JPH07151634A - 漏洩試験方法 - Google Patents
漏洩試験方法Info
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- JPH07151634A JPH07151634A JP29860593A JP29860593A JPH07151634A JP H07151634 A JPH07151634 A JP H07151634A JP 29860593 A JP29860593 A JP 29860593A JP 29860593 A JP29860593 A JP 29860593A JP H07151634 A JPH07151634 A JP H07151634A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 強度が低い容器等の漏洩試験に適用できると
共に、検出感度が高く微少な漏れを検出できる漏洩試験
方法を提供する。 【構成】 先ず、被試験体１１をフード１２内に装入す
る。そして、被試験体１１内の空気をポンプ１４で排気
し、被試験体１１内にパイプ１５を介してＮ2又はＣＯ2
ガス等のＨｅを含有しない（又は、Ｈｅ含有量が極めて
少ない）置換ガスを供給して、被試験体１１内の空気を
この置換ガスに置換する。次に、被試験体１１内に置換
ガスを供給すると共にポンプ１４により被試験体１１内
のガスを排気しつつ、フード１２内にＨｅガスを充填す
る。被試験体１１に漏洩箇所がある場合は、被試験体１
１内に漏洩したＨｅガスが置換ガスと共にパイプ１６内
に入り、トレーサガス検出器１３に検出される。
共に、検出感度が高く微少な漏れを検出できる漏洩試験
方法を提供する。 【構成】 先ず、被試験体１１をフード１２内に装入す
る。そして、被試験体１１内の空気をポンプ１４で排気
し、被試験体１１内にパイプ１５を介してＮ2又はＣＯ2
ガス等のＨｅを含有しない（又は、Ｈｅ含有量が極めて
少ない）置換ガスを供給して、被試験体１１内の空気を
この置換ガスに置換する。次に、被試験体１１内に置換
ガスを供給すると共にポンプ１４により被試験体１１内
のガスを排気しつつ、フード１２内にＨｅガスを充填す
る。被試験体１１に漏洩箇所がある場合は、被試験体１
１内に漏洩したＨｅガスが置換ガスと共にパイプ１６内
に入り、トレーサガス検出器１３に検出される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、強度が低い容器等の被
試験体に対する漏洩試験に好適の漏洩試験方法に関し、
前記被試験体内の空気を予めＮ2又はＣＯ2等の置換ガス
に置換することにより検出感度を向上させた漏洩試験方
法に関するものである。
試験体に対する漏洩試験に好適の漏洩試験方法に関し、
前記被試験体内の空気を予めＮ2又はＣＯ2等の置換ガス
に置換することにより検出感度を向上させた漏洩試験方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、漏洩試験装置（リークテスタ）と
しては、以下に示すものがある。即ち、図２に示す真空
吹き付け式漏洩試験装置においては、被試験体１の内部
に導通可能にトレーサガス検出器２を接続すると共に、
被試験体１の内部を真空排気する粗引ポンプ３を被試験
体１に接続する。そして、Ｈｅ（ヘリウム）ガスボンベ
４に接続されたＨｅガス吹き付け管５から被試験体１に
Ｈｅガスを吹き付けることができるようになっている。
しては、以下に示すものがある。即ち、図２に示す真空
吹き付け式漏洩試験装置においては、被試験体１の内部
に導通可能にトレーサガス検出器２を接続すると共に、
被試験体１の内部を真空排気する粗引ポンプ３を被試験
体１に接続する。そして、Ｈｅ（ヘリウム）ガスボンベ
４に接続されたＨｅガス吹き付け管５から被試験体１に
Ｈｅガスを吹き付けることができるようになっている。
【０００３】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１内を真空に排気した後、トレーサガス検出器２を
被試験体１の内部に連結し、吹き付け管５を介してＨｅ
ガスを被試験体１に吹き付ける。そうすると、被試験体
１に漏洩箇所があれば、その漏洩箇所からＨｅガスが被
