープの光量は短時間
で急激に変化するものでもなく、また、時間をおいて時
々光量を調べるよりは、いくつかの値を平均して求める
方が、発光の個々の微妙な変動をも吸収して、精度の良
い動作が得られるからである。
【００２８】平均化する値は、実用上の範囲で良く、例
えば、数１０回、あるいは数１００回等の任意の値を選
択すれば良い。この値は、発光回数の値であるので、受
光器３より位置検出信号を得て、発光回数で平均値算出
器１２を制御する。
えば、数１０回、あるいは数１００回等の任意の値を選
択すれば良い。この値は、発光回数の値であるので、受
光器３より位置検出信号を得て、発光回数で平均値算出
器１２を制御する。
【００２９】平均値算出器１２のディジタル出力は、ス
トロボスコープの電源部４に供給して、発光光量の制御
を行うようにする。ストロボスコープの発光制御は、通
常、放電コンデンサーの容量を変化させたり、高圧電源
の電圧値を変化させて行っている。
トロボスコープの電源部４に供給して、発光光量の制御
を行うようにする。ストロボスコープの発光制御は、通
常、放電コンデンサーの容量を変化させたり、高圧電源
の電圧値を変化させて行っている。
【００３０】発光光量を制御する専用の外部端子を設け
ている市販製品を用いれば、容易に実現できる。通常、
光量制御に対する外部端子には、３〜６ビットによるデ
ィジタル値が与えられて制御が行われている。通常の制
御に関しては、図４に点線の範囲で示すように、実際の
変動幅は数パーセントの範囲内なので、制御ビット数は
必要に応じて定めれば良く、３ビット制御でも実用的な
実施が可能である。
ている市販製品を用いれば、容易に実現できる。通常、
光量制御に対する外部端子には、３〜６ビットによるデ
ィジタル値が与えられて制御が行われている。通常の制
御に関しては、図４に点線の範囲で示すように、実際の
変動幅は数パーセントの範囲内なので、制御ビット数は
必要に応じて定めれば良く、３ビット制御でも実用的な
実施が可能である。
【００３１】上例によれば、光電変換センサー７の電圧
よりストロボスコープの発光部４’の発光光量を測定
し、ストロボスコープの発光部４’の発光期間ｔ内に所
定回数の発光光量の積分値を算出した後にその平均値を
算出し、発光光量の平均値をストロボスコープの電源部
４に供給する光量補正制御回路１３とを有し、ストロボ
スコープの発光部４’の光量の変動を補正するので、ス
トロボスコープの発光部４’の光量を常に一定にし、検
査装置の判定精度および安定性を保つことができる。
よりストロボスコープの発光部４’の発光光量を測定
し、ストロボスコープの発光部４’の発光期間ｔ内に所
定回数の発光光量の積分値を算出した後にその平均値を
算出し、発光光量の平均値をストロボスコープの電源部
４に供給する光量補正制御回路１３とを有し、ストロボ
スコープの発光部４’の光量の変動を補正するので、ス
トロボスコープの発光部４’の光量を常に一定にし、検
査装置の判定精度および安定性を保つことができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、光電変換手段の電圧よ
りストロボスコープの発光部の発光光量を測定し、スト
ロボスコープの発光部の発光期間内に所定回数の発光光
量の積分値を算出した後にその平均値を算出し、発光光
量の平均値をストロボスコープの電源部に供給する光量
補正制御手段とを有し、ストロボスコープの発光部の光
量の変動を補正するので、ストロボスコープの発光部の
光量を常に一定にし、検査装置の判定精度および安定性
を保つことができる。
りストロボスコープの発光部の発光光量を測定し、スト
ロボスコープの発光部の発光期間内に所定回数の発光光
量の積分値を算出した後にその平均値を算出し、発光光
量の平均値をストロボスコープの電源部に供給する光量
補正制御手段とを有し、ストロボスコープの発光部の光
量の変動を補正するので、ストロボスコープの発光部の
光量を常に一定にし、検査装置の判定精度および安定性
を保つことができる。
【００３３】本発明によれば、上述において、光量補正
制御手段は、光電変換手段の電圧をディジタル値に変換
するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換器の出力電圧を加算す
る加算器と、Ａ／Ｄ変換器および上記加算器にクロック
を供給するクロック発生器と、加算器の出力から平均値
を求める平均値算出器とからなるので、ストロボスコー
プの発光部の光量を常に一定にし、検査装置の判定精度
および安定性を確実に保つことができる。
制御手段は、光電変換手段の電圧をディジタル値に変換
するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換器の出力電圧を加算す
る加算器と、Ａ／Ｄ変換器および上記加算器にクロック
を供給するクロック発生器と、加算器の出力から平均値
を求める平均値算出器とからなるので、ストロボスコー
プの発光部の光量を常に一定にし、検査装置の判定精度
および安定性を確実に保つことができる。
【図１】本発明のストロボスコープの光量補正制御回路
を用いた検査装置の一実施例のブロック図である。
を用いた検査装置の一実施例のブロック図である。
【図２】本発明のストロボスコープの光量補正制御回路
を用いた検査装置の一実施例の動作を説明する図であ
る。
を用いた検査装置の一実施例の動作を説明する図であ
る。
【図３】従来のストロボスコープを用いた検査装置のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図４】ストロボスコープの発光回数と光量との関係を
示す寿命曲線である。
示す寿命曲線である。
１ ベルトコンベア ２ 被検査物体 ３ 受光器 ３’発光器 ４ ストロボスコープの電源部 ４’ストロボスコープの発光部 ５ 信号処理回路 ６ ビデオカメラ ７ 光電変換センサー ８ 増幅器 ９ Ａ／Ｄ変換器 １０ 加算器 １１ クロック発生器 １２ 平均値算出器 １３ 光量補正制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物体を搬送する搬送手段と、 被検査物体の位置を検出する位置検出手段と、 被検査物体を照射する発光部とこの発光部に電源を供給
する電源部とを有するストロボスコープと、 上記ストロボスコープの発光部により照射された被検査
物体を撮像する撮像手段と、 上記位置検出手段より被検査物体の位置信号を検出し、
上記撮像手段より被検査物体の撮像信号を検出する信号
処理回路と、 上記ストロボスコープの発光部の光の一部を電圧に変換
する光電変換手段と、 上記光電変換手段の電圧より上記ストロボスコープの発
光部の発光光量を測定し、上記ストロボスコープの発光
部の発光期間内に所定回数の発光光量の積分値を算出し
た後にその平均値を算出し、上記発光光量の平均値を上
記ストロボスコープの電源部に供給する光量補正制御手
段とを有し、 上記ストロボスコープの発光部の光量の変動を補正する
ようにしたことを特徴とするストロボスコープの光量補
正機能を有する検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のストロボスコープの光量
補正機能を有する検査装置において、 上記光量補正制御手段は、上記光電変換手段の電圧をデ
ィジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器と、 上記Ａ／Ｄ変換器の出力電圧を加算する加算器と、 上記Ａ／Ｄ変換器および上記加算器にクロックを供給す
るクロック発生器と、 上記加算器の出力から平均値を求める平均値算出器とか
らなることを特徴とするストロボスコープの光量補正機
能を有する検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5298265A JPH07151701A (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | ストロボスコープの光量補正機能を有する検査装置 |