試験体１中に入り、トレーサガス検出器２に検出され
る。
験体１内を真空に排気した後、トレーサガス検出器２を
被試験体１の内部に連結し、吹き付け管５を介してＨｅ
ガスを被試験体１に吹き付ける。そうすると、被試験体
１に漏洩箇所があれば、その漏洩箇所からＨｅガスが被
試験体１中に入り、トレーサガス検出器２に検出され
る。
【０００４】図３に示す真空フード式漏洩試験装置にお
いては、図２の場合と同様に被試験体１の内部とトレー
サガス検出器２及び粗引ポンプ３とを選択的に連結でき
るように接続し、更に被試験体１を容器内に挿入する等
して被試験体１をフード６で覆うようになっている。
いては、図２の場合と同様に被試験体１の内部とトレー
サガス検出器２及び粗引ポンプ３とを選択的に連結でき
るように接続し、更に被試験体１を容器内に挿入する等
して被試験体１をフード６で覆うようになっている。
【０００５】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１の内部を真空に排気し、次いで、フード６内にＨ
ｅガスを充填する。そうすると、被試験体１に漏洩箇所
があれば、その部分を介してＨｅガスがトレーサガス検
出器２に入り、Ｈｅが検出される。この装置によれば、
被試験体１の全体のリークの有無を検出し、全体のリー
ク量の判定を行うことができる。
験体１の内部を真空に排気し、次いで、フード６内にＨ
ｅガスを充填する。そうすると、被試験体１に漏洩箇所
があれば、その部分を介してＨｅガスがトレーサガス検
出器２に入り、Ｈｅが検出される。この装置によれば、
被試験体１の全体のリークの有無を検出し、全体のリー
ク量の判定を行うことができる。
【０００６】図４に示す真空内圧法においては、チャン
バ７内に、予めＨｅガスを封入した被試験体１を装入
し、ポンプ３によりチャンバ７内を排気する。そうする
と、被試験体１に漏洩箇所がある場合に、そこからＨｅ
ガスが漏出してトレーサガス検出器２に検出される。
バ７内に、予めＨｅガスを封入した被試験体１を装入
し、ポンプ３によりチャンバ７内を排気する。そうする
と、被試験体１に漏洩箇所がある場合に、そこからＨｅ
ガスが漏出してトレーサガス検出器２に検出される。
【０００７】また、図５に示すスニファー法による漏洩
試験装置においては、Ｈｅガスを加圧した被試験体１の
周囲をスニファープローブ４により探索し、被試験体１
の漏洩箇所から漏れてきたＨｅガスをトレーサガス検出
器２により検出する。
試験装置においては、Ｈｅガスを加圧した被試験体１の
周囲をスニファープローブ４により探索し、被試験体１
の漏洩箇所から漏れてきたＨｅガスをトレーサガス検出
器２により検出する。
【０００８】更に、図６に示す積分法による漏洩検出装
置においては、Ｈｅガスを加圧圧入した被試験体１を容
量が既知のフード８内に装入し、フード８内をポンプ３
により排気した後、長時間放置し、その間に被試験体１
から漏れてくるＨｅガスによるＨｅ濃度の変化をトレー
サガス検出器２で測定し、これを積分することにより微
少リーク量を検出する。
置においては、Ｈｅガスを加圧圧入した被試験体１を容
量が既知のフード８内に装入し、フード８内をポンプ３
により排気した後、長時間放置し、その間に被試験体１
から漏れてくるＨｅガスによるＨｅ濃度の変化をトレー
サガス検出器２で測定し、これを積分することにより微
少リーク量を検出する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の漏洩試験装置には、いずれも以下に示す問題点
がある。即ち、空気中にはＨｅが約６ｐｐｍの濃度で含
有されているため、図５に示すスニファー法では、この
空気中に含有されているＨｅがトレーサガス検出器に検
出され、ノイズ成分となる。従って、スニファー法で
は、微少な漏れを検出することが困難である。また、こ
の方法においては、空気中に含まれているＨｅを漏れに
よるものと判断してしまう虞れもあり、試験結果の信頼
性が低い。
の従来の漏洩試験装置には、いずれも以下に示す問題点
がある。即ち、空気中にはＨｅが約６ｐｐｍの濃度で含
有されているため、図５に示すスニファー法では、この
空気中に含有されているＨｅがトレーサガス検出器に検