| US08/342,701 US5581074A (en) | 1993-11-29 | 1994-11-21 | Inspection apparatus with stroboscope intensity compensation features |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5298265A JPH07151701A (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | ストロボスコープの光量補正機能を有する検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151701A true JPH07151701A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17857398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5298265A Pending JPH07151701A (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | ストロボスコープの光量補正機能を有する検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5581074A (ja) |
| JP (1) | JPH07151701A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0813099A1 (en) * | 1996-06-11 | 1997-12-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Flash photographing system |
| JP2005149729A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Kyoto Denkiki Kk | ストロボ点灯装置 |
| JP2006275618A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Nec Robotics Eng Ltd | ラベル検査装置 |
| WO2015100716A1 (zh) * | 2014-01-02 | 2015-07-09 | 清华大学 | 一种评价激光器稳定性的方法 |
| CN108387585A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-08-10 | 西安理工大学 | 一种频率自动调节式印刷画面频闪检测装置及检测方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3454400B2 (ja) * | 1996-02-16 | 2003-10-06 | 三井金属鉱業株式会社 | 繰返しパターンの検査方法 |
| US6052182A (en) * | 1997-10-28 | 2000-04-18 | Zellweger Uster, Inc. | Fiber quality monitor |
| US6175107B1 (en) | 1998-05-27 | 2001-01-16 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Inspection of containers employing a single area array sensor and alternately strobed light sources |
| US6384421B1 (en) | 1999-10-07 | 2002-05-07 | Logical Systems Incorporated | Vision system for industrial parts |
| US20030048375A1 (en) * | 2001-09-11 | 2003-03-13 | Thorstein Seim | Method and apparatus for digitizing light measurements by computer control of light source emission |
| JP5109221B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2012-12-26 | 新世代株式会社 | ストロボスコープを使った入力システムを備える情報処理装置 |
| US7359545B2 (en) * | 2003-12-31 | 2008-04-15 | Tokyo Electron Limited | Method and system to compensate for lamp intensity differences in a photolithographic inspection tool |
| CA2456898A1 (en) * | 2004-02-04 | 2005-08-04 | Vern Paproski | Trailer cover |
| US7800009B2 (en) * | 2007-10-30 | 2010-09-21 | Logical Systems Incorporated | Air separator conveyor and vision system |
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|---|---|---|---|---|
| JPS5596405A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-22 | Hajime Sangyo Kk | Inspection device for moving object |
| JPS55132904A (en) * | 1979-04-05 | 1980-10-16 | Fuji Electric Co Ltd | Shape inspection system |
| JPH02177415A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPH03276782A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パルス光源 |
| US5250797A (en) * | 1990-10-05 | 1993-10-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure method and apparatus for controlling light pulse emission using determined exposure quantities and control parameters |
| US5233175A (en) * | 1992-08-24 | 1993-08-03 | International Business Machines Corporation | Laser power control independent of beamsplitter transmissivity |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP5298265A patent/JPH07151701A/ja active Pending
-
1994
- 1994-11-21 US US08/342,701 patent/US5581074A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| EP0813099A1 (en) * | 1996-06-11 | 1997-12-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Flash photographing system |
| US5839005A (en) * | 1996-06-11 | 1998-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Flash photographing system |
| JP2005149729A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Kyoto Denkiki Kk | ストロボ点灯装置 |
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| WO2015100716A1 (zh) * | 2014-01-02 | 2015-07-09 | 清华大学 | 一种评价激光器稳定性的方法 |
| CN108387585A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-08-10 | 西安理工大学 | 一种频率自动调节式印刷画面频闪检测装置及检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5581074A (en) | 1996-12-03 |
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