出され、ノイズ成分となる。従って、スニファー法で
は、微少な漏れを検出することが困難である。また、こ
の方法においては、空気中に含まれているＨｅを漏れに
よるものと判断してしまう虞れもあり、試験結果の信頼
性が低い。
【００１０】図２，３に示す方法においては、被試験体
内を高真空にして漏洩試験を実施することにより、空気
中に含まれるＨｅの影響を抑制できると共に、被試験体
内に漏洩したＨｅガスの拡散が促進されてＨｅガスのリ
ークに対する応答性が向上する。しかし、この場合は、
被試験体の内側の圧力と外側の圧力との差が大きくなる
ため、例えば、燃料タンク及びドラム缶等のように強度
が低い容器（以下、軟弱容器という）等の漏洩試験を実
施しようとすると、被試験体が変形又は破損してしまう
という問題点がある。また、これらの方法を例えばエン
ジン本体からのリーク量の測定に適用すると、漏れが著
しく増大し、所謂大漏れが発生する。一方、被試験体内
の真空度を低くすると、被試験体の変形及び破損等は回
避できるものの、空気中に含有されているＨｅにより検
出感度が低下し、微少な漏れを検出することができなく
なってしまう。
内を高真空にして漏洩試験を実施することにより、空気
中に含まれるＨｅの影響を抑制できると共に、被試験体
内に漏洩したＨｅガスの拡散が促進されてＨｅガスのリ
ークに対する応答性が向上する。しかし、この場合は、
被試験体の内側の圧力と外側の圧力との差が大きくなる
ため、例えば、燃料タンク及びドラム缶等のように強度
が低い容器（以下、軟弱容器という）等の漏洩試験を実
施しようとすると、被試験体が変形又は破損してしまう
という問題点がある。また、これらの方法を例えばエン
ジン本体からのリーク量の測定に適用すると、漏れが著
しく増大し、所謂大漏れが発生する。一方、被試験体内
の真空度を低くすると、被試験体の変形及び破損等は回
避できるものの、空気中に含有されているＨｅにより検
出感度が低下し、微少な漏れを検出することができなく
なってしまう。
【００１１】図４，６に示す漏洩試験方法においても、
良好な検出感度を得るためには被試験体の内側の圧力と
外側の圧力との差を大きくする必要があり、軟弱な容器
等に適用することができないという欠点がある。
良好な検出感度を得るためには被試験体の内側の圧力と
外側の圧力との差を大きくする必要があり、軟弱な容器
等に適用することができないという欠点がある。
【００１２】本発明かかる問題点に鑑みてなされたもの
であって、検出感度が高くて微少な漏れを高精度で検出
することができると共に、軟弱容器等に適用することが
できる漏洩試験方法を提供することを目的とする。
であって、検出感度が高くて微少な漏れを高精度で検出
することができると共に、軟弱容器等に適用することが
できる漏洩試験方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係る漏洩試験方
法は、被試験体内の空気を置換ガスに置換する工程と、
前記被試験体の外側にＨｅガスを供給し前記被試験体内
に漏洩したＨｅガスを検出する工程と、を有することを
特徴とする。
法は、被試験体内の空気を置換ガスに置換する工程と、
前記被試験体の外側にＨｅガスを供給し前記被試験体内
に漏洩したＨｅガスを検出する工程と、を有することを
特徴とする。
【００１４】
【作用】本発明においては、被試験体内の空気を、Ｈｅ
を含有しないか、又はＨｅの含有量が極めて少ないガス
（例えば、Ｎ2又はＣＯ2等）に置換する。これにより、
ノイズ成分となるＨｅの量が著しく減少するため、被試
験体内を高真空にしなくても、被試験体内にリークした
Ｈｅを高感度で検出することができる。また、本発明に
おいては、被試験体の内側を高真空にする必要がないた
め、軟弱な容器等の漏洩試験に適用しても、被試験体の
変形及び破損等を回避できる。
を含有しないか、又はＨｅの含有量が極めて少ないガス
（例えば、Ｎ2又はＣＯ2等）に置換する。これにより、
ノイズ成分となるＨｅの量が著しく減少するため、被試
験体内を高真空にしなくても、被試験体内にリークした
Ｈｅを高感度で検出することができる。また、本発明に
おいては、被試験体の内側を高真空にする必要がないた
め、軟弱な容器等の漏洩試験に適用しても、被試験体の
変形及び破損等を回避できる。
【００１５】なお、本発明においては、被試験体内の圧
力を比較的高くすることにより被試験体内に漏洩したＨ
ｅガスの拡散速度が遅くなって、応答特性が低下するこ
とが考えられる。応答特性の低下を回避するためには、
例えば、被試験体内にリークしたＨｅガスを検出する工
程において、被試験体内に置換ガスを供給しつつ、被試
験体内を排気すればよい。これにより、被試験体内にガ
スの流れが形成される。このガスの流れの下流側にトレ
ーサガス検出器を配置することにより、良好な応答特性
を得ることができる。
力を比較的高くすることにより被試験体内に漏洩したＨ
ｅガスの拡散速度が遅くなって、応答特性が低下するこ
とが考えられる。応答特性の低下を回避するためには、
例えば、被試験体内にリークしたＨｅガスを検出する工
程において、被試験体内に置換ガスを供給しつつ、被試
験体内を排気すればよい。これにより、被試験体内にガ
スの流れが形成される。このガスの流れの下流側にトレ
ーサガス検出器を配置することにより、良好な応答特性
を得ることができる。
【００１６】
【実施例】次に、本発明の実施例について、添付の図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１７】図１は、本発明の実施例に係る漏洩試験方
法を示す模式図である。先ず、被試験体１１をフード１
２内に収納し、被試験体１１にパイプ１５，１６を連結
する。パイプ１５は置換ガス供給源に連結されており、
このパイプ１５を介して被試験体１１内に置換ガスを供
給可能になっている。また、パイプ１６は排気ポンプ１
４及びトレーサガス検出器（Ｈｅ検出器）１３に連結さ
れている。なお、置換ガスとしては、例えばＮ2又はＣ
Ｏ2等のガスがあるが、Ｈｅを含有しないか、又はＨｅ
含有量が極めて少ないものであれば、その他のガスを使
用してもよい。
法を示す模式図である。先ず、被試験体１１をフード１
２内に収納し、被試験体１１にパイプ１５，１６を連結
する。パイプ１５は置換ガス供給源に連結されており、
このパイプ１５を介して被試験体１１内に置換ガスを供
給可能になっている。また、パイプ１６は排気ポンプ１
４及びトレーサガス検出器（Ｈｅ検出器）１３に連結さ
れている。なお、置換ガスとしては、例えばＮ2又はＣ
Ｏ2等のガスがあるが、Ｈｅを含有しないか、又はＨｅ
含有量が極めて少ないものであれば、その他のガスを使
用してもよい。
【００１８】次に、フード１２にパイプ１７，１９を連
結する。パイプ１９はＨｅガス供給源に連結されてお
り、このパイプ１９を介してフード１２内にＨｅガスを
供給可能になっている。また、パイプ１７は排気ポンプ
１８に連結されている。
結する。パイプ１９はＨｅガス供給源に連結されてお
り、このパイプ１９を介してフード１２内にＨｅガスを
供給可能になっている。また、パイプ１７は排気ポンプ
１８に連結されている。
【００１９】次に、被試験体１１内の空気を排気ポンプ
１４で排気すると共に、パイプ１５を介して被試験体１
１内に置換ガスを間欠的又は連続的に供給する。そし
て、被試験体１１内の空気が置換ガスに十分置換された
後、被試験体１１内への置換ガスの供給を継続しつつ、
排気ポンプ１８によりフード１２内の空気を排気し、パ
イプ１９を介してフード１２内にＨｅガスを充填する。
この場合に、被試験体１１内の圧力をその外側の圧力よ
りも低く設定する。また、被試験体１１の内側と外側と
の差圧が大きくなって被試験体１１に変形及び破損が生
じないように、置換ガスの供給速度又は排気ポンプ１４
による排気速度等を調整する。
１４で排気すると共に、パイプ１５を介して被試験体１
１内に置換ガスを間欠的又は連続的に供給する。そし
て、被試験体１１内の空気が置換ガスに十分置換された
後、被試験体１１内への置換ガスの供給を継続しつつ、
排気ポンプ１８によりフード１２内の空気を排気し、パ
イプ１９を介してフード１２内にＨｅガスを充填する。
この場合に、被試験体１１内の圧力をその外側の圧力よ
りも低く設定する。また、被試験体１１の内側と外側と
の差圧が大きくなって被試験体１１に変形及び破損が生
じないように、置換ガスの供給速度又は排気ポンプ１４
による排気速度等を調整する。
【００２０】このように、被試験体１１内の圧力をその
外側の圧力よりも低くし、フード１２内にトレーサガス
としてＨｅガスを充填することにより、被試験体１１に
漏洩箇所がある場合は、この漏洩箇所を介してＨｅガス
が被試験体１１内に入り、このＨｅガスがトレーサガス
検出器１３により検出される。
外側の圧力よりも低くし、フード１２内にトレーサガス
としてＨｅガスを充填することにより、被試験体１１に
漏洩箇所がある場合は、この漏洩箇所を介してＨｅガス
が被試験体１１内に入り、このＨｅガスがトレーサガス
検出器１３により検出される。
【００２１】本実施例においては、被試験体１１内の空
気をＮ2又はＣＯ2等の置換ガスに置換するため、ノイズ
成分となるＨｅガス量が極めて少ない。このため、被試
験体内に漏洩したＨｅガスを高精度で検出することがで
きる。また、本実施例においては、被試験体１１の内側
の圧力と外側の圧力との差が小さいため、被試験体１１
が軟弱な容器等であっても、被試験体１１の変形及び破
損等を確実に回避することができる。
気をＮ2又はＣＯ2等の置換ガスに置換するため、ノイズ
成分となるＨｅガス量が極めて少ない。このため、被試
験体内に漏洩したＨｅガスを高精度で検出することがで
きる。また、本実施例においては、被試験体１１の内側
の圧力と外側の圧力との差が小さいため、被試験体１１
が軟弱な容器等であっても、被試験体１１の変形及び破
損等を確実に回避することができる。
【００２２】更に、本実施例においては、パイプ１５を
介して被試験体１１内に置換ガスを供給しつつ、排気ポ
ンプ１４により被試験体１１内を排気するので、被試験
体１１内から排気ポンプ１４に向かうガスの流れが形成
される。このため、被試験体内にリークしたＨｅガス
は、このガスの流れにより迅速にパイプ１６内に入り、
トレーサガス検出器１３に検出される。従って、本実施
例によれば、良好な応答特性を得ることができる。
介して被試験体１１内に置換ガスを供給しつつ、排気ポ
ンプ１４により被試験体１１内を排気するので、被試験
体１１内から排気ポンプ１４に向かうガスの流れが形成
される。このため、被試験体内にリークしたＨｅガス
は、このガスの流れにより迅速にパイプ１６内に入り、
トレーサガス検出器１３に検出される。従って、本実施
例によれば、良好な応答特性を得ることができる。
【００２３】なお、上述の実施例においては本発明をフ
ード法に適用した場合について説明したが、これにより
本発明がフード法による漏洩試験方法に限定されるもの
ではないことは勿論であり、本発明は吹き付け法等の他
の方法に適用することも可能である。
ード法に適用した場合について説明したが、これにより
本発明がフード法による漏洩試験方法に限定されるもの
ではないことは勿論であり、本発明は吹き付け法等の他
の方法に適用することも可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る漏洩試
験方法によれば、被試験体内の空気を置換ガスに置換す
るから、ノイズ成分となるＨｅの量を著しく低減でき
て、検出感度が向上し、微少な漏洩を検出することがで
きる。また、本発明方法によれば、被試験体内を高真空
にする必要がないので、燃料タンク及びドラム缶等の軟
弱容器並びにエンジン本体等の漏洩試験に適用しても、
被試験体の変形、破損及び大漏れの発生を回避すること
ができる。
験方法によれば、被試験体内の空気を置換ガスに置換す
るから、ノイズ成分となるＨｅの量を著しく低減でき
て、検出感度が向上し、微少な漏洩を検出することがで
きる。また、本発明方法によれば、被試験体内を高真空
にする必要がないので、燃料タンク及びドラム缶等の軟
弱容器並びにエンジン本体等の漏洩試験に適用しても、
被試験体の変形、破損及び大漏れの発生を回避すること
ができる。
【図１】 本発明の実施例に係る漏洩試験方法を示す模
式図である。
式図である。
【図２】 従来の真空吹き付け式漏洩試験装置を示す模
式図である。
式図である。
【図３】 従来の真空フード式漏洩試験装置を示す模式
図である。
図である。
【図４】 従来の真空内圧式漏洩試験装置を示す模式図
である。
である。
【図５】 従来のスニファー式漏洩試験装置を示す模式
図である。
図である。
【図６】 従来の積分式漏洩試験装置を示す模式図であ
る。
る。
【符号の説明】 １，１１…被試験体、２，１３…トレーサガス検出器、
３，１４，１８…ポンプ、６，８，１２…フード、７…
チャンバ
３，１４，１８…ポンプ、６，８，１２…フード、７…
チャンバ
Claims (2)
- 【請求項１】 被試験体内の空気を置換ガスに置換する
工程と、前記被試験体の外側にＨｅガスを供給し前記被
試験体内に漏洩したＨｅガスを検出する工程と、を有す
ることを特徴とする漏洩試験方法。 - 【請求項２】 前記Ｈｅガスを検出する工程において
は、前記被試験体内に前記置換ガスを供給しつつ、前記
被試験体内を排気することを特徴とする請求項１に記載
の漏洩試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29860593A JP3348489B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 漏洩試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29860593A JP3348489B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 漏洩試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151634A true JPH07151634A (ja) | 1995-06-16 |
| JP3348489B2 JP3348489B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=17861897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29860593A Expired - Lifetime JP3348489B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 漏洩試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3348489B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106924A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Shimadzu System Solutions Co Ltd | 包装された物品におけるシールの良否判定方法 |
| CN102852375A (zh) * | 2011-04-19 | 2013-01-02 | 比利格核股份有限公司 | 保护性且一次性的封套状干预帐篷 |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP29860593A patent/JP3348489B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106924A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Shimadzu System Solutions Co Ltd | 包装された物品におけるシールの良否判定方法 |
| CN102852375A (zh) * | 2011-04-19 | 2013-01-02 | 比利格核股份有限公司 | 保护性且一次性的封套状干预帐篷 |
| EP2515311A3 (en) * | 2011-04-19 | 2014-03-05 | Belgonucleaire | A protective and disposable intervention envelope shaped tent |
| CN102852375B (zh) * | 2011-04-19 | 2016-05-11 | 比利格核股份有限公司 | 保护性且一次性的封套状干预帐篷 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3348489B2 (ja) | 2002-11-20 |
